專利名稱：一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型為一種電極升降機(jī)構(gòu)，特別涉及一種制作石英坩堝的電極升降機(jī)構(gòu)， 屬于升降機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料，是作為太陽(yáng)能、半導(dǎo)體行業(yè)切克拉斯基法(cz)拉制單晶硅必不可少的容器。在制作石英坩堝時(shí)，電極的升、降穩(wěn)定性直接關(guān)系到石英坩堝熔煉溫度的控制，通常生產(chǎn)過(guò)程中，坩堝電極升降機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，升降不穩(wěn)定，使熔煉電流不穩(wěn)定，熔煉溫度不穩(wěn)定， 對(duì)坩堝的制造質(zhì)量造成很大的不利影響，有的甚至要報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中，坩堝電極升降機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，升降不穩(wěn)定，使熔煉電流、溫度不穩(wěn)定，對(duì)坩堝的制造質(zhì)量造成很大不利影響的缺陷，提供了一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，可保證坩堝電極升降機(jī)構(gòu)升降穩(wěn)定，使熔煉電流、溫度穩(wěn)定，可確保坩堝的制造質(zhì)量。為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，包括斜支架、滑動(dòng)支架、電極支架和坩堝電極，所述坩堝電極與電極支架固定連接，電極支架與滑動(dòng)支架固定連接，所述斜支架包括導(dǎo)軌，斜支架與導(dǎo)軌為一體結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)軌有2條，位于斜支架兩側(cè)，呈凸邊形；還包括液壓系統(tǒng)和滑輪組，所述滑輪組為4組，位于滑動(dòng)支架兩側(cè)，均勻分布；所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿；液壓系統(tǒng)位于斜支架上方，液壓系統(tǒng)的液壓缸與斜支架為固定連接；液壓桿與滑動(dòng)支架為固定連接；滑動(dòng)支架與滑輪組為固定連接；滑輪組與導(dǎo)軌為滑動(dòng)連接。所述滑輪組包括主滑輪、左滑輪、右滑輪、固定板、固定軸和固定塊，所述固定塊與滑動(dòng)支架固定連接，固定軸與固定塊固定連接，固定板與固定塊固定連接，固定軸與主滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板與左滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板與右滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接。主滑輪與左滑輪、右滑輪輪設(shè)置方向相互垂直，主滑輪輪面與凸邊形上面接觸，左滑輪、右滑輪輪面與凸邊形左右兩側(cè)面接觸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是可保證坩堝電極升降機(jī)構(gòu)升降穩(wěn)定， 使熔煉電流、溫度穩(wěn)定，可確保坩堝的制造質(zhì)量。

附圖1 本實(shí)用新型主視圖(不帶電極和電極支架)；附圖2:圖1的A向視圖；附圖3:圖1的B向視圖；附圖4-1 滑輪組與導(dǎo)軌主視圖；[0012]附圖4-2 滑輪組與導(dǎo)軌俯視圖；附圖5 本實(shí)用新型主視示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1斜支架、11導(dǎo)軌、2滑動(dòng)支架、3電極支架、4坩堝電極、5滑輪組、 51主滑輪、52左滑輪、53右滑輪、54固定板、55固定軸、56固定塊、6液壓缸、7液壓桿。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。如圖1-5所示，一種坩堝電極升降導(dǎo)軌，包括斜支架1、滑動(dòng)支架2、電極支架3和坩堝電極4，所述坩堝電極4與電極支架3固定連接，電極支架3與滑動(dòng)支架2固定連接，所述斜支架1包括導(dǎo)軌11，斜支架1與導(dǎo)軌11為一體結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)軌11有2條，位于斜支架 1兩側(cè)，呈凸邊形；還包括液壓系統(tǒng)和滑輪組5，所述滑輪組5為4組，位于滑動(dòng)支架兩側(cè)，均勻分布；所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸6和液壓桿7 ；液壓系統(tǒng)位于斜支架1上方，液壓系統(tǒng)的液壓缸6與斜支架1為固定連接；液壓桿7與滑動(dòng)支架2為固定連接；滑動(dòng)支架2與滑輪組 5為固定連接；滑輪組5與導(dǎo)軌11為滑動(dòng)連接。所述滑輪組5包括主滑輪51、左滑輪52、右滑輪53、固定板54、固定軸55和固定塊56，所述固定塊56與滑動(dòng)支架2固定連接，固定軸55與固定塊56固定連接，固定板M 與固定塊56固定連接，固定軸55與主滑輪51轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板M與左滑輪52轉(zhuǎn)動(dòng)連接， 固定板M與右滑輪53轉(zhuǎn)動(dòng)連接，主滑輪51與左滑輪52、右滑輪53輪設(shè)置方向相互垂直， 主滑輪51輪面與凸邊形上面接觸，左滑輪52、右滑輪53輪面與凸邊形左右兩側(cè)面接觸。以上所述的實(shí)施例，只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，包括斜支架、滑動(dòng)支架、電極支架和坩堝電極，所述坩堝電極與電極支架固定連接，電極支架與滑動(dòng)支架固定連接，其特征在于所述斜支架包括導(dǎo)軌，斜支架與導(dǎo)軌為一體結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)軌有2條，位于斜支架兩側(cè)，呈凸邊形；還包括液壓系統(tǒng)和滑輪組，所述滑輪組為4組，位于滑動(dòng)支架兩側(cè)，均勻分布；所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿；液壓系統(tǒng)位于斜支架上方，液壓系統(tǒng)的液壓缸與斜支架為固定連接；液壓桿與滑動(dòng)支架為固定連接；滑動(dòng)支架與滑輪組為固定連接；滑輪組與導(dǎo)軌為滑動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，其特征在于所述滑輪組包括主滑輪、左滑輪、右滑輪、固定板、固定軸和固定塊，所述固定塊與滑動(dòng)支架固定連接，固定軸與固定塊固定連接，固定板與固定塊固定連接，固定軸與主滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板與左滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板與右滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，其特征在于所述主滑輪與左滑輪、 右滑輪輪設(shè)置方向相互垂直，主滑輪輪面與凸邊形上面接觸，左滑輪、右滑輪輪面與凸邊形左右兩側(cè)面接觸。
專利摘要一種坩堝電極升降機(jī)構(gòu)，屬于升降機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，包括斜支架、滑動(dòng)支架、電極支架和坩堝電極，斜支架包括導(dǎo)軌，斜支架與導(dǎo)軌為一體結(jié)構(gòu)，導(dǎo)軌有2條，位于斜支架兩側(cè)，呈凸邊形；還包括液壓系統(tǒng)和滑輪組，液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿；液壓系統(tǒng)的液壓缸與斜支架為固定連接；液壓桿與滑動(dòng)支架為固定連接；滑動(dòng)支架與滑輪組為固定連接；滑輪組與導(dǎo)軌為滑動(dòng)連接?；喗M包括主滑輪、左滑輪、右滑輪、固定板、固定軸和固定塊，主滑輪輪面與凸邊形上面接觸，左滑輪、右滑輪輪面與凸邊形左右兩側(cè)面接觸?；喗M為4組，位于滑動(dòng)支架兩側(cè)，均勻分布。本實(shí)用新型電極升降機(jī)構(gòu)升降穩(wěn)定，使熔煉電流、溫度穩(wěn)定，可確保坩堝的制造質(zhì)量。
文檔編號(hào)C03B20/00GK202030646SQ20112016496
公開日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者王定永, 王文慶 申請(qǐng)人:寧波寶斯達(dá)坩堝保溫制品有限公司