除塵裝置制造方法
【專利摘要】一種除塵裝置，將兩列空氣噴出口（16）呈鋸齒狀配置，并在兩列空氣噴出口（16）的外側(cè)將第一空氣吸入口（26）和第二空氣吸入口（27）以錯(cuò)開的方式呈鋸齒狀配置。從空氣噴出口（16）朝向板（P）垂直地噴射的高速空氣在利用其風(fēng)壓使附著于板（P）的灰塵剝離之后，與灰塵一起從第一及第二空氣吸入口（26、27）吸引除去。通過將形成于供氣腔室（11）的空氣噴出口（16）和第一及第二空氣吸入口（26、27）分別呈鋸齒狀配置，不會(huì)發(fā)生因壓力而空氣噴出口（16）或第一及第二空氣吸入口（26、27）局部變寬或變窄的情況，能夠維持將寬度保持恒定的狀態(tài)。
【專利說明】除塵裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將附著在基板(顯示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或薄板等被清洗物的表面上的塵?；蛭廴疚⒘Ｗ拥葎冸x而使其浮游，并將該浮游物吸引除去的除塵裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為附著在基板(顯示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或薄板等上的塵?；蛭廴疚⒘Ｗ拥鹊某龎m裝置，已知有例如專利文獻(xiàn)I的除塵裝置。該除塵裝置構(gòu)成為，配置有具備噴射高壓空氣的空氣噴出用狹縫的供氣腔室和在該供氣腔室的兩側(cè)具備空氣吸氣用狹縫的吸氣腔室，從空氣噴出用狹縫朝向在搬運(yùn)路上搬運(yùn)的被清洗物噴射高壓空氣，在利用其風(fēng)壓將附著于被清洗物的塵?；蛭廴疚⒘Ｗ拥?以下，簡(jiǎn)稱為灰塵)剝離之后，從空氣吸氣用狹縫向各吸氣腔室內(nèi)吸引除去。
[0003]另外，本申請(qǐng) 申請(qǐng)人:在專利文獻(xiàn)2中，提出了沿著包裝體(供氣腔室)的長(zhǎng)度方向斷續(xù)或連續(xù)地形成有長(zhǎng)條的空氣噴出用狹縫的空氣幕裝置。該專利文獻(xiàn)2所示的裝置用作為在清洗領(lǐng)域等中將玻璃基板上的水滴吹飛的空氣幕裝置，但是若在噴射高壓空氣的供氣腔室的兩側(cè)配置專利文獻(xiàn)I所示的吸氣腔室，則即使轉(zhuǎn)用成除塵裝置，在結(jié)構(gòu)上也簡(jiǎn)單。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-346515號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特愿2000-277252 (日本特開2002-89925號(hào)公報(bào))

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]在所述專利文獻(xiàn)1、2所示的裝置中，沿著供氣腔室的長(zhǎng)度方向形成有用于噴射高壓空氣的空氣噴出用狹縫，但是作為該空氣噴出用狹縫的形成方法，在專利文獻(xiàn)2中，公開了斷續(xù)地形成多個(gè)空氣噴出用狹縫的方法和形成連續(xù)的一連串的空氣噴出用狹縫的方法，但是在斷續(xù)地形成多個(gè)空氣噴出用狹縫時(shí)，存在局部未形成空氣噴出用狹縫的部分，即，存在未向基板噴射空氣的部位，因此可能導(dǎo)致除塵效果的下降。另一方面，在使空氣噴出用狹縫連續(xù)開口時(shí)，由于向供氣腔室內(nèi)供給的空氣的內(nèi)壓的不同，可能無法維持將長(zhǎng)的吸氣用狹縫的寬度保持恒定的狀態(tài)。即，具有如下的課題:當(dāng)沿著供氣腔室的長(zhǎng)度方向形成連續(xù)的吸氣用狹縫時(shí)，該吸氣用狹縫成為斷開處，因供氣腔室的內(nèi)壓而作為斷開處的吸氣用狹縫部分打開，從吸氣用狹縫噴射的高壓空氣的噴射壓也無法保持恒定，由于噴射壓的強(qiáng)弱的不同而可能無法發(fā)揮穩(wěn)定的除塵效果。
[0010]另外，這樣的課題對(duì)于高速地吸引空氣的吸氣用狹縫也一樣。即，具有如下的課題:當(dāng)沿著吸氣腔室的長(zhǎng)度方向連續(xù)地形成吸氣用狹縫時(shí)，由于供氣腔室內(nèi)的負(fù)壓的不同而吸氣用的狹縫局部變窄，空氣的吸引壓變得不均勻，尤其是從吸氣用狹縫吸引不完灰塵時(shí)，由高壓空氣吹飛的灰塵向設(shè)置除塵機(jī)的清潔室等飛散，干凈的環(huán)境也受損。
[0011]因此，本發(fā)明是著眼于上述課題而完成的，第一目的在于提供一種能夠從沿著清潔頭的長(zhǎng)度方向形成的狹縫狀的空氣噴出口高壓噴出穩(wěn)定的均勻的空氣而有效地使灰塵從被清洗物的表面剝離的除塵裝置。
[0012]另外，本發(fā)明的第二目的在于提供一種能夠穩(wěn)定地吸引通過噴射的高壓空氣從被清洗物的表面剝離的灰塵，并有效地抑制灰塵的飛散的除塵裝置。
[0013]用于解決課題的手段
[0014]本發(fā)明的除塵裝置構(gòu)成為，設(shè)有清潔頭，該清潔頭具備噴射高壓空氣的供氣腔室和位于該供氣腔室的兩側(cè)而吸入空氣的一對(duì)吸氣腔室，將該清潔頭與搬運(yùn)路相對(duì)配置，通過所述供氣腔室朝向在所述搬運(yùn)路上搬運(yùn)的被清洗物的上表面噴射高壓空氣，使附著于被清洗物的灰塵剝離而浮游，并利用所述吸氣腔室吸引該浮游物，所述除塵裝置的特征在于，沿著所述清潔頭的長(zhǎng)度方向斷續(xù)地形成多列空氣噴出口，使所述多列空氣噴出口呈狹縫狀地開口，并且以使各列的各空氣噴出口的端部重疊的方式將所述各列的空氣噴出口呈鋸齒狀配置。
[0015]另外，本發(fā)明的除塵裝置的特征在于，與所述空氣噴出口平行地在該空氣噴出口的兩側(cè)將與所述吸氣腔室連通的多列空氣吸入口呈鋸齒狀配置。
[0016]另外，本發(fā)明的除塵裝置的特征在于，在所述空氣吸入口的至少下端部?jī)?nèi)緣側(cè)形成產(chǎn)生紊流的凹陷部。
[0017]另外，本發(fā)明的除塵裝置的特征在于，在所述供氣腔室內(nèi)配置兩端開放的內(nèi)管，并且在該內(nèi)管形成噴出用開口孔，從供氣單元壓送到所述供氣腔室內(nèi)的空氣中，空氣量的2/3向內(nèi)管而剩余的1/3向內(nèi)管與供氣腔室之間分別分離地流入，而且，流入所述內(nèi)管的空氣的一半經(jīng)由噴出用開口孔向所述供氣腔室內(nèi)排出，剩余的一半從內(nèi)管的另一端部向供氣腔室內(nèi)排出，這些空氣與向所述供氣腔室內(nèi)直接導(dǎo)入的空氣一起從所述空氣噴出口朝向所述被清洗物均勻地噴射。
[0018]另外，本發(fā)明的除塵裝置的特征在于，在各吸氣腔室內(nèi)分別配置兩端開放的內(nèi)管，并且在該各內(nèi)管形成吸氣用開口孔，在通過吸氣單元吸引所述吸氣腔室內(nèi)的空氣時(shí)，空氣量的2/3從內(nèi)管而剩余的1/3從內(nèi)管與吸氣腔室之間分別分離地吸引，而且，從所述內(nèi)管吸引的空氣的一半經(jīng)由所述吸氣用開口孔向所述內(nèi)管內(nèi)吸引，剩余的一半從內(nèi)管的另一端部吸引。
[0019]發(fā)明效果
[0020]本發(fā)明中，從空氣噴出口朝向在搬運(yùn)路上搬運(yùn)的被清洗物噴射的高速空氣與被清洗物碰撞，利用其風(fēng)壓使附著于被清洗物的灰塵剝離之后，從空氣吸入口吸入到各吸氣腔室內(nèi)。形成于該供氣腔室的多列空氣噴出口相互平行地呈鋸齒狀配置，因此不會(huì)發(fā)生因供氣腔室的內(nèi)壓而空氣噴出口局部性地變寬等狹縫寬度發(fā)生變化的情況，能夠?qū)⒏骺諝鈬姵隹诘莫M縫寬度保持恒定，因此能夠從各空氣噴出口均勻地噴射空氣，能夠抑制噴射壓的變動(dòng)。
[0021]另外，形成于吸氣腔室的多列空氣吸入口也呈鋸齒狀配置，由此能夠?qū)⒏骺諝馕肟诘莫M縫寬度保持恒定，因此能夠從各空氣噴出口均勻地吸引空氣。而且，由于在空氣吸入口的內(nèi)緣形成凹陷部，因此在凹陷部?jī)?nèi)從空氣噴出口噴射的高速空氣的流速變化，在凹陷部和與該凹陷部連通的空氣吸入口內(nèi)產(chǎn)生卡曼渦旋(紊流)，通過卡曼渦旋(紊流)產(chǎn)生的空氣幕效果，從被清洗物剝離的灰塵停留在空氣吸入口的入口部分，從而能夠從空氣吸入口向吸氣腔室內(nèi)有效地吸入灰塵。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的清潔頭的剖視圖。
[0023]圖2同上，是除塵機(jī)的主視圖。
[0024]圖3同上，是除塵機(jī)的俯視圖。
[0025]圖4同上，是將表示空氣噴出口和空氣吸入口的配置的一部分放大的仰視圖。
[0026]圖5同上，是將表示空氣吸入口處的紊流的空氣吸入口的一部分放大的剖視圖。
[0027]標(biāo)號(hào)說明
[0028]I除塵裝置
[0029]2清潔頭
[0030]11供氣腔室
[0031]12、22 內(nèi)管
[0032]14供氣通道
[0033]15噴出用開口孔
[0034]16空氣噴出口
[0035]21吸氣腔室
[0036]24吸氣通道
[0037]25吸氣用開口孔
[0038]26第一空氣吸入口
[0039]27第二空氣吸入口
[0040]28、29 凹陷部
[0041]P板(被清洗物)
[0042]W搬運(yùn)路
【具體實(shí)施方式】
[0043]以下，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的除塵裝置的實(shí)施例。
[0044]在圖1中，P是作為被清洗物的例如液晶基板等板，W是由輥式輸送機(jī)等構(gòu)成的板P的搬運(yùn)路，板P沿著搬運(yùn)路W向箭頭A方向搬運(yùn)，在該搬運(yùn)路W的上部相對(duì)配置有除塵裝置I。
[0045]所述除塵裝置I具備例如由不銹鋼等構(gòu)成的清潔頭2，在該清潔頭2的中央部配置有向所述板P噴射高壓空氣而使該板P的表面的灰塵剝離的供氣腔室11，在該供氣腔室11的兩側(cè)配置有用于吸引通過所述高壓空氣從所述板P剝離而浮游的灰塵的一對(duì)吸氣腔室 21、21。
[0046]在所述供氣腔室11的內(nèi)部配置有兩端開口的圓筒狀的內(nèi)管12，配置該內(nèi)管12的供氣腔室11的上部形成將所述內(nèi)管12大致包圍的圓筒狀的內(nèi)壁部13，成為該內(nèi)壁部13與內(nèi)管12的雙層結(jié)構(gòu)。而且，在所述供氣腔室11的一端連接有將來自未圖示的供氣單元的高壓空氣向供氣腔室11供給的供氣通道14，供給到供氣通道14內(nèi)的高壓空氣向供氣腔室11和內(nèi)管12分支傳送，在內(nèi)管12的上部側(cè)形成有用于將供給到內(nèi)管12內(nèi)的高壓空氣向供氣腔室11噴出的多個(gè)噴出用開口孔15，在供氣腔室11的底部形成有用于向所述板P噴射高壓空氣的狹縫狀的空氣噴出口 16。即，從所述內(nèi)管12的噴出用開口孔15和供氣腔室11的空氣噴出口 16的噴射方向朝向相反的方向噴射。而且，形成所述空氣噴出口 16的供氣腔室11下部的兩角呈平緩的曲面連續(xù)的漏斗狀，在其底部，所述空氣噴出口 16沿與板P垂直的方向開口。
[0047]吸氣腔室21、21為與所述供氣腔室11大致相同的結(jié)構(gòu)，省略詳細(xì)的說明。在吸氣腔室21、21的上部分別配置有圓筒狀的內(nèi)管22、22，在各吸氣腔室21、21的上部以包圍內(nèi)管22、22的方式形成曲面狀的內(nèi)壁部23。而且，在內(nèi)管22、22的上部形成有吸引所述吸氣腔室21、21內(nèi)的空氣的多個(gè)吸氣用開口孔25，在吸氣腔室21、21成形有吸引外部空氣的第一空氣吸入口 26和第二空氣吸入口 27。
[0048]在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，對(duì)內(nèi)管22、22相對(duì)于吸氣腔室21、21的長(zhǎng)度及在內(nèi)管22、22形成的內(nèi)管22、22與吸氣用開口孔25的區(qū)域的比率進(jìn)行說明。需要說明的是，這些關(guān)系性對(duì)于供氣腔室11也一樣，參照?qǐng)D3作為代表例而對(duì)吸氣腔室21、21進(jìn)行說明。如圖3所示，內(nèi)管22、22的長(zhǎng)度L2比吸氣腔室21、21的長(zhǎng)度LI短，并且吸氣腔室21、21的形成吸氣用開口孔25的區(qū)域?yàn)槲鼩馇皇?1、21的長(zhǎng)度方向中央部附近，該形成區(qū)域的尺寸優(yōu)選為{ (1/2) XL2}。而且，優(yōu)選在內(nèi)管22、22的兩端部的{ (1/4) XL2}的部分不形成吸氣用開口孔25，而僅在從中間點(diǎn)向左右的{ (1/4) XL2}的長(zhǎng)度部分形成吸氣用開口孔25。
[0049]另外，在設(shè)從吸氣通道24吸引的空氣的量為(V)時(shí)，以從內(nèi)管22內(nèi)吸引的量Vl為{ (2/3) XV}且從內(nèi)壁部23與內(nèi)管22之間吸引的量V2為{ (1/3) XV}的方式?jīng)Q定內(nèi)壁部23及內(nèi)管22的截面形狀。由此，從內(nèi)管22吸引了 { (2/3) XV}的空氣量的空氣中，進(jìn)而從在內(nèi)管22的中央部配置的多個(gè)吸氣用開口孔25吸引{ (1/3) XV}的量，從該內(nèi)管22的末端部吸引{ (1/3) XV}的量，由此，從形成于吸氣腔室21、21的第一及第二空氣吸入口 26、27均勻地吸引空氣。
[0050]需要說明的是，對(duì)于所述供氣腔室11，與吸氣通道24—樣，在設(shè)從供氣通道14導(dǎo)入的高壓空氣的量為(V)時(shí)，以向供氣通道14內(nèi)壓送的量Vl為{ (2/3) XV}，且向供氣腔室11與內(nèi)管12之間導(dǎo)入的量V2為{ (1/3) XV}的方式?jīng)Q定供氣腔室11的內(nèi)壁部13及供氣通道14的截面形狀。由此，向內(nèi)管12壓送的{ (2/3) XV}的高壓空氣量然后從配置在內(nèi)管12的中央部的多個(gè)噴出用開口孔15將{(1/3)XV}的量向供氣腔室11內(nèi)噴出，而且，從該內(nèi)管12的末端部將{ (1/3) XV}的量向供氣腔室11內(nèi)噴出，進(jìn)而，從形成于供氣腔室11的狹縫狀的空氣噴出口 16均勻化而向板P噴射。
[0051]接下來，在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，對(duì)于形成于供氣腔室11的空氣噴出口 16和形成于吸氣腔室21、21的第一空氣吸入口 26及第二空氣吸入口 27的詳情，參照示意性地表示空氣噴出口 16、第一空氣吸入口 26及第二空氣吸入口 27的排列(僅兩側(cè)中的一側(cè))的圖4進(jìn)行說明。如圖4所示，空氣噴出口 16沿著長(zhǎng)度方向形成于供氣腔室11，兩列空氣噴出口 16相互平行地形成在供氣腔室11的大致寬度方向中央部，且各列的各空氣噴出口 16以其端部重合的方式呈鋸齒狀地配置。需要說明的是，空氣噴出口 16的狹縫寬度大致為0.65mm，全長(zhǎng)大致為227mm，各空氣噴出口 16的端部的搭接量大致為1mm。[0052]另外，形成于所述吸氣腔室21、21的第一空氣吸入口 26以與所述空氣噴出口 16大致平行的方式在空氣噴出口 16的外側(cè)隔開大致3_的間隔而斷續(xù)地形成，而且，在第一空氣吸入口 26的外側(cè)，與該第一空氣吸入口 26呈錯(cuò)開狀地形成第二空氣吸入口 27。需要說明的是，如圖1所示，第一空氣吸入口 26的狹縫寬度為大致6mm且朝向外側(cè)傾斜60°。而且，第二空氣吸入口 27的狹縫寬度為大致2mm且朝向外側(cè)傾斜75°。
[0053]而且，如圖5所示，在所述第一空氣吸入口 26的下端部形成有曲面狀的凹陷部28，在第二空氣吸入口 27的下端部形成有傾斜的凹陷部29。需要說明的是，形成于所述第一空氣吸入口 26的凹陷部28以跨第一空氣吸入口 26的兩緣的方式形成，但凹陷部28的中心向內(nèi)側(cè)偏移，其大部分形成在第一空氣吸入口 26的內(nèi)緣側(cè)。另一方面，形成于第二空氣吸入口 27的凹陷部29是僅形成在第二空氣吸入口 27的內(nèi)緣側(cè)的平面狀，其傾斜角相對(duì)于吸氣腔室21、21的底面為15°。
[0054]在以上那樣構(gòu)成的本實(shí)施例中，通過未圖示的供氣單元從供氣通道14向供氣腔室11壓送空氣，該空氣量的2/3向內(nèi)管12而其余的1/3向內(nèi)管12與供氣腔室11之間分別分離地供給。而且，流入到所述內(nèi)管12的空氣的一半從噴出用開口孔15向所述供氣腔室11內(nèi)排出，剩余的一半從內(nèi)管12的另一端部向供氣腔室11內(nèi)排出。這些經(jīng)由內(nèi)管12排出到供氣腔室11的空氣與向所述供氣腔室11內(nèi)直接導(dǎo)入的空氣一起從形成在供氣腔室11的底部的空氣噴出口 16朝向板P均勻地噴射。從空氣噴出口 16朝向板P垂直地噴射的高速空氣在利用其風(fēng)壓使附著于板P的灰塵剝離之后，與灰塵一起從第一及第二空氣吸入口 26、27向各吸氣腔室21、21內(nèi)吸入。
[0055]另外，在吸引所述吸氣腔室21內(nèi)的空氣時(shí)，該空氣量的2/3從內(nèi)管22而剩余的1/3從內(nèi)管22與吸氣腔室21之間分別分離地吸引，而且，從所述內(nèi)管22吸引的空氣的一半經(jīng)由所述吸氣用開口孔25向所述內(nèi)管22內(nèi)吸引，剩余的一半從內(nèi)管22的另一端部吸引，因此從各個(gè)第一及第二空氣吸入口 26、27均勻地吸入空氣。
[0056]另外，從空氣噴出口 16朝向板P垂直地噴射的高速空氣與板P碰撞而呈放射狀地?cái)U(kuò)散，從第一空氣吸入口 26以及其外側(cè)的第二空氣吸入口 27與灰塵一起吸入到吸氣腔室21、21內(nèi)，但是清潔頭I與板P的間隙極其縮窄為I?1.5mm，而且，在第一空氣吸入口 26的內(nèi)緣形成有曲面狀的凹陷部28，因此如圖5所示，在擴(kuò)展的凹陷部28內(nèi)，高速空氣的流速改變，在凹陷部28和與該凹陷部28連通的第一空氣吸入口 26內(nèi)產(chǎn)生卡曼渦旋(紊流)。由此，在第一空氣吸入口 26的入口部分形成基于卡曼渦旋(紊流)的空氣幕，從板P剝離的灰塵停留在第一空氣吸入口 26的入口部分，從第一空氣吸入口 26被吸入到吸氣腔室21內(nèi)。而且，還在該第一空氣吸入口 26的外側(cè)多重地形成具有凹陷部29的第二空氣吸入口 27，因此即便是從所述第一空氣吸入口 26向外側(cè)泄漏的灰塵也能通過第二空氣吸入口 27的凹陷部29的空氣幕效果來防止灰塵的泄漏，能夠由第二空氣吸入口 27吸入而捕捉。
[0057]另外，雖然形成于供氣腔室11的空氣噴出口 16斷續(xù)地形成，但由于兩列空氣噴出口 16相互平行而呈鋸齒狀配置，因此兩列空氣噴出口 16作為一連串的連續(xù)的空氣噴出口發(fā)揮功能，不存在朝向板P局部未噴射空氣的部分。而且，由于各列的空氣噴出口 16斷續(xù)地形成，因此不會(huì)發(fā)生因供氣腔室11的內(nèi)壓而空氣噴出口 16局部性地變寬等狹縫寬度變化的情況，能夠?qū)⒏骺諝鈬姵隹?16的狹縫寬度保持恒定。因此，能夠從各空氣噴出口 16均勻地噴射空氣，能夠抑制噴射壓的變動(dòng)。而且，對(duì)于第一空氣吸入口 26和第二空氣吸入口27，與空氣噴出口 16同樣地呈鋸齒狀配置，由此能夠從第一空氣吸入口 26和第二空氣吸入口 27均勻地吸引空氣。
[0058]以上，詳細(xì)說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并未限定為所述實(shí)施例，在本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠?qū)嵤└鞣N變形。例如，在所述實(shí)施例中示出了設(shè)有2列空氣噴出口 16及第一空氣吸入口 26和第二空氣吸入口 27的例子，但也可以為3列或3列以上。而且，各部的尺寸等也未限定為所述實(shí)施例。
【權(quán)利要求】
1.一種除塵裝置，其構(gòu)成為，設(shè)有清潔頭，該清潔頭具備噴射高壓空氣的供氣腔室和位于該供氣腔室的兩側(cè)而吸入空氣的一對(duì)吸氣腔室，將該清潔頭與搬運(yùn)路相對(duì)配置，通過所述供氣腔室朝向在所述搬運(yùn)路上搬運(yùn)的被清洗物的上表面噴射高壓空氣，使附著于被清洗物的灰塵剝離而浮游，并利用所述吸氣腔室吸引該浮游物，所述除塵裝置的特征在于， 沿著所述清潔頭的長(zhǎng)度方向斷續(xù)地形成多列空氣噴出口，使所述多列空氣噴出口呈狹縫狀地開口，并且以使各列的各空氣噴出口的端部重疊的方式將所述各列的空氣噴出口呈鋸齒狀配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于， 與所述空氣噴出口平行地在該空氣噴出口的兩側(cè)將與所述吸氣腔室連通的多列空氣吸入口呈鋸齒狀配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于， 在所述空氣吸入口的至少下端部?jī)?nèi)緣側(cè)形成產(chǎn)生紊流的凹陷部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于， 在所述供氣腔室內(nèi)配置兩端開放的內(nèi)管，并且在該內(nèi)管形成噴出用開口孔，從供氣單元壓送到所述供氣腔室內(nèi)的空氣中，空氣量的2/3向內(nèi)管而剩余的1/3向內(nèi)管與供氣腔室之間分別分離地流入，而且，流入所述內(nèi)管的空氣的一半經(jīng)由噴出用開口孔向所述供氣腔室內(nèi)排出，剩余的一半從內(nèi)管的另一端部向供氣腔室內(nèi)排出，這些空氣與向所述供氣腔室內(nèi)直接導(dǎo)入的空氣一起從所述空氣噴出口朝向所述被清洗物均勻地噴射。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于， 在各吸氣腔室內(nèi)分別配置兩端開放的內(nèi)管，并且在該各內(nèi)管形成吸氣用開口孔，在通過吸氣單元吸引所述吸氣腔室內(nèi)的空氣時(shí)，空氣量的2/3從內(nèi)管而剩余的1/3從內(nèi)管與吸氣腔室之間分別分離地吸引，而且，從所述內(nèi)管吸引的空氣的一半經(jīng)由所述吸氣用開口孔向所述內(nèi)管內(nèi)吸弓丨，剩余的一半從內(nèi)管的另一端部吸引。
【文檔編號(hào)】B08B5/00GK103817109SQ201310574604
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月16日
【發(fā)明者】庫(kù)田裕二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日藤工業(yè)