專利名稱：用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置，更具體地，涉及一種用于 供應(yīng)化學(xué)液體的裝置，該裝置能夠通過使用多個(gè)能單獨(dú)向前或向后推進(jìn)的 噴嘴同時(shí)供應(yīng)多種化學(xué)液體、并能夠通過減少更換噴嘴所需的等待時(shí)間提 高處理效率。
背景技術(shù)：
近來，半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)正在發(fā)展為制造響應(yīng)時(shí)間減少、集成度更 高、可靠性更好的半導(dǎo)體裝置，以滿足客戶的多種需要。
常規(guī)的半導(dǎo)體裝置通過在用作半導(dǎo)體襯底的硅半導(dǎo)體襯底上沉積預(yù) 定的層，并且使上述層轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂须娞匦缘膱D案進(jìn)行制造。此處，上述圖 案通過連續(xù)的或重復(fù)的單元過程如層沉積過程、光刻過程、蝕刻過程、離 子植入過程和拋光過程形成。
在半導(dǎo)體襯底上進(jìn)行每個(gè)單元過程后，在單元過程中產(chǎn)生的如反應(yīng)副
產(chǎn)物的摻雜物和顆粒仍保留在半導(dǎo)體襯底上。如果不去除摻雜物，其會(huì)成 為后續(xù)過程中的嚴(yán)重誤差的根源。
具體說，制造具有精細(xì)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件時(shí)，必須除去每個(gè)單元過程 后仍附著在晶片上的顆粒和摻雜物、靜電、水印、線狀顆粒。否則，它們 會(huì)十分影響后續(xù)的過程。為此，每個(gè)單元過程之前與之后，使用化學(xué)液體 或蒸餾水清洗晶片表面。位于襯底上方的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置向襯底供應(yīng)清洗液時(shí)，單晶 片型清洗裝置(清洗裝置的一種)通過旋轉(zhuǎn)附在旋轉(zhuǎn)卡盤上的襯底來清洗 襯底。
圖1是使用卡盤缸20供應(yīng)化學(xué)液體的常規(guī)裝置的立體圖。參照?qǐng)D1， 常規(guī)裝置將多個(gè)噴嘴10a到10c中供應(yīng)預(yù)定的化學(xué)液體的一個(gè)連接用于清 洗過程的卡盤缸20。由垂直傳送執(zhí)行機(jī)構(gòu)30和水平傳送執(zhí)行機(jī)構(gòu)40移動(dòng) 的卡盤缸20將連接到其上的噴嘴10a、 10b或10c移動(dòng)到襯底上方的位置 (圖中未示出)。而后，噴嘴10a、 10b或10c將預(yù)定的化學(xué)液體供應(yīng)到襯 底上。
在常規(guī)裝置中，通過噴嘴10a到10c中的一個(gè)向襯底供應(yīng)預(yù)定的化學(xué) 液體之后，如果需要向襯底供應(yīng)另外的化學(xué)液體，則將卡盤缸20移回到 噴嘴10a到10c所處的地方。然后，將噴嘴10a到10c中連接到卡盤缸20 的一個(gè)從卡盤缸20脫離，將噴嘴10a到10c中的另一個(gè)連接至卡盤缸20。 之后，具有重新連接的噴嘴10a、 10b或10c的卡盤缸20移動(dòng)到襯底，使 噴嘴10a、 10b或10c可以向襯底上供應(yīng)化學(xué)液體。
因而，在需要連續(xù)使用多種化學(xué)液體時(shí)，由于改變噴嘴10a到10c所 需的等待時(shí)間會(huì)使得處理效率降低。此外，由于噴嘴10a到10c中只有一 個(gè)可以連接卡盤缸20，所以不可能同時(shí)向襯底供應(yīng)多種化學(xué)液體。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的方面是提供用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置，該裝置能夠使用多個(gè) 能單獨(dú)向前或向后推進(jìn)的噴嘴同時(shí)供應(yīng)多種化學(xué)液體，并在需要連續(xù)使用 化學(xué)液體時(shí)能夠通過減少更換噴嘴所需的等待時(shí)間來提高處理效率。
但是，本發(fā)明的方面不限于這里的任意一個(gè)方面。參照以下給出的本 發(fā)明詳細(xì)說明，對(duì)于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，本發(fā)明的 以上和其他方面將變得更顯而易見。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置。該裝置包括: 多個(gè)噴嘴，其每一個(gè)都可以向前或向后移動(dòng)并供應(yīng)化學(xué)液體；將噴嘴容納在其中的噴嘴罩，其具有開口端使每個(gè)噴嘴都能移進(jìn)或移出噴嘴罩；以及
前后移動(dòng)每個(gè)噴嘴的噴嘴驅(qū)動(dòng)器。


通過參照附圖詳細(xì)說明具體實(shí)施例，本發(fā)明的上述和其他方面及特征
將更顯而易見，其中
圖1是使用卡盤缸供應(yīng)化學(xué)液體的常規(guī)裝置的立體圖2是根據(jù)本發(fā)明一示范性實(shí)施例的一種用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置的 俯視圖3是圖2所示裝置的側(cè)視圖4是解釋圖2所示裝置的操作的俯視圖5是解釋圖2所示裝置的操作的側(cè)視圖6是圖2的裝置的俯視圖，其中噴嘴罩可以左右移動(dòng)；
圖7是圖2的裝置的俯視圖，使用第三個(gè)噴嘴將化學(xué)液體噴射到襯底
上；
圖8是圖2的裝置的俯視圖，使用多個(gè)噴嘴將化學(xué)液體噴射到襯底上；
以及
圖9是根據(jù)本發(fā)明另一示范性實(shí)施例的一種用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置 的俯視圖，該裝置通過旋轉(zhuǎn)噴嘴罩向襯底上噴射化學(xué)液體。
具體實(shí)施例方式
通過參考以下對(duì)示范性實(shí)施例的詳細(xì)說明和附圖，本發(fā)明及其實(shí)現(xiàn)方 法的優(yōu)點(diǎn)和特征將能被更容易地理解。但是本發(fā)明可以以許多不同的形式 實(shí)施，并不應(yīng)被限制為此處提出的實(shí)施例。而是，提供這些實(shí)施例是為了 使本公開更徹底和完全，并且向所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員全部轉(zhuǎn)達(dá)本發(fā)明 的概念，本發(fā)明僅由權(quán)利要求所限定。在整個(gè)說明書中，相同的附圖標(biāo)記 指代相同的元件。下面，參照

根據(jù)本發(fā)明的示范性實(shí)施例的供應(yīng)化學(xué)液體的裝置。
圖2是根據(jù)本發(fā)明一示范性實(shí)施例的一種用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置的 俯視圖。圖3是圖2所示裝置的側(cè)視圖。
參照?qǐng)D2和圖3，根據(jù)本實(shí)施例的裝置包括噴嘴110、噴嘴罩120和 噴嘴驅(qū)動(dòng)器130。裝置還可以包括水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)、垂 直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)和化學(xué)液體噴出器150。
第一至第三噴嘴11 Oa至11 Oc中的每一個(gè)向襯底200上供應(yīng)化學(xué)液體。 此外，第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)都可以由噴嘴驅(qū)動(dòng)器130 單獨(dú)向前或向后移動(dòng)。第一至第三噴嘴110a至110c分別包括化學(xué)液體供 應(yīng)器140a到140c，并且不同的化學(xué)液體通過軟管或管路被分別供應(yīng)給第 一至第三噴嘴110a至110c。附圖中，表示了三個(gè)噴嘴110a至110c，但其 僅僅是舉例。也就是說，也可以提供多于三個(gè)的噴嘴。
噴嘴罩120將第一至第三噴嘴110a至110c容納于其中，噴嘴罩具有 開口側(cè)使第一至第三噴嘴110a至110c每一個(gè)都能向前移出噴嘴罩120并 向襯底200上供應(yīng)化學(xué)液體。內(nèi)有第一至第三噴嘴110a至110c的噴嘴罩 120可以由水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)左右移動(dòng)。此外，內(nèi)有第一 至第三噴嘴110a至110c的噴嘴罩120可以由垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未 示出)上下移動(dòng)。
噴嘴驅(qū)動(dòng)器130將噴嘴罩120內(nèi)的第一至第三噴嘴110a至110c中的 每一個(gè)向前或向后移動(dòng)。噴嘴驅(qū)動(dòng)器130可以是能移動(dòng)與其連接的第一至 第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)的氣缸。但是，根據(jù)本發(fā)明的噴嘴驅(qū)動(dòng) 器130不限于氣缸。也就是說，噴嘴驅(qū)動(dòng)器130可以是任何能向前或向后 移動(dòng)第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)的裝置。在附圖中，噴嘴驅(qū) 動(dòng)器位于噴嘴罩120內(nèi)部。然而，噴嘴驅(qū)動(dòng)器130也可以位于噴嘴罩120 外部。
化學(xué)液體噴出器150收集從第一至第三噴嘴110a至110c滴落的化學(xué) 液體，并從噴嘴罩120噴出收集到的化學(xué)液體。如圖3所示，化學(xué)液體噴出器150位于噴嘴罩120內(nèi)第一至第三噴嘴110a至110c的各末端的下方， 以收集從第一至第三噴嘴110a至110c的各末端滴落的化學(xué)液體?；瘜W(xué)液 體噴出器150收集從第一至第三噴嘴110a至110c的各末端滴落的殘留化 學(xué)液體以防止殘留化學(xué)液體污染噴嘴罩120或襯底200。
此外，如圖所示，化學(xué)液體噴出器150包括管路152，以便從噴嘴罩 120通過管路152噴出收集到的化學(xué)液體。可以將一個(gè)化學(xué)液體噴出器150 置于噴嘴罩120內(nèi)，以收集從第一至第三噴嘴110a至110c滴落的化學(xué)液 體。作為替換，可以將分別對(duì)應(yīng)于第一至第三噴嘴110a至110c的多個(gè)化 學(xué)液體噴出器置于噴嘴罩120中。在這種情況下，化學(xué)液體噴出器可以分 別位于第一至第三噴嘴110a至110c的下方，并且分別單獨(dú)收集從第一至 第三噴嘴110a至110c滴落的化學(xué)液體。
水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)左右移動(dòng)噴嘴罩120，如圖6所示。 水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以包括引導(dǎo)噴嘴罩120的引導(dǎo)部170 和產(chǎn)生動(dòng)力以使噴嘴罩120沿引導(dǎo)部170移動(dòng)的發(fā)動(dòng)機(jī)。水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng) 器(圖中未示出)可以是多種結(jié)構(gòu)，只要其可以將噴嘴罩120左右移動(dòng)即 可。水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)將噴嘴罩120中的第一至第三噴嘴 110a至110c中的每一個(gè)正好放置在襯底200的中間或放置在襯底上的預(yù) 定位置，以使第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)都可以在襯底200 的中間或在襯底上的預(yù)定位置噴射化學(xué)液體。
垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)上下移動(dòng)噴嘴罩120。為了上下移 動(dòng)噴嘴罩120，垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以包括連接噴嘴罩120 的桿160和上下移動(dòng)桿160的動(dòng)力產(chǎn)生器，如氣缸(圖中未示出)。垂直 噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以調(diào)整第一至第三噴嘴110a至110c中的 每一個(gè)與襯底200之間的距離，以使第一至第三噴嘴110a至UOc中的每 一個(gè)都能在距離襯底200的最佳距離處向襯底200上噴射化學(xué)液體。
現(xiàn)參照

根據(jù)本實(shí)施例的裝置的操作。
圖4是解釋圖2所示裝置的操作的俯視圖。圖5是解釋圖2所示裝置 的操作的側(cè)視圖。圖6是圖2的裝置的俯視圖，其中噴嘴罩120可以左右移動(dòng)。圖7是圖2的裝置的俯視圖，其使用第三個(gè)噴嘴110c將化學(xué)液體 噴射到襯底200上。
參照?qǐng)D6，通過水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)左右移動(dòng)噴嘴罩120。 水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以將噴嘴罩120從虛線所示位置移動(dòng) 到襯底200的位置。
參照?qǐng)D4,第二個(gè)噴嘴110b由噴嘴驅(qū)動(dòng)器130向前移動(dòng)后，將化學(xué)液 體噴射到襯底200上。第二個(gè)噴嘴110b供應(yīng)化學(xué)液體后，當(dāng)另一種化學(xué) 液體需要被連續(xù)地供應(yīng)到襯底200上時(shí)，第二個(gè)噴嘴110b移回噴嘴罩120 中，向前移動(dòng)第一個(gè)噴嘴110a或第三個(gè)噴嘴110c以向襯底200上供應(yīng)另
一種化學(xué)液體。
參照?qǐng)D7，化學(xué)液體從第三個(gè)噴嘴110c噴射到襯底200上。具體地， 在如圖6所示的第二個(gè)噴嘴110b將化學(xué)液體噴射到襯底200上之后，其 移回噴嘴罩120中，第三個(gè)噴嘴110c向前移動(dòng)，如圖7所示。此處，水 平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)輕微移動(dòng)噴嘴罩120，以將第三個(gè)噴嘴110c 放置到襯底200中央。
如參照?qǐng)Dl所說明的，在用于供應(yīng)化學(xué)液體的常規(guī)裝置中，在化學(xué)液 體需要被連續(xù)供應(yīng)到襯底(圖中未示出)上時(shí)，卡盤缸20移動(dòng)到噴嘴10a 至10c所在之處。隨后，噴嘴10a到10c中連接到卡盤缸20的一個(gè)脫離 卡盤缸20，噴嘴10a到10c中的另一個(gè)重新連接卡盤缸20。之后，具有 重新連接的噴嘴10a、 10b或10c的卡盤缸20移動(dòng)到襯底(圖中未示出)。 因而由于改變噴嘴10a到10c所需的等待時(shí)間使得整個(gè)處理效率降低。
但是，在本發(fā)明中，需要向襯底200上連續(xù)供應(yīng)化學(xué)液體時(shí)，可以前 后移動(dòng)的第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)都移進(jìn)或移出噴嘴罩 120。此外，噴嘴罩120移動(dòng)對(duì)應(yīng)于第一至第三噴嘴110a至110c的間隔 的距離，使得第一至第三噴嘴110a至110c中相應(yīng)的一個(gè)朝向襯底200的 中心。
因而，改變第一至第三噴嘴110a至110c來供應(yīng)不同液體所需的等待
時(shí)間非常短。此外，由于垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以上下移動(dòng)噴嘴罩120， 第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)都能在開距離襯底200的最佳距 離處向襯底200上噴射化學(xué)液體。
根據(jù)本實(shí)施例的裝置還能通過第一至第三噴嘴110a至110c同時(shí)將化 學(xué)液體供應(yīng)到襯底200上。
圖8是圖2的裝置的俯視圖，其使用第一至第三噴嘴110a至110c將 化學(xué)液體噴射到襯底200上。
參照?qǐng)D8，噴嘴驅(qū)動(dòng)器130將第二和第三噴嘴110b和110c同時(shí)移動(dòng) 到噴嘴罩120前面的區(qū)域后，第二和第三噴嘴110b和110c同時(shí)噴射不同 的化學(xué)液體。
下面，將說明根據(jù)本發(fā)明另一示范性實(shí)施例的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝 置。與根據(jù)前面的實(shí)施例的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置類似，根據(jù)本實(shí)施例 的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置包括第一至第三噴嘴110a至110c、噴嘴罩 120、噴嘴驅(qū)動(dòng)器130和化學(xué)液體噴出器150。因而省略對(duì)以上元件的說明， 主要說明本實(shí)施例與前面的實(shí)施例之間的差別。
圖9是根據(jù)本發(fā)明另一示范性實(shí)施例的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置的俯 視圖，該裝置通過旋轉(zhuǎn)噴嘴罩120向襯底200上噴射化學(xué)液體。
在前述實(shí)施例中，水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)左右移動(dòng)噴嘴罩 120。但是，在圖9所示的本實(shí)施例中，噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝置(圖中未示出) 使噴嘴罩120旋轉(zhuǎn)。
噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝置(圖中未示出)繞與噴嘴罩120開口端相對(duì)的噴嘴罩 120的一端旋轉(zhuǎn)噴嘴罩120。噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝置(圖中未示出)可以包括連 接噴嘴罩120的桿180和產(chǎn)生動(dòng)力以使桿180旋轉(zhuǎn)的發(fā)動(dòng)機(jī)(圖中未示出)。 但是，本發(fā)明不限于上述。噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝置可以有多種結(jié)構(gòu)，只要其可以 使噴嘴罩120繞噴嘴罩120的一端旋轉(zhuǎn)即可。
如之前的實(shí)施例，需要被連續(xù)向襯底200上供應(yīng)不同的化學(xué)液體時(shí)， 第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè)都可以由噴嘴驅(qū)動(dòng)器130向前或 向后移動(dòng)，以供應(yīng)化學(xué)液體。與前面的實(shí)施例一樣，本實(shí)施例中，不同的化學(xué)液體也可以被同時(shí)供應(yīng)到襯底200上。在本實(shí)施例中，噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝 置(圖中未示出)以順時(shí)針方向或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)噴嘴罩120。因而，襯 底200的全部區(qū)域都可以被掃過并用化學(xué)液體噴射。此外，因?yàn)榇怪眹娮?罩驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)可以調(diào)整第一至第三噴嘴110a至110c中的每一 個(gè)與襯底200之間的距離，所以第一至第三噴嘴110a至110c中的每一個(gè) 都可以在距離襯底200的最佳距離處噴射化學(xué)液體。
根據(jù)本發(fā)明的用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)中的至少一個(gè)。
第一，使用多個(gè)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的噴嘴連續(xù)供應(yīng)多種化學(xué)液體時(shí)，更換噴嘴 所需的等待時(shí)間縮短，從而提高處理效率。
第二，可以同時(shí)供應(yīng)多種化學(xué)液體。
第三，從噴嘴罩內(nèi)的噴嘴中滴出的殘留化學(xué)液體從噴嘴罩中被噴出。 從而防止殘留化學(xué)液體污染襯底或噴嘴罩。
雖然本發(fā)明已參考示范性實(shí)施例具體表示和說明，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技 術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，可以在不背離由權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范 圍的情況下進(jìn)行形式上和細(xì)節(jié)上的多種改變。示范性實(shí)施例應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為僅 僅是說明性的，而非為限制的目的。因此，本發(fā)明的范圍不由本發(fā)明的詳 細(xì)說明限制，而由權(quán)利要求限制，在該范圍內(nèi)的所有差別都將被解釋為包 括在本發(fā)明內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置，該裝置包含多個(gè)噴嘴，其中的每一個(gè)都能前后移動(dòng)并供應(yīng)化學(xué)液體；將噴嘴容納在其中的噴嘴罩，其具有開口端使每個(gè)噴嘴都能移進(jìn)或移出噴嘴罩；以及前后移動(dòng)每個(gè)噴嘴的噴嘴驅(qū)動(dòng)器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于還包含使其中具有噴嘴的 噴嘴罩左右移動(dòng)的水平噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于還包含使其中具有噴嘴的 噴嘴罩上下移動(dòng)的垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于還包含繞與噴嘴罩開口端 相對(duì)的噴嘴罩的一端旋轉(zhuǎn)其中具有噴嘴的噴嘴罩的噴嘴罩旋轉(zhuǎn)裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于還包含使其中具有噴嘴的 噴嘴罩上下移動(dòng)的垂直噴嘴罩驅(qū)動(dòng)器。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于噴嘴驅(qū)動(dòng)器使用氣缸前后 移動(dòng)每個(gè)噴嘴。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于還包含化學(xué)液體噴出器， 該化學(xué)液體噴出器收集噴嘴滴落的化學(xué)液體并從噴嘴罩噴出收集到的化 學(xué)液體。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于為每個(gè)噴嘴形成化學(xué)液體 噴出器。
全文摘要
提供一種用于供應(yīng)化學(xué)液體的裝置。該裝置包括多個(gè)噴嘴，其中的每一個(gè)都能前后移動(dòng)并供應(yīng)化學(xué)液體；將噴嘴容納在其中的噴嘴罩，其具有開口端使每個(gè)噴嘴都能移進(jìn)或移出噴嘴罩；以及前后移動(dòng)每個(gè)噴嘴的噴嘴驅(qū)動(dòng)器。
文檔編號(hào)B08B11/00GK101406888SQ20081016746
公開日2009年4月15日 申請(qǐng)日期2008年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月11日
發(fā)明者具教旭, 樸根憐, 金是殷 申請(qǐng)人:株式會(huì)社細(xì)美事