專(zhuān)利名稱(chēng):一種生產(chǎn)光學(xué)組件的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種用合成石英玻璃生產(chǎn)光學(xué)組件的方法,包括外套管、設(shè)有內(nèi)孔的內(nèi)套管、下表面端靠在內(nèi)孔中對(duì)接件的芯桿、的同軸機(jī)構(gòu)垂直輸送到加熱區(qū),芯桿在加熱區(qū)逐區(qū)加熱而軟化并伸長(zhǎng),得到石英玻璃元件。
背景技術(shù):
光學(xué)纖維的中間產(chǎn)品形式的光學(xué)組件(預(yù)成型或單獨(dú)實(shí)心圓柱體)或者光學(xué)纖維,通過(guò)壓扁和拉伸包括芯桿和復(fù)蓋在芯桿上的多個(gè)套管的同軸組件進(jìn)行生產(chǎn)。該方法的所有變化都強(qiáng)調(diào)同軸引導(dǎo)和芯桿和套管的相對(duì)固定務(wù)求準(zhǔn)確。
美國(guó)專(zhuān)利6,460,378 B1公開(kāi)了一種上面提到類(lèi)型的方法,其中在拉伸工藝中垂直設(shè)置的芯桿同時(shí)覆蓋有內(nèi)套管和外套管。為了固定芯桿,外套管在芯桿的下端部區(qū)設(shè)置了縮小部分??s小部分用作保持環(huán)的對(duì)接件,保持環(huán)在外套管處于垂直狀態(tài)時(shí)從上面進(jìn)入套管的內(nèi)孔。保持環(huán)的外徑小于外套管的內(nèi)徑,但稍大于縮小部分的內(nèi)徑,所以保持環(huán)可從上面落到縮小部分。芯桿的錐形下端部拉伸通過(guò)中心孔,形成對(duì)芯桿的止動(dòng)。此外,第一內(nèi)套管的前側(cè)靠在保持環(huán)上。在這個(gè)方法中,必須設(shè)置縮小部分,以相對(duì)固定組件(芯桿和兩個(gè)套管)。形成縮小部分要求采用非常復(fù)雜的熱成型步驟,尤其是在外套管一般具有非常大截面的情況下,因此要進(jìn)行大量加熱。此外,要求適合于縮小部分和成型為保持環(huán)形式的易損石英玻璃件。建議的各組件的相對(duì)固定形式要求精確水平定位所述保持環(huán),這是很困難的,這是由于縮小部分通過(guò)玻璃吹制技術(shù)制造,具有公知的涉及尺寸穩(wěn)定的局限性。
通過(guò)保持環(huán)互相固定的組件然后在上端進(jìn)行熔凝,在外套管的內(nèi)孔中產(chǎn)生并保持真空。為此,需要設(shè)置密封環(huán)以密封內(nèi)和外套管之間的間隙,密封環(huán)還有助于在組件的上部區(qū)互相固定部件。還需要另外的加熱步驟來(lái)熔化上端,但保證后來(lái)不偏離希望的幾何形狀是不可能的。
光學(xué)高質(zhì)量組件的可重復(fù)生產(chǎn)性要求對(duì)制造方面作出很大努力,要花費(fèi)大量時(shí)間,以保證拉伸前的準(zhǔn)確同軸設(shè)置,芯桿和套管的相對(duì)固定。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的目的是提供一種簡(jiǎn)單和便宜的生產(chǎn)方法,可通過(guò)對(duì)同軸設(shè)置的芯桿和多個(gè)套管進(jìn)行拉伸,得到高質(zhì)量的光學(xué)組件。
基于上面提到的方法,本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了這個(gè)目的,對(duì)接件設(shè)置成內(nèi)套管的內(nèi)孔的收縮件。
與已知的方法比較,保持環(huán)和外套管的內(nèi)徑的收縮部分都不必與芯桿固定。
保持環(huán)可以免除,所以不需要制造保持環(huán),上面提到的由于水平定位保持環(huán)及固定芯桿和內(nèi)套管導(dǎo)致的問(wèn)題也不再存在。
一般地,內(nèi)套管的質(zhì)量小于外套管的質(zhì)量。因此內(nèi)套管的內(nèi)徑的收縮部分的結(jié)構(gòu)不會(huì)帶來(lái)問(wèn)題。形成預(yù)先確定的幾何形狀在技術(shù)上變得容易。
因此,根據(jù)本發(fā)明的方法重復(fù)制造尺寸穩(wěn)定的光學(xué)組件(桿,預(yù)成型件,纖維)變得容易。
外套管可包括一個(gè)或多個(gè)套管?;旧蠈?duì)光學(xué)組件的光導(dǎo)沒(méi)有影響。因此,對(duì)外套管的石英玻璃的光學(xué)性能的要求比較低。因此與內(nèi)套管所用的石英玻璃相比,所需的石英玻璃可以很低成本生產(chǎn)。這是高價(jià)的內(nèi)套管制造得盡可能薄的原因,但是也可以制造得盡可能厚。一般地,內(nèi)套管的壁厚在5毫米到20毫米的范圍。在此光學(xué)組件,外套管的石英玻璃的體積分?jǐn)?shù)為80%或更高。
由于收縮件,內(nèi)套管的內(nèi)孔可完全封閉或部分封閉。在最后提到的變化的方法中,收縮件設(shè)置了軸向連續(xù)的孔,允許氣體吹掃內(nèi)孔,直到在拉伸過(guò)程中內(nèi)孔完全破裂。這種變化的方法是優(yōu)選的。
已經(jīng)證明,芯桿設(shè)有芯部區(qū)是有用的,具有外徑dK的芯部區(qū)被外徑dM的玻璃復(fù)層包圍,dM和dK之比的范圍在2到4,最好在2.5到3.5。
出于成本的原因,靠近芯部的非常復(fù)雜難以生產(chǎn)的最里面的玻璃復(fù)層的體積分?jǐn)?shù)保持盡可能小,而內(nèi)套管的其余套管材料可以非常低的成本制造。
芯桿最好由對(duì)接的芯桿件形成。
為此,容易生產(chǎn)或以低成本生產(chǎn)的小尺寸芯桿可用于制造芯桿,或用選擇的剩余芯桿件制造。芯桿件可互相熔接或者芯桿件松散地互相疊置。最好選擇后一種方式,因?yàn)橐环矫嫘緱U件允許套管和芯桿之間存在很小的安全間隙,另一方面在拉伸過(guò)程中,端表面相對(duì)位移,即端表面是平面的,因此在內(nèi)套管的內(nèi)孔內(nèi)可徑向移動(dòng)和自動(dòng)對(duì)中。
這樣的連接方式中,已經(jīng)證明設(shè)置機(jī)械止動(dòng)件是有用的,可防止芯桿相反于拉伸工藝的拉動(dòng)方向向上移動(dòng)。
在拉伸過(guò)程中,止動(dòng)件防止了芯桿的浮動(dòng)。當(dāng)使用多個(gè)芯桿件時(shí),這具有非常有效的作用。止動(dòng)件可由保持銷(xiāo)形成,其突出內(nèi)套管的壁進(jìn)入內(nèi)孔,并可以抽出。
內(nèi)環(huán)形間隙設(shè)置在芯桿和內(nèi)套管之間,已經(jīng)證明,當(dāng)平均間隙寬度在0.5mm到1.5mm的范圍是最有利的。
小間隙寬度有助于拉伸工藝,可得到光學(xué)部件的高度尺寸穩(wěn)定性(具體是小橢圓度)和芯部不大的偏心度。
在這個(gè)方面,外環(huán)形間隙設(shè)置在內(nèi)套管和外套管之間,還已經(jīng)證明,外環(huán)形間隙的平均間隙寬度不超過(guò)2mm是有利的,最好不超過(guò)1mm。
在根據(jù)本發(fā)明的方法的最優(yōu)選的設(shè)置中,內(nèi)套管可保持沿橫向移動(dòng)。
由于內(nèi)套管能夠自由地沿著拉制方向的橫向移動(dòng),在拉伸過(guò)程中可實(shí)現(xiàn)自對(duì)中。橫向移動(dòng)性是根據(jù)外套管上端部的安裝類(lèi)型產(chǎn)生的,例如,對(duì)于萬(wàn)向節(jié)安裝,這種安裝類(lèi)型容許沿著拉制方向的橫向移動(dòng)或振動(dòng)移動(dòng)。
如果石英玻璃的夾持圓柱體被熔化到外套管的上端,證明是有益的。
夾持圓柱體包括質(zhì)量不高的石英玻璃,成為外套管的夾持機(jī)構(gòu)的一部分。這樣可代替昂貴的石英玻璃并降低了這方面的材料損耗。在最簡(jiǎn)單的情況下,該夾持圓柱是中空的圓柱體,其橫向尺寸與外套管的尺寸相同或類(lèi)似。
夾持圓柱體設(shè)置用于與夾持件接合的周邊槽證明是特別適于安裝外套管。
在本發(fā)明的方法的第一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,第一夾持機(jī)構(gòu)接合外套管的上端,第二夾持機(jī)構(gòu)接合內(nèi)套管的上端,第一和第二夾持機(jī)構(gòu)在機(jī)械上是相互獨(dú)立的。
在這個(gè)結(jié)構(gòu)中,內(nèi)套管及位于其中的芯桿和外套管能沿著拉伸方向和拉伸方向的橫方向相互獨(dú)立地移動(dòng)。在拉伸工序中,這些另外的參數(shù)設(shè)置使得觀(guān)察光學(xué)部件預(yù)先確定的幾何形狀更為方便。
在本發(fā)明方法的另一個(gè)同樣優(yōu)選的實(shí)施例中,第一夾持機(jī)構(gòu)接合外套管上端,而內(nèi)套管的上端夾持在外套管上,或在第一夾持機(jī)構(gòu)上。
在這樣的配置中,外套管同時(shí)起著引導(dǎo)和固定內(nèi)套管及其中的的芯桿的作用。因而避免了設(shè)置單獨(dú)的引導(dǎo)和固定內(nèi)套管和芯桿的夾持機(jī)構(gòu)。
在這個(gè)方面,一種變化的方法證明是特別簡(jiǎn)單的,在內(nèi)套管上端或內(nèi)套管的機(jī)械拉伸部分設(shè)置外套環(huán),其可靠在外套管或其機(jī)械拉伸部分。
例如,外套環(huán)是內(nèi)套管上端的向外凸緣或外伸擴(kuò)展部分,必須保證,外套環(huán)延長(zhǎng)到這樣的程度,可靠著外套管的上側(cè)面或外套管的拉伸部分(如通過(guò)上面介紹的夾持圓柱體)。
內(nèi)套管的羥基平均含量最好是小于1wtppm。
內(nèi)套管的羥基平均含量越低,特別是在內(nèi)套管的內(nèi)孔區(qū)域,光學(xué)組件中羥基(OH基)所產(chǎn)生的衰減百分率也就越小。
通過(guò)拉伸已機(jī)械加工到最終尺寸的中空?qǐng)A柱體來(lái)制造內(nèi)套管可實(shí)現(xiàn)另一個(gè)改進(jìn)。
由于存在包括鉆孔、研磨和珩磨的機(jī)械加工技術(shù),精確尺寸的厚壁石英玻璃圓柱體首先通過(guò)使用已知研磨和珩磨方法和該方法適用的普通設(shè)備來(lái)制造??紤]到后來(lái)的拉伸工序,石英玻璃套管用厚壁圓柱來(lái)制造,套管的長(zhǎng)度是圓柱長(zhǎng)度的數(shù)倍,尤其是,特別光滑的內(nèi)孔在熔體中制造。在隨著芯桿熔化期間,所述光滑內(nèi)表面產(chǎn)生缺陷特別少的接觸面,這可對(duì)光學(xué)部件的質(zhì)量產(chǎn)生有利的影響。
為了保證精確的尺寸,優(yōu)先選擇的工藝是,其中的外套管是已機(jī)械加工到最終尺寸的中空?qǐng)A柱體。
本發(fā)明范圍內(nèi)的機(jī)械加工到最終尺寸的套管也是內(nèi)表面已機(jī)械加工到最終尺寸的套管,并且接下來(lái)還通過(guò)腐蝕進(jìn)行精制。均勻腐蝕工序不會(huì)使中空?qǐng)A柱體的最終幾何形狀有任何實(shí)質(zhì)變化(例如,彎曲或截面橢圓)。
外套管最好形成向下逐漸變小的下端。
與拉制燈泡相似,外套管下端的形狀可使得拉伸工序的啟動(dòng)更容易。
現(xiàn)在將參照實(shí)施例和附圖詳細(xì)地解釋本發(fā)明的方法。附圖是示意圖,詳見(jiàn)圖1是拉伸工序前的裝置的第一實(shí)施例,包括芯桿、內(nèi)套管和外套管;圖2是所述裝置的第二實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式
圖1的裝置顯示出,芯桿1包括多個(gè)高純度合成石英玻璃件2,其氫氧基平均含量小于1wtppm,各合成石英玻璃件在內(nèi)套管3的內(nèi)孔中松散地堆疊。
芯桿2的端面是平面,這樣在內(nèi)套管3的內(nèi)孔中的芯桿件能在一定程度上橫向滑動(dòng),因此在拉伸工序中自對(duì)中。各芯桿件2包括外徑dK為11mm的摻鎵的石英玻璃芯區(qū),芯區(qū)被外徑dM為28mm的非摻雜石英玻璃內(nèi)套管區(qū)圍繞。因此dM與dK的比率為2.55。
內(nèi)套管3的內(nèi)徑為30.0mm而外徑為50mm,內(nèi)套管被內(nèi)徑和外徑分別為52mm和150mm的外套管?chē)@。
因此,內(nèi)套管3和芯桿1之間有環(huán)形間隙12,其平均間隙寬度為1mm,外套管4和內(nèi)套管3之間依然有環(huán)形間隙13,其平均間隙寬度為1mm。
內(nèi)套管3包括高純度合成石英玻璃,其氫氧基平均含量為0.3wtppm。套管3通過(guò)拉伸已機(jī)械加工到最終尺寸的中空?qǐng)A柱體制造出,因此,在熔體中產(chǎn)生套管3的特別光滑內(nèi)孔,而內(nèi)孔的平均粗糙深度(Ra值)約為0.2μm 。
內(nèi)套管3的下端有錐形的向下變細(xì)區(qū),該區(qū)形成內(nèi)套管3的內(nèi)孔的縮小區(qū)6。內(nèi)孔縮小區(qū)6使得開(kāi)口寬度為10mm的連續(xù)開(kāi)口7仍然保持相對(duì)內(nèi)孔。
芯桿1的下端位于所述縮小區(qū)6。芯桿1的上側(cè)由固定桿8形成,通過(guò)使銷(xiāo)穿過(guò)內(nèi)套管3的管壁并拉伸進(jìn)入內(nèi)孔,固定桿可防止拉伸工序出現(xiàn)“浮動(dòng)”,下面將作進(jìn)一步詳細(xì)介紹。
外套管4機(jī)械加工到最終尺寸,其包含合成石英玻璃。外套管4的下端9是向下拉伸的錐形,在拉伸工序中便于進(jìn)行拉伸。
外套管4通過(guò)熔凝的夾持圓柱體10向上拉伸,夾持圓柱體10含有質(zhì)量差的石英玻璃。夾持圓柱體10設(shè)有環(huán)繞的矩形槽11,而環(huán)繞的矩形槽11用作第一夾持件(圖中沒(méi)有顯示)的接收部分,通過(guò)該夾持件外套管被夾住進(jìn)行移動(dòng)。
夾持圓柱體10與外套管4的接合面和固定桿8與最上面的芯桿件2之間的接觸點(diǎn)處于同一水平。
內(nèi)套管3和其中的芯桿1被第二個(gè)夾持件(圖中沒(méi)有顯示出)夾住和引導(dǎo),所述夾持件可使內(nèi)套管3與外套管4無(wú)關(guān)地移動(dòng)。更具體地,安裝內(nèi)套管3的夾持件是帶有萬(wàn)向接頭的,這樣,內(nèi)套管3可以繞萬(wàn)向接頭沿著拉伸方向(方向箭頭5)的橫方向樞軸轉(zhuǎn)動(dòng),在拉伸工序中形成自對(duì)中。
圖2使用與圖1相同的標(biāo)記,其代表的部件和零件與上面參考對(duì)裝置的第一實(shí)施例的介紹所進(jìn)行的詳細(xì)說(shuō)明的部件和零件結(jié)構(gòu)相同或類(lèi)似。
與圖1裝置相比,在圖2裝置中的內(nèi)套管3沒(méi)有被單獨(dú)的夾持件夾持和引導(dǎo),而是被外套管4夾持和引導(dǎo)。為此,內(nèi)套管3上端設(shè)有靠著夾持圓柱體10上側(cè)面的向外拉伸的套環(huán)16。
下面將參照?qǐng)D1詳細(xì)地介紹本發(fā)明方法的典型流程。
首先用VAD法生產(chǎn)芯桿2。為此,通過(guò)軸向沉積中心的摻雜GeO2的芯層及其周?chē)奈磽诫sSiO2層,在旋轉(zhuǎn)支架上產(chǎn)生炱體(sootbody),接著,炱體將在含氯氣氛下進(jìn)行脫水處理,然后在約1350℃范圍的溫度下在玻璃化爐內(nèi)進(jìn)行玻璃化,以得到外徑為28mm而折射率分布合乎要求的芯桿。
單個(gè)芯桿件的重量由其長(zhǎng)度決定,重量會(huì)明顯不同。在所生產(chǎn)的外徑為125μm的光學(xué)纖維中,芯桿件2形成直徑約為8.5μm的芯區(qū)。
作為代替上述用VAD方法生產(chǎn)芯桿的另一可選方法,這些芯桿還可以用已知的MCVD、OVD、PCVD或FCVD(爐中化學(xué)氣相淀積)法生產(chǎn)。
在各種情況下,還為套管3、4形式的外復(fù)層玻璃提供了另外的套管材料,外復(fù)層玻璃在拉制纖維時(shí)被壓制到芯桿1上。套管3、4可在標(biāo)準(zhǔn)OVD方法下生產(chǎn),不必加摻雜劑。
所得到的石英玻璃管的外壁,通過(guò)采用較細(xì)顆粒和連續(xù)幾次環(huán)形橫向或縱向研磨步驟,磨到需要的外部尺寸。同樣,內(nèi)孔用鉆孔機(jī)進(jìn)行鉆孔,并通過(guò)珩磨重復(fù)加工,對(duì)形狀和表面狀態(tài)進(jìn)行了高精度的拋光加工。這將產(chǎn)生沿縱軸方向拉伸的并具有準(zhǔn)確圓截面的直孔。為了降低表面張力和消除表面加工所造成的損壞,各石英玻璃管在HF濃度為5%到30%的氫氟酸池里進(jìn)行短時(shí)間的腐蝕。
產(chǎn)生的石英玻璃管拉伸后的長(zhǎng)度是其原長(zhǎng)度的12倍,這樣就得到具有以上尺寸的內(nèi)套管3。內(nèi)套管3的下端進(jìn)行軟化形成錐體6。
外套管4用類(lèi)似的方法制造,而拉伸步驟和錐體的形成被省略。外套管4的錐形區(qū)9通過(guò)機(jī)械加工進(jìn)行制造。配有周邊槽11的夾持圓柱體10在外套管4的上端熔凝。
內(nèi)套管3的內(nèi)孔充填芯桿件2和固定桿8,芯桿2由于其長(zhǎng)度短而更容易放入。然后,內(nèi)套管3連接到與其上端接合的夾持件,然后插入外套管4。同樣,外套管4用另一個(gè)與周邊槽11接合的夾持件夾住。
然后,在溫度約為2050℃的環(huán)形爐內(nèi),芯桿1、內(nèi)套管3和外套管4的所述同軸組件從下端開(kāi)始垂直地進(jìn)行逐區(qū)軟化,通過(guò)這個(gè)工藝,從軟化區(qū)拉制出光學(xué)纖維。只要組件的下端還未軟化和壓扁,氮?dú)獯祾邭饬鲗⑼ㄟ^(guò)間隙12和間隙13,并通過(guò)內(nèi)孔和開(kāi)口7以防止雜質(zhì)滲入。
拉制法開(kāi)始時(shí),芯桿件2靠著內(nèi)套管3的縮小區(qū)6。芯桿件2,還有內(nèi)套管3和外套管4可相互獨(dú)立地沿著拉伸方向5的橫向移動(dòng),這在拉伸工藝中將造成組件的自對(duì)中。
外徑為125μm的光學(xué)纖維從軟化和壓扁區(qū)拉出。用相同的方法可對(duì)光學(xué)纖維的預(yù)成型。
權(quán)利要求
1.一種用合成石英玻璃生產(chǎn)光組件的方法,包括外套管、設(shè)有內(nèi)孔的內(nèi)套管、和底面端靠在內(nèi)孔中對(duì)接件的芯桿,的同軸組件垂直輸送到加熱區(qū),在加熱區(qū)加熱逐區(qū)軟化并伸長(zhǎng),得到石英玻璃元件,其特征在于,所述對(duì)接件設(shè)置成內(nèi)套管內(nèi)孔的收縮件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述收縮件設(shè)有軸向連續(xù)孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述芯桿包括具有外徑dK的芯部區(qū),其被具有外徑dM的玻璃復(fù)層包圍,dM和dK之比的范圍在2到4,最好在2.5到3.5。
4.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述芯桿由對(duì)接的芯桿件形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述芯桿件松散地互相疊置。
6.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,設(shè)有機(jī)械止動(dòng)件,可防止芯桿反向于拉伸方向向上移動(dòng)。
7.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,內(nèi)環(huán)形間隙設(shè)置在芯桿和內(nèi)套管之間,平均間隙寬度在0.5mm到1.5mm的范圍。
8.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,外環(huán)形間隙設(shè)置在內(nèi)套管和外套管之間,平均間隙寬度不超過(guò)2mm,最好不超過(guò)1mm。
9.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述內(nèi)套管保持可橫向移動(dòng)。
10.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,石英玻璃保持筒體熔凝于外套管的頂端。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法,其特征在于,所述保持筒體包括用于接合保持件的周邊槽。
12.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,第一夾持機(jī)構(gòu)接合外套管的上端,第二夾持機(jī)構(gòu)接合內(nèi)套管的上端,第一夾持機(jī)構(gòu)和第二夾持機(jī)構(gòu)互相機(jī)械獨(dú)立。
13.根據(jù)權(quán)利要求1到11中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,第一夾持機(jī)構(gòu)接合外套管的上端,內(nèi)套管的上端夾持在外套管或第一夾持機(jī)構(gòu)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,其特征在于,內(nèi)套管的上端或內(nèi)套管的機(jī)械拉伸部設(shè)置了外套環(huán),其靠在外套管或外套管的機(jī)械拉伸部。
15.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,內(nèi)套管的平均羥基含量小于1wtppm。
16.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,內(nèi)套管通過(guò)對(duì)機(jī)械加工達(dá)到最后尺寸的中空筒體拉伸來(lái)制造。
17.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,外套管具有中空筒體的形式,筒體經(jīng)過(guò)機(jī)械加工達(dá)到最后尺寸。
18.根據(jù)前面權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,外套管設(shè)有向下逐漸變小的下端部。
全文摘要
根據(jù)已知的用合成石英玻璃生產(chǎn)光組件的方法,包括外套管、設(shè)有內(nèi)孔的內(nèi)套管、底面靠在內(nèi)孔中止推座的芯桿、的同軸組件垂直輸送到加熱區(qū),在加熱區(qū)逐區(qū)軟化并伸長(zhǎng),得到石英玻璃元件。為了得到基于所述方法的更簡(jiǎn)單和便宜的方法,以能夠重復(fù)生產(chǎn)制造出高質(zhì)量的光組件,止推座設(shè)置成使內(nèi)套管內(nèi)孔縮小的收縮件。
文檔編號(hào)C03B37/027GK1938236SQ200580008937
公開(kāi)日2007年3月28日 申請(qǐng)日期2005年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月22日
發(fā)明者A·霍夫曼, C·施米特, J·維德拉 申請(qǐng)人:赫羅伊斯·坦尼沃有限責(zé)任公司