專利名稱：具有已改善故障檢測覆蓋率的制作缺陷分析儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及用于測試印刷電路板的設(shè)備，特別涉及用于檢測印刷電路板上的制作缺陷的設(shè)備。
授與Cilingiroglu的美國專利US-5,124,660公開了一種制作缺陷分析儀，在該分析儀中，形狀通常為平板的金屬電極置在印刷電路板上的元件的上面。該電極由產(chǎn)生電場的振蕩器驅(qū)動，在測試中電場耦合到元件的引線結(jié)構(gòu)上。這種類型的耦合稱為“電容耦合”。
測試探頭連接到印刷電路板上，以測量電容性地耦合到電路板的信號。為了確定在試驗中的元件的特定引線是否正確地連接到印刷電路板上，可把在印刷電路板上該引線與該印刷電路板連接的故障測試點連接到電流測量裝置上。而將電路板上的其它故障測試點接地，以避免虛假信號，這稱之為“屏蔽”。
如果電流測量裝置檢測出電流，表明從元件的引線結(jié)構(gòu)到印刷電路板是一條通路。如果沒有測出電流，則表明在測元件的引線結(jié)構(gòu)和印刷電路板存在斷裂，這種斷裂表明存在有制作方面的缺陷。
授予Crook等的美國專利US-5,254,953公開了一個類似的系統(tǒng)，按該專利，在測試中測試信號是電容性地耦合在元件的引線結(jié)構(gòu)和呈平板形的導(dǎo)電電極之間。美國專利US-5,124,660和US-5,254,953在此將作為參考文獻(xiàn)引入本文。
另一種測試技術(shù)是由Sheen等在1994年4月15日申請的，標(biāo)題為“印刷電路板測試裝置”，尚未授權(quán)的美國專利申請08/227,854所公開的。
該專利公開的制作缺陷分析儀，其中天線陣列是置于在測印刷電路板上的元件之上。所構(gòu)成的天線陣列，用以在被測元件內(nèi)產(chǎn)生磁場。
測試探頭以下述方式連接到印刷電路板上，即它形成一個包括在測元件引線的回路。其它的故障測試點也接地。如果將在測元件正確地連接到印刷電路板上時，該回路是一個導(dǎo)電的回路。當(dāng)用電磁場在該回路感應(yīng)一個電壓時，如果在測元件正確地連接到印刷電路板，就會感應(yīng)一個電壓。如果沒有檢測到電壓，則表明存在制作缺陷。這種把測試信號耦合到印刷電路板上的方法稱之為“感應(yīng)耦合”。
上述的美國專利申請08/227,854在此也作為參考文獻(xiàn)引入本文。
已經(jīng)認(rèn)識到每種方法，即電容耦合方法和感應(yīng)耦合方法都有一些缺點。每種方法只可檢測某些印刷電路板上的引線故障，在印刷電路板上對于可以檢測故障的總的引線的百分比稱之為裝置的故障檢測覆蓋率。理想上的故障檢測覆蓋率應(yīng)該是100％。然而，電容和感應(yīng)方法的故障檢測覆蓋率對于某些類型的印刷電路板都只有80％。
限制這些方法的有效性的因素涉及被測試的特殊類型的元件。電容耦合方式對接地屏蔽的元件是無效的。感應(yīng)耦合方式對于測試插座中無元件的插座是無效的。
已經(jīng)證明的其它的缺點涉及具體的在測元件上的引線與印刷電路板的連接方法。電容地耦合到電流測量裝置上的實際信號決定于電極和在測元件上的引線結(jié)構(gòu)間的電容與元件網(wǎng)絡(luò)的靜電容之比。通常，電極和引線結(jié)構(gòu)間的電容非常小，因此，電容耦合的信號很小。
通常，感應(yīng)耦合的信號比電容耦合的信號大，較大的信號能進(jìn)行更精確的測量。然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)當(dāng)感應(yīng)耦合信號不是很大的情況，當(dāng)多個元件連接到印刷電路板上的同一節(jié)點上時，感應(yīng)耦合信號會小于電容耦合信號。
正前述美國專利申請08/227,854所描述的，印刷電路板上的導(dǎo)電回路是由施加到印刷電路板上的偏流形成。這個偏流正向偏置在半導(dǎo)體元件中固有存在的基片二極管上。如果在測元件的基片二極管具有比連接到相同節(jié)點上的其它元件的基片二極管更高的導(dǎo)通電壓，更大的偏流將流入其它的元件而不是流入在測元件。如果流入在測元件的偏流太小，其基片二極管將不形成完全正向偏置。在那種情況下，在電路板上將感應(yīng)出一個很小的信號。進(jìn)而，偏流流入在節(jié)點上的其它元件，正向偏置其基片二極管。這些正向偏置二極管代表著另一個形成電壓分壓器的通路，從而進(jìn)一步減少用于測量的信號。
由此，對于在測元件的具體引線，電容耦合可以提供較大的信號，和更精確的結(jié)果。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，可以提供一種既可以采用電容耦合方式也可以使用感應(yīng)耦合方式測試元件的制作缺陷分析儀而獲得顯著的優(yōu)點。還已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，顯著的優(yōu)點可以通過可以很容易構(gòu)成即可用于電容耦合測試也可用于感應(yīng)耦合測試的結(jié)構(gòu)的制作缺陷分析儀獲得，且這種結(jié)構(gòu)重組可以通過引腳與引腳的偏置完成。
考慮到上述背景，本發(fā)明的目的在于提供一種具有高故障檢測覆蓋率的制作缺陷分析儀。
再一個目的在于提供一種可以實現(xiàn)電容耦合測試或感應(yīng)耦合測試的制作缺陷分析儀；又一個目的在于提供一種可以通過引腳與引腳的偏置，使其既可以用電容的方法也可以用感應(yīng)的方法對于元件測試制作缺陷的制作缺陷分析儀。
還有一個目的是提供一種改善了精度的制作缺陷分析儀。
上述的和其它的目的是由具有帶有在兩個平行平面中按組配置的天線元件傳感器的制作缺陷分析儀實現(xiàn)的。所述的組可以分別用具有相位差的信號驅(qū)動，以便產(chǎn)生用于感應(yīng)耦合測試的磁場。還可以將一個信號施加到兩組之間，以產(chǎn)生用于電容耦合測試的電場。
通過下面結(jié)合附圖所作的詳細(xì)說明將能更好的理解本發(fā)明，其中

圖1表示按照本發(fā)明的測試系統(tǒng)的示意圖；圖2表示構(gòu)成圖1中的傳感器元件的示意圖；圖3表示當(dāng)圖2的傳感器構(gòu)成用于電容耦合結(jié)構(gòu)時產(chǎn)生的電場。
圖1示出了一個在測印刷電路板100，多個元件102裝在電路板100上。如常規(guī)的電路板測試系統(tǒng)那樣，電路板100裝在一個夾具上(未示出)。
傳感器104裝在待測的每個元件102的上面。傳感器104可以以任方便的辦法安裝，例如安裝在夾具的上壓板(未示出)上。優(yōu)選使用柔性支承方式。絕緣材料優(yōu)選地插在傳感器104和元件102之間，它用于防止傳感器104與電路板100上的元件間短路。絕緣材料應(yīng)盡可能的薄，以便使傳感器104盡可能的接近元件102。
傳感器104將結(jié)合上面的圖2詳細(xì)地說明。每個傳感器104具有可以通過元件102驅(qū)動而產(chǎn)生磁場或是電場的輸出，本文所使用的術(shù)語“傳感器”意指一種在絕緣體內(nèi)，作為在電導(dǎo)體和電磁場之間轉(zhuǎn)變用的元件。在優(yōu)選的實施例中，“傳感器”是用于激發(fā)電場或磁場。然而在另一個實施例中，同樣的元件可以用于接收這些場。
電接觸是通過釘106連接到印刷電路板100的下側(cè)實施的，釘106最好如在常規(guī)電路板測試器那樣做成一種釘床，釘106與在印刷電路板100上的導(dǎo)電故障測試點接觸，所說的故障測試點與元件102的引線(未標(biāo)號)相連接。
釘106連接到選擇器108上，并通過選擇器108連接到電壓表114A或電流表114B上，選擇器108可以把這些表接到任何一個釘106上，由此，在印刷電路板100上的任一點的電壓或電流信號都可以被測量。
選擇器108還連接到偏流源112上，偏流電源112可以接到印刷電路板100的任一點上，以便為感應(yīng)耦合測試建立導(dǎo)電回路。
由電壓表114A和電流表114B進(jìn)行的測量都送入控制器124，控制器114優(yōu)選的是一臺微處理機(jī)，且數(shù)值是以數(shù)字形式傳送。
控制器124按編程進(jìn)行測試程序，它產(chǎn)生所要求的控制輸入到選擇器108，以便把表114和偏流源112連接到在印刷電路板100上的各點上。進(jìn)行連接，以測試每個元件102的每個引線是否正確地連接到印刷電路板100上，每根引線可以用電容耦合或感應(yīng)耦合方式測試。
對于電容耦合測試，如在前述的授予Cilingiroglu的美國專利US-5,124,660所描述的那樣，選擇器108將電流表114B連接到印刷電路板100的電路節(jié)點上。對于感應(yīng)耦合測試，如前述Sheen等的名稱為PrintedCircuil Board Tester的美國專利申請08/227,854所描述的那樣，選擇器108將電壓表114A和偏壓源112連接到印刷電路板100的電路節(jié)點上。
用于測試的激發(fā)信號來自源122A和122B。源122是RF源，它們設(shè)計成以相同頻率工作，源122的相對相位也應(yīng)該是可調(diào)的。對于感應(yīng)耦合方式，源的相差最好為90°。對于電容耦合方式，源最好是同相的。
源122A和122B可以通過開關(guān)123連接在一起，開關(guān)123閉合時適于電容耦合，且有效地使輸入功率加倍。
源122連接到選擇器118，選擇器118連接到每個傳感器104，每個傳感器104具有多個輸入端，下文將作更詳細(xì)地說明。選擇器118是一個開關(guān)矩陣，它使源122能同時連接到一個傳感器104的各輸入端。
回到圖2，它示意地示出傳感器104之一的一部份。正如前述專利申請08/227,854中所述，每個傳感器104由在印刷電路板上的螺旋(調(diào)諧〕環(huán)形天線元件組構(gòu)成。圖2示出了與螺旋環(huán)形天線的電連接。當(dāng)實際制作時，螺旋回路位于印刷電路板多層表面上，且不具有在圖2中所使用的方向性，僅表示電連接。
螺旋天線元件由兩組構(gòu)成，它們由相位相異90°的信號驅(qū)動。在每一個組內(nèi)，相鄰的螺旋天線元件是以相反的方向盤繞的。
圖2所示是多印刷電路板中的層210和212，一組天線元件形成在層210中，另一組天線元件形成在層212中。如圖2所示，各組是交錯的，在層212中的一個天線元件位于層210中的各天線元個之間。
在每個組中的天線元件成對構(gòu)成。對于在層210上形成的組，示出了對215A和215B。對層212上的組，示出了對217A和217B。每對均由反時針螺旋214和順時螺旋216組成。當(dāng)在層212上的組以與用來驅(qū)動在層210上的組的信號的相位相異90°的信號驅(qū)動，這種螺旋天線元件的結(jié)構(gòu)將導(dǎo)致每個天線元件在與相鄰天線元件相比在相位上超前了90°。
在每組中的成對的天線元件通過在印刷電路板上的電路交點并聯(lián)連接，在所述的交點之上形成傳感器104，因此，對傳感器104有四個輸入端點，端點220A連接到在層210上的天線元件的反時針螺旋上，端點220B連接到在層212上的天線元件的反時針螺旋上，端點220C連接到在層210上的天線元件的順時針螺旋上，端點220D連接到在層212上的天線元件的順時針螺旋上。
對于感應(yīng)耦合方式，RF源122A連接在端點220A和220C之間。RF源122B與源122A的相位相異90°，并連接到端點220B和220D這間。磁場按前述專利申請08/227,854所描述的那樣產(chǎn)生。
對于電容耦合方式，源122A和122B是同相的并連接在一起。源122的一側(cè)連接到端點220A和220C，其另一側(cè)連接到端點220B和220D上。
圖3圖解地示出了上述連接所產(chǎn)生的電場310。在層210上的各個天線元件連接在一起且起到類似于導(dǎo)電平板的作用。在層212上的各個天線元件也類似的連接在一起且起到類似的導(dǎo)電平板的作用。第一階的兩個相鄰的導(dǎo)電板的電場如圖3所示。
電場310延伸到傳感器104之外并進(jìn)入元件102。在這種情況下，信號可以電容地耦合到元件，以便如前述的授與Cilingiroglu的美國專利US-5,124,660所描述的那樣測試。
如圖1所示，相同的硬件可用于用電容耦合或感應(yīng)耦合方式來進(jìn)行測量。硬件可以通過改變選擇器108，選擇器118和開關(guān)123之間的連接方式簡單地重組。所有這些元件都是在控制器124的控制下操作。
控制器124存貯著一個測試程序。該測試程序由人或由計算機(jī)運行的計算輔助設(shè)計軟件開發(fā)。它包括對構(gòu)成圖1所示硬件的指令，以測試在印刷電路板100上的每個元件102的每個引線。在程序中的進(jìn)一步的指令是使之進(jìn)行測量并與閾值比較，閾值之下的測量值表明引線到印刷電路板的連接有故障。測試程序還包括以某種方便的方式向使用者報告有故障的指令，如報告或報警。
因為本發(fā)明使每個引線能以電容技術(shù)或感應(yīng)技術(shù)測試，所以在測試程序內(nèi)的指令對于電容方法測試，感應(yīng)方法測試，或兩者可以構(gòu)成相應(yīng)的硬件。測試方法優(yōu)選地選擇當(dāng)引線是正確地連接時，對每個引線可給予最大的信號的方法。這個信息可以當(dāng)寫入測試程序時通過分析印刷電路板的結(jié)構(gòu)的方式得出。
另一方面，該信息也可以在“學(xué)習(xí)模式”下通過測量一塊已知的好板獲得。在學(xué)習(xí)模式中，控制器124被程序化，以便測量電容和感應(yīng)耦合到每個引線上的信號。可以產(chǎn)生較大信號的電平的技術(shù)，可以包括在對那個引線的測試程序內(nèi)并被識別。還有，測量值可以用于設(shè)定一個用來識別故障的閾值，該閾值應(yīng)該比在已知的好板上的測量值稍低。
可以采用這兩種現(xiàn)有測試方法，也可以同時使用，以獲得更加精確的測量。例如，還可以不是設(shè)置一個閾值，而是對一種方法確立兩個閾值。上閾值可以確立一個信號電平，如果測量的信號在其之上，則表明引線是正確連接。下閾值也可以確立一個信號電平，如果測量值低于它，則表明引線未正確地連接。
如果測量值在兩個閾值之間，應(yīng)該用第二種方法測量。如果對第二種方法的測量值在閾值之上，表明沒有故障。如在閾值之下，則表明有故障。
閾值的數(shù)值是隨印刷電路板上使用另件的型式和印刷電路板的特定結(jié)構(gòu)變化而變化的。
上面已經(jīng)說明了一個實施例，還可以做出許多不同的實施例或變型。例如，所示的傳感器104的構(gòu)成是適用于電容耦合的，它是通過將連接印刷電路板的兩不同層上的天線元件間的信號，連接成與兩個非?？拷钠叫衅桨彘g的信號效果近似的方式實現(xiàn)的。也可以把所有螺旋環(huán)天線形成在印刷電路板的一層內(nèi)，在這種情況下，所有元件的輸入和輸出可以連接在一起。按這種方式連接，螺旋環(huán)形天線元件近似于單個導(dǎo)電板，信號可以以單點連接方式驅(qū)動，天線元件因此起到了在授與Cilingiroglu的美國專利US-5,124,660中的測試系統(tǒng)的電極的作用。
在另一個變型中，在其上可形成傳感器104的印刷電路板可以包括在螺旋環(huán)形天線之上的接地層。如果傳感器是用布線構(gòu)成的，以使信號能連接到那個接地層，則接地層可起到平行平板的作用。它可以是用于構(gòu)成在美國專利US-5,124,660中的電極的平行平板。另外，它可以是圖3所示的兩塊平板之一。在這種情況下，第二平行平板可以通過在印刷電路板上的一層或多層上組成傳感器104的天線元件的互連形成。
另外，圖2示出了一種螺旋環(huán)形天線元件，雖這樣的天線元件是所希望的，因為它們可以幅射磁場，但其它類型的天線元件也可以使用。
圖1示出了使用兩個源來驅(qū)動相位差為90°的天線元件組，但也可以使用與相移網(wǎng)絡(luò)連接的單個源。
另外，圖中示出的天線元件是分成兩個組，且每個組內(nèi)的天線元件分成相位差為180°的線對，但也可以使用任何數(shù)目的組，且任何類型的線繞方式可以用在每個組的元件之間。盡管在每個組內(nèi)的天線元件的相位應(yīng)該交錯排列，以使由所有天線元件產(chǎn)生的信號可以在遠(yuǎn)場范圍內(nèi)消失。
在一個優(yōu)選的實施例中，本發(fā)明的測試器是釘板測試器臺架上的一部分。本發(fā)明也可以很容易地制成單獨的設(shè)備。
此外，如已經(jīng)說明的，在優(yōu)選的實施例中的引線即可用感應(yīng)方法或也可用電容方法測試。還說明了可事先選擇所使用的測試方法并可以按測試程序記錄。因此，這樣的結(jié)構(gòu)減少了總的測試時間。而且，在測試時可以用兩種方法測量信號電平，因此，可以選擇能提供較大信號的方法。況且，也可以不基于對較大信號的選擇，而是基于信噪比或某個其它參數(shù)的估計進(jìn)行選擇。
作為另一種變型，正如已說明的，傳感器104只是用于對被測印刷電路板100驅(qū)動一個信號，但測試信號也可以引入在測電路板100，并通過傳感器104實施測量。
此外，如已說明過，對于電容耦合方式，每組大線元件的兩個端點是連接在一起并用同一個信號驅(qū)動。如果只驅(qū)動每個元件的一端，而另一端不連接，本發(fā)明仍有上述功能。
因此，本發(fā)明應(yīng)該僅受所附權(quán)利要求書的精神和范圍限定。
權(quán)利要求
1.一種用于測試在其上裝有多個元件的印刷電路板的制作缺陷分析儀，其特征在于，該分析儀包括a)多個傳感器，每個傳感器i)適合于裝在印刷電路板上的元件之一上；ii)具有多層，至少在一層上具有導(dǎo)電的故障測試點，所述的導(dǎo)電故障測試點至少在第一點和第二點之間形成一個導(dǎo)電通路；和iii)至少有兩個端點，一個連接到第一點，一個連接到第二點；b)測試控制裝置，用于i)以使電流能在傳感器的兩個端點之間流動的方式連接傳感器并測量在印刷電路板和傳感器之間感應(yīng)耦合的信號；ii)以防止電流在兩個端點之間流動的方式連接傳感器并測量在印刷電路板和傳感器之間電容耦合的測試信號。
2.按照權(quán)利要求1所述的制作缺陷分析儀，其中測試控制裝置包括用于連接傳感器將傳感器的兩個端點連接在一起以防止電流在兩個端點間流動的開關(guān)。
3.按照權(quán)利要求1所述的制作缺陷分析儀，其中測試控制裝置包括一個信號源和用于把信號連接在兩個端點之間以使電流在兩個端點間流動的裝置。
4.按照權(quán)利要求1所述的制作缺陷分析儀，其中測試控制裝置包括一個測量儀表和用于把所說的儀表連接在兩個端點之間以便使電流在兩個端點間流動的裝置。
5.按照權(quán)利要求1所述的制作缺陷分析儀，其中導(dǎo)電的故障測試點形成為螺旋環(huán)形天線。
6.按照權(quán)利要求1所述的制作缺陷分析儀，其中測試控裝置包括a)一個釘床；b)一個與釘床相連接的選擇器；c)一個電流表，一個電壓表和一個與選擇器相連接的偏置源；和d)一個與電流表、電壓表和選擇器相連接的微機(jī)。
7.用于測試在其上有多個元件的印刷電路板的自動測試裝置，其特征在于，該裝置包括a)多個傳感器，每個傳感器具有多層，至少在兩層上形成導(dǎo)電元件，至少在一層上的導(dǎo)電元件是電連接到一個輸入點和一個輸出點的故障測試點；b)一個RF信號源；c)第一開關(guān)裝置，具有一個控制輸入端，并響應(yīng)于在其控制輸入端的信號，用于把RF信號連接在輸入點和輸出點之間或傳感器不同層上的導(dǎo)電元件之間；d)多個適合于能接觸到被測印刷電路板上各點的探頭；e)用于測量電壓的裝置；f)用于測量電流的裝置；g)第二開關(guān)裝置，具有一個控制輸入端，并響應(yīng)于在其控制輸入端的信號，用于把電壓測量裝置和電流測量裝置可切換地連接到所選擇的多個探頭之一上；h)控制裝置，耦合到第一開關(guān)裝置和第二開關(guān)裝置的控制輸入端，用于當(dāng)RF信號源連接在輸入和輸出點之間時，產(chǎn)生控制信號，以便把電壓測量裝置連接到所選擇的多個探頭之一上，并用于當(dāng)RF信號源連接在傳感器不同層上的導(dǎo)電元件時產(chǎn)生控制信號，以便把電流測量裝置連到到所選擇的多個探頭之一上。
8.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，還包括一個連接到第二開關(guān)裝置的偏置源，其中，當(dāng)RF信號源連接到輸入和輸出點之間時，控制裝置產(chǎn)生指令，以便把偏置源連接到所選擇的多個探頭之一上。
9.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，還包括用于處理測量電壓的裝置的輸出和測量電流的裝置的輸出的裝置，以便鑒別是否存在制作缺陷。
10.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，其中多個傳感器中的每一個包括多層的印刷電路板。
11.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，其中導(dǎo)電元件之一包括一個接地平面。
12.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，其中導(dǎo)電元件之一包括一個螺旋環(huán)形天線元件。
13.按照權(quán)利要求12所述的自動測試裝置，其中導(dǎo)電元件之一包括兩上連接在一起的螺旋環(huán)形天線，且第一個按順時針方向盤繞，第二個按反時針方向盤繞。
14.按照權(quán)利要求7所述的自動測試裝置，其中在至少兩層上的導(dǎo)電元件包括一個導(dǎo)電故障測試點。
15.一種測試具有多個元件且每個元件具有多個連接到印刷電路板上的導(dǎo)電故障測試點的引線的印刷電路板的方法，包括如下步驟a)在多個元件的第一個元件附近構(gòu)成一個傳感器，以便在第一元件附近產(chǎn)生一個磁場；b)測量在包括第一元件的第一個引線在內(nèi)的印刷電路板上的回路中由磁場感應(yīng)的電壓；c)在第一元件附近形成相同的傳感器，以產(chǎn)生一個電場；d)測量由傳感器經(jīng)第一元件的一個引線電容耦合到印刷電路板上的一個故障測試點的電流；e)當(dāng)測量電壓低于閾值時或測量的電流低于閾值時檢測在印刷電路板上的缺陷。
16.按照權(quán)利要求15所術(shù)的方法，其中測量電壓的步驟包括首先把偏置源連接在回路中。
17.按照權(quán)利要求15所述的方法，其中測量在一個包括有一個引線的回路中的電壓和測量流經(jīng)引線的電流的步驟中，包含同一個引線。
18.按照權(quán)利要求15所述的方法，其中測量一個包括有一個引線的回路中的電壓和測量流經(jīng)一個引線的電流的步驟中包含不同的引線。
19.按照權(quán)利要求15所述的方法，其中構(gòu)成傳感器以產(chǎn)生磁場的步驟包括在傳感器內(nèi)的第一導(dǎo)電故障測試點的兩個端部上施加一個RF信號。
20.按照權(quán)利要求19所述的方法，其中形成傳感器以產(chǎn)生電場的步驟包括把第一導(dǎo)電故障測試點的兩個端點連接在一起。
21.按照權(quán)利要求19所述的方法，其中形成傳感器以產(chǎn)生電場的步驟包括把RF信號施加在第一導(dǎo)電故障測試點和第二導(dǎo)電故障測試點之間，第一和第二導(dǎo)電故障測試點是位于平行的平面內(nèi)。
全文摘要
一種用于印刷電路板的制作缺陷分析儀,它可以檢測元件的引線和印刷電路板之間開路故障。制作缺陷分析儀可以按感應(yīng)耦合模式或電容耦合模式操作。相同的傳感器可用于兩種模式,以便使在同一部分的不同引線能用任一種方法測試。本發(fā)明還公開了一種使裝置可以快速且精確地檢測制作缺陷的方法。
文檔編號G01R31/04GK1178582SQ9619258
公開日1998年4月8日 申請日期1996年2月2日 優(yōu)先權(quán)日1995年3月16日
發(fā)明者蒂莫西·W·希恩 申請人:特拉達(dá)因公司