技術(shù)編號(hào)：5903696
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。原子力聲學(xué)顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率檢測(cè)系統(tǒng)主要用于檢測(cè)原子力顯微鏡懸 臂梁的接觸諧振頻率，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)原子力聲學(xué)顯微鏡的彈性模量成像，屬于無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域。背景技術(shù)原子力聲學(xué)顯微鏡(AFAM)技術(shù)，通過(guò)使原子力顯微鏡的懸臂梁或被測(cè)試件做超 聲振動(dòng)，激勵(lì)懸臂梁的高階振動(dòng)模態(tài)。精確測(cè)定高階諧振頻率的漂移，可很好地反映試件表 面局部機(jī)械性質(zhì)，如接觸剛度、彈性常數(shù)、近表面缺陷等。這種技術(shù)具有很高的橫向分辨率 (可小于lOnm)，既適用于電子封裝焊點(diǎn)的表面及近表面缺陷檢測(cè)，...
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