專(zhuān)利名稱(chēng)：防止液體回濺裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及防止液體回濺裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體晶片清洗工藝的防止液體回濺裝置。
背景技術(shù)：
隨著集成電路特征尺寸進(jìn)入到深亞微米階段，晶片清洗已經(jīng)從最初簡(jiǎn)單的槽式清洗發(fā)展到了精度更高的單片清洗。在單晶片清洗過(guò)程中，利用高速旋轉(zhuǎn)可將晶片上的液體甩干，使晶片干燥。圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)中晶片清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，晶片I進(jìn)行清洗時(shí)，首先需要將晶片I放置在卡盤(pán)2上；然后通過(guò)控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)9帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸6進(jìn)行低速 旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸6帶動(dòng)卡盤(pán)2進(jìn)行低速旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度為每秒400轉(zhuǎn)；最后通過(guò)控制噴淋臂電機(jī)8，使液體噴射臂5與待清洗的半導(dǎo)體晶片I以一定高度的距離放置，一般為70_，當(dāng)液體噴射臂5中有清洗液或超純水噴出時(shí)，噴淋臂電機(jī)8帶動(dòng)液體噴射臂5在晶片I表面左右擺動(dòng)，使得清洗液或超純水均勻覆蓋整個(gè)晶片I的表面。晶片I清洗干凈后，提高旋轉(zhuǎn)電機(jī)9的轉(zhuǎn)速，使卡盤(pán)2的轉(zhuǎn)速提高到每秒1900轉(zhuǎn)，利用旋轉(zhuǎn)電機(jī)9的高速旋轉(zhuǎn)甩干晶片I上的液體，使晶片I干燥。清洗設(shè)備的工藝腔室中，環(huán)繞卡盤(pán)2的周?chē)鷷?huì)設(shè)置側(cè)壁3，使從晶片I上甩開(kāi)的液體碰撞到側(cè)壁3后順著側(cè)壁3往下流，防止液體飛濺至側(cè)壁3之外，污染清洗設(shè)備的其它組件。如圖I所示，當(dāng)卡盤(pán)2進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，液體會(huì)以高速離開(kāi)晶片1，當(dāng)液體碰到側(cè)壁3以后，液滴12會(huì)拉伸、反彈，導(dǎo)致一部分液滴12會(huì)回濺到晶片I上，造成晶片I的二次污染。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本實(shí)用新型提供一種防止液體回濺裝置，用以解決晶片清洗工藝中因高速旋轉(zhuǎn)從晶片上甩開(kāi)的液體碰撞到側(cè)壁反彈回晶片造成的晶片二次污染問(wèn)題。(二)技術(shù)方案本實(shí)用新型提供一種防止液體回濺裝置，包括用于放置物體的卡盤(pán)、與所述卡盤(pán)固定連接用于旋轉(zhuǎn)所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸以及環(huán)設(shè)于所述卡盤(pán)周?chē)膫?cè)壁，所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)用于甩干所述物體上的液體，所述側(cè)壁用于防止從所述物體上甩開(kāi)的液體飛濺至所述側(cè)壁之夕卜，其中，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置有一層用于防止液體回濺的有機(jī)薄膜。如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)粘有一層所述有機(jī)薄膜。如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)鍍有一層所述有機(jī)薄膜。如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)涂有一層所述有機(jī)薄膜。[0012]如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述有機(jī)薄膜為多孔透氣膜，不溶于水且具有抗腐蝕性。如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述有機(jī)薄膜為聚氨酯薄膜，所述聚氨酯薄膜具有多孔結(jié)構(gòu)，所述孔的孔徑為0. 2-10 u Hi0如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述卡盤(pán)和側(cè)壁為抗腐蝕材質(zhì)。如上所述的防止液體回濺裝置，優(yōu)選的是，所述卡盤(pán)和側(cè)壁的材質(zhì)為聚丙烯、玻璃紙或聚乙烯。(三)有益效果本實(shí)用新型所提供的防止液體回濺裝置通過(guò)在側(cè)壁的內(nèi)側(cè)粘接一層有機(jī)薄膜，增加液體撞擊側(cè)壁時(shí)的抗變形能力，從而防止從物體上甩開(kāi)的液體由側(cè)壁回濺至物體上，克服了對(duì)物體的二次污染。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中晶片清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中防止液體回濺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，I :晶片；2 :卡盤(pán)；3 :側(cè)壁；4 :有機(jī)薄膜；5 :液體噴射臂；6 :旋轉(zhuǎn)軸；7 :排液管；8 :噴淋臂電機(jī)；9 :旋轉(zhuǎn)電機(jī)；10 :控制模塊；11 :操作終端；12 :液滴。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。圖2所示為本實(shí)用新型實(shí)施例中防止液體回濺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例中的防止液體回濺裝置包括用于放置物體的卡盤(pán)2、與卡盤(pán)2固定連接用于旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)2的旋轉(zhuǎn)軸6以及環(huán)設(shè)于卡盤(pán)2周?chē)膫?cè)壁3，并在側(cè)壁3的內(nèi)側(cè)設(shè)置一層有機(jī)薄膜4，本實(shí)施例中可以通過(guò)在側(cè)壁3的內(nèi)側(cè)粘、鍍或涂一層有機(jī)薄膜4，優(yōu)選鍍或涂，使得有機(jī)薄膜4和側(cè)壁3的內(nèi)側(cè)更加貼合，延長(zhǎng)有機(jī)薄膜4的使用周期。其中，本實(shí)施例中的物體為晶片1，因?yàn)榍逑淳琁的清洗液為化學(xué)清洗液，所以?xún)?yōu)選有機(jī)薄膜4為多孔透氣膜，不溶于水且具有抗腐蝕性，例如聚氨酯薄膜，聚氨酯薄膜具有耐溶劑性，不會(huì)被化學(xué)清洗液腐蝕，其中，聚氨酯薄膜還具有微細(xì)多孔結(jié)構(gòu)，其孔徑為
0.2—10 u m,只能透過(guò)微粒約為0. 4nm的水蒸氣分子，而對(duì)任何液滴12，因其粒徑過(guò)大而無(wú)法通過(guò)，因此聚氨酯薄膜具有很好的透氣性和防水性，而且聚氨酯薄膜的回彈性差，能夠增加撞擊到側(cè)壁3內(nèi)壁的液滴12的抗變形能力，防止液體回濺。當(dāng)然，本領(lǐng)域所屬技術(shù)人員很容易想到，只要有機(jī)薄膜4具有耐腐蝕性、回彈性差，并具有微細(xì)多孔結(jié)構(gòu)就可以用于本實(shí)用新型實(shí)施例中的防止液體回濺裝置中，而并不局限于聚氨酯薄膜，其都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例中防止液體回濺裝置的組件可以利用現(xiàn)有技術(shù)中晶片清洗設(shè)備中的組件，只需要在側(cè)壁3上設(shè)置一層有機(jī)薄膜4，不需單獨(dú)生產(chǎn)，節(jié)約大量成本，同時(shí)有機(jī)薄膜4非常干凈，不會(huì)給設(shè)備帶來(lái)污染。其中，側(cè)壁3的底部還可以具有底盤(pán)13，用于收集從晶片I上甩開(kāi)的液體，底盤(pán)13上還可以設(shè)置排液管7，用于排出底盤(pán)13上收集的液體，防止液體在底盤(pán)13上積聚，以便于連續(xù)使用。由于清洗晶片I的清洗液為化學(xué)清洗液，具有一定的腐蝕性，所以本實(shí)施例中優(yōu)選卡盤(pán)2、側(cè)壁3、底盤(pán)13和排液管7均為抗腐蝕材質(zhì)，如聚丙烯、玻璃紙或聚乙烯。本實(shí)用新型實(shí)施例中的防止液體回濺裝置通過(guò)在側(cè)壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置一層有機(jī)薄膜，增加液體撞擊到側(cè)壁內(nèi)壁時(shí)的抗變形能力，在液體與側(cè)壁的內(nèi)側(cè)表面撞擊時(shí)，大多數(shù)能量都轉(zhuǎn)化為熱，不會(huì)產(chǎn)生反彈、飛濺，從而防止從晶片上甩開(kāi)的液體由側(cè)壁回濺至晶片上，克服了對(duì)晶片的二次污染。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，優(yōu)選通過(guò)設(shè)置控制模塊10來(lái)控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)9和噴淋臂電機(jī)8，可以 通過(guò)操作終端11輸入控制指令并發(fā)送給控制模塊10來(lái)控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)9和噴淋臂電機(jī)8的工作狀態(tài)，其中，操作終端11為觸摸屏或鍵盤(pán)等輸入裝置，使得整個(gè)控制過(guò)程更精確。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種防止液體回濺裝置，包括用于放置物體的卡盤(pán)、與所述卡盤(pán)固定連接用于旋轉(zhuǎn)所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸以及環(huán)設(shè)于所述卡盤(pán)周?chē)膫?cè)壁，所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)用于甩干所述物體上的液體，所述側(cè)壁用于防止從所述物體上甩開(kāi)的液體飛濺至所述側(cè)壁之外，其特征在于，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置有一層用于防止液體回濺的有機(jī)薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)粘有一層所述有機(jī)薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)鍍有一層所述有機(jī)薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)涂有一層所述有機(jī)薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述有機(jī)薄膜為多孔透氣膜，不溶于水且具有抗腐蝕性。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述有機(jī)薄膜為聚氨酯薄膜，所述聚氨酯薄膜具有多孔結(jié)構(gòu)，所述孔的孔徑為0. 2-10umo
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述卡盤(pán)和側(cè)壁為抗腐蝕材質(zhì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防止液體回濺裝置，其特征在于，所述卡盤(pán)和側(cè)壁的材質(zhì)為聚丙烯、玻璃紙或聚乙烯。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種防止液體回濺裝置，包括用于放置物體的卡盤(pán)、與所述卡盤(pán)固定連接用于旋轉(zhuǎn)所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸以及環(huán)設(shè)于所述卡盤(pán)周?chē)膫?cè)壁，所述卡盤(pán)的旋轉(zhuǎn)用于甩干所述物體上的液體，所述側(cè)壁用于防止從所述物體上甩開(kāi)的液體飛濺至所述側(cè)壁之外，其中，所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)設(shè)置有一層有機(jī)薄膜，通過(guò)該有機(jī)薄膜增加液體的抗變形能力，從而防止從物體上甩開(kāi)的液體由側(cè)壁回濺至物體上，克服了對(duì)物體的二次污染。
文檔編號(hào)B08B13/00GK202779106SQ201220394790
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者劉偉, 吳儀 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司