一種藍寶石晶棒鉆取裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種藍寶石晶棒鉆取裝置,包括控制臺和單晶爐,控制臺的一側設置有固定懸掛桿和傳動軸,固定懸掛桿的底部設置有移動導軌,移動導軌上設置有滑塊,滑塊上設置有液壓伸縮柱,液壓伸縮柱的頂部設置有電磁開關,液壓伸縮柱的底端設置有懸掛鉤,懸掛鉤上設置有籽晶桿,籽晶桿上設置有氧化鋯保溫蓋,籽晶桿貫穿于單晶爐內,單晶爐的頂端設置有單晶爐爐蓋,單晶爐爐蓋內設置有籽晶桿放置凹槽。該種藍寶石晶棒鉆取裝置,能夠自動調節(jié)籽晶桿的高度,方便晶體的生長,使晶體的應力小,結構完整性高,使晶體能夠在生產完成后,根據需要,對晶體進行實時鉆取,減少了晶體在鉆取過程中的運輸環(huán)節(jié),降低了生產成本,提高了生產速度。
【專利說明】
一種藍寶石晶棒鉆取裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種藍寶石晶棒鉆取裝置。
【背景技術】
[0002]藍寶石是人工合成晶體中一個重要的材料品種,由于其優(yōu)良的機械和光學性能,藍寶石晶體得到了廣泛的應用。近年來半導體照明產業(yè)的快速發(fā)展,帶動了藍寶石襯底材料需求的快速增長,用于MOCVD外延襯底的藍寶石材料占到總產量的80%以上。2009年下半年以來,藍寶石襯底一直處于材料緊缺和價格上漲趨勢。因此,帶動了新一輪藍寶石投資熱潮的興起,傳統(tǒng)藍寶石企業(yè)紛紛增資擴產,同時,為數眾多的藍寶石晶棒廠在中國大陸如雨后春筍般涌現(xiàn)。泡生法是目前應用最多的藍寶石生長方法,這種方法技術成熟,成本較低,適合大批量生產。主要缺點是需要對生長的晶體進行掏割,帶來了一定的加工工作量。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是克服現(xiàn)有的缺陷,提供一種藍寶石晶棒鉆取裝置,從而解決上述問題。
[0004]為了解決上述技術問題,本實用新型提供了如下的技術方案:
[0005]本實用新型一種藍寶石晶棒鉆取裝置,包括控制臺和單晶爐,所述控制臺的一側設置有固定懸掛桿和傳動軸,所述固定懸掛桿的底部設置有移動導軌,所述移動導軌上設置有滑塊,所述滑塊上設置有液壓伸縮柱,所述液壓伸縮柱的頂部設置有電磁開關,所述液壓伸縮柱的底端設置有懸掛鉤,所述懸掛鉤上設置有籽晶桿,所述籽晶桿上設置有氧化鋯保溫蓋,所述籽晶桿貫穿于所述單晶爐內,所述單晶爐的頂端設置有單晶爐爐蓋,所述單晶爐爐蓋內設置有籽晶桿放置凹槽,所述傳動軸的底端設置有電動伸縮柱,所述電動伸縮柱的底端設置有旋轉軸,所述旋轉軸上設置有鉆頭,所述鉆頭的邊側設置有冷卻液噴頭,所述控制臺的底端邊側設置有橫向移動軸和縱向移動軸,所述橫向移動軸上設置有單晶棒鉆取工作箱,所述單晶棒鉆取工作箱內設置有夾具。
[0006]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術方案,所述傳動軸外設置有透明防護罩。
[0007]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術方案,所述控制臺內設置有伺服電機,所述控制臺上設置有顯示屏和操作鍵盤,所述控制臺的邊側設置有手動控制盤。
[0008]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術方案,所述籽晶桿放置凹槽和所述氧化鋯保溫蓋過盈配合。
[0009]與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:該種藍寶石晶棒鉆取裝置,通過設置的液壓伸縮柱,能夠自動調節(jié)籽晶桿的高度,方便晶體的生長,使晶體的應力小,結構完整性高,通過設置的移動導軌,使晶體能夠在生產完成后,根據需要,對晶體進行實時鉆取,提高了晶體的生產效率,減少了晶體在鉆取過程中的運輸環(huán)節(jié),降低了生產成本,提高了生產速度。
【附圖說明】
[0010]附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,并且構成說明書的一部分,與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型,并不構成對本實用新型的限制。在附圖中:
[ΟΟ??]圖1為本實用新型的結構不意圖;
[0012]圖中:1、控制臺;2、伺服電機;3、手動控制盤;4、操作鍵盤;5、顯示屏;6、傳動軸;7、透明防護罩;8、固定懸掛桿;9、移動導軌;1、液壓伸縮柱;11、滑塊;12、電磁開關;13、氧化鋯保溫蓋;14、單晶爐爐蓋;15、籽晶桿;16、單晶爐;17、單晶棒鉆取工作箱;18、橫向移動軸;19、冷卻液噴頭;20、縱向移動軸;21、夾具;22、鉆頭;23、旋轉軸;24、電動伸縮柱;25、懸掛鉤;26、籽晶桿放置凹槽。
【具體實施方式】
[0013]下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
[0014]請參閱圖1,本實用新型提供一種技術方案:一種藍寶石晶棒鉆取裝置,包括控制臺I和單晶爐16,控制臺I的一側設置有固定懸掛桿8和傳動軸6,固定懸掛桿8的底部設置有移動導軌9,移動導軌9上設置有滑塊11,滑塊11上設置有液壓伸縮柱10,液壓伸縮柱10的頂部設置有電磁開關12,液壓伸縮柱10的底端設置有懸掛鉤25,懸掛鉤25上設置有籽晶桿15,籽晶桿15上設置有氧化鋯保溫蓋13,籽晶桿15貫穿于單晶爐16內,單晶爐16的頂端設置有單晶爐爐蓋14,單晶爐爐蓋14內設置有籽晶桿放置凹槽26,傳動軸6的底端設置有電動伸縮柱24,電動伸縮柱24的底端設置有旋轉軸23,旋轉軸23上設置有鉆頭22,鉆頭22的邊側設置有冷卻液噴頭19,控制臺I的底端邊側設置有橫向移動軸18和縱向移動軸20,橫向移動軸18上設置有單晶棒鉆取工作箱17,單晶棒鉆取工作箱17內設置有夾具21。傳動軸6外設置有透明防護罩7??刂婆_I內設置有伺服電機2,控制臺I上設置有顯示屏5和操作鍵盤4,控制臺I的邊側設置有手動控制盤3。籽晶桿放置凹槽26和氧化鋯保溫蓋13過盈配合。
[0015]使用時,通過氧化鋯保溫蓋13和籽晶桿放置凹槽26的配合,使籽晶桿15放入單晶爐16內,通過調節(jié)液壓伸縮柱10的位置,調節(jié)籽晶桿15的放置位置,當單晶棒生長完成后,可通過籽晶桿15和移動導軌9的配合,使單晶棒移出單晶爐16內,將單晶棒取下,通過夾具21的固定,通過控制臺I,可直接對單晶棒進行鉆取加工。
[0016]該種藍寶石晶棒鉆取裝置,通過設置的液壓伸縮柱,能夠自動調節(jié)籽晶桿的高度,方便晶體的生長,使晶體的應力小,結構完整性高,通過設置的移動導軌,使晶體能夠在生產完成后,根據需要,對晶體進行實時鉆取,提高了晶體的生產效率,減少了晶體在鉆取過程中的運輸環(huán)節(jié),降低了生產成本,提高了生產速度。
[0017]最后應說明的是:以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本實用新型,盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明,對于本領域的技術人員來說,其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改,或者對其中部分技術特征進行等同替換,凡在本實用新型的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種藍寶石晶棒鉆取裝置,包括控制臺(I)和單晶爐(16),其特征在于,所述控制臺(I)的一側設置有固定懸掛桿(8)和傳動軸(6),所述固定懸掛桿(8)的底部設置有移動導軌(9),所述移動導軌(9)上設置有滑塊(11),所述滑塊(11)上設置有液壓伸縮柱(10),所述液壓伸縮柱(10)的頂部設置有電磁開關(12),所述液壓伸縮柱(10)的底端設置有懸掛鉤(25),所述懸掛鉤(25)上設置有籽晶桿(15),所述籽晶桿(15)上設置有氧化鋯保溫蓋(13),所述籽晶桿(15)貫穿于所述單晶爐(16)內,所述單晶爐(16)的頂端設置有單晶爐爐蓋(14),所述單晶爐爐蓋(14)內設置有籽晶桿放置凹槽(26),所述傳動軸(6)的底端設置有電動伸縮柱(24),所述電動伸縮柱(24)的底端設置有旋轉軸(23),所述旋轉軸(23)上設置有鉆頭(22),所述鉆頭(22)的邊側設置有冷卻液噴頭(19),所述控制臺(I)的底端邊側設置有橫向移動軸(18)和縱向移動軸(20),所述橫向移動軸(18)上設置有單晶棒鉆取工作箱(17),所述單晶棒鉆取工作箱(17)內設置有夾具(21)。2.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶棒鉆取裝置,其特征在于,所述傳動軸(6)外設置有透明防護罩(7)。3.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶棒鉆取裝置,其特征在于,所述控制臺(I)內設置有伺服電機(2),所述控制臺(I)上設置有顯示屏(5)和操作鍵盤(4),所述控制臺(I)的邊側設置有手動控制盤(3)。4.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶棒鉆取裝置,其特征在于,所述籽晶桿放置凹槽(26)和所述氧化鋯保溫蓋(13)過盈配合。
【文檔編號】B28D7/00GK205631042SQ201620313293
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年4月14日
【發(fā)明人】胡明理, 李業(yè)林, 李宗諺, 詹經略
【申請人】寧夏佳晶科技有限公司