專利名稱：層疊膜的缺陷檢查方法及其裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及對液晶顯示器的偏振片、玻璃基板等所采用的 層疊膜的污損、損傷等缺陷進行檢查的層疊膜的缺陷檢查方法 及其裝置。
背景技術：
在液晶顯示器的制造工序中，可使用在帶狀的功能膜(相 位差膜)上粘貼較薄的單張膜(偏振片)來制作層疊光學膜的 工序(參照專利文獻l)。
專利文獻l:日本特開2007- 76106號/>才艮
粘貼在帶狀功能膜上的單張膜(偏振片)形成為層疊膜， 該層疊膜是在膜主體的里側粘著面上粘貼分離膜、且在其表面 上粘貼保護膜而形成的。將巻繞該縱長的層疊膜而成的材料巻 供給到沖裁工序，將其沖裁成規(guī)定尺寸的單張膜。
在巻成巻的層疊膜的膜主體中，有時會在其表面或內部附 著微細的垃圾、或者在其表面或內部殘留有捻成壓痕狀的特殊 形狀缺陷(以下簡稱為"壓痕(nick)")，該壓痕狀是夾入會使 表面發(fā)生光學畸變的異物而形成的、或者在膜表面處理中產生 不均勻。需要沖裁成不具有這些缺陷地獲得單張膜。因此，利 用反射式或透射式的光學部件檢查層疊膜的污損、損傷等缺陷 并識別缺陷的產生位置是重要的。
在這種情況下存在這樣的問題，即，由于層疊膜分別在其 表里粘貼有保護膜和分離膜，因此，會因保護膜、分離膜所具 有的光學特性(雙折射等)導致的透射阻礙、表面漫反射而發(fā) 生遺漏缺陷、誤認等，無法高精度地進行^r測。另外，在保護膜、分離膜中存在缺陷等的情況下，也存在 誤認該缺陷為膜主體的缺陷這樣的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明即是鑒于上述情況而做成的，其主要目的在于提供 可以高精度地對巻成巻的層疊膜中的缺陷進行檢查的層疊膜的 缺陷檢查方法及其裝置。
第l發(fā)明是一種層疊膜的缺陷檢查方法，該層疊膜的缺陷 檢查方法用于對巻成巻的層疊膜的缺陷進行檢查，其特征在于，
包括層疊膜抽出過程，自材料巻抽出在膜主體的表面上粘貼 有保護膜、在其里側粘著面上粘貼有分離膜的層疊膜；分離膜 剝離過程，在沿著規(guī)定路徑引導被抽出的上述層疊膜，并且直 到自層疊膜剝離上述分離膜為止，至少在剝離時刻使分離膜剝 離面朝下；檢查過程，在使上述分離膜剝離面朝下地輸送層疊 膜的同時檢查是否有缺陷，將該檢查信息存儲在存儲部件中； 分離膜粘貼過程，在使檢查完畢的上述膜主體的分離膜的剝離 面朝下的狀態(tài)下，將分離膜粘貼在該剝離面上；層疊膜回收過 程，將上述膜主體的里面上粘貼有分離膜而形成的檢查完畢的 層疊膜巻成巻而形成檢查完畢的材料巻。 作用和效果
采用該方法，從自材料巻抽出的層疊膜的里側粘著面剝離 分離膜，使粘著面露出的狀態(tài)下的膜主體的里面朝下地將其引 導。在該過程中，利用光學部件適當地檢查是否存在微細的異 物附著、壓痕等缺陷。將檢測出的缺陷產生位置等檢查信息存 儲在存儲部件中。在此，膜主體朝下是指粘著面不朝上的狀態(tài)。 因而，也包括以垂直姿態(tài)輸送膜主體。
在這種情況，萬一在檢查處理空間中落下灰塵，也可以抑制灰塵附著在里面朝下的膜主體的粘著面上。
之后，在檢查完畢的膜主體的里面上粘貼分離膜而復原為 原本那樣的層疊膜，該層疊膜被巻成巻進行回收而形成檢查完
畢的材料巻。
在此，只要縮短分離膜剝離面的露出時間，就可以避免灰 塵附著在該剝離面上。但是，在膜中存在除灰塵之外的異物附 著、或者壓痕等，為了高精度地識別它們，需要經過不同的檢 查方式例如透射方式、反射方式等多種檢查工序。因此，分離 膜剝離面的露出時間必然變長。因而，該方法在如上所述那樣 需要多個檢查工序的情況下有效地發(fā)揮作用。
另外，通過將在檢查過程中獲得的檢查信息存儲在存儲介 質、通信部件的主才幾等中，可以在之后的處理工序、沖切加工 工序中將其用作回避缺陷產生部位的信息。
第2發(fā)明是根據第l發(fā)明的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征 在于，還包括保護膜剝離過程，自層疊膜剝離上述保護膜； 檢查過程，在沿著規(guī)定的膜行進路徑引導被剝離了保護膜的層 疊膜的同時、檢查膜主體的表面是否存在缺陷，并將該檢查信 息存儲在存儲部件中；保護膜粘貼過程，在檢查完畢的上述膜 主體的表面上粘貼保護膜；在層疊膜回收過程中將在上述膜主 體的表面上粘貼有保護膜、在上述膜主體的里面上粘貼有分離 膜而形成的檢查完畢的層疊膜巻成巻而形成檢查完畢的材料 巻。
作用和效果
采用該方法，從自材料巻被抽出的層疊膜剝離保護膜而露 出膜主體的表面。利用光學部件適當地檢查該膜主體的露出的 表面是否存在缺陷，將檢測出的缺陷的產生位置等檢查信息存 儲在存儲部件中。另外，通過將在該檢查過程中獲得的檢查信息存儲在存儲 介質、通信部件的主機等中，可以在之后的處理工序、沖切加 工工序中將其用作回避缺陷產生部位的信息。
第3發(fā)明是根據第2發(fā)明的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征 在于，在自上述膜主體剝離保護膜來進行檢查之后，自膜主體 的里面剝離分離膜來進行檢查，在檢查完畢的上述膜主體的表 面粘貼保護膜、在上述膜主體的里面上粘貼分離膜之后，將層 疊膜巻成巻而形成檢查完畢的材料巻。
作用和效果
采用該方法，可以縮短膜的粘著面的露出時間。因而，可 以更有效地抑制灰塵附著到粘著面上。
第4發(fā)明是根據第2或第3發(fā)明的層疊膜的缺陷檢查方法， 其特征在于，包括這樣的做標記過程，在經過被剝離了上述保 護膜的膜主體的檢查過程之后，對膜主體的缺陷檢測部位施加 標記。
作用和效果
采用該方法，可以容易地識別膜主體中的缺陷產生部位， 之后工序中的目測檢查等變得容易。
第5發(fā)明是根據第2 ~第4中的任一個發(fā)明的層疊膜的缺陷 檢查方法，其特征在于，包括這樣的數據記錄過程，在上述分 離膜粘貼過程及保護膜粘貼過程中的至少任 一 過程之后，對檢 查完畢的層疊膜中的表面或里面的適當部位附加檢測出的缺陷 部位的位置數據。
作用和效果
采用該方法，會針對每一個檢查處理完畢的材料巻記錄檢 查數據，在之后的工序中適當地使用讀出器讀取每一個材料巻 的檢查數據，從而可以最佳地進行避免使用缺陷產生部位的處理。
第6發(fā)明是根據第2 ~第5中的任一個發(fā)明的層疊膜的缺陷 檢查方法，其特征在于，在潔凈室內至少進行上述第2檢查過 程。
作用和效果
采用該方法，可以在潔凈的狀態(tài)下準確地4企查被剝離了保 護膜及分離膜而表里露出的狀態(tài)下的膜主體。換言之，可以在 除去保護膜等所具有的光學特性的狀態(tài)下高精度地進行檢查。
第7發(fā)明是根據第6發(fā)明的層疊膜的缺陷檢查方法，特征在 于，相對于以縱向姿態(tài)行進的上述膜主體，使膜表面?zhèn)葹闅饬?的上風側而對潔凈室進行換氣。
作用和效果
采用該方法，萬一換氣氣流存在灰塵，也不必擔心接觸到 膜主體的里側粘著面，可以避免檢查中的污損于未然。
第8發(fā)明是一種層疊膜的缺陷檢查裝置，該層疊膜的缺陷 檢查裝置用于對巻成巻的層疊膜的缺陷進行檢查，其特征在于， 包括層疊膜供給部件，供給在膜主體的表面上粘貼有保護膜、 在其里側粘著面上粘貼有分離膜的層疊膜；分離膜剝離部件， 一邊沿著規(guī)定路徑引導自上述層疊膜供給部件抽出的層疊膜、 一邊自層疊膜剝離上述分離膜；檢查部件，至少在上述分離膜 的剝離時刻使分離膜剝離面朝下，在保持該狀態(tài)來進行輸送的 同時檢查是否有缺陷；存儲部件，存儲上述檢查結果的信息； 分離膜供給部件，向膜主體的里面抽出分離膜；分離膜粘貼部 件，在使檢查完畢的上述膜主體的分離膜的剝離面朝下的狀態(tài) 下，將被自分離膜供給部件抽出的分離膜粘貼在該剝離面上； 層疊膜回收部件，將在上述膜主體的里面上粘貼有分離膜而形 成的檢查完畢的層疊膜巻成巻。作用和效果
釆用該結構，可以較佳地實施上述第l發(fā)明。
另外，在上述結構中優(yōu)選包括保護膜剝離部件，自層疊 膜剝離上述保護膜；檢查部件， 一邊沿著規(guī)定的膜行進路徑引 導被剝離了保護膜的層疊膜、 一邊檢查膜主體的表面是否存在 缺陷；存儲部件，存儲上述檢查結果的信息；保護膜供給部件， 向膜主體的表面抽出保護膜；保護膜粘貼部件，將自保護膜供 給部件抽出的保護膜粘貼在檢查完畢的上述膜主體的表面上。
采用該結構，可以在除去自膜主體剝離的保護膜和分離膜 所具有的光學特性的狀態(tài)下檢測缺陷。因而，可以謀求提高缺 陷的檢測精度。
另外，采用上述結構，也可以包括以下結構。
例如，上述裝置包括做標記部件或數據記錄部件；上述做 標記部件根據保護膜剝離后的檢查結果，對膜主體的缺陷檢查 部位施加標記；在粘貼上述分離膜或者粘貼保護膜中的至少任 一個之后，上述數據記錄部件對檢查完畢的層疊膜的表面或里 面的適當部位附加被檢測出的缺陷部位的位置數據。
采用該結構，可以容易地目測識別膜主體中的缺陷產生部 位。另外，在之后的工序中，可以適當地使用讀出器讀取每一 個材料巻的檢查數據。因而，在之后的工序中，可以較佳地進 行避免使用缺陷產生部位的處理。
如上所述那樣采用本發(fā)明的層疊膜的缺陷檢查方法及其裝 置，可以高精度地檢查巻成巻的層疊膜中的缺陷，根據通過檢 查獲得的信息，易于在后工序中使用未產生缺陷的部位。


圖l是缺陷檢查裝置的整體側視圖。圖2是表示缺陷檢查裝置的前端側的 一 部分的側視圖。
圖3是表示缺陷檢查裝置的中間部分的側視圖。
圖4是表示缺陷檢查裝置的后端側的 一部分的側視圖。
圖5是表示層疊膜的一部分的立體圖。
圖6是表示檢查過程的流程圖。
附圖標記i兌明
15、潔凈室；f、膜主體；F、層疊膜(檢查前)；F，、層 疊膜(檢查完畢)；p、保護膜；p，、保護膜；s、分離膜；s，、 分離膜。
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的一個實施例。 圖l表示實施本發(fā)明方法的缺陷檢查裝置整體，圖2 圖4 放大表示缺陷檢查裝置的各部分。在該缺陷檢查裝置中，從圖 l中的右側依次以縱列配置有保護膜回收部l、第1檢查部2、層 疊膜供給部3、分離膜回收部4、第2檢查部5、分離膜粘貼部6、 分離膜供給部7、做標記部8、保護膜粘貼部9、數據記錄處理 部10、層疊膜回收部ll、保護膜供給部12、保護膜邊部回收部 13及保護膜用分離膜回收部14,并且，除保護膜回收部l之外 的各部分配置在強制換氣的潔凈室15的內部。
另外，第l檢查部2相當于本發(fā)明的保護膜剝離后的檢查部 件，層疊膜供給部3相當于層疊膜供給部件，第2檢查部5相當 于分離膜剝離后的檢查部件，分離膜粘貼部6相當于分離膜粘 貼部件，分離膜供給部7相當于分離膜供給部件，做標記部8相 當于做標記部件，保護膜粘貼部9相當于保護膜粘貼部件，數 據記錄處理部10相當于數據記錄部件，層疊膜回收部ll相當于 層疊膜回收部件，保護膜供給部12相當于保護膜供給部件。根據圖6所示的流程圖對使用上述缺陷檢查裝置進行的層 疊膜檢查過程進行說明。 層疊膜抽出過程
如圖2所示，在層疊膜供給部3中配備有承受臺21和輸送機 22?？衫幂斔蜋C22將架在架臺23上并輸入的材料巻R移載到 承受臺21上的規(guī)定位置。從承受臺21上的材料巻R抽出層疊膜 F，將其經由規(guī)定的行進路徑導入到第l檢查部2中。如圖5所示， 層疊膜F為3膜結合的層疊構造在由偏振片構成的膜主體f表 面上粘貼有保護膜p，并在膜主體f的里側粘貼面上粘貼有分離 膜s。
保護膜除去過程
返回到圖2 ，以保護膜p朝下的姿態(tài)將層疊膜F導入到第1 檢查部2的下部，借助配置在地板面附近的剝離輥24剝離除去 保護膜p 。將被剝離的保護膜p導入到保護膜回收部1而利用巻 取裝置25將其巻成巻進行回收。另外，將被巻成巻回收的保護 膜p移載到輸出輸送機26而將其輸出。
第l檢查過程
利用CCD照相機28監(jiān)視被剝離除去保護膜p而僅粘貼有分 離膜s的2層構造的層疊膜F ( 1)。在該過程中，檢查膜主體f中 露出的表面的防反射涂覆等表面處理的狀態(tài)、及是否附著有異 物等，將該檢查數據與膜主體f在行進方向上的位置數據一同存 儲。
另外，在第l檢查部2中設有可供作業(yè)人員監(jiān)視膜行進路徑 的作業(yè)空間M,可以根據需要進行目測檢查。 分離膜除去過程
被除去保護膜p而結束在第l檢查部2中的檢查后的層疊膜 F ( 1 )越過層疊膜供給部3及分離膜回收部4的上方而被輸送到圖3所示的第2檢查部5中。在第2檢查部5的上部配備有剝離輥 29,自被導入的層疊膜F ( 1)剝離分離膜s，將剝離的分離膜s 導入到圖2所示的分離膜回收部4中而用巻取裝置30將其巻成 巻進行回收。另外，將被巻成巻回收的分離膜s移載到搬出輸送 機31而將其輸出。 第2檢查過程
在進行剝離的同時，剝離除去分離膜s而表里露出的膜主體 f被沿著縱向路徑c向下方引導。在該路徑c中，透光式(或者反 射式)的監(jiān)視裝置32對縱向姿態(tài)的膜主體f起作用，檢查在膜主 體f中產生的、捻成壓痕狀那樣的特殊形狀缺陷即壓痕、異物附 著等缺陷，該壓痕狀是夾入了使膜表面發(fā)生光學畸變的異物而 形成的。例如，利用透光式的監(jiān)視裝置可檢查異物、線頭、壓 痕缺陷、輝點等缺陷，利用反射式的監(jiān)視裝置可檢查粘著物異
物的附著、因粘著層所含有的氣泡而產生的凹凸等缺陷。將這 些多種檢查數據與膜主體f在行進方向上的位置數據 一 同存儲。 分離膜粘貼過程
將結束在第2檢查部5中的檢查后的膜主體f立即導入到分 離膜粘貼部6中。 一邊將供給來的新的分離膜s，夾持在左右一 對的夾持輥N1和輸送輥之間輸送、 一邊將分離膜s，粘貼在膜 主體f的里側粘貼面上。該分離膜s，可使用從填裝在分離膜供 給部7中的分離膜材料巻SR抽出的材料。另外，將分離膜材料 巻SR移載并輸入到輸入輸送一幾33上。
即，從自膜主體f剝離分離膜s到粘貼新的分離膜s，為止， 粘著面都不會朝上。
做標記過程
使在檢查完畢的膜主體f上僅粘貼分離膜s，而成的2層構造 的層疊膜F ( 2)通過分離膜供給部7的上部而向后方輸送，導入到做標記部8。將導入到做標記部8的層疊膜F ( 2)以垂直姿 態(tài)向下方行進引導，利用做標記裝置34對其進行標記付與處 理。
做標記裝置34例如可使用噴墨式或者繪圖式的裝置，根據 存儲的檢查數據對分離膜s ，的外表面付與表示缺陷部位的標 記。此時，也可以才艮據擊夾陷種類分顏色地啦支標記。
保護膜粘貼過程
如圖3所示，將做標記處理完畢的層疊膜F ( 2)導入到保 護膜粘貼部9中，將自圖4所示的保護膜供給部12供給來的新的 保護膜p，粘貼在層疊膜F(2)的膜主體f的表面上。
在保護膜供給部12中，借助架臺35架設有將帶有分離膜的 保護膜sp巻成巻的保護膜材料巻PR。利用縱切剪機36切斷自保 護膜材料巻PR被抽出的帶有分離膜的保護膜sp的膜兩端邊(以 下簡稱為"邊部")，借助引導輥37翻轉引導帶有分離膜的保護 膜sp的兩端邊部sp，，用保護膜邊部回收部13的巻取裝置38將 其巻成巻進行回收。
如圖4所示，z使切掉兩端邊部sp，而^皮調整成身見定寬度的 帶有分離膜的保護膜sp越過保護膜供給部12、層疊膜回收部ll 及數據記錄處理部10而將其輸送到圖3所示的保護膜粘貼部9 中，借助配備在保護膜粘貼部9上部的剝離輥39翻轉剝離分離 膜st。利用夾持輥N2將剛剛被剝離除去該分離膜st之后的保護 膜p，粘貼在從下方供給來的層疊膜F( 2)的膜主體f的表面上。 另外，如圖4所示，被切掉了兩端邊部sp，的帶有分離膜的保 護膜sp貫穿具有轉印輥組的除塵裝置46，將附著殘留在帶有分 離膜的保護膜sp切斷端的切斷屑轉印除去。
如圖4所示，被剝離的分離膜st通過數據記錄處理部lO、 層疊膜回收部ll、保護膜供給部12、保護膜邊部回收部13的上方而被輸送到保護膜用分離膜回收部14,被巻取裝置40巻成巻 回收。另外，將被巻成巻回收的分離膜st移載到輸出輸送機41 而將其輸出。
數據記錄過程
將在表里新粘貼有保護膜p，和分離膜s，而成為原本的3 層粘貼構造的、檢查完畢的層疊膜F，導入到數據記錄處理部 IO中。將通過上述檢查檢測出的缺陷的產生位置變換為坐標數 據，使其二維編碼化而用記錄裝置42將其記錄在層疊膜F，上。 記錄裝置42例如用于每隔膜行進方向上的規(guī)定間距(例如 500mm)，利用激光燒焊記錄數據(二維編碼)。在層疊膜F， 沿寬度方向被一分為三來使用的情況下，在其寬度方向上的3 處分別記錄分割寬度內的檢查數據。另外，由于隨著激光燒焊 處理而產生塵埃，因此，記錄裝置42具有除塵功能。
在圖4中，將層疊膜F，的表面作為記錄面，成為在位于表 面?zhèn)鹊谋Ｗo膜p'上燒焊記錄有數據的形態(tài)。但根據需要，也 可以通過以圖4中假想線所示的路徑d引導層疊膜F，而形成將 層疊膜F，的里面作為記錄面的形態(tài)。在這種情況下，會在位 于里面?zhèn)鹊姆蛛x膜s'上燒焊記錄數據。
層疊膜回收過程
將檢查及數據記錄處理完畢的層疊膜F，導入到層疊膜回 收部ll中，將其在固定于承受臺43上的架臺44上巻成巻狀進行 回收，將巻成巻的檢查完畢的材料巻R，連同架臺44移載到輸 送機45上而將其輸出到裝置外。該輸送機45配備在層疊膜回收 部11與保護膜供給部12之間，也可用于輸入保護膜材料巻PR。
另外，如圖1所示，收納該裝置的潔凈室15構成為，自配 備在頂棚部的適當部位的送風部送入室內潔凈空氣，并自配備 在地板面附近的適當部位的排風部將其排出，從而對室內進行換氣。特別是在膜主體f表里均露出的第2檢查部5中，通過將以
縱向姿態(tài)行進的膜主體f的表面?zhèn)仍O定為換氣氣流的上風側，即 使異物隨著氣流流動，也可避免其繞到附著在膜主體f的里側粘著面。
在各處理部的適當部位設有如第l檢查部2那樣供作業(yè)人 員出入的作業(yè)空間，可以由人力進行膜填裝操作和各種保養(yǎng)。
如上所述，通過自層疊膜F剝離具有光學特性的保護膜p及 分離膜s，用透射式及反射式的各監(jiān)視裝置檢查缺陷部位，可以 高精度地檢測因雙折射的影響等而無法檢測的異物附著、壓痕 等缺陷。
另外，在自具有粘著層的層疊膜F (1)的里面剝離分離膜 來進行檢查時，在剝離的同時以粘著面不朝上的狀態(tài)、例如縱 向姿態(tài)輸送膜主體f，從而可抑制灰塵附著在膜主體f上。特別 是通過自非粘著面送入潔凈空氣，可以更進一步抑制灰塵等異 物附著。
并且，粘貼于膜主體f的粘著面上的新的分離膜s，直到到 達粘貼部位為止、以其粘貼面朝下的方式#:輸送，因此，可抑 制灰塵附著在該面上。即，可抑制灰塵巻入到膜主體f和分離膜 s，的界面上。
本發(fā)明并不限定于上述實施例，也可以如下地進行變形實施。
(1) 在上述實施例中，對各材料巻R，逐一實施了檢查數 據的記錄處理，但也可以將檢查數據存儲于適當器件，將其傳 送到之后的處理裝置中的控制裝置，根據各材料巻R，的個體 識別讀取其相應的檢查數據來使用。
(2) 記錄裝置42并不限定于激光燒焊式的構造，可以利 用各種印刷方式的構造。(3)在上述實施例中，也可以是自層疊膜F不剝離保護膜 p、而僅剝離分離膜s的構造。因而，在上述實施例裝置的第l 檢查部2中，通過預先設定為將保護膜p巻繞于剝離輥24而不剝 離，可以實現該構造。換言之，對于僅被分離膜s而進行4全查的 膜主體f,在作各種標記之后將其巻成巻狀進行回收。 工業(yè)實用性
如上所述，本發(fā)明適合高精度地檢查層疊膜。
權利要求
1. 一種層疊膜的缺陷檢查方法，該層疊膜的缺陷檢查方法用于對卷成卷的層疊膜的缺陷進行檢查，其特征在于，包括層疊膜抽出過程，自材料卷抽出在膜主體的表面上粘貼有保護膜、在膜主體的里側粘著面上粘貼有分離膜的層疊膜；分離膜剝離過程，在沿著規(guī)定路徑引導被抽出的上述層疊膜，并且直到自層疊膜剝離上述分離膜為止，至少在剝離時刻使分離膜剝離面朝下；檢查過程，在使上述分離膜剝離面朝下地輸送層疊膜的同時檢查是否有缺陷，將該檢查信息存儲在存儲部件中；分離膜粘貼過程，在使檢查完畢的上述膜主體的分離膜的剝離面朝下的狀態(tài)下，將分離膜粘貼在該剝離面上；層疊膜回收過程，將在上述膜主體的里面上粘貼分離膜而形成的檢查完畢的層疊膜卷成卷而形成檢查完畢的材料卷。
2. 根據權利要求l所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征 在于，還包括保護膜剝離過程，自層疊膜剝離上述保護膜；檢查過程，在沿著規(guī)定的膜行進路徑引導被剝離了保護膜的層疊膜的同時、檢查膜主體的表面是否存在缺陷，并將該檢查信息存儲在存儲部件中；保護膜粘貼過程，在檢查完畢的上述膜主體的表面上粘貼保護膜；在層疊膜回收過程中將在上述膜主體的表面上粘貼有保護 膜、在上述膜主體的里面上粘貼有分離膜而形成的檢查完畢的 層疊膜巻成巻而形成檢查完畢的材料巻。
3. 根據權利要求2所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征在于，在自上述膜主體剝離保護膜來進行檢查之后，自膜主體的里面剝離分離膜來進行檢查；在檢查完畢的上述膜主體的表面上粘貼保護膜、在上述膜 主體的里面上粘貼分離膜之后，將層疊膜巻成巻而形成檢查完 畢的材料巻。
4. 根據權利要求2或3所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特 征在于，包括這樣的做標記過程，在經過被剝離了上述保護膜的膜 主體的4全查過程之后，對膜主體的缺陷4企測部位施加標記。
5. 根據權利要求2或3所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特 征在于，包括這樣的數據記錄過程，在上述分離膜粘貼過程及保護 膜粘貼過程中的至少任 一 過程之后，對檢查完畢的層疊膜中的 表面或里面的適當部位附加檢測出的缺陷部位的位置數據。
6. 根據權利要求2 ~ 5中任一項所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征在于，在潔凈室內至少進行上述第2檢查過程。
7. 根據權利要求6所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征 在于，相對于以縱向姿態(tài)行進的上述膜主體，使膜表面?zhèn)葹闅饬?的上風側而對潔凈室進行換氣。
8. —種層疊膜的缺陷檢查裝置，該層疊膜的缺陷檢查裝置 用于對巻成巻的層疊膜的缺陷進行檢查，其特征在于，包括層疊膜供給部件，供給在膜主體的表面上粘貼有保護膜、 在其里側粘著面上粘貼有分離膜的層疊膜；分離膜剝離部件，一邊沿著規(guī)定路徑引導自上述層疊膜供給部件被抽出的層疊膜、 一 邊自層疊膜剝離上述分離膜；檢查部件，至少在上述分離膜的剝離時刻使分離膜剝離面朝下，保持該狀態(tài)來進行輸送的同時檢查是否有缺陷； 存儲部件，存儲上述檢查結果的信息；分離膜供給部件，向膜主體的里面抽出分離膜； 分離膜粘貼部件，在使檢查完畢的上述膜主體的分離膜的剝離面朝下的狀態(tài)下，將被自分離膜供給部件抽出的分離膜粘貼在該剝離面上；層疊膜回收部件，將在上述膜主體的里面粘貼有分離膜而形成的檢查完畢的層疊膜巻成巻。
9. 根據權利要求8所述的層疊膜的缺陷檢查方法，其特征在于，包括保護膜剝離部件，自層疊膜剝離上述保護膜；檢查部件， 一邊沿著規(guī)定的膜行進路徑引導被剝離了保護膜的層疊膜、 一邊檢查膜主體的表面是否存在缺陷； 存儲部件，存儲上述檢查結果的信息； 保護膜供給部件，向膜主體的表面抽出保護膜； 保護膜粘貼部件，將自保護膜供給部件抽出的保護膜粘貼在檢查完畢的上述膜主體的表面上。
10. 根據權利要求9所述的層疊膜的缺陷檢查裝置，其特征在于，包括做標記部件，該做標記部件根據上述保護膜剝離后的 檢查結果，對膜主體的缺陷檢測部位施加標記。
11. 根據權利要求9或10所述的層疊膜的缺陷檢查裝置， 其特征在于，還包括數據記錄部件，在粘貼上述分離膜或者粘貼保護膜 中的至少任 一 個之后，該數據記錄部件對檢查完畢的層疊膜的 表面或里面的適當部位附加所檢測出的缺陷部位的位置數據。
12.根據權利要求9 ~ ll中任一項所述的層疊膜的缺陷檢 查裝置，其特征在于，至少將分離膜剝離后的檢查部件配備在潔凈室中。
全文摘要
本發(fā)明提供層疊膜的缺陷檢查方法及其裝置。該方法包括第1檢查過程，檢查被剝離了保護膜的膜主體的表面是否存在缺陷；分離膜除去過程，自檢查后的層疊膜剝離分離膜；第2檢查過程，一邊沿著朝向縱向的膜行進路徑引導被剝離除去了分離膜的膜主體、一邊檢查縱向姿態(tài)的膜主體是否存在缺陷，并存儲檢測數據；分離膜粘貼過程及保護膜粘貼過程，在檢查完畢的膜主體的里面及表面上分別粘貼有分離膜及保護膜；膜回收過程，將粘貼有保護膜及分離膜的檢查完畢的層疊膜卷成卷。
文檔編號G01N21/892GK101548177SQ20088000084
公開日2009年9月30日 申請日期2008年8月12日 優(yōu)先權日2007年8月23日
發(fā)明者佐藤幸介, 大橋宏道 申請人:日東電工株式會社