專利名稱：醫(yī)療用系統(tǒng)及斯制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及醫(yī)療用系統(tǒng)及其制造方法。本發(fā)明尤其涉及由生物分解性材料構成的非侵襲性的藥物配送系統(tǒng)(藥劑輸送系統(tǒng))及其制造方法，該系統(tǒng)放置在血液或體液流動快速的體內部位，可長時間穩(wěn)定地緩釋藥劑。
2)相關技術一般在患者口服藥劑的情況下，所服用的藥劑多在消化系統(tǒng)和肝臟分解，失去其藥效。因此，實際上，預見到多數藥劑成分被分解而要口服比治療需要的量多得多的大量藥劑。但是，藥劑通常有副作用，例如抗癌藥物的副作用對于人體的其他正常部位而言是極其有害的。因此，進行了僅必要劑量的藥劑被配送到必要部位的藥物配送系統(tǒng)的研究。
從前，被視為最有希望的藥物配送系統(tǒng)之一可以列舉出脂質體。其是由雙層磷脂類構成的細小球狀的密封小覆蓋體，可在其內部封入藥劑。脂質體由于補體系統(tǒng)的活化而破壞，所封入的藥劑被釋放到外部。但是，由于該補體系統(tǒng)的活化機制尚未能被完全理解，尚不能將脂質體稱為有效的藥物配送系統(tǒng)。
但是，近年來我國在再生醫(yī)療領域的技術革新不能跟隨在其他國家的后面，而報告有極其優(yōu)秀的研究成果。尤其，再生治療血管、骨和角膜等所需要的再生細胞和再生因子的精制技術已經確立。例如，為再生血管，需要長期間穩(wěn)定地向現(xiàn)有的血管壁局部供給再生細胞和再生因子。同樣，為再生骨頭，必須對要再生的骨折部位等在直到再生為止的長期間內持續(xù)投給藥劑(再生細胞和再生因子)。角膜再生時也需要長時間穩(wěn)定地緩釋再生細胞和再生因子。
這里，作為一個例子，在下面參考圖20和圖21說明關于冠狀動脈梗塞等循環(huán)系統(tǒng)疾病的已有的治療方法。根據迄今為止最一般的治療方法，如圖20(a)到(c)所示，在動脈(blood vessel)BV的梗塞部分(infraction)INF處配置安裝于導管(catheter)CT的前端部的球(balloon)BL，使球膨脹，通過壓寬變窄了的血管壁等的血管周圍組織(perivascular tissue)PV，從而使血液正常循環(huán)。但是，這樣的梗塞部分INF被處置后經過一段時間，血管壁PV再次變窄，即再次發(fā)作的可能性非常高。此外，在用該治療方法難以根治的情況下，要實施旁路形成外科手術。一般這樣的外科手術是侵襲性的，患者的負擔與球導管法相比大得多。
因此，如圖21(a)所示，考慮這樣一種方法通過使用在導管CT的前端部設置的注射針(injection)I，將先前說明的再生血管的再生細胞和再生因子持續(xù)投入到與動脈BV的梗塞部分INF相鄰的血管壁PV，從而形成補充梗塞的動脈的功能的旁路血管BYP。
但是實際上，冠狀動脈BV的血管壁PV難以辨認，通常是與心臟的鼓動對應地動作，因此不可能使用注射針I(yè)在適合于血管壁PV的正確的位置的深度上持續(xù)注入再生細胞和再生因子。若注射針I(yè)對血管壁PV刺入得過深，則有可能貫通心臟而到達心臟內，刺入得過淺，在注入再生細胞和再生因子時，當拔出注射針I(yè)時，由于血液快速流動，注入的藥劑不會留在血管壁PV上而立刻流動起來。即，在應再生部位的附近，在血液流動或循環(huán)快時，再生細胞和再生因子不能留在這些部位，不利于血管再生。
發(fā)明的概要因此本發(fā)明為解決這樣的問題而作出，其目的是提供一種由生物分解性材料構成的非侵襲性的藥物配送系統(tǒng)及其制造方法，該系統(tǒng)放置在血液或體液流動快速的體內部位，可長時間穩(wěn)定地緩釋藥劑。
根據本發(fā)明的第一形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的容置部；從容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。因此，該藥物配送系統(tǒng)具有尖銳的前端部，從而容易插入到組織內，將聚乳酸等的生物分解性材料作為構成材料，具有包含突起部的錨定部，這樣不會對人體產生不良影響，可放置在血液或體液流動快速的體內部位，而且隨著聚乳酸膜的慢慢溶開，儲存在容置部內部的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。從而，替代原來的侵襲性高的外科手術，而能夠提供更安全、患者負擔更少的治療方式。
根據本發(fā)明的第二形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的多個容置部；連接相鄰的容置部的、由生物分解性材料構成的連接部；配置在連接部上、氣密密封容置部的間隙部；從至少一個容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。因此，該藥物配送系統(tǒng)具有尖銳的前端部，從而容易插入到組織內，將聚乳酸等的生物分解性材料作為構成材料，具有包含突起部的錨定部，這樣不會對人體產生不良影響，可放置在血液或體液流動快速的體內部位，而且隨著聚乳酸膜的慢慢溶開，儲存在容置部內部的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。此外，該藥物配送系統(tǒng)具有多個容置部，使得能夠按不同定時供給相同或不同種類的藥劑。
根據本發(fā)明的第三形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。因此，該藥物配送系統(tǒng)容易插入到組織內，不會對人體產生不良影響，可放置在血液或體液流動快速的體內部位，而且儲存在其內部的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。
根據本發(fā)明的第四形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括由浸含有藥劑的生物分解性材料構成的容置部；從容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。因此，該藥物配送系統(tǒng)可每次少量地將聚乳酸等的生物分解性材料中包含的藥劑釋放出來。
根據本發(fā)明的第五形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括由浸含有藥劑的生物分解性材料構成的錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。這樣，該藥物配送系統(tǒng)的錨定部可每次少量地將聚乳酸等的生物分解性材料中包含的藥劑釋放出來。
根據本發(fā)明的第六形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部在縱向方向的一個端部具有實質上尖銳的前端部，在另一個端部固定藥劑，錨定部具有至少一個突起部。這樣，該藥物配送系統(tǒng)可將錨定部的另一個端部上固定的藥劑放置在治療部位。
根據本發(fā)明的第七形式，提供一種藥物配送系統(tǒng)，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部在縱向方向的兩個端部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。因此，該藥物配送系統(tǒng)可在規(guī)定的放藥期間每次少量地將室部內儲存的藥劑釋放出來。
最好錨定部的突起部具有實質上的四棱錐形狀。這種四棱錐形狀的突起部通過例如用氫氧化鈣濕蝕刻硅基板而容易形成。
或者最好是錨定部的突起部在與朝向前端部的縱向方向成鈍角的方向上延伸。這樣的突起部容易通過例如使用六氟化硫反應性離子蝕刻硅基板來形成。
而且，最好是生物分解性材料是由聚乳酸、骨膠、淀粉、蛋白質或麥芽糖構成。
最好是錨定部具有與容置部的室部連通的通道部。
或者最好是該藥物配送系統(tǒng)具有從容置部向不同方向延伸的多個錨定部。
而且，最好是該藥物配送系統(tǒng)具有從容置部向相同方向延伸的多個錨定部。
或者最好是錨定部具有朝向前端部漸細的平面形狀或截面形狀。
根據本發(fā)明的第八形式，提供一種制造方法，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜濕蝕刻第一半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合、使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。由此，使用微型機械技術可極其精致并且廉價地大量生產具有任意希望的尺寸和形狀的藥物配送系統(tǒng)。
根據本發(fā)明的第九形式，提供一種制造方法，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在除了貫通容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域的橋接區(qū)域之外的、這些容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的第一掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的第一掩膜濕蝕刻半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；在由聚乳酸構成的薄膜上形成由規(guī)定的材料構成的薄膜的步驟；在規(guī)定的區(qū)域中蝕刻由規(guī)定的材料構成的薄膜、形成由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻聚乳酸的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻半導體氧化膜的步驟；殘留半導體氧化膜、蝕刻半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻半導體氧化膜的步驟。
根據本發(fā)明的第十形式，提供一種制造方法，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和錨定區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對第一半導體基板進行反應性離子蝕刻的步驟；在被反應性離子蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合，使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。
根據本發(fā)明的第十一形式，提供一種制造方法，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和錨定區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對半導體基板進行反應性離子蝕刻、在容置區(qū)域和錨定區(qū)域形成凹部的步驟；熔融規(guī)定的材料、填充到凹部內并使其硬化、形成由規(guī)定的材料構成的模具的步驟；在模具的周圍形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；形成使模具的一部分露出的開口部的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料的步驟。
根據本發(fā)明的第十二形式，提供一種制造方法，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域的周邊部和錨定區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的第一掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對半導體基板進行反應性離子蝕刻、在容置區(qū)域的周邊部和錨定區(qū)域形成凹部的步驟；熔融聚乳酸、填充到凹部內而形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；在由聚乳酸構成的薄膜上形成由規(guī)定的材料構成的薄膜的步驟；在規(guī)定的區(qū)域中蝕刻由規(guī)定的材料構成的薄膜、形成由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻聚乳酸的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻半導體氧化膜的步驟；殘留半導體氧化膜、蝕刻半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻半導體氧化膜、形成在與容置區(qū)域的周邊部對應的區(qū)域具有開口部的由聚乳酸構成的結構體的步驟；使用由聚乳酸構成的薄膜覆蓋由聚乳酸構成的結構體的開口部的步驟。
根據本發(fā)明的第十三形式，提供一種制造方法，包括形成具有可儲存藥劑的室部的、由聚乳酸構成的容置部的步驟；形成朝向前端部漸細的、具有至少一個突起部的由聚乳酸構成的錨定部的步驟；將錨定部與容置部接合在一起的步驟。
根據本發(fā)明的第十四形式，提供一種制造方法，包括在第一和第二半導體基板上分別形成多個第一和第二基板凹部的步驟；在多個第一和第二基板凹部中填充規(guī)定的材料并使其硬化的步驟；殘留規(guī)定的材料、蝕刻第一和第二半導體基板、形成由規(guī)定的材料構成的第一和第二模具的步驟；在第一模具的模具凹部中填充熔融的聚乳酸的步驟；將第二模具嵌合于填充了聚乳酸的第一模具的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料、形成多個容置部的步驟；將錨定部與至少一個容置部接合在一起的步驟。
根據本發(fā)明的第十五形式，提供一種制造方法，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在規(guī)定的掩膜區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜、濕蝕刻第一半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合，使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。
根據本發(fā)明的第十六形式，提供一種制造方法，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在規(guī)定的掩膜區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜濕蝕刻半導體基板、在規(guī)定的掩膜區(qū)域中形成凹部的步驟；熔融規(guī)定的材料、填充到凹部內并使其硬化、形成由規(guī)定的材料構成的模具的步驟；在模具的周圍形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；形成使模具的一部分露出的開口部的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料的步驟。
最好是規(guī)定的掩膜區(qū)域是利用相對于半導體基板的<100>結晶方向而實質上具有 的角度的邊形成。
或者最好是規(guī)定的材料為鋁。
附圖的簡單說明圖1(a)到(c)是本發(fā)明的第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的立體圖、平面圖和側視圖；圖2(a)和(b)是使用本發(fā)明的第一實施例的藥物配送系統(tǒng)而形成的旁路血管的截面圖；圖3(a)到(h)表示第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，圖3(a)、(d)和(g)是硅基板的平面圖，圖3(b)、(c)、(e)、(f)和(h)是從圖3(a)的IIIB-IIIB線看的截面圖；圖4(a)到(g)表示第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，是從圖3(a)的IIIB-IIIB線看的截面圖；圖5(a)到(e)表示第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法，圖5(a)和(c)是硅基板的平面圖，圖5(b)、(d)和(e)是從圖5(a)的VB-VB線看的截面圖；圖6(a)到(f)表示第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法，圖6(a)是硅基板的平面圖，圖6(b)到(f)是從圖6(a)的VIB-VIB線看的截面圖；圖7(a)到(c)是本發(fā)明的第二實施例的藥物配送系統(tǒng)的立體圖、平面圖和側視圖；圖8(a)到(g)表示第二實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，圖8(a)和(d)是硅基板的平面圖，圖8(b)、(c)、和(e)到(g)是從圖8(a)的VIIIB-VIIIB線看的截面圖；圖9(a)到(g)表示第二實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，是從圖8(a)的VIIIB-VIIIB線看的截面圖；圖10(a)到(e)表示第二實施例的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法，是從圖8(a)的VIIIB-VIIIB線看的截面圖；圖11(a)到(g)表示第三實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，圖11(a)和(d)是硅基板的平面圖，圖11(b)、(c)、和(e)到(g)是從圖11(a)的XIB-XIB線看的截面圖；圖12(a)到(h)表示第三實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，圖12(c)和(g)分別是鋁薄膜圖案和所完成的聚乳酸膜的平面圖，圖11(a)、(b)、(d)到(f)和(g)是從圖11(a)的XIB-XIB線看的截面圖；圖13(a)到(c)是本發(fā)明的第四實施例的藥物配送系統(tǒng)的立體圖、平面圖和側視圖；圖14(a)到(d)表示本發(fā)明的第四實施例的藥物配送系統(tǒng)的變形例；圖15(a)和(b)是本發(fā)明的第五實施例的藥物配送系統(tǒng)的立體圖和從圖15(a)的XVB-XVB線看的截面圖；圖16(a)到(f)表示第五實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，是從圖15(a)的XVB-XVB線看的截面圖；圖17(a)到(c)表示第五實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，是從圖15(a)的XVB-XVB線看的截面圖；圖18(a)到(c)表示本發(fā)明的第六實施例的藥物配送系統(tǒng)的立體圖、平面圖和側視圖，圖18(d)是從圖18(b)的XVIIID-XVIIID線看的截面圖；圖19(a)到(g)表示第六實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法，圖19(b)、(d)、(e)和(g)是從圖19(a)的XIXB-XIXB線看的截面圖；圖20(a)到(c)表示使用球導管擴張梗塞血管部位的已有技術的方法；圖21(a)和(b)表示通過用注射器注入再生細胞和再生因子來擴張梗塞血管部位的另外的已有技術的方法。
較佳實施例的詳細說明下面參考


本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)(藥劑輸送系統(tǒng))的實施例。各實施例的說明中，為容易理解，適當采用表示方向的用語(例如“上方”、“下方”等)，但其是為了說明，這些用語并不限定本發(fā)明。
(根據實施例1的藥物配送系統(tǒng))下面參考圖1和圖2說明本發(fā)明的實施例1的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)1大概包括容置部(容器部)2和從容置部2延伸出的錨定部(止留部)3。容置部2并不限定于此，但往往具有大致長方體的外形形狀，在其內部形成有可儲存再生細胞和再生因子、或者抗癌藥物等的藥劑的室部4。錨定部3在圖1(a)和(b)的箭頭A所示的縱向方向上前端漸細，一個端部緊密固定于容置部2上，而在另一個端部具有實質上很尖銳的前端部6。此外，錨定部3具有圖1(a)到(c)所示的多個(例如4個)突起部7。各突起部7具有棱錐狀四棱錐的局部外形形狀，錨定部3具有將一個邊的長度不同的四棱錐形狀的突起部7組合起來的外形形狀。此外，錨定部3在其內部具有與室部4流體連通的通道部5。
容置部2和錨定部3例如由聚乳酸構成。聚乳酸是具有生物適應性和生物分解性的高分子材料，加水分解時，變?yōu)閷ι矬w無毒的可代謝的乳酸。此外，也可使用除聚乳酸以外的其他任意生物分解性材料(例如骨膠、淀粉、蛋白質、或麥芽糖等)構成容置部2和錨定部3。這樣，以聚乳酸等的生物分解性材料為構成材料的本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)1最好可放置或埋置在體內。還有，聚乳酸在土中通過需氧細菌所具有的酶的作用下分解為二氧化碳和水。這些通過光合成而再返回到乳酸，形成被稱為TCA回路的循環(huán)周期。即，由聚乳酸構成的制品可廢棄在土中，可實現(xiàn)利于環(huán)境的循環(huán)，因此從這個觀點看，在“生態(tài)性”和“循環(huán)性”上是優(yōu)越的。
作為可留置在體內的微型機械制品的構成材料，多使用硅類材料，但近年來，也逐漸應用聚酰亞胺和聚對二甲苯基等的撓性高分子材料。但是，硅類材料(例如Si、SiO2、SiN)相對于生物組織在化學方面是不活潑的，不會自然排泄到體外，例如當存在于血管內時，可能以其為核心形成血栓。當血栓增大時，堵塞血管，導致腦梗塞等的重大疾病。同樣，聚酰亞胺和聚對二甲苯基不具有生物分解性，即，不能自然排泄到體外，因此不能放置在體內。因此，像本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)1那樣，使用具有生物適應性和生物分解性的聚乳酸作為打算留置在體內的微型機械制品的構成材料是極其有用的。此外，聚乳酸的楊式模量(剛性)等的機械特性如表1所示，與上述聚酰亞胺和聚對二甲苯基相比幾乎毫不遜色。如此，具有生物適應性和生物分解性的、具有充足強度的聚乳酸也被稱為“綠色塑料”。
(表1)聚酰亞胺、聚對二甲苯基、聚乳酸的特性比較
如上所述，本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)1具有尖銳的前端部6，因此例如圖2(a)所示，使用具有鑷子狀的夾持設備的導管(未示出)可容易地插入到冠狀動脈的血管梗塞部位INF附近的血管壁PV的組織內。此外，該藥物配送系統(tǒng)1是將聚乳酸等生物分解性材料作為構成材料，因此更好的是可不對人體產生不良影響地放置到血管壁PV的組織內。另外，該藥物配送系統(tǒng)1具有包含突起部7的錨定部3，由此可長時間地留置在血液速度快的血管壁PV中。這樣，當該藥物配送系統(tǒng)1被埋入到血管壁PV的組織內時，構成容置部2或錨定部3的聚乳酸膜慢慢加水分解溶開，其內部儲存的藥劑(例如再生血管的再生細胞和再生因子)可在整個規(guī)定的放藥期間(例如從約1周到2周期間)每次少量地釋放出來。如此，如圖2(b)所示，在規(guī)定的放藥期間中，形成補充所梗塞的動脈的功能的旁路血管BYP。此時，構成容置部2或錨定部3的聚乳酸膜完全加水分解，變?yōu)槿樗?，不會儲存在體內，所以不需要將其撤出來。還有，雖然未圖示出，但例如在錨定部3的前端部6中，通過使構成前端部的聚乳酸膜形成得比其他區(qū)域薄，從而前端部的聚乳酸膜最早溶開而形成開口部，儲存在室部4的藥劑可經通道部5和前端部6緩釋出來。
這樣，根據本發(fā)明，該藥物配送系統(tǒng)1長時間穩(wěn)定地留置在血流速度快的血管壁PV處，將其內部儲存的再生細胞和再生因子慢慢提供給應治療的體內部位，從而不用侵襲性高的外科手術就可容易地形成旁路血管BYP。
(實施例1的藥物配送系統(tǒng)的制造方法)下面參考圖3到圖6說明第一實施例的藥物配送系統(tǒng)1的制造方法。
首先，準備以(100)結晶面為主面的2塊硅基板10、11。然后，如圖3(a)和(b)所示，在一個硅基板10的兩面上形成二氧化硅膜(SiO2)12a、12b后，進行5分鐘的硫酸/過氧化氫/水清洗(H2SO4∶H2O2＝3∶1)以及氫氧化銨/過氧化氫/水清洗(NH4OH∶H2O2∶H2O＝1∶1∶5)。
如圖3(c)所示，涂布光致抗蝕劑14并在90℃下進行10分鐘的烘烤。
接著，如圖3(d)和(e)所示，使用掩膜M1在光致抗蝕劑14上形成圖案。該掩膜M1在圖3(d)的陰影線所示的區(qū)域中不覆蓋光致抗蝕劑14。即，掩膜M1不覆蓋容置區(qū)域16、以及呈直線狀排列而離散地配置的多個圓形區(qū)域18。各圓形區(qū)域18形成為隨著其中心位置遠離容置區(qū)域16，其直徑變小。
如圖3(f)所示，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm，5Pa，100W，1小時)將二氧化硅膜(SiO2)12a反應性離子蝕刻。
接著，剝離光致抗蝕劑14后，以剩余的二氧化硅膜(SiO2)12a為掩膜，使用氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑(條件33重量％，70℃，55分鐘)，濕蝕刻硅基板10。硅一般對于氫氧化鉀(KOH)的蝕刻劑具有面方位依賴性(蝕刻各向異性)，沿著硅結晶的(111)面進行蝕刻，因此如圖3(g)和(h)所示，在離散配置的各圓形區(qū)域18中，形成將棱錐上下翻轉的四棱錐形狀的凹部，這些多個棱錐狀凹部彼此重合，形成錨定凹部22。同樣，在容置區(qū)域16中，形成容置凹部20，其與錨定凹部22連通。
形成容置凹部20與錨定凹部22的硅基板10(下面叫第一硅基板)的表面上如圖4(a)所示，再次形成二氧化硅膜(SiO2)24后，如圖4(b)所示，在其上形成聚乳酸構成的薄膜26。
作為形成聚乳酸的薄膜26的方法，舉出例如溶媒溶解旋涂法和加熱溶化旋涂法。根據溶媒溶解旋涂法，將把固體的聚乳酸溶解到三氯甲烷(CHCl3)等的溶媒中的溶液涂布到硅基板上并旋涂，把溶媒完全蒸發(fā)，形成僅由聚乳酸構成的薄膜。通過反復該一連串的處理，可任意控制薄膜的厚度。另一方面，根據加熱溶化旋涂法，將加熱溶化固體的聚乳酸而得到的液態(tài)的聚乳酸涂布到硅基板上并旋涂后，常溫放置并冷卻，從而形成由聚乳酸構成的薄膜。此外，由聚乳酸構成的薄膜26也可使用本領域技術人員公知的其他的任意方法而形成。
同樣，在該硅基板10的另外一個的未處理的硅基板11(下面叫第二硅基板)的兩面上如圖4(c)所示形成二氧化硅膜(SiO2)13a、13b。
圖4(d)中，第二硅基板11的一個表面上同樣形成由聚乳酸構成的薄膜28。
接著如圖4(e)所示，在第一硅基板10上貼附第二硅基板11，使得形成了由聚乳酸構成的薄膜26、28的第一和第二硅基板10、11的表面相互相對。此時，通過加熱到聚乳酸的熔點附近，第一和第二硅基板10、11上的聚乳酸薄膜26、28可相互緊緊地接合在一起。這樣，在聚乳酸薄膜26、28之間形成與容置部2的室部4和錨定部3的通道部5相當的空間。
接著，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)將二氧化硅膜(SiO2)12b、13b反應性離子蝕刻。并且如圖4(f)所示，通過使用氫氧化四甲銨(TMAH)進行濕蝕刻、或使用六氟化硫(SF6)進行反應性離子蝕刻，從而留下二氧化硅膜(SiO2)，去除硅。
最后如圖4(g)所示，例如使用氟酸(HF)進行濕蝕刻或使用三氟甲烷(CHF3)氣體進行反應性離子蝕刻，去除二氧化硅膜(SiO2)13b、24，僅留下聚乳酸，得到第一實施例的藥物配送系統(tǒng)1。
使用適當的方法向這樣形成的藥物配送系統(tǒng)1的室部4內注入藥劑。例如，使用會聚離子束(FIB)裝置等在容置部2或錨定部3的任意位置形成貫通至室部4或通道部5的貫通孔(未示出)，經其注入藥劑，注入完成后，加熱熔融貫通孔的周圍的聚乳酸膜，阻塞住貫通孔。
如以上說明，本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)1可立足于應用了半導體集成電路設備的微細加工技術的微型機械技術來制造。根據目前可利用的微細加工技術，可實現(xiàn)有關亞微米級的結構體的納米單位的加工精度。即，使用微型機械技術可極其精致并且廉價地大量生產具有任意希望尺寸和形狀的藥物配送系統(tǒng)。
(變形例1根據實施例1的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法)這里，在下面參考圖5和圖6說明第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法(變形例1)。
該擇一的制造方法中，準備以(100)結晶面為主面的1塊硅基板30。雖然由于與上述實施例1的藥物配送系統(tǒng)的制造方法同樣而未圖示出，但在該硅基板30的兩面上形成二氧化硅膜(SiO2)32a、32b后，進行5分鐘的硫酸/過氧化氫/水清洗(H2SO4∶H2O2＝3∶1)以及氫氧化銨/過氧化氫/水清洗(NH4OH∶H2O2∶H2O＝1∶1∶5)，涂布光致抗蝕劑34并在90℃下進行10分鐘的烘烤。
接著，使用如圖5(a)所示的掩膜M2將光致抗蝕劑34形成圖案。該掩膜M2在圖5(a)的陰影線所示的區(qū)域中不覆蓋光致抗蝕劑。即，掩膜M2不覆蓋容置區(qū)域36、和呈直線狀排列而離散地配置的多個圓形區(qū)域38。其中，掩膜M2覆蓋貫通容置區(qū)域36和各圓形區(qū)域38的橋接區(qū)域37。各圓形區(qū)域38形成為隨著其中心位置遠離容置區(qū)域36，其直徑變小。
接著，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)32a，如圖5(b)所示，剝離光致抗蝕劑34后，以剩余的二氧化硅膜(SiO2)32a為掩膜，使用氫氧化鉀(KOH)作為蝕刻劑(條件33重量％、70℃、55分鐘)濕蝕刻硅基板10。如前面說明的那樣，硅一般對于氫氧化鉀(KOH)的蝕刻劑具有面方位依賴性(蝕刻各向異性)，因此，在離散配置的各圓形區(qū)域38中，如圖5(c)和(d)所示，形成將棱錐上下翻轉的四棱錐形狀的凹部，這些多個棱錐狀凹部彼此重疊，形成錨定凹部42。同樣，在容置區(qū)域36中，形成容置凹部40，其與錨定凹部42連通。在橋接區(qū)域37中，依然留下二氧化硅膜(SiO2)，其在后面構成室部4和通道部5。
這里，如圖5(e)所示，在形成容置凹部40與錨定凹部42的硅基板30的表面上再次形成二氧化硅膜(SiO2)44后，使加熱熔融的聚乳酸流到硅基板30(包含容置凹部40與錨定凹部42)上，形成聚乳酸薄膜46。
接著，雖未示出，但在該聚乳酸薄膜46上金屬蒸鍍鋁(Al)來形成鋁薄膜后，形成光致抗蝕劑膜。然后，使用圖6(a)所示的掩膜M3將光致抗蝕劑形成圖案。該掩膜M3覆蓋包含橋接區(qū)域37的容置凹部40與錨定凹部42的上方。接著使用掩膜M3，通過由磷酸(H3PO4)或混酸進行蝕刻，從而得到形成圖6(b)所示的圖案的鋁薄膜48。
去除光致抗蝕劑膜后，在圖6(c)中，以該鋁薄膜48為掩膜，通過例如氧氣(O2)進行等離子體蝕刻，留下鋁(Al)，去除聚乳酸(拋光)。此外，使用例如三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)44。
接著圖6(d)中，使用溶解硅(Si)、不溶解二氧化硅膜(SiO2)的蝕刻劑蝕刻硅基板30。例如，使用氫氧化四甲銨(TMAH)進行濕蝕刻或使用六氟化硫(SF6)進行反應性離子蝕刻。
圖6(e)中，使用溶解鋁、不溶解聚乳酸和二氧化硅膜(SiO2)的磷酸(H3PO4)或混酸蝕刻鋁薄膜48。
最后浸漬在溶解二氧化硅膜(SiO2)、不溶解聚乳酸的氟酸(HF)等的蝕刻劑液體中，完全去除位于聚乳酸下方的二氧化硅膜(SiO2)44和在橋接區(qū)域37中剩余的二氧化硅膜(SiO2)，而得到僅由聚乳酸構成的藥物配送系統(tǒng)1。
這樣形成的藥物配送系統(tǒng)1在與圖5(c)所示的橋接區(qū)域37的兩個端部對應的位置處具有開口部(未圖示出)。經該開口部注入藥劑，注入完成后，加熱構成容置部2或錨定部3的聚乳酸膜，阻塞住貫通孔。
(根據實施例2的藥物配送系統(tǒng))下面參考圖7說明本發(fā)明的第二實施例的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)51與第一實施例的藥物配送系統(tǒng)1同樣，大概包括容置部(容器部)52和從容置部52延伸的錨定部(止留部)53。容置部52并不限定于此，但往往具有大致長方體的外形形狀，在其內部形成可儲存再生細胞和再生因子、或者抗癌藥物等的藥劑的室部54。錨定部53在圖7(a)和(b)的箭頭B所示的縱向方向上漸細，一個端部緊密固定于容置部52而另一個端部具有實質上很尖銳的前端部56。此外，錨定部3具有圖7(a)和(b)所示的多個(例如4個)突起部57。各突起部57具有三角柱的一部分的外形形狀，該三角柱的側面的至少一個、最好是2個在與朝向前端部56的縱向方向(箭頭B的方向)成鈍角(θ)的方向上延伸。此外，錨定部53在其內部具有與室部54流體連通的通道部55。
該藥物配送系統(tǒng)51的容置部52和錨定部53與第一實施例同樣，由聚乳酸等的生物分解性材料構成，具有尖銳的前端部56。因此，該藥物配送系統(tǒng)51可不對人體產生不良影響地埋置到體內的任意部位(治療部位)。此外，錨定部53具有在與埋置該藥物配送系統(tǒng)51的方向(圖7(a)和(b)的箭頭B的方向)成鈍角(θ)的方向上延伸的突起部57，因此當埋置到治療部位時，突起部57與周圍的組織配合在一起，即使在血液等的體液流速快的治療部位也可長時間地將其停留住，使得藥物配送系統(tǒng)51不會從治療部位脫離開。構成這樣埋置的藥物配送系統(tǒng)51的容置部52或錨定部53的一部分的聚乳酸膜慢慢加水分解溶開，容置部52的內部所儲存的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。還有，雖然未圖示，但例如通過使突起部57的側面的聚乳酸膜形成得比其他區(qū)域薄，突起部57的側面的聚乳酸膜最早溶開，形成開口部，儲存在室部54的藥劑可經通道部55和突起部57的側面緩釋出來。因此使用該藥物配送系統(tǒng)51，與第一實施例同樣，如圖2(b)所示，可形成補充梗塞的動脈的功能的旁路血管BYP。
(實施例2的藥物配送系統(tǒng)的制造方法)接著，下面參考圖8到圖9說明第二實施例的藥物配送系統(tǒng)51的制造方法。
首先，準備2塊硅基板60、61。然后，如圖8(a)和(b)所示，在一個硅基板60的兩面上形成二氧化硅膜(SiO2)62a、62b后，進行5分鐘的硫酸/過氧化氫/水清洗(H2SO4∶H2O2＝3∶1)以及氫氧化銨/過氧化氫/水清洗(NH4OH∶H2O2∶H2O＝1∶1∶5)。
如圖8(c)所示，涂布光致抗蝕劑64并在90℃下進行10分鐘的烘烤。
接著，如圖8(d)和(e)所示，使用掩膜M4將光致抗蝕劑64形成圖案。該掩膜M4在圖8(d)的陰影線所示的區(qū)域中不覆蓋光致抗蝕劑64。即，掩膜M4不覆蓋具有大致矩形平面形狀的容置區(qū)域66和重合了2組箭錨那樣的錨定區(qū)域68。
如圖8(f)所示，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)62a。
如圖8(g)所示，剝離光致抗蝕劑64后，以剩余的二氧化硅膜(SiO2)62a為掩膜，使用六氟化硫(SF6)氣體(條件50sccm、20Pa、100W、45分鐘)進行反應性離子蝕刻。這樣，在容置區(qū)域66和錨定區(qū)域68中，形成具有規(guī)定的深度的、相互連通的凹部70。
在這樣形成凹部70的硅基板60(下面叫做第一硅基板)的表面上，如圖9(a)所示，再次形成二氧化硅膜(SiO2)72。之后，使用上述的溶媒溶解旋涂法或加熱溶化旋涂法，如圖9(b)所示，在第一硅基板60上形成由聚乳酸構成的薄膜74。
同樣，在第一硅基板60的另外一個未處理的硅基板61(下面叫做第二硅基板)的兩面上，如圖9(c)所示，形成二氧化硅膜(SiO2)63a、63b。
圖9(d)中，第二軌基板61的一個表面上同樣形成由聚乳酸構成的薄膜76。
接著如圖9(e)所示，在第一硅基板60上貼附第二硅基板61，使得形成了由聚乳酸構成的薄膜74、76的第一和第二硅基板60、61的表面相互相對。此時，通過加熱到聚乳酸的熔點附近，第一和第二硅基板60、61上的聚乳酸薄膜74、76可相互緊緊地粘結在一起。
圖9(f)中，使用三氟甲烷(CHE3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)62b、63b。之后，對第一和第二硅基板60、61，例如通過使用氫氧化四甲銨(TMAH)進行濕蝕刻或使用六氟化硫(SF6)進行反應性離子蝕刻，留下二氧化硅膜(SiO2)63a、72，去除硅基板60、61。
最后如圖9(g)所示，使用具有耐聚乳酸性的、去除二氧化硅膜(SiO2)的蝕刻劑進行蝕刻。例如，使用氟酸(HF)進行濕蝕刻或使用三氟甲烷(CHF3)進行干蝕刻。這樣，實現(xiàn)第二實施例的藥物配送系統(tǒng)51。
同樣，該藥物配送系統(tǒng)中，可使用適當的任意方法注入藥劑。例如，使用會聚離子束(FIB)裝置等在容置部52或錨定部53的任意位置形成貫通到室部54或通道部55的貫通孔(未圖示出)，經其注入藥劑，注入完成后，加熱構成容置部52或錨定部53的聚乳酸膜，阻塞住開口部。
(變形例2實施例2的藥物配送系統(tǒng)的擇一的制造方法)這里，在下面參考圖10說明第二實施例的藥物配送系統(tǒng)51的擇一的制造方法(變形例2)。
該擇一的制造方法中，準備1塊硅基板。并且，對該硅基板60參考圖8(a)到(g)同樣進行在前面說明的處理。
接著如圖10(a)所示，向掩膜M4的容置區(qū)域66和錨定區(qū)域68中具有規(guī)定的深度的凹部70中流入熔融的鋁(Al)。
這里，通過蝕刻硅，如圖10(b)和(c)所示，可得到具有與第二實施例的藥物配送系統(tǒng)同樣的外形形狀的、由鋁(Al)構成的微小模具78。
隨后如圖10(d)所示，將該微小模具78浸漬到熔融的聚乳酸中，取出并在常溫下放置，在其整個周圍形成聚乳酸膜80。
同樣，例如使用會聚離子束(FIB)裝置等，在容置部52或錨定部53的任意位置形成貫通孔82，露出由鋁(Al)構成的微小模具78的一部分。然后，將覆蓋有聚乳酸膜80的微小模具78浸漬到蝕刻鋁(Al)但不溶解聚乳酸的蝕刻劑、例如磷酸(H3PO4)水溶液中，形成具有圖10(e)所示那樣的開口部82的藥物配送系統(tǒng)51。最后，經該開口部81注入藥劑，注入完成后，加熱壓合開口部82，使其閉合。
(實施例3的藥物配送系統(tǒng))接著，下面說明本發(fā)明的第三實施例的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)51除在錨定部53內部不形成與容置部52的室部54流體連通的通道部55外，具有與實施例2的藥物配送系統(tǒng)51相同的結構，因此省略重復的說明。
這樣構成的藥物配送系統(tǒng)51中，容置部52的室部54可儲存再生細胞和再生因子、或抗癌藥物等的藥劑，錨定部53的突起部57一旦埋入到治療部位，就與周圍組織配合在一起，即便在血液等的體液流速快的治療部位也可長時間地將其停留住，使得藥物配送系統(tǒng)51不會從治療部位脫離開。并且構成所埋置的藥物配送系統(tǒng)51的容置部52或錨定部53的一部分的聚乳酸膜慢慢加水分解而溶開時，其內部所儲存的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。
(實施例3的藥物配送系統(tǒng)的制造方法)下面接著參考圖11和圖12說明第三實施例的藥物配送系統(tǒng)51的制造方法。
首先，準備1塊硅基板80。然后如圖11(a)和(b)所示，在硅基板80的兩面上形成二氧化硅膜(SiO2)82a、82b后，進行5分鐘的硫酸/過氧化氫/水清洗(H2SO4∶H2O2＝3∶1) 以及氫氧化銨/過氧化氫/水清洗(NH4OH∶H2O2∶H2O＝1∶1∶5)。
如圖11(c)所示，涂布光致抗蝕劑84并在90℃下進行10分鐘的烘烤。
接著，如圖11(d)和(e)所示，使用掩膜M5在光致抗蝕劑84上形成圖案。該掩膜M5在圖11(d)的陰影線所示的區(qū)域中不覆蓋光致抗蝕劑84。即，掩膜M5不覆蓋具有大致矩形平面形狀的容置區(qū)域86的周邊部87和重合了2組箭錨那樣的錨定區(qū)域88。其中，掩膜M5覆蓋容置區(qū)域86的中央部89。
如圖11(f)所示，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)82a。
剝離光致抗蝕劑84后，以剩余的二氧化硅膜(SiO2)82a為掩膜，通過使用六氟化硫(SF6)氣體(條件50sccm、20Pa、100W、45分鐘)進行反應性離子蝕刻，如圖11(g)所示，在容置區(qū)域86的周邊部87和錨定區(qū)域88中，形成具有規(guī)定深度的、相互連通的凹部90。
如圖12(a)所示，這樣形成凹部90的硅基板80的表面上再次形成二氧化硅膜(SiO2)92。之后，如圖12(b)所示，將加熱熔融的聚乳酸流入到容置區(qū)域86的周邊部87和錨定區(qū)域88中形成的凹部90，形成由聚乳酸構成的薄膜94。
接著，雖未圖示出，但在該聚乳酸薄膜94上金屬蒸鍍鋁(Al)來形成鋁薄膜后，在其上再形成光致抗蝕劑膜。然后，使用圖12(c)所示的掩膜M6在鋁薄膜上形成圖案。如圖12(c)所示，該掩膜M6覆蓋容置區(qū)域86和錨定區(qū)域88的上方。接著如圖12(d)所示，通過使用磷酸(H3PO4)或混酸蝕刻鋁薄膜，從而得到形成了圖12(d)所示的圖案的鋁薄膜96。
如圖12(e)所示，以該鋁薄膜96為掩膜，通過例如氧氣(O2)進行等離子體蝕刻，不溶解鋁(Al)，去除聚乳酸(拋光)。此外，使用例如三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)82b、94。
接著如圖12(f)所示，使用溶解硅(Si)、不溶解二氧化硅膜(SiO2)的蝕刻劑蝕刻硅基板80。例如，使用氫氧化四甲銨(TMAH)進行濕蝕刻或使用六氟化硫(SF6)進行反應性離子蝕刻。
然后如圖12(g)和(h)所示，使用溶解鋁(Al)、不溶解聚乳酸和二氧化硅膜(SiO2)的磷酸(H3PO4)或混酸蝕刻鋁薄膜96，最后使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)12a，去除位于聚乳酸下側的二氧化硅膜(SiO2)，得到圖12(h)所示的僅由聚乳酸構成的結構體。圖12(h)是將圖12(f)上下翻轉而示出的結構。
這樣形成的圖12(h)所示的僅由聚乳酸構成的結構體99在與容置部52相當的部分中具有上面整個打開的開口部98，可從該開口部98注入藥劑。注入完成后，使用另外的未圖示出的由聚乳酸構成的薄膜覆蓋開口部98，對其加熱并進行相互壓合，從而形成藥劑密封在室部54中的藥物配送系統(tǒng)51。
使用該制造方法制造的第三實施例的錨定部53沒有實施例2那樣的通道部55，用聚乳酸填充，也就是說，構成實心(solid)型的錨定部53，但通過設計同樣覆蓋錨定區(qū)域88的中央部的掩膜M5，也可同樣制造出實施例2那樣的中空(hollow)型的錨定部53。
此外，容置部52也可與錨定部53同樣，不具有室部54，構成用聚乳酸填充的實心型的容置部52。但是，此時，構成這些容置部52和錨定部53的聚乳酸材料中，需要事先包含藥劑。使用這樣浸漬藥劑的聚乳酸材料制造的藥物配送系統(tǒng)51留置在體內時，隨著聚乳酸材料加水分解而慢慢溶開，其中浸漬的藥劑被緩釋出來，可期待與上述實施例同樣的效果。
(實施例4的藥物配送系統(tǒng))接著，下面參考圖13和圖14說明本發(fā)明的第四實施例的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)51除不具有容置部外，具有與實施例2的藥物配送系統(tǒng)51相同的結構，因此省略重復的說明。
該藥物配送系統(tǒng)51中，可儲存再生細胞和再生因子、或抗癌藥物等的藥劑的室部54配置在錨定部53內部。圖13(a)到(c)中，示出具有6個突起部57的藥物配送系統(tǒng)51，但突起部57的數量可更多或更少。正如本領域技術人員容易理解的那樣，該實施例的藥物配送系統(tǒng)可與第二實施例同樣地制造。
此外，該實施例的藥物配送系統(tǒng)51可構成與第二實施例同樣的中空型的錨定部53，但也可形成與第三實施例同樣的實心型的錨定部53。此時，與第三實施例同樣，使用浸漬藥劑的聚乳酸材料制造實心型的錨定部53。
僅由以上說明的第四實施例的中空型和實心型的錨定部53構成的藥物配送系統(tǒng)可任意應用。例如圖14(a)所示，也可在錨定部53的與前端部56相反側的端部直接固定固態(tài)的片劑狀的藥劑58。
可擇一地使用本領域技術人員容易理解的方法分別形成具有室部的由聚乳酸構成的容置部(未圖示出)，例如通過加熱該實施例的錨定部53并將其壓接于容置部，可形成藥物配送系統(tǒng)?；蛘?，由聚乳酸構成的錨定部和容置部可使用其他適當的生物分解性材料(例如骨膠、淀粉、蛋白質或麥芽糖等)容易地結合。
此外，也可將多個錨定部結合于一個容置部，使得如圖14(b)所示在1個方向上、或如圖14(c)所示在多個方向上延伸。
此外，如圖14(d)所示，也可組合2個該實施例的錨定部。此時在其縱向方向的兩個端部形成尖銳的前端部。
(實施例5的藥物配送系統(tǒng))下面參考圖15說明本發(fā)明的第五實施例的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)101大致具有多個(9個中圖示出5個)容置部(容器部)102、連接相鄰的容置部102的連接部(連結部)103、配置在連接部103上、用于氣密密封容置部102的間隙部104、從各容置部102延伸的多個錨定部(止留部)105。各容置部102與第一實施例同樣具有大致長方體的外形形狀，其內部形成有可儲存藥劑的室部106。各錨定部105在圖15(a)和(b)的箭頭C所示的縱向方向上漸細，一個端部緊密固定于容置部102，而另一個端部具有實質上尖銳的前端部107。此外，錨定部105具有圖15(a)和(b)所示的多個(例如4個)突起部108。各突起部108具有與第二和第三實施例說明的突起部相同的外形形狀，也可是實心型或中空型中的任意一種。
該藥物配送系統(tǒng)101的全部構成部件與第一到第四實施例同樣，由聚乳酸等的生物分解性材料構成，各錨定部具有尖銳的前端部107。因此，該藥物配送系統(tǒng)101可不對人體產生不良影響地埋入到體內任意的部位(治療部位)。此外，錨定部105具有突起部108，所以一旦埋入到治療部位，突起部108配合于周圍組織，即使在血液等的體液流速快的治療部位也可長時間地將其停留住，使得藥物配送系統(tǒng)101不會從治療部位脫離開。構成這樣埋置的藥物配送系統(tǒng)101的容置部102或錨定部105的一部分的聚乳酸膜慢慢加水分解溶開，其內部所儲存的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。
還有，雖然未圖示出，但調整構成各容置部102的側壁的聚乳酸膜的厚度，可控制內部所儲存的藥劑被釋放出來為止的時間。即，可按不同定時供給不同種類的藥劑。例如，側壁薄的容置部102(藥劑早期釋放的容置部102)的室部106內容納誘發(fā)血管再生的再生細胞，另外的側壁厚的容置部102(藥劑較遲釋放的容置部102)的室部106內容納使血管細胞增殖的再生因子。這樣，對于治療部位由再生細胞誘發(fā)血管再生，經過適當時間后，在提供再生因子，從而可在控制再生細胞的同時，有效再生血管?；蛘?，也可以構成多個容置部102，使得按不同定時釋放出相同種類的藥劑。
(實施例5的藥物配送系統(tǒng)的制造方法)接著，下面參考圖16和圖17說明第五實施例的藥物配送系統(tǒng)101的制造方法。
首先，準備2塊硅基板110、120。然后，使用至此說明的微細光刻技術分別在硅基板110、120上形成圖16(a)和(b)所示的凹部112、122。
接著，如圖16(c)和(d)所示，將溶解的鋁(Al)流入到這些凹部112、122中。
如圖16(e)和(f)所示，使用氫氧化四甲銨(TMAH)進行濕蝕刻或使用六氟化硫(SF6)進行反應性離子蝕刻，去除硅(Si)，得到鋁鑄模114、124。圖16(f)將圖16(d)所示的鋁鑄模124上下翻轉來圖示。
這里，如圖17(a)所示，加熱熔融的聚乳酸130流入到一個鋁鑄模124的凹部中，接著如圖17(b)所示，將另一個鋁鑄模114插入到該鋁鑄模124中。然后，將其常溫放置并冷卻，使聚乳酸130硬化。
接著，如圖17(c)所示，使用磷酸(H3PO4)或混酸蝕刻鋁鑄模114、124，形成由聚乳酸構成的多個容置部102和連接相鄰的容置部102的連接部103。
然后，使用任意適當的生物分解性材料(例如骨膠、淀粉、蛋白質或麥芽糖等)將另外準備的第三實施例的錨定部105結合在至少1個的、更好是全部的容置部102的底部上。
最后，經各容置部102的上方開口部132注入適當的藥劑后，把另外準備的聚乳酸構成的薄膜結合在連接部103上，將藥劑氣密密封在各容置部102的室部106中。
(實施例6的藥物配送系統(tǒng))下面參考圖18說明本發(fā)明的第六實施例的藥物配送系統(tǒng)。該藥物配送系統(tǒng)201大概組合多個(例如2個)錨定部210、220而構成。各錨定部210、220具有船頭狀的外形形狀，其內部分別形成可儲存再生細胞和再生因子、或抗癌藥物等的藥劑的室部212、222。各室部212、222如圖18(b)所示，相互連通，但也可彼此分離。各室部212、222分離構成的情況下，可將不同的藥劑儲藏在各室部212、222中。
此外，各錨定部210、220作為內部具有室部的結構(中空型)進行了說明，但可形成為完全填充聚乳酸的實心型結構。此時，如作為第四實施例參考圖14(a)說明的那樣，錨定部220的與前端部226相反側的端部中，也可直接安裝固態(tài)的片劑狀藥劑(未圖示出)，如圖14(b)和(c)所示，可使用適當的粘結方法(例如使用骨膠等的糊或局部照射紅外線、氙燈光，僅加熱該部分來熔融粘結等)粘結另外制作的由聚乳酸構成的容置部。
此外，各錨定部210、220具有一對翼狀的突起部214a、214b、224a、224b。圖18(b)所示的藥物配送系統(tǒng)201的平面形狀中被設計成形成各錨定部210、220和各突起部214a、214b、224a、224b的所有邊相對于箭頭D所示的縱向方向具有約35.3°(φ=π/2-arctan(2))]]>的角度。同樣，圖18(d)所示的截面形狀中，形成各錨定部210、220和各突起部214a、214b、224a、224b的所有邊(除上面225)也與縱向方向成約35.3°(φ=π/2-arctan(2))]]>的角度。這樣，各突起部214、224相對于箭頭D所示的縱向方向向后延伸，各錨定部210、220不僅在平面方向、在截面方向上也具有漸細的實質上尖銳的前端部226。
該藥物配送系統(tǒng)201作為組合2個錨定部210、220的結構進行了說明，但也可設計成由1個錨定部或3個以上的錨定部構成的形式。
該藥物配送系統(tǒng)201的錨定部210、220與第一實施例同樣，由聚乳酸等的生物分解性材料構成，而且具有非常尖銳的前端部226。因此，該藥物配送系統(tǒng)201能夠容易地埋入到體內的任意部位(治療部位)，即便原樣留置在體內也不會對人體產生不良影響。此外，錨定部210、220具有在與埋置該藥物配送系統(tǒng)201的方向(圖18(a)到(d)的箭頭D的方向)成鈍角(π-φ)的方向上延伸的突起部214、224，因此一旦被埋置到治療部位，突起部214、224與周圍組織配合，在血液等的體液流速快的治療部位也可長時間地將其停留住，使得藥物配送系統(tǒng)201不會從治療部位脫離開。構成這樣埋置的藥物配送系統(tǒng)201的錨定部210、220的一部分的聚乳酸膜慢慢加水分解溶開，容置部212、222內部所儲存的藥劑可在規(guī)定的放藥期間每次少量地釋放出來。因此，使用該藥物配送系統(tǒng)201與第一實施例同樣，如圖2(b)所示，可形成補充梗塞的動脈的功能的旁路血管BYP。
(實施例6的藥物配送系統(tǒng)的制造方法)在此，下面參考圖19說明第六實施例的藥物配送系統(tǒng)201的制造方法。
首先，與第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法不同，準備并非以(100)結晶面而是以(110)結晶面為主面的硅基板230。然后，如圖19(a)和(b)所示，在硅基板230的兩面上形成二氧化硅膜(SiO2)232a、232b后，進行5分鐘的硫酸/過氧化氫/水清洗(H2SO4∶H2O2＝3∶1)以及氫氧化銨/過氧化氫/水清洗(NH4OH∶H2O2∶H2O＝1∶1∶5)。
之后，涂布光致抗蝕劑并在90℃下進行10分鐘的烘烤，使用圖19(c)和(d)所示的掩膜M7在光致抗蝕劑324上形成圖案。該掩膜M7在圖19(c)的陰影線所示的區(qū)域中不覆蓋光致抗蝕劑234。即，掩膜M7不覆蓋室部區(qū)域236、翼區(qū)域238。構成掩膜M7的所有邊被設計成相對硅基板的<100>結晶方向D’成為約35.5°(φ=π/2-arctan(2))]]>的角度。
如圖19(e)所示，使用三氟甲烷(CHF3)氣體(條件5sccm、5Pa、100W、1小時)反應性離子蝕刻二氧化硅膜(SiO2)212a。
接著，剝離光致抗蝕劑234后，以剩余的二氧化硅膜(SiO2)232a為掩膜，使用氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑(條件33重量％、70℃、55分鐘)濕蝕刻硅基板230。如前面說明的那樣，硅對于氫氧化鉀(KOH)的蝕刻劑具有面方位依賴性(蝕刻各向異性)，沿著硅結晶的(111)面進行蝕刻。因此如圖19(f)和(g)所示，在掩膜M7的下方沿著相對于作為硅結晶的(111)面的硅基板垂直、并且相對于<100>結晶方向成約35.3°(φ=π/2-arctan(2))]]>的角度的側面240和同樣相對于<100>結晶方向成約35.5°(φ=π/2-arctan(2))]]>的角度的底面242進行蝕刻。這樣，在室部區(qū)域236中形成圖19(g)的實線所示的室部凹部244、在翼區(qū)域238中形成圖19(g)的虛線所示的翼形凹部246。組合室部凹部244和翼形凹部246而稱其為錨定凹部250。
使用這樣形成錨定凹部250的硅基板230，與第一實施例的藥物配送系統(tǒng)的制造方法同樣(參考圖4)貼合層疊了二氧化硅膜(SiO2)和聚乳酸薄膜的另外的硅基板，使用規(guī)定的蝕刻劑順序進行蝕刻，從而最終可實現(xiàn)由聚乳酸薄膜構成的藥物配送系統(tǒng)201。此時，通過調整聚乳酸薄膜可使各室部212、222相互連通或分離。
可擇一地、如本領域技術人員容易理解的那樣使用形成錨定凹部250的硅基板230，與第二實施例的變形例2的藥物配送系統(tǒng)的制造方法同樣(參考圖10)進行，可得到藥物配送系統(tǒng)201。
這樣形成的藥物配送系統(tǒng)201與上述實施例的藥物配送系統(tǒng)同樣，可安全地長時間留置在體內，緩釋藥劑。
以上說明中，使用本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)來治療循環(huán)器官系統(tǒng)疾病(形成旁路血管)，但也可用于治療其他疾病。下面說明本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)的其他幾個適用例子。
1)角膜的再生當由于以白內障、綠內障為首的眼病、事故等引起角膜損傷時，需要再生角膜進行治療。為有效再生角膜，需要將形成角膜的再生細胞和再生因子持續(xù)穩(wěn)定地供給到損傷的角膜部位。可考慮將再生細胞和再生因子作為滴眼藥進行供給，但眼中時常有新的淚液循環(huán)，作為滴眼藥供給的再生細胞和再生因子幾乎不會停留在損傷部位而流失掉了。因此，可直接將本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)埋置在具有約1mm厚的角膜組織中，從而持續(xù)穩(wěn)定地向損傷的角膜部位供給再生細胞和再生因子。
2)帕金森氏病等的腦疾病的治療帕金森氏病是由于中腦黑質的多巴胺動作性神經細胞的變性脫落使得紋狀體的多巴胺不足而引發(fā)的。目前一般內科的治療方法是消除多巴胺不足，例如組合進入紋狀體內變?yōu)槎喟桶返腖多巴制劑、替代多巴胺的多巴胺興奮劑、改善多巴胺和乙酰膽堿的平衡的抗膽堿藥等的藥劑進行口服。但是，這種藥劑經口服用，在體內被稀釋，因此需要人體攝入比用于消除紋狀體的多巴胺不足所需量大得多的藥量。這樣，例如L-多巴制劑產生不能隨意運動這樣的副作用。因此，用導管將本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)留置在治療部位，通過穩(wěn)定緩釋這些藥劑，從而可長時間穩(wěn)定地向需要藥劑的治療部位供給必要量的藥劑。
3)骨質疏松癥等的骨病的再生治療對于骨質疏松等、骨折等的骨疾病，直接向患處投放骨增殖因子是最有效的治療方法。因此，同樣將本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)留置在治療部位可穩(wěn)定供給骨增殖因子。
4)整形外科用、美容外科用的骨增殖由于事故等使得頭蓋骨塌陷的情況下，為了將頭的外形形狀復原，要埋置塑料制造的人工頭蓋骨。此時也使用本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)向頭蓋骨塌陷部位供給骨增殖因子，從而可再生頭蓋骨。此外，在例如隆鼻用的美容手術中，原來使用將硅膠等的人工產品注入到鼻子部分的方法，但使用本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)，通過長時間穩(wěn)定地向鼻子部分緩釋骨增殖因子，可使自身的骨頭增殖。此時，鼻骨慢慢生長，因此不會引起他人注意，而可將鼻子一點點增高。
此外，使用本發(fā)明，不僅是上述種種藥物配送系統(tǒng)，也可用聚乳酸構成其他的醫(yī)療設備。近年來，接觸金屬引起排斥反應，皮膚患病(過敏性接觸皮炎)的所謂的具有金屬過敏性的患者急劇增多。對于這樣的患者，最好避免使用不銹鋼制造的注射針。另一方面，涂鈦的注射針的使用備受關注，但這是極其昂貴的。因此，根據本發(fā)明，通過將現(xiàn)有的不銹鋼制造的注射針浸漬到加熱熔融的聚乳酸中，可提供在金屬外側表面形成聚乳酸構成的薄膜的注射針。這樣，本發(fā)明有效利用聚乳酸具有的優(yōu)點，可在各種醫(yī)療設備中應用聚乳酸。
權利要求
1.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的容置部；從容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
2.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的多個容置部；連接相鄰的容置部的、由生物分解性材料構成的連接部；配置在連接部上、氣密密封容置部的間隙部；從至少一個容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
3.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
4.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括由浸含有藥劑的生物分解性材料構成的容置部；從容置部延伸出的、由生物分解性材料構成的至少一個錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
5.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括由浸含有藥劑的生物分解性材料構成的錨定部，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
6.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部在縱向方向的一個端部具有漸細的前端部，在另一個端部固定藥劑，錨定部具有至少一個突起部。
7.一種醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，包括具有可儲存藥劑的室部的、由生物分解性材料構成的錨定部，錨定部在縱向方向的兩個端部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，錨定部的突起部具有實質上的四棱錐形狀。
9.根據權利要求1至7中任一項所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，錨定部的突起部在與朝向前端部的縱向方向成鈍角的方向上延伸。
10.根據權利要求1至7中任一項所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，生物分解性材料是聚乳酸、骨膠、淀粉、蛋白質或麥芽糖。
11.根據權利要求1或2所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，錨定部具有與容置部的室部連通的通道部。
12.根據權利要求1或2所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，具有從容置部向不同方向延伸的多個錨定部。
13.根據權利要求1或2所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，具有從容置部向相同方向延伸的多個錨定部。
14.根據權利要求3所述的醫(yī)療用系統(tǒng)，其特征在于，錨定部具有朝向前端部漸細的平面形狀或截面形狀。
15.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜濕蝕刻第一半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合、使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。
16.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在除了貫通容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域的橋接區(qū)域之外的、這些容置區(qū)域和多個離散配置的圓形區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的第一掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的第一掩膜濕蝕刻半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；在由聚乳酸構成的薄膜上形成由規(guī)定的材料構成的薄膜的步驟；在規(guī)定的區(qū)域中蝕刻由規(guī)定的材料構成的薄膜、形成由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻聚乳酸的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻半導體氧化膜的步驟；殘留半導體氧化膜、蝕刻半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻半導體氧化膜的步驟。
17.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和錨定區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對第一半導體基板進行反應性離子蝕刻的步驟；在被反應性離子蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合，使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。
18.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域和錨定區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對半導體基板進行反應性離子蝕刻、在容置區(qū)域和錨定區(qū)域形成凹部的步驟；熔融規(guī)定的材料、填充到凹部內并使其硬化、形成由規(guī)定的材料構成的模具的步驟；在模具的周圍形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；形成使模具的一部分露出的開口部的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料的步驟。
19.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在容置區(qū)域的周邊部和錨定區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的第一掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜對半導體基板進行反應性離子蝕刻、在容置區(qū)域的周邊部和錨定區(qū)域形成凹部的步驟；熔融聚乳酸、填充到凹部內而形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；在由聚乳酸構成的薄膜上形成由規(guī)定的材料構成的薄膜的步驟；在規(guī)定的區(qū)域中蝕刻由規(guī)定的材料構成的薄膜、形成由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻聚乳酸的步驟；使用由規(guī)定的材料構成的第二掩膜蝕刻半導體氧化膜的步驟；殘留半導體氧化膜、蝕刻半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻由規(guī)定的材料構成的第二掩膜的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻半導體氧化膜、形成在與容置區(qū)域的周邊部對應的區(qū)域具有開口部的由聚乳酸構成的結構體的步驟；使用由聚乳酸構成的薄膜覆蓋由聚乳酸構成的結構體的開口部的步驟。
20.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括形成具有可儲存藥劑的室部的、由聚乳酸構成的容置部的步驟；形成朝向前端部漸細的、具有至少一個突起部的由聚乳酸構成的錨定部的步驟；將錨定部與容置部接合在一起的步驟。
21.一種具有多個容置部的醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在第一和第二半導體基板上分別形成多個第一和第二基板凹部的步驟；在多個第一和第二基板凹部中填充規(guī)定的材料并使其硬化的步驟；殘留規(guī)定的材料、蝕刻第一和第二半導體基板、形成由規(guī)定的材料構成的第一和第二模具的步驟；在第一模具的模具凹部中填充熔融的聚乳酸的步驟；將第二模具嵌合于填充了聚乳酸的第一模具的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料、形成多個容置部的步驟；將錨定部與至少一個容置部接合在一起的步驟。
22.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在第一和第二半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在規(guī)定的掩膜區(qū)域中蝕刻第一半導體基板的半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜、濕蝕刻第一半導體基板的步驟；在被濕蝕刻的第一半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在第一和第二半導體基板的半導體氧化膜上形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；將第一和第二半導體基板接合，使得第一和第二半導體基板的由聚乳酸構成的薄膜相互相對的步驟；殘留第一和第二半導體基板的半導體氧化膜、蝕刻第一和第二半導體基板的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻第一和第二半導體基板的半導體氧化膜的步驟。
23.一種醫(yī)療用系統(tǒng)的制造方法，其特征在于，包括在半導體基板上形成半導體氧化膜的步驟；在規(guī)定的掩膜區(qū)域中蝕刻半導體氧化膜、形成由半導體氧化膜構成的掩膜的步驟；使用由半導體氧化膜構成的掩膜濕蝕刻半導體基板、在規(guī)定的掩膜區(qū)域中形成凹部的步驟；熔融規(guī)定的材料、填充到凹部內并使其硬化、形成由規(guī)定的材料構成的模具的步驟；在模具的周圍形成由聚乳酸構成的薄膜的步驟；形成使模具的一部分露出的開口部的步驟；殘留聚乳酸、蝕刻規(guī)定的材料的步驟。
24.根據權利要求22或23所述的制造方法，其特征在于，規(guī)定的掩膜區(qū)域是利用相對于半導體基板的<100>結晶方向而實質上具有(π/2-arctan(2))]]>的角度的邊形成。
25.根據權利要求16、19、21或23所述的制造方法，其特征在于，規(guī)定的材料是鋁。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種由生物分解性材料構成的非侵襲性的藥物配送系統(tǒng)及其制造方法，該系統(tǒng)放置在血液或體液流動快速的體內部位，可長時間穩(wěn)定地緩釋藥劑。本發(fā)明的藥物配送系統(tǒng)包括由聚乳酸構成的容置部，其具有可儲存藥劑的室部；由聚乳酸構成的至少一個錨定部，其從容置部延伸出，錨定部朝向前端部漸細，具有至少一個突起部。錨定部的突起部實際上具有四棱錐形狀或者在與朝向前端部的縱向方向成鈍角的方向上延伸。
文檔編號A61K9/52GK1625420SQ0282884
公開日2005年6月8日 申請日期2002年11月29日 優(yōu)先權日2002年3月26日
發(fā)明者青柳誠司, 磯野吉正, 橋口原 申請人:財團法人大阪產業(yè)振興機構