專(zhuān)利名稱：電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于電弧坩堝制造機(jī)中的電極閉合 機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
石英坩堝是用高純石英砂經(jīng)過(guò)高溫融化形成的一種玻璃 態(tài)器皿，在生產(chǎn)單晶硅的過(guò)程中是不可替代的容器。坩堝制 造機(jī)用于制造石英坩堝，坩堝制造機(jī)是由加熱電源、升降機(jī)、 往復(fù)傾動(dòng)臺(tái)三大機(jī)構(gòu)組成。升降機(jī)由升降機(jī)構(gòu)和電極閉合機(jī) 構(gòu)組成，電極閉合機(jī)構(gòu)是坩堝熔融的熱源載體。升降機(jī)構(gòu)由 電動(dòng)液壓推桿、升降箱、升降導(dǎo)軌、升降機(jī)架構(gòu)成。升降導(dǎo) 軌和電動(dòng)液壓推桿分別固定在升降機(jī)架上，升降箱分別與電 動(dòng)液壓推桿、電極閉合機(jī)構(gòu)連接并且兩端套在升降導(dǎo)軌上。 工作時(shí)電動(dòng)液壓推桿通過(guò)往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)提升或降低升降箱的位 置，電極閉合機(jī)構(gòu)便與升降箱同時(shí)上下運(yùn)動(dòng)。其存在的問(wèn)題
是電極閉合機(jī)構(gòu)只能垂直調(diào)整，它的熱源的位置始終停留 在坩堝的中心位置，熱源點(diǎn)距離坩堝熔融點(diǎn)較遠(yuǎn)，化料慢、 熔煉時(shí)間長(zhǎng)，影響坩堝熔融的速度和質(zhì)量，不能適應(yīng)大直徑 坩堝生產(chǎn)要求。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題， 提供一種使石英砂受熱均勻，熔煉時(shí)間短，生產(chǎn)效率高，產(chǎn) 品質(zhì)量好，能滿足大直徑坩堝生產(chǎn)要求的電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng) 裝置。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的它有一個(gè)升降機(jī)架和電極閉 合機(jī)構(gòu)，在升降機(jī)架上安裝有電動(dòng)液壓推桿和升降導(dǎo)軌，在 電動(dòng)液壓推桿上端連接有升降箱，所述的升降箱套裝在升降 導(dǎo)軌上，其特殊之處是在升降箱上設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，所述的 電極閉合機(jī)構(gòu)與平移機(jī)構(gòu)連接實(shí)現(xiàn)橫向水平移動(dòng)。
上述的電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置，所述的平移機(jī)構(gòu)是由固
定在升降箱上的兩條水平導(dǎo)軌和伺服電機(jī)、設(shè)置在水平導(dǎo)軌
上的橫向溜板、與伺服電機(jī)連接的滾珠絲杠和絲母構(gòu)成，所 述的絲母與橫向溜板連接。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是在坩堝熔融時(shí)電極閉合機(jī)構(gòu)在平 移機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下能夠橫向移動(dòng)，不斷調(diào)整熱源的中心點(diǎn)使石 英砂熔融時(shí)受熱均勻，省時(shí)省力，無(wú)需停機(jī)，熔煉時(shí)間短， 生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品質(zhì)量好，能夠滿足大直徑石英坩堝的生產(chǎn) 要求。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
圖2是圖1的俯視圖。
圖中升降機(jī)架l，電動(dòng)液壓推桿2，升降導(dǎo)軌3，滑塊4，升降箱5，軸座6，橫向溜板7，水平導(dǎo)軌8，電極閉合機(jī)構(gòu) 9，伺服電機(jī)IO，滾珠絲杠ll，絲母12，支承座13。
具體實(shí)施方式

如圖所示，本實(shí)用新型有一個(gè)升降機(jī)架1和電極閉合機(jī) 構(gòu)9，在升降機(jī)架1上通過(guò)軸座6固定有兩個(gè)升降導(dǎo)軌3，在 升降機(jī)架1下部中間位置安裝有電動(dòng)液壓推桿2，在電動(dòng)液 壓推桿2的推桿上端連接有升降箱5，在升降箱5前、后端 面上分別設(shè)有兩個(gè)滑塊4，滑塊4分別通過(guò)直線軸承套裝在 升降導(dǎo)軌3上。在升降箱5上設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，所述的平移機(jī) 構(gòu)是由分別固定在升降箱5上表面和外側(cè)面的兩根水平導(dǎo)軌 8、固定在升降箱5上的伺服電機(jī)10、卡裝在兩個(gè)水平導(dǎo)軌8 上的橫向溜板7、與伺服電機(jī)10輸出軸固接的滾珠絲杠11 和絲母12構(gòu)成，所述的滾珠絲杠11插入橫向溜板7內(nèi)，絲 母12通過(guò)螺栓固定在橫向溜板7上。在橫向溜板7外側(cè)通過(guò) 螺栓固定有支承座13，所述的電極閉合機(jī)構(gòu)9安裝在支承座 13前端。
工作時(shí)，通過(guò)伺服電機(jī)10帶動(dòng)滾珠絲杠11旋轉(zhuǎn)來(lái)改變橫 向溜板7的位置，電極閉合機(jī)構(gòu)9也同步移動(dòng)，達(dá)到隨時(shí)改變 熱源中心點(diǎn)的目的。
權(quán)利要求1、一種電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置，包括升降機(jī)架和電極閉合機(jī)構(gòu)，在升降機(jī)架上安裝有電動(dòng)液壓推桿和升降導(dǎo)軌，在電動(dòng)液壓推桿上端連接有升降箱，所述的升降箱套裝在升降導(dǎo)軌上，其特征是在升降箱上設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，所述的電極閉合機(jī)構(gòu)與平移機(jī)構(gòu)連接實(shí)現(xiàn)橫向水平移動(dòng)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置，其特征是所述的平移機(jī)構(gòu)是由固定在升降箱上的兩條水平導(dǎo) 軌和伺服電機(jī)、設(shè)置在水平導(dǎo)軌上的橫向溜板、與伺服電機(jī) 連接的滾珠絲杠和絲母構(gòu)成，所述的絲母與橫向溜板連接。
專(zhuān)利摘要一種電極閉合機(jī)構(gòu)移動(dòng)裝置，解決了電極閉合機(jī)構(gòu)只能垂直調(diào)整、熱源點(diǎn)距離坩堝熔融點(diǎn)較遠(yuǎn)，影響坩堝熔融的速度和質(zhì)量，不能適應(yīng)大直徑坩堝生產(chǎn)要求的問(wèn)題。它包括升降機(jī)架和電極閉合機(jī)構(gòu)，在升降機(jī)架上安裝有電動(dòng)液壓推桿和升降導(dǎo)軌，在電動(dòng)液壓推桿上端連接有升降箱，所述的升降箱套裝在升降導(dǎo)軌上，其特殊之處是在升降箱上設(shè)有平移機(jī)構(gòu)，所述的電極閉合機(jī)構(gòu)與平移機(jī)構(gòu)連接實(shí)現(xiàn)橫向水平移動(dòng)。優(yōu)點(diǎn)是電極閉合機(jī)構(gòu)能夠橫向移動(dòng)，使石英砂熔融時(shí)受熱均勻，省時(shí)省力，無(wú)需停機(jī)，熔煉時(shí)間短，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品質(zhì)量好，能夠滿足大直徑石英坩堝的生產(chǎn)要求。
文檔編號(hào)C03B20/00GK201347403SQ200920014430
公開(kāi)日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2009年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月5日
發(fā)明者建 侯, 趙青山 申請(qǐng)人:錦州佑鑫電子材料有限公司