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      一種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置的制作方法

      文檔序號(hào):1325495閱讀:219來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及液晶屏制造技木,特別是指ー種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置。
      背景技術(shù)
      制造液晶顯示器(LCD, Liquid Crystal Display)的過(guò)程中,采用真空對(duì)盒設(shè)備(VAS,Vacuum Alignment System)將陣列(Array)基板和彩膜(CF,Color Filter)基板貼合在一起。對(duì)盒設(shè)備的定盤采用粘性薄膜吸盤(SFC,Sticky Film Chuck)吸附基板(包括Array基板和CF基板,以下均簡(jiǎn)稱為基板),定盤及SFC上沾染灰塵后會(huì)影響LCD的良品率;隨著SFC黏著カ的下降,還存在吸附不住基板的風(fēng)險(xiǎn),因此需要定期的清潔對(duì)盒設(shè)備?,F(xiàn)有技術(shù)中,在對(duì)盒設(shè)備運(yùn)行了一定的時(shí)間后停止其運(yùn)行,人工清潔對(duì)盒設(shè)備的定盤與SFC?!がF(xiàn)有技術(shù)存在如下問(wèn)題人工清潔消耗的時(shí)間較長(zhǎng),影響對(duì)盒設(shè)備的嫁動(dòng)率;人為疏忽會(huì)損傷對(duì)盒設(shè)備,影響對(duì)盒設(shè)備的使用壽命;清潔過(guò)程需要打開(kāi)對(duì)盒設(shè)備的安全門導(dǎo)致對(duì)盒設(shè)備的潔凈度下降;并且人工接觸清潔材料會(huì)對(duì)身體健康不利。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供ー種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中,人工清潔消耗的時(shí)間較長(zhǎng),影響對(duì)盒設(shè)備的嫁動(dòng)率的缺陷。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型的實(shí)施例提供ー種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置,包括用于通過(guò)改變空間位置來(lái)接觸對(duì)盒設(shè)備,并對(duì)所述對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行清潔操作的滾輪;用于控制所述滾輪在空間的X、Y和Z三個(gè)軸方向上進(jìn)行移動(dòng)來(lái)改變空間位置的位
      置調(diào)整單元;用于存儲(chǔ)清潔材料的儲(chǔ)蓄盒;與所述儲(chǔ)蓄盒連接,用于對(duì)所述滾輪噴灑所述清潔材料,以及采用潔凈水對(duì)使用后的所述滾輪進(jìn)行清潔的處理單元。所述的裝置中,還包括與所述處理單元連接,用于對(duì)所述潔凈水進(jìn)行過(guò)濾的過(guò)濾器。所述的裝置中,所述位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的線性馬達(dá)。所述的裝置中,所述位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的伺服電機(jī)。所述的裝置中,所述位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪在X軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的氣缸。所述的裝置中,所述位置調(diào)整單元包括位于所述滾輪ー側(cè),用于控制所述滾輪按其軸向進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)馬達(dá)。[0016]所述的裝置中,所述處理単元包括用于控制向所述滾輪噴灑的所述潔凈水的流速和流量的第一閥門。所述的裝置中,所述處理単元包括用于控制向所述滾輪噴灑的所述清潔材料的流速和流量的第二閥門。所述的裝置中,所述處理単元包括用于排出使用后的清潔材料和使用后的潔凈水的排水孔。所述的裝置中,還包括用于為所述滾輪在空間的Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌;用于為所述滾輪在空間的Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌;以及,連接所述氣缸和伺服電機(jī),用于將所述伺服電機(jī)產(chǎn)生的動(dòng)カ傳遞至所述氣缸,控制所述氣缸在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的絲杠。本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案的有益效果如下在對(duì)滾輪噴灑了清潔材料之后,由于對(duì)盒設(shè)備的上定盤和下定盤在Z軸方向上高度不同,并且在Y軸方向上比滾輪本身的寬度更寬,因此調(diào)節(jié)滾輪的空間位置,使其能夠直接接觸對(duì)盒設(shè)備,并采用清潔材料通過(guò)滾輪自身的旋動(dòng)擦拭對(duì)盒設(shè)備的定盤及SFC。解決了現(xiàn)有技術(shù)中,人工清潔消耗的時(shí)間較長(zhǎng),影響對(duì)盒設(shè)備的嫁動(dòng)率的缺陷。

      圖I表示對(duì)盒設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2表示ー種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3表示清潔裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖;圖4表不清潔裝置的局部俯視不意圖;I 第一閥門;2 第二閥門;3 排水孔;4 儲(chǔ)蓄盒;5 過(guò)濾器;6 伺服電機(jī);7 線性馬達(dá);8 氣缸;9 步進(jìn)馬達(dá);10 滾輪;11 導(dǎo)軌;12 絲杠;13 導(dǎo)管。
      具體實(shí)施方式
      為使本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。[0042]生產(chǎn)液晶屏的過(guò)程中需要定期對(duì)對(duì)盒設(shè)備的定盤和位于定盤上的對(duì)基板進(jìn)行吸附的SFC進(jìn)行清潔。如圖I所示,對(duì)盒設(shè)備的結(jié)構(gòu)包括定盤和SFC,定盤又包括上定盤和下定盤,SFC固定于上定盤和下定盤上,用于吸附基板,具體分布在上定盤與下定盤相対的兩個(gè)工作面上,圖I中以多個(gè)橢圓形示意。不失一般性,采用XYZ坐標(biāo)系描述對(duì)盒設(shè)備所處的空間,其中,定盤的長(zhǎng)度所在的方向作為Y軸方向,對(duì)盒設(shè)備的高度所在的方向作為Z軸方向,Y軸與Z軸構(gòu)成ー個(gè)YZ平面,X軸方向垂直于這ー YZ平面。上定盤和下定盤在Z軸方向上高度不同。本實(shí)用新型實(shí)施例為實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)盒設(shè)備的定盤和SFC進(jìn)行自動(dòng)清潔,提供一種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置,如圖2所示,包括用于通過(guò)改變空間位置來(lái)接觸對(duì)盒設(shè)備,并對(duì)所述對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行清潔操作的滾輪10 ;用于控制所述滾輪10在空間的X、Y和Z三個(gè)軸方向上進(jìn)行移動(dòng)來(lái)改變空間位置的位置調(diào)整單元;用于存儲(chǔ)清潔材料的儲(chǔ)蓄盒4 ;與所述儲(chǔ)蓄盒4連接,用于對(duì)所述滾輪10噴灑所述清潔材料,以及采用潔凈水(DIff, Deionized Water,又稱去離子水)對(duì)使用后的所述滾輪10進(jìn)行清潔的處理單元。采用本方案之后的優(yōu)勢(shì)是在對(duì)滾輪10噴灑了清潔材料之后,由于對(duì)盒設(shè)備的上定盤和下定盤在Z軸方向上高度不同,并且在Y軸方向上比滾輪10本身的寬度更寬,因此采用位置調(diào)整單元調(diào)節(jié)滾輪10的空間位置,使?jié)L輪10能夠直接接觸對(duì)盒設(shè)備,并采用清潔材料通過(guò)滾輪10的旋動(dòng)擦拭對(duì)盒設(shè)備的定盤及SFC。圖2中,為方便標(biāo)識(shí)位置調(diào)整單元所包括的部件,將滾輪10放置在位置調(diào)整單元的外側(cè),在實(shí)際的裝置中,滾輪10應(yīng)當(dāng)與位置調(diào)整單元中的部件銜接在一起。滾輪10的外觀呈現(xiàn)圓柱狀,與對(duì)盒設(shè)備接觸的面是柱狀面;滾輪10的側(cè)面與位置調(diào)整單元的步進(jìn)馬達(dá)9設(shè)置在一起。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,儲(chǔ)蓄盒4在裝置的上方,在儲(chǔ)蓄盒4中存放清潔材料,當(dāng)清潔材料的量小于設(shè)定值時(shí)發(fā)生報(bào)警(Warning),提醒向儲(chǔ)蓄盒4中加入清潔材料。清潔材料具體可以是IPA試劑(ニ甲基甲醇,Iso-Propyl Alcohol),但不限于IPA試劑。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,還包括與處理單元連接,用于對(duì)輸入所述處理単元的所述潔凈水進(jìn)行過(guò)濾的過(guò)濾器5。清潔滾輪用的水必須是潔凈水,為了防止エ廠提供的清潔用水達(dá)不到要求,需要通過(guò)添加一個(gè)過(guò)濾器5對(duì)取自エ廠的清潔用水預(yù)先進(jìn)行過(guò)濾,以保證潔凈水對(duì)滾輪10的清潔效果。如圖3所示,在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪10在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的線性馬達(dá)7,與具體的對(duì)盒設(shè)備的尺寸實(shí)現(xiàn)配套。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪10在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的伺服電機(jī)6,與具體的對(duì)盒設(shè)備的尺寸實(shí)現(xiàn)配套。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,位置調(diào)整單元包括用于控制所述滾輪10在X軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的氣缸8 ;所述氣缸8可以采用多級(jí)結(jié)構(gòu),與具體的對(duì)盒設(shè)備的尺寸實(shí)現(xiàn)配套。[0059]在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,位置調(diào)整單元包括位于滾輪10 —側(cè),用于控制所述滾輪10按其軸向進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)馬達(dá)9。其中,滾輪10與對(duì)盒設(shè)備接觸的面是柱狀面,為保證柱狀面的每ー個(gè)部分均能夠用于清潔操作,因此,步進(jìn)馬達(dá)9應(yīng)當(dāng)能夠?qū)L輪10的柱狀面進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),使其每ー個(gè)部分均可以接觸對(duì)盒設(shè)備。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,處理單元包括用于控制向所述滾輪10噴灑的所述潔凈水的流速和流量的第一閥門I (Vl)。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,處理單元包括用于控制向所述滾輪10噴灑的所述清潔材料的流速和流量的第二閥門2(V2)。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,處理單元包括用于排出使用后的清潔材料和使用后的潔凈水的排水孔3。清潔裝置上裝有處理槽,處理槽位于清潔裝置的恰當(dāng)位置,該恰當(dāng)位置是指,在滾 輪10處于工作狀態(tài)時(shí),不會(huì)妨礙滾輪10的清潔動(dòng)作;滾輪10初始狀態(tài)下位于處理槽中;由第二閥門2控制對(duì)滾輪10噴灑清潔材料,使得滾輪10能夠利用沾有清潔材料的柱狀面來(lái)清潔對(duì)盒設(shè)備;由第一閥門I控制,利用DIW對(duì)滾輪進(jìn)行清潔,以便滾輪10的重復(fù)利用,排水孔3用來(lái)排除清潔操作后產(chǎn)生的廢水。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,裝置還包括用于為所述滾輪10在空間的Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌11;用于為所述滾輪10在空間的Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌11 ;以及,連接氣缸8和伺服電機(jī)6,用于將所述伺服電機(jī)6產(chǎn)生的動(dòng)カ傳遞至所述氣缸8,控制所述氣缸8在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的絲杠12。由于氣缸8與滾輪10是連接在一起的,因此,兩者在空間中同步實(shí)現(xiàn)各種移動(dòng);包括在伺服電機(jī)6產(chǎn)生的動(dòng)カ的作用下,由絲杠12帶動(dòng),在Z軸方向上沿著導(dǎo)軌11進(jìn)行Z軸方向上的滑動(dòng),以使得滾輪10能夠處于上定盤或者下定盤的工作面所在的高度。應(yīng)用各個(gè)實(shí)施例提供的技術(shù)方案,在滾輪10對(duì)對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行清潔的過(guò)程中,包括步驟I,滾輪10初始狀態(tài)下位于處理槽中,處理槽通過(guò)導(dǎo)管13連接儲(chǔ)蓄盒4,導(dǎo)管13上具有ー個(gè)第二閥門2,第二閥門2用于控制向滾輪10噴灑的清潔材料的流速和流量。步驟2,打開(kāi)第二閥門2,向滾輪10噴灑清潔材料,完成之后再關(guān)閉第二閥門2。步驟3,非工作狀態(tài)下的滾輪10卡在處理槽中。在需要取出滾輪10吋,Z向上運(yùn)行一段距離后,氣缸8進(jìn)行抽氣,將滾輪10從處理槽中移出。步驟4,滾輪10在Z軸方向上移動(dòng)到上定盤所在的位置,具體需要移動(dòng)的距離由滾輪10的現(xiàn)在位置到上定盤之間的距離長(zhǎng)度決定;具體包括伺服電機(jī)6通過(guò)旋轉(zhuǎn)絲杠12來(lái)移動(dòng)滾輪10,使得滾輪10到達(dá)上定盤在Z軸方向上所處的位置。步驟5,氣缸8開(kāi)始充氣,滾輪10的柱狀面延X(jué)軸方向?qū)?duì)盒設(shè)備的上定盤進(jìn)行清潔,上定盤包含兩個(gè)面,如圖I所示,其中,與下定盤相向的面是上定盤的工作面,清潔上定盤的過(guò)程中,應(yīng)當(dāng)是對(duì)上定盤的工作面進(jìn)行清潔;滾輪IOX軸的定向移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)對(duì)這一片區(qū)域的清潔。清潔的過(guò)程中,通常是將滾輪10朝著一個(gè)方向移動(dòng)實(shí)現(xiàn)單方向清潔,不需要反復(fù)來(lái)回地在工作面上移動(dòng)滾輪10。步驟6,伺服電機(jī)6控制滾輪10在Z軸方向向下運(yùn)動(dòng),使?jié)L輪10與上定盤的工作面脫離。步驟7,氣缸8進(jìn)行抽氣,將滾輪10從上定盤抽出,以方便滾輪10在空間中進(jìn)行其他動(dòng)作調(diào)整。步驟8,上定盤的長(zhǎng)度大于滾輪10的寬度,線性馬達(dá)7控制滾輪10延Y軸方向移動(dòng)滾輪10寬度的距離,并且,由于滾輪10的柱狀面上一定角度的面已經(jīng)被使用過(guò)了,因此可以將滾輪10旋轉(zhuǎn)過(guò)上述角度的面,為清潔上定盤的工作面的其他區(qū)域做好準(zhǔn)備。 轉(zhuǎn)步驟4,持續(xù)循環(huán),直至滾輪10的柱狀面上位于不同角度的面均被用于對(duì)上定盤進(jìn)行過(guò)清潔操作。步驟9,清潔完上定盤之后,需要對(duì)下定盤進(jìn)行清潔,因此,將Z軸下降到下定盤的位置。步驟10,氣缸8充氣,滾輪10的柱狀面延X(jué)軸方向?qū)?duì)盒設(shè)備的下定盤進(jìn)行清潔,下定盤包含兩個(gè)面,如圖I所示,其中,與上定盤相向的面是下定盤的工作面,清潔下定盤的過(guò)程中,應(yīng)當(dāng)是對(duì)下定盤的工作面進(jìn)行清潔;滾輪10在X軸方向上定向移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)對(duì)這一片區(qū)域的清潔。清潔的過(guò)程中,通常是將滾輪10朝著一個(gè)方向移動(dòng)實(shí)現(xiàn)單方向清潔,不需要反復(fù)來(lái)回地在工作面上移動(dòng)滾輪10。步驟11,伺服電機(jī)6控制滾輪10在Z軸方向向上運(yùn)動(dòng),使?jié)L輪10與下定盤的工作面脫離。步驟12,氣缸8進(jìn)行抽氣,將滾輪10從下定盤處抽出,以方便滾輪10在空間中進(jìn)行其他動(dòng)作調(diào)整。步驟13,由于下定盤的長(zhǎng)度大于滾輪10的寬度,線性馬達(dá)7控制滾輪10延Y軸方向移動(dòng)滾輪10寬度的距離,并且,由于滾輪10的柱狀面上一定角度的面已經(jīng)被使用過(guò)了,因此可以將滾輪10旋轉(zhuǎn)過(guò)上述角度的面,為清潔下定盤的其他部分做好準(zhǔn)備。轉(zhuǎn)步驟9,持續(xù)循環(huán),直至滾輪10的柱狀面上位于不同角度的面均被用于對(duì)下定盤進(jìn)行過(guò)清潔操作。步驟14,清潔完畢后將滾輪10移動(dòng)到處理槽中,打開(kāi)第一閥門I對(duì)其進(jìn)行清潔,以便下次利用。進(jìn)一步地,在清潔過(guò)程中可以設(shè)計(jì)給滾輪10噴灑清潔材料的頻率,例如7個(gè)循環(huán)噴灑一次清潔材料,一共有14次循環(huán),因此在清潔過(guò)程中,實(shí)際上給滾輪10噴灑過(guò)2次清潔材料。清潔材料可以選擇一種可以重復(fù)使用的清潔材料,在使用一定的次數(shù)后進(jìn)行更換,更換過(guò)程中應(yīng)當(dāng)保證盛裝在儲(chǔ)蓄盒4中的清潔材料不出現(xiàn)溢出,以減少對(duì)設(shè)備清潔度的影響。采用自動(dòng)清潔模式對(duì)定盤和SFC進(jìn)行清潔的有益效果包括根據(jù)設(shè)定定時(shí)對(duì)對(duì)盒設(shè)備清潔,清潔耗時(shí)短,提高了對(duì)盒設(shè)備的嫁動(dòng)率;并且,可以很好的控制對(duì)盒設(shè)備上被清潔的區(qū)域以及清潔力度,減少對(duì)對(duì)盒設(shè)備的損害,提高了清潔效果;且由于全部過(guò)程自動(dòng)進(jìn)行,因此對(duì)人體沒(méi)有傷害。[0091]以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō),在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下,還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
      權(quán)利要求1.ー種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置,其特征在于,包括 用于通過(guò)改變空間位置來(lái)接觸對(duì)盒設(shè)備,并對(duì)所述對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行清潔操作的滾輪; 用于控制所述滾輪在空間的x、Y和Z三個(gè)軸方向上進(jìn)行移動(dòng)來(lái)改變空間位置的位置調(diào)整単元; 用于存儲(chǔ)清潔材料的儲(chǔ)蓄盒; 與所述儲(chǔ)蓄盒連接,用于對(duì)所述滾輪噴灑所述清潔材料,以及采用潔凈水對(duì)使用后的所述滾輪進(jìn)行清潔的處理單元。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,還包括 與所述處理單元連接,用于對(duì)所述潔凈水進(jìn)行過(guò)濾的過(guò)濾器。
      3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,所述位置調(diào)整單元包括 用于控制所述滾輪在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的線性馬達(dá)。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置,其特征在于,所述位置調(diào)整單元包括 用于控制所述滾輪在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的伺服電機(jī)。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置,其特征在于,所述位置調(diào)整單元包括 用于控制所述滾輪在X軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的氣缸。
      6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,所述位置調(diào)整單元包括 位于所述滾輪ー側(cè),用于控制所述滾輪按其軸向進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)馬達(dá)。
      7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,所述處理単元包括 用于控制向所述滾輪噴灑的所述潔凈水的流速和流量的第一閥門。
      8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,所述處理単元包括 用于控制向所述滾輪噴灑的所述清潔材料的流速和流量的第二閥門。
      9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置,其特征在于,所述處理単元包括 用于排出使用后的清潔材料和使用后的潔凈水的排水孔。
      10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置,其特征在于,還包括 用于為所述滾輪在空間的Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌; 用于為所述滾輪在空間的Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)提供軌道的導(dǎo)軌; 以及,連接所述氣缸和伺服電機(jī),用于將所述伺服電機(jī)產(chǎn)生的動(dòng)カ傳遞至所述氣缸,控制所述氣缸在Z軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的絲杠。
      專利摘要本實(shí)用新型提供一種對(duì)盒設(shè)備清潔裝置,包括用于通過(guò)改變空間位置來(lái)接觸對(duì)盒設(shè)備,并對(duì)對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行清潔操作的滾輪;用于控制滾輪在空間的X、Y和Z三個(gè)軸方向上進(jìn)行移動(dòng)來(lái)改變空間位置的位置調(diào)整單元;用于存儲(chǔ)清潔材料的儲(chǔ)蓄盒;與儲(chǔ)蓄盒連接,用于對(duì)滾輪噴灑清潔材料,以及采用潔凈水對(duì)使用后的滾輪進(jìn)行清潔的處理單元。在對(duì)滾輪噴灑了清潔材料之后,由于對(duì)盒設(shè)備的上定盤和下定盤在Z軸方向上高度不同,并且在Y軸方向上比滾輪本身的寬度更寬,因此調(diào)節(jié)滾輪的空間位置,使其能夠直接接觸對(duì)盒設(shè)備,并采用清潔材料通過(guò)滾輪自身的旋動(dòng)擦拭對(duì)盒設(shè)備的定盤及SFC。
      文檔編號(hào)B08B1/04GK202621480SQ201220257780
      公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月1日
      發(fā)明者潘明超, 文斌 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司
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