技術(shù)編號:9291439
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明涉及光學(xué)元件,并且尤其涉及例如衍射光柵等在位置測量裝置中使用的光 學(xué)元件。背景技術(shù) 如通過圖1示意性地說明,編碼器設(shè)備2可用于確定一設(shè)備的兩個可相對移動的 部分之間的移動,并且通常包括刻度尺4和讀頭6 ( -個提供在該設(shè)備的一個部分上,并且 另一個提供在該設(shè)備的另一個部分上)??潭瘸呖梢园ㄒ幌盗刑卣?、10,讀頭可以讀取 該一系列特征以便量測其沿刻度尺的位置(例如,刻度尺的特征可以提供在緊固到設(shè)備的 一部分的基底上或者甚至可以作為設(shè)備的一部分整體...
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