專利名稱：液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于電子行業(yè)清洗領(lǐng)域，特別涉及一種適用于液晶顯示屏的電化學(xué)清洗方法。
背景技術(shù)：
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，市場對各種電子產(chǎn)品的需求量也越來越大。目前，以液晶顯示器(LCD)為代表的各種平板顯示器已經(jīng)得到了迅速發(fā)展，二十一世紀(jì)將是新型平板顯示技術(shù)大發(fā)展的時代。液晶是一種液態(tài)晶體，它是棒狀拄型對稱的分子，具有強電偶極矩和容易極化的化學(xué)團構(gòu)成，呈現(xiàn)為各向異性的液體。液晶顯示具有低電壓、功耗小等特點，適合與互補型金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管(CMOS)集成電路相匹配，因此可用化學(xué)電池做電源，用在各種便攜式的顯示器上。液晶的顯示體本身不發(fā)光，而是通過調(diào)制外界光的被動式顯示，因此不會刺激眼睛，不容易產(chǎn)生疲勞，而且輻射低、對人沒有危害，目前平板顯示器中液晶顯示器的產(chǎn)值占到87％。液晶顯示屏生產(chǎn)過程中灌注好液晶后，要求對于封口周圍和夾縫中殘留的液晶進行清洗，不但要清洗去除殘留的液晶還要去除顆粒、有機物和金屬離子等各種污染物，并且不能破壞電極和封口膠。因此清洗是液晶顯示屏生產(chǎn)過程中的一道關(guān)鍵工藝。清洗效果直接影響液晶顯示器的可靠性和成品率。
液晶盒上殘留的污染物主要包括有殘留液晶、玻璃屑、指印以及其他粉塵顆粒物等。目前液晶顯示器清洗工藝存在兩大難以解決的問題一是殘留在夾縫中的液晶和污染物難以徹底去除；二是目前所選用的清洗劑必須滿足環(huán)保要求。
現(xiàn)有的液晶顯示屏清洗劑主要分為半水基清洗劑和水基清洗劑兩種。半水基清洗劑采用兩步清洗法，首先利用溶劑型清洗劑溶解殘留在液晶顯示屏表面和狹縫中的液晶，然后再采用水基型清洗劑去除殘留在液晶顯示屏表面和狹縫中的溶劑型清洗劑和顆粒、指紋等污染。半水基清洗方式中溶劑型清洗劑，存在破壞臭氧層、不滿足環(huán)保要求、易燃燒、成本高、操作危險等問題，同時在第二步水基清洗劑清洗過程中，往往難以將殘留在液晶顯示屏表面和狹縫中的溶劑型清洗劑完全去除，清洗后表面存在絮狀污染。水基清洗方法是采用水溶性清洗劑，利用乳化、分解的作用配合超聲波去除液晶顯示屏表面及狹縫中殘留的液晶和其他污染物。這種水基型清洗方法，存在一些不足首先，水基型清洗劑對超聲作用依賴性強，往往不能完全去除液晶顯示屏狹縫中殘留的液晶，而且水基型清洗劑持久能力較差，隨著清洗時間的增加清洗效果不斷下降。另外，其殘液處理和殘留試劑排放也存在大量環(huán)保問題。
單純的清洗劑清洗還存在下述問題一是單純的清洗劑清洗往往需要在清洗中加入氧化劑，如雙氧水，氧化劑在溶液中有一定的溶解度，當(dāng)液晶含量較多時氧化強度不足，會造成清洗不徹底，清洗后液晶顯示屏狹縫中殘留液晶。
二是氧化劑在溶液中具有一定的壽命，隨著清洗的進行，溶液的氧化能力會隨之下降，造成清洗劑持久力差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，提供一種利用金剛石膜與清洗劑相結(jié)合能夠達到較好的清洗效果，而且工藝簡單，操作方便，使用壽命長，滿足環(huán)保要求的液晶顯示屏清洗方法。
本發(fā)明通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)本發(fā)明的利用金剛石膜電化學(xué)作用去除液晶顯示屏表面和狹縫中污染物的清洗方法，它是由能夠起到氧化分解液晶作用的金剛石膜結(jié)構(gòu)合和能夠起到電解質(zhì)作用，并且能夠去除液晶片表面殘留物質(zhì)的清洗劑共同組成。金剛石膜結(jié)構(gòu)利用金剛石膜作陽極，石墨作陰極，兩極之間加入電解質(zhì)，那么在陽極就會產(chǎn)生大量的自由氫氧基(·OH)、自由氧基(·O)及其衍生物過氧化氫、臭氧和氧氣，然后通過控制電流來控制其濃度。其中清洗劑由多種表面活性劑和胺堿組成。該方法包括下述步驟(1)金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入清洗劑并加入8～15倍水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，室溫清洗大約5～10分鐘。上述清洗劑按體積百分比由下述組分組成胺堿30％～45％，非離子表面活性劑1％～5％，余量的水。這一步主要是利用金剛石膜在電壓電流作用下產(chǎn)生的氫氧自由基、氧自由基、臭氧、氧分子和過氧化氫等氧化劑，對液晶顯示屏表面及狹縫中殘留液晶進行氧化分解，使其脫離液晶顯示屏。
(2)清洗劑清洗將清洗劑中加入8～15倍水放入第二槽中，并加熱到50～60℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約5～10分鐘。上述清洗劑按體積百分比由下述組分組成胺堿30％～45％，非離子表面活性劑1％～5％，余量的水。這一步的主要作用是利用清洗劑降低表面張力和增強質(zhì)量傳遞的作用，使氧化分解后的液晶及時脫離液晶顯示屏，同時去除顆粒和手印等污染物。
(3)金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，室溫清洗大約5～10分鐘。這一步的主要作用是利用金剛石膜在電壓和電流作用下產(chǎn)生的氧化作用，去除殘留在晶片表面的液晶和清洗劑，使得液晶顯示屏表面和狹縫中不再存在任何污染物。
(4)水超聲漂洗將水放入四槽中，加熱到50～60℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約5～10分鐘。這一步的主要作用是清洗液晶顯示屏表面和狹縫中殘留的各種物質(zhì)，液晶顯示屏在經(jīng)過金剛石膜電化學(xué)作用和清洗劑清洗后會殘留反應(yīng)產(chǎn)物和清洗劑，利用水超聲作用進行漂洗，達到徹底去除液晶顯示屏表面和狹縫中各種殘留的目的。
(5)水超聲漂洗將水放入第五槽，加熱到50～60℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約5～10分鐘。這一步的主要作用是清洗液晶顯示屏表面和狹縫中殘留的各種物質(zhì)，液晶顯示屏在經(jīng)過金剛石膜電化學(xué)作用和清洗劑清洗后會殘留反應(yīng)產(chǎn)物和清洗劑，利用去離子水超聲作用進行漂洗，達到徹底去除液晶顯示屏表面和狹縫中各種殘留的目的。
(6)噴淋用溫度為50～60℃的去離子水對液晶顯示屏進行噴淋，去掉表面的各種殘留。一般時間為2～5分鐘。這一步的主要作用是用純凈的水再次漂洗，噴淋過程中去掉晶片表面殘留的各種物質(zhì)。
(7)烘干用熱風(fēng)或紅外進行烘干，一般時間為3～5分鐘。這一步的主要作用是去除在清洗和噴淋后表面附著的水，達到徹底清洗的目的，得到高潔凈的液晶顯示屏。
上述清洗方法中所使用的清洗劑中，表面活性劑可以采用聚氧乙烯系非離子表面活性劑或多元醇酯類非離子表面活性劑。聚氧乙烯系非離表面活性劑包括聚氧乙烯烷基酚、聚氧乙烯脂肪醇和聚氧乙烯酯。胺堿為多羥多胺和醇胺。水包括去離子水和蒸餾水，去離子水的電阻率為15～18兆時為最佳，去離子水電阻率為10～15兆時效果較為理想，要求不高時可使用10兆以下的去離子水或蒸餾水。
胺堿作為pH值調(diào)節(jié)劑，氫氧根在溶液中緩慢釋放，起到均勻腐蝕的作用，并且根據(jù)結(jié)構(gòu)相似相溶原理，可以將酯類分解成可溶于水的酸和醇，能夠去除一部分有機污染物，并且具有絡(luò)合作用，能夠去除顆粒和金屬離子污染。
非離子表面活性劑降低溶液的表面張力，增強滲透能力，使清洗劑能夠全面鋪展在液晶顯示器的表面及夾縫中，其親水基和憎水基相互配合，能夠?qū)⑽皆谝壕э@示表面及夾縫中污染物托起，并且在表面形成保護層，防止污染物二次吸附。
為了達到最佳的清洗效果，通過實驗得到，金剛石膜兩極的電壓控制在15V左右，電流在30A～60A之間。
本發(fā)明的工作原理在于采用金剛石膜電化學(xué)作用和水溶性清洗劑配合使用。金剛石膜結(jié)構(gòu)能夠產(chǎn)生濃度很高的自由氫氧基、自由氧基、過氧化氫、臭氧和氧氣等多種氧化劑，對液晶起到很好的氧化分解作用。水溶性清洗劑完全溶解于水，能夠充當(dāng)金剛石膜電化學(xué)作用的電解質(zhì)，同時能夠去除殘留在液晶顯示屏表面和狹縫中的各種污染物。在此基礎(chǔ)上后續(xù)的金剛石膜單獨清洗和超聲水洗過程能夠?qū)埩粼诰系那逑磩┖推渌麣埩粑锶コ?。再通過噴淋和烘干得到潔凈的液晶顯示屏。
在清洗劑中加入胺堿，根據(jù)結(jié)構(gòu)相似相溶原理能夠溶解有機物，胺堿在水溶液中氫氧根緩慢電離，隨著清洗的進行，氫氧根有一定的消耗，但是胺堿具有很好的緩沖作用，能夠不斷補充氫氧根，保證清洗的一致性。而且可以同時作為pH值調(diào)制劑、絡(luò)合劑、緩蝕劑、分散劑、助氧劑實現(xiàn)了一劑多用。清洗劑中采用特選的非離子表面活性劑能夠降低表面張力，使得清洗劑能夠很好地作用到液晶顯示屏的狹縫中，徹底去除狹縫中殘留的液晶。
胺堿和非離子表面活性劑能夠相互配合，表面活性劑具有鋪展作用能夠保證有機堿的氫氧根在溶液中均勻作用，保證清洗的一致性好，同時表面活性劑的強滲透作用能夠使得胺堿的氫氧根滲透到液晶顯示屏的狹縫合污染物和液晶屏之間，使污染物脫離表面，達到去除的目的。為了得到最佳的清洗效果可以優(yōu)先選用聚氧乙烯類表面活性劑，胺堿和聚氧乙烯類表面活性劑相互配合能夠達到更好的清洗效果。
該清洗方法中的金剛石膜結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)電流控制氧化強度，而且不依賴超聲作用，不需要加溫。清洗劑為水溶性清洗劑，不但能夠去除殘留在晶片表面上的有機污染物，還能夠去除表面的顆?；蚪饘匐x子等污染物。
本發(fā)明的優(yōu)越性在于1、本發(fā)明的清洗方法利用金剛石膜電化學(xué)作用所產(chǎn)生的多種強氧化劑能夠迅速分解液晶，使之脫離表面。
2、根據(jù)陽極和陰極之間的電壓可以控制金剛石膜電化學(xué)作用的強弱，而且在外加電壓的條件下能夠長久保持穩(wěn)定的氧化能力，既實現(xiàn)了清洗劑的循環(huán)應(yīng)用，又降低了成本。
3、清洗劑中加入了特選的表面活性劑，能夠降低清洗劑的表面張力，增強清洗劑的滲透性，對液晶顯示屏有很好的清洗效果。
4、清洗劑中選用的化學(xué)試劑，不污染環(huán)境，不易燃燒，屬于非破壞臭氧層物質(zhì)，滿足環(huán)保要求。
5、清洗劑中選用胺堿，能夠提高清洗劑均勻腐蝕蝕的性質(zhì)，保證清洗的一致性。
6、清洗劑中的胺堿屬于有機物，能夠根據(jù)結(jié)構(gòu)相似相溶原理，能夠溶解有機污染物。
7、清洗劑中的胺堿也能夠降低溶液中的表面張力。
8、清洗劑中選用的表面活性劑和滲透劑能夠很好得降低清洗劑的表面張力、同時具有水溶性好、滲透力強、無污染等優(yōu)點。
9、清洗劑中的表面活性劑能夠增強質(zhì)量傳遞，保證清洗的均勻性，能夠降低晶片表面粗糙度。
10、本發(fā)明的清洗方法工藝簡單，操作方便。
具體實施例方式
以下結(jié)合具體實施例對本發(fā)明詳細說明。
實施例1按體積百分比取胺堿為三乙醇胺30％，非離子表面活性劑為環(huán)氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物(JFC)1％，18兆去離子水69％，混合均勻制成清洗劑備用。
金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入上述清洗劑并加入8倍18兆去離子水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，兩極的電壓控制在10V，電流在30A，室溫清洗大約5分鐘。
清洗劑清洗將上述清洗劑中加入8倍18兆去離子水放入第二槽中，并加熱到50℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約5分鐘。
金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入18兆去離子水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，兩極的電壓控制在10V，電流在30A，室溫清洗大約5分鐘。
水超聲漂洗將18兆去離子水放入四槽中，加熱到60℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約5分鐘。
水超聲漂洗將18兆去離子水放入第五槽，加熱到60℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約5分鐘。
噴淋用溫度為60℃的18兆去離子水對液晶顯示屏進行噴淋，時間為2分鐘。
烘干用熱風(fēng)進行烘干，時間為3分鐘。
采用上述清洗方法清洗的液晶顯示屏經(jīng)檢驗，達到了利用分光光度計檢測基本不存在有機污染物；利用光學(xué)顯微鏡觀察，不存在顆粒；產(chǎn)品合格率達到97％以上，得到潔凈的液晶顯示屏。
實施例2按體積百分比取胺堿為四羥基乙二胺40％，非離子表面活性劑為壬基酚聚氧乙烯醚5％，15兆去離子水55％，混合均勻制成清洗劑備用。
金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入上述清洗劑并加入15倍15兆去離子水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，兩極的電壓控制在15V，電流在60A，室溫清洗大約10分鐘。
清洗劑清洗將上述清洗劑中加入15倍15兆去離子水放入第二槽中，并加熱到50℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約10分鐘。
金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入15兆去離子水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，兩極的電壓控制在15V，電流在60A，室溫清洗大約10分鐘。
水超聲漂洗將15兆去離子水放入四槽中，加熱到50℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約10分鐘。
水超聲漂洗將15兆去離子水放入第五槽，加熱到50℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約10分鐘。
噴淋用溫度為50℃的15兆去離子水對液晶顯示屏進行噴淋，時間為5分鐘。
烘干用紅外進行烘干，時間為5分鐘。
采用上述清洗方法清洗的液晶顯示屏經(jīng)檢驗，達到了利用分光光度計檢測基本不存在有機污染物；利用光學(xué)顯微鏡觀察，不存在顆粒；產(chǎn)品合格率達到96％以上，得到潔凈的液晶顯示屏。
實施例3按體積百分比取胺堿為二乙醇胺35％，非離子表面活性劑辛基酚聚氧乙烯醚3％，10兆去離子水60％，混合均勻制成清洗劑備用。
金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入上述清洗劑并加入10倍10兆去離子作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，兩極的電壓控制在10V，電流在40A，室溫清洗大約6分鐘。
清洗劑清洗將上述清洗劑中加入10倍10兆去離子放入第二槽中，并加熱到55℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約6分鐘。
金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入10兆去離子作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，兩極的電壓控制在10V，電流在40A，室溫清洗大約6分鐘。
水超聲漂洗將10兆去離子放入四槽中，加熱到55℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約7分鐘。
水超聲漂洗將10兆去離子放入第五槽，加熱到60℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約7分鐘。
噴淋用溫度為55℃的10兆去離子對液晶顯示屏進行噴淋，時間為4分鐘。
烘干用紅外進行烘干，時間為4分鐘，得到潔凈的液晶顯示屏。
實施例4按體積百分比取胺堿為二羥基乙二胺33％，非離子表面活性劑平平加0-20 2％，蒸餾水65％，混合均勻制成清洗劑備用。
金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入上述清洗劑并加入12倍蒸餾水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，兩極的電壓控制在15V，電流在45A，室溫清洗大約8分鐘。
清洗劑清洗將上述清洗劑中加入12倍蒸餾水放入第二槽中，并加熱到55℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約8分鐘。
金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入蒸餾水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，兩極的電壓控制在15V，電流在45A，室溫清洗大約8分鐘。
水超聲漂洗將蒸餾水放入四槽中，加熱到52℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約8分鐘。
水超聲漂洗將蒸餾水放入第五槽，加熱到58℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約8分鐘。
噴淋用溫度為57℃的蒸餾水對液晶顯示屏進行噴淋，時間為4分鐘。
烘干用紅外進行烘干，時間為5分鐘。
采用上述清洗方法清洗的液晶顯示屏經(jīng)檢驗，達到了利用分光光度計檢測基本不存在有機污染物；利用光學(xué)顯微鏡觀察，不存在顆粒；產(chǎn)品合格率達到96％以上，得到潔凈的液晶顯示屏。
實施例5按體積百分比取胺堿為六羥基乙二胺33％，非離子表面活性劑為月桂醇聚氧乙烯醚2％，蒸餾水65％，混合均勻制成清洗劑備用。
金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入上述清洗劑并加入12倍蒸餾水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，兩極的電壓控制在15V，電流在50A，室溫清洗大約9分鐘。
清洗劑清洗將上述清洗劑中加入12倍蒸餾水放入第二槽中，并加熱到57℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約9分鐘。
金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入蒸餾水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，兩極的電壓控制在15V，電流在50A，室溫清洗大約9分鐘。
水超聲漂洗將蒸餾水放入四槽中，加熱到57℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗大約9分鐘。
水超聲漂洗將蒸餾水放入第五槽，加熱到57℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗大約9分鐘。
噴淋用溫度為57℃的蒸餾水對液晶顯示屏進行噴淋，時間為4分鐘。
烘干用熱風(fēng)進行烘干，時間為4分鐘采用上述清洗方法清洗的液晶顯示屏經(jīng)檢驗，達到了利用分光光度計檢測基本不存在有機污染物；利用光學(xué)顯微鏡觀察，不存在顆粒；產(chǎn)品合格率達到96％以上，得到潔凈的液晶顯示屏。
實施例6清洗方法與實施例1相同，其中的清洗劑按體積百分比的組成為胺堿為單乙醇胺40％，非離子表面活性劑為聚氧乙烯系非離子表面活性劑中的硬酯基聚氧乙烯醚2％，8兆去離子水58％，混合均勻制成清洗劑。
實施例7
清洗方法與實施例1相同，其中的清洗劑按體積百分比的組成為胺堿為椰子油二乙醇酰胺33％，非離子表面活性劑為聚氧乙烯酯類中的月桂酸丙二醇酯2％，18兆去離子水65％，混合均勻制成清洗劑。
實施例8清洗方法與實施例1相同，其中的清洗劑按體積百分比的組成為胺堿為癸二酸三乙醇胺33％，非離子表面活性劑為脂肪醇聚氧乙烯醚類中的十三烷基聚氧乙烯醚2％，8兆去離子水，混合均勻制成清洗劑。
盡管參照實施例對所公開的涉及一種液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法進行了特別描述，以上描述的實施例是說明性的而不是限制性的，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，所有的變化和修改都在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法，其特征在于，包括下述步驟(1)金剛石膜配合清洗劑清洗在一槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入清洗劑并加入8～15倍水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏裝入花籃，浸泡在其中，室溫清洗5～10分鐘；所述清洗劑按體積百分比由下述組分組成胺堿30％～45％，非離子表面活性劑1％～5％，余量的水；(2)清洗劑清洗將清洗劑中加入8～15倍水放入第二槽中，并加熱到50～60℃，將液晶顯示屏花籃從一槽中取出，放入二槽，配合超聲波作用清洗大約5～10分鐘；所述清洗劑按體積百分比由下述組分組成胺堿30％～45％，非離子表面活性劑1％～5％，余量的水；(3)金剛石膜清洗在三槽中，以金剛石膜為陽極，石墨為陰極，兩極之間加入水作為電解質(zhì)，將液晶顯示屏花籃從二槽中取出，放入三槽，室溫清洗大約5～10分鐘；(4)水超聲漂洗將水放入四槽中，加熱到50～60℃，將液晶顯示器花籃從三槽中取出，放入四槽，進行超聲漂洗5～10分鐘；(5)水超聲漂洗將水放入第五槽，加熱到50～60℃，將液晶顯示器花籃從四槽中取出，放入五槽，進行超聲漂洗5～10分鐘；(6)噴淋用溫度為50～60℃的水對液晶顯示屏進行噴淋。(7)烘干。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用金剛石膜去除半導(dǎo)體晶片表面有機污染物的方法，其特征在于，所述非離子表面活性劑為聚氧乙烯系非離子表面活性劑或多元醇酯類非離子表面活性劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法，其特征在于，所述胺堿為多羥多胺和醇胺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法，其特征在于，烘干采用熱風(fēng)或紅外烘干。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法，其特征在于，金剛石膜兩極的電壓控制在15V左右，電流在30A～60A之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液晶顯示屏電化學(xué)清洗方法，旨在提供一種利用金剛石膜與清洗劑相結(jié)合能夠達到較好的清洗效果，而且工藝簡單，操作方便，使用壽命長，滿足環(huán)保要求的液晶顯示屏的清洗方法。該方法包括下述步驟金剛石膜配合清洗劑清洗；清洗劑清洗；金剛石膜清洗；兩次水超聲漂洗；噴淋；烘干得到高潔凈的液晶顯示屏。所述清洗劑按體積百分比由下述組分組成胺堿30％～45％，非離子表面活性劑1％～5％，余量的水。該清洗方法中的金剛石膜結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)電流控制氧化強度，而且不依賴超聲作用，不需要加溫。清洗劑為水溶性清洗劑，不但能夠去除殘留在晶片表面上的有機污染物，還能夠去除表面的顆?；蚪饘匐x子等污染物。
文檔編號B08B3/08GK1895798SQ20061001444
公開日2007年1月17日 申請日期2006年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月23日
發(fā)明者劉玉嶺, 李薇薇, 常明, 潘鵬 申請人:天津晶嶺微電子材料有限公司