真空吸附式涂布的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種通過電磁閥單元對(duì)真空吸孔進(jìn)行控制，以實(shí)現(xiàn)有選擇的對(duì)彩膜玻璃基板進(jìn)行吸附固定的真空吸附式涂布機(jī)；包括機(jī)臺(tái)、多個(gè)均勻布設(shè)在該機(jī)臺(tái)上的真空吸孔和總控電路；所述各真空吸孔均通過真空管路與所述抽真空裝置連接，在所述真空管路上設(shè)有多個(gè)電磁閥單元，所述電磁閥單元與所述總控電路連接，且與各所述真空吸孔一一對(duì)應(yīng)；本實(shí)用新型采用在真空管路上設(shè)置電磁閥單元的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)在保證對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有選擇的對(duì)其進(jìn)行吸附固定。
【專利說明】真空吸附式涂布機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種通過電磁閥單元對(duì)真空吸孔進(jìn)行控制，以實(shí)現(xiàn)有選擇的對(duì)彩膜玻璃基板進(jìn)行吸附固定的真空吸附式涂布機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，高世代彩膜面板廠的主要生產(chǎn)工藝:前清洗、涂布、曝光、顯影和后烘等工藝形成固定的圖案。參見圖1所示，現(xiàn)有的涂布機(jī)包括涂布機(jī)臺(tái)101和設(shè)置在在該涂布機(jī)臺(tái)上的真空吸孔102，所述真空吸孔通過真空管路103與真空泵(圖中未顯示)連接；對(duì)于現(xiàn)有涂布機(jī)的涂布方式為狹縫式涂布，涂布作業(yè)前利用真空吸附的方式將玻璃基板固定在涂布機(jī)臺(tái)上。涂布機(jī)臺(tái)上的所有真空吸孔的開關(guān)通過一個(gè)總開關(guān)閥來同時(shí)控制，也就是說，開關(guān)閥只能同時(shí)控制所有真空吸孔有無真空，不能只控制部分真空吸孔的開關(guān)。涂布機(jī)設(shè)備制造完成后，涂布機(jī)臺(tái)上真空吸孔的位置就已經(jīng)固定，不能再變動(dòng)了。
[0003]隨著人們的生活檔次越來越高，需求的產(chǎn)品種類及產(chǎn)品的尺寸都在增多，一條高世代彩膜面板廠需要生產(chǎn)多種型號(hào)，多種尺寸的產(chǎn)品。如G6面板廠，玻璃基板的尺寸為1850mm*1500mm，一塊玻璃基板可切割成多種尺寸的產(chǎn)品(10.1 ”產(chǎn)品、32 ”產(chǎn)品、42 ”產(chǎn)品、46”產(chǎn)品、65”產(chǎn)品等)。由于涂布機(jī)臺(tái)上真空吸孔的位置就已經(jīng)固定，而生產(chǎn)的產(chǎn)品種類越多，涂布機(jī)的真空吸孔在生產(chǎn)產(chǎn)品的圖像區(qū)接觸的幾率就越大，部分真空吸孔與圖像區(qū)接觸就不可避免了。
[0004]涂布機(jī)臺(tái)上的真空吸孔用于吸附固定玻璃基板，吸附過程中會(huì)造成玻璃基板在真空吸孔對(duì)應(yīng)區(qū)域出現(xiàn)凹陷式形變，該種形變易于導(dǎo)致涂布的濕態(tài)光刻膠由于玻璃基板的形變而發(fā)生膜厚不均的問題，并由此產(chǎn)生壞點(diǎn)。彩膜玻璃基板工藝產(chǎn)生的壞點(diǎn)嚴(yán)重影響產(chǎn)品品質(zhì)，盡可能減少涂布機(jī)臺(tái)上的真空吸附造成的壞點(diǎn)勢(shì)在必行。
[0005]因此，需要提供一種新型的真空吸附式涂布機(jī)以解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題是提供一種真空吸附式涂布機(jī)；該真空吸附式涂布機(jī)通過電磁閥單元對(duì)真空吸孔進(jìn)行控制，以實(shí)現(xiàn)有選擇的對(duì)彩膜玻璃基板進(jìn)行吸附固定的目的。
[0007]本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:一種真空吸附式涂布機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、多個(gè)均勻布設(shè)在該機(jī)臺(tái)上的真空吸孔和總控電路；所述各真空吸孔均通過真空管路與抽真空裝置連接，在所述真空管路上設(shè)有多個(gè)電磁閥單元，所述電磁閥單元與所述總控電路連接，且與各所述真空吸孔一一對(duì)應(yīng)。
[0008]進(jìn)一步地，所述真空管路包括總管和連接在該總管上的多個(gè)支路管，所述各支路管分別對(duì)應(yīng)連接一個(gè)真空吸孔，所述總管上對(duì)應(yīng)連接有抽真空裝置；所述電磁閥單元與所述支路管對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0009]進(jìn)一步地，所述各支路管上均設(shè)有用于控制支路管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的支路管電控蝶閥；所述支路管電控蝶閥與所述總控電路連接。
[0010]進(jìn)一步地，所述總管上設(shè)有用于控制總管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的總管電控蝶閥；所述總管電控蝶閥與所述總控電路連接。
[0011]進(jìn)一步地，還包括設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上的用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)壓力的壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述總控電路連接。
[0012]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下的優(yōu)點(diǎn):
[0013]1、本實(shí)用新型采用在真空管路上設(shè)置電磁閥單元的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)在保證對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有選擇的對(duì)其進(jìn)行吸附固定，也就是通過控制電磁閥單元的開啟和關(guān)閉，從而控制位于彩膜玻璃基板圖像顯示區(qū)域內(nèi)的真空吸孔關(guān)閉，以避免真空吸孔因其吸附力而對(duì)彩膜玻璃基板的圖像顯示區(qū)域造成凹陷式形變，從而確保了光刻膠均勻涂布，使光刻膠的膜厚均勻，從而避免了彩膜面板壞點(diǎn)的出現(xiàn)，提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的質(zhì)量。
[0014]2、本實(shí)用新型采用總管電控蝶閥和支路管電控蝶閥的設(shè)計(jì)，通過其開啟的幅度，對(duì)支路管和總管的管徑進(jìn)行調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各真空吸孔的吸附力進(jìn)行調(diào)整的目的；進(jìn)一步避免了因吸附力過大而對(duì)彩膜玻璃基板所產(chǎn)生的形變，提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的整體質(zhì)量，提高了彩膜玻璃基板的產(chǎn)品良率。
[0015]3、本實(shí)用新型采用壓力傳感器的設(shè)計(jì)，通過該壓力傳感器實(shí)時(shí)回傳的彩膜玻璃基板與機(jī)臺(tái)間的壓力值，總控電路可實(shí)時(shí)監(jiān)控并隨時(shí)依據(jù)壓力值調(diào)整真空吸管的吸附力，從而為彩膜玻璃基板的光刻膠涂布提供了有力的保障；提高了工藝質(zhì)量。
[0016]4、本實(shí)用新型采用總控電路的設(shè)計(jì)，不僅可以自動(dòng)控制電磁閥單元、支路管電控蝶閥和總管電控蝶閥的開啟和關(guān)閉，而且可以針對(duì)不同尺寸、規(guī)格的彩膜玻璃基板自動(dòng)對(duì)應(yīng)選取所需要開啟、關(guān)閉或調(diào)整的真空吸孔；徹底實(shí)現(xiàn)了真空吸附式涂布機(jī)的自動(dòng)控制；提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的效率，同時(shí)，總控裝置的自動(dòng)控制避免了人為操作的不精確性，從而保證了彩膜玻璃基板涂布工藝的精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖(主視圖)；
[0019]圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖(主視圖)；
[0020]圖3是本實(shí)用新型中的電路連接示意圖(框圖)。
【具體實(shí)施方式】
[0021]參見圖2、圖3所示，本實(shí)施例的一種真空吸附式涂布機(jī)，包括用于放置彩膜玻璃基板的機(jī)臺(tái)1、多個(gè)均勻布設(shè)在該機(jī)臺(tái)上的用于吸附固定彩膜玻璃基板的真空吸孔2和用于自動(dòng)控制的總控電路；所述各真空吸孔的下端均通過真空管路與抽真空裝置(屬現(xiàn)有技術(shù)，圖中未顯示)連接；在所述真空管路上設(shè)有多個(gè)用于控制真空管路開啟和關(guān)閉的電磁閥單元3，所述電磁閥單元與所述總控電路連接，且與各所述真空吸孔一一對(duì)應(yīng)。本實(shí)施例中所述的抽真空裝置為一個(gè)抽真空泵，關(guān)于抽真空泵的具體結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)，此處不再過多贅述。[0022]本實(shí)用新型采用在真空管路上設(shè)置電磁閥單元的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)在保證對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有選擇的對(duì)其進(jìn)行吸附固定，也就是通過控制電磁閥單元的開啟和關(guān)閉，從而控制位于彩膜玻璃基板圖像顯示區(qū)域內(nèi)的真空吸孔關(guān)閉，以避免真空吸孔因其吸附力而對(duì)彩膜玻璃基板的圖像顯示區(qū)域造成凹陷式形變，從而確保了光刻膠均勻涂布，使光刻膠的膜厚均勻，從而避免了彩膜面板壞點(diǎn)的出現(xiàn)，提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的質(zhì)量。
[0023]需要提出的是，本實(shí)用新型實(shí)施例的適用對(duì)象并不限于是彩膜玻璃基板，本領(lǐng)域其他需要真空吸附并且會(huì)由于吸附力導(dǎo)致形變問題的工業(yè)產(chǎn)品，也同樣適用。
[0024]本實(shí)施例中所述真空管路包括總管4和呈并聯(lián)形式連接在該總管上的多個(gè)支路管5，所述各支路管分別對(duì)應(yīng)連接一個(gè)真空吸孔，所述總管上對(duì)應(yīng)連接有抽真空裝置；所述電磁閥單元與所述支路管對(duì)應(yīng)設(shè)置。本實(shí)施例中所述各真空吸孔均通過一個(gè)支路管與所述總管連接；所述總管的數(shù)量是根據(jù)實(shí)際需要的抽真空裝置的數(shù)量而定的，也就是說一個(gè)總管只對(duì)應(yīng)連接一個(gè)抽真空裝置；如果需要多個(gè)抽真空裝置時(shí)，則在每個(gè)與之連接的總管上均并聯(lián)有多個(gè)支路管，每個(gè)支路管連接一個(gè)真空吸孔；反之來說，對(duì)于多個(gè)均勻分布在機(jī)臺(tái)上的真空吸孔，可以是每排真空吸孔通過支路管并連接在一個(gè)總管上，并與一個(gè)抽真空裝置連通；也就是說需要多個(gè)抽真空裝置，每一個(gè)抽真空裝置負(fù)責(zé)為其中一排真空吸孔提供吸附力；當(dāng)然，也可以是每列真空吸孔通過支路管并連接在一個(gè)總管上，并與一個(gè)抽真空裝置連通；諸如此類，均可實(shí)現(xiàn)抽真空裝置與真空吸孔的連通。
[0025]本實(shí)施例中所述各支路管上均設(shè)有用于控制支路管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的支路管電控蝶閥6 ;所述支路管電控蝶閥與所述總控電路通過電線電連接。
[0026]本實(shí)施例中所述總管上設(shè)有用于控制總管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的總管電控蝶閥7 ;所述總管電控蝶閥與所述總控電路通過電線電連接。
[0027]本實(shí)用新型采用總管電控蝶閥和支路管電控蝶閥的設(shè)計(jì)，通過其開啟的幅度，對(duì)支路管和總管的管徑進(jìn)行調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各真空吸孔的吸附力進(jìn)行調(diào)整的目的；進(jìn)一步避免了因吸附力過大而對(duì)彩膜玻璃基板所產(chǎn)生的形變，提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的整體質(zhì)量，提高了彩膜玻璃基板的產(chǎn)品良率。
[0028]本實(shí)施例中所述的真空吸附式涂布機(jī)還包括設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上的用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)壓力的壓力傳感器(圖中未顯示)，所述壓力傳感器通過電線與所述總控電路電連接。
[0029]本實(shí)用新型采用壓力傳感器的設(shè)計(jì)，通過該壓力傳感器實(shí)時(shí)回傳的彩膜玻璃基板與機(jī)臺(tái)間的壓力值，總控電路可實(shí)時(shí)監(jiān)控并隨時(shí)依據(jù)壓力值調(diào)整真空吸管的吸附力，從而為彩膜玻璃基板的光刻膠涂布提供了有力的保障；提高了工藝質(zhì)量。
[0030]本實(shí)用新型采用總控電路的設(shè)計(jì)，不僅可以自動(dòng)控制電磁閥單元、支路管電控蝶閥和總管電控蝶閥的開啟和關(guān)閉，而且可以針對(duì)不同尺寸、規(guī)格的彩膜玻璃基板自動(dòng)對(duì)應(yīng)選取所需要開啟、關(guān)閉或調(diào)整的真空吸孔；徹底實(shí)現(xiàn)了真空吸附式涂布機(jī)的自動(dòng)控制；提高了彩膜玻璃基板涂布工藝的效率，同時(shí)，總控裝置的自動(dòng)控制避免了人為操作的不精確性，從而保證了彩膜玻璃基板涂布工藝的精度。
[0031]本實(shí)用新型中的真空吸附式涂布機(jī)，其工作過程是:
[0032]預(yù)先將需要涂布光刻膠的彩膜玻璃基板的尺寸、規(guī)格等信息輸入總控電路；將彩膜玻璃基板平整放置在所述機(jī)臺(tái)上；總控電路自動(dòng)根據(jù)彩膜玻璃基板信息對(duì)比識(shí)別出位于彩膜玻璃基板圖像區(qū)域的真空吸孔；并自動(dòng)控制該區(qū)域內(nèi)真空吸孔所對(duì)應(yīng)的電磁閥單元關(guān)閉，以使該區(qū)域的真空吸孔不吸附；打開所述抽真空裝置，此時(shí)，處于彩膜玻璃基板圖像區(qū)域外的各真空吸孔將彩膜玻璃基板吸附住，并以此將彩膜玻璃基板與機(jī)臺(tái)吸附固定；開始光刻膠涂布工藝，在工藝過程中，所述壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)彩膜玻璃基板與機(jī)臺(tái)之間的壓力值，并回傳給總控電路，總控電路根據(jù)實(shí)時(shí)回傳的壓力值與預(yù)設(shè)的壓力最大閥值進(jìn)行比對(duì)；當(dāng)有壓力值超出壓力最大閥值時(shí)，則說明吸附力相對(duì)于彩膜玻璃基板來說過大，則需減小吸附力；此時(shí)，總控電路自動(dòng)控制所述支管路電控蝶閥開啟的幅度，以減小支路管的真空壓力，進(jìn)而減小真空吸孔對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力；當(dāng)經(jīng)過調(diào)整支管路電控蝶閥后，壓力傳感器檢測(cè)到的壓力值仍超出壓力最大閥值時(shí)，則總控電路自動(dòng)控制所述總管電控蝶閥開啟的幅度，以減小總管的真空壓力，從而進(jìn)一步減小真空吸孔對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力；反之，當(dāng)壓力傳感器回傳的壓力值低于壓力最小閥值時(shí)，則總控電路同樣通過控制支管路電控蝶閥和總管電控蝶閥，以增大真空吸孔對(duì)彩膜玻璃基板的吸附力。
[0033]本實(shí)施例中根據(jù)彩膜面板廠產(chǎn)品種類，真空吸附式涂布機(jī)自動(dòng)選取最合適的真空吸附模式，盡量避免作業(yè)的真空吸孔與彩膜玻璃基板的圖像顯示區(qū)域接觸，自動(dòng)關(guān)閉與產(chǎn)品圖像區(qū)接觸的真空吸孔，自動(dòng)打開與產(chǎn)品圖像區(qū)不接觸的真空吸孔。由于真空吸附會(huì)造成彩膜玻璃基板出現(xiàn)凹陷式形變，導(dǎo)致涂布在彩膜玻璃基板的濕態(tài)光刻膠也發(fā)生形變，若變形位置在產(chǎn)品的圖像區(qū)域就會(huì)造成光刻膠的膜厚不均，形成壞點(diǎn)；彩膜玻璃基板產(chǎn)品種類的多樣性導(dǎo)致生產(chǎn)的產(chǎn)品圖像顯示區(qū)域在彩膜玻璃基板上排列的位置千變?nèi)f化，采用可變多組合式設(shè)計(jì)的新型真空吸附模式也難保證對(duì)應(yīng)某種產(chǎn)品時(shí)所有的真空吸孔都不在產(chǎn)品的圖像區(qū)域；消除真空吸孔對(duì)產(chǎn)品圖像顯示區(qū)域的負(fù)面影響，需要在真空管路上添加蝶閥。通過電磁閥控制真空管路開口大小，進(jìn)而控制真空吸孔的吸附力大小，盡量消除真空吸附對(duì)產(chǎn)品造成的負(fù)面影響。
【權(quán)利要求】
1.一種真空吸附式涂布機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、多個(gè)均勻布設(shè)在該機(jī)臺(tái)上的真空吸孔和總控電路；所述各真空吸孔均通過真空管路與抽真空裝置連接，其特征在于，在所述真空管路上設(shè)有多個(gè)電磁閥單元，所述電磁閥單元與所述總控電路連接，且與各所述真空吸孔一一對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附式涂布機(jī)，其特征在于，所述真空管路包括總管和連接在該總管上的多個(gè)支路管，所述各支路管分別對(duì)應(yīng)連接一個(gè)真空吸孔，所述總管上對(duì)應(yīng)連接有抽真空裝置；所述電磁閥單元與所述支路管對(duì)應(yīng)設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空吸附式涂布機(jī)，其特征在于，所述各支路管上均設(shè)有用于控制支路管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的支路管電控蝶閥；所述支路管電控蝶閥與所述總控電路連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空吸附式涂布機(jī)，其特征在于，所述總管上設(shè)有用于控制總管管徑大小以調(diào)整其真空壓力的總管電控蝶閥；所述總管電控蝶閥與所述總控電路連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4其中之一所述的真空吸附式涂布機(jī)，其特征在于，還包括設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上的用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)壓力的壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述總控電路連接。
【文檔編號(hào)】C03C17/00GK203513497SQ201320453647
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年7月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月26日
【發(fā)明者】姚亮 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司