真空夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明揭露了一種真空夾具，包括：承載集成、密封單元、夾具連接頭及至少一個真空管。承載集成具有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)有至少一個第一真空孔。密封單元包括密封圈，密封圈凸起形成真空槽，密封圈開設(shè)有至少一個第二真空孔，密封圈固定設(shè)置在承載集成的凹槽內(nèi)，密封圈的第二真空孔與承載集成的第一真空孔相連通。夾具連接頭具有至少一個抽氣口及與抽氣口相連通的至少一個抽氣孔，夾具連接頭與承載集成固定連接。真空管將承載集成的第一真空孔與夾具連接頭的抽氣孔連通。本發(fā)明真空夾具通過設(shè)置密封圈，使得真空夾具具有良好的氣密性，從而使晶圓能夠穩(wěn)固夾持于真空夾具上。
【專利說明】
真空夾具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及夾持晶圓的夾具，尤其涉及一種真空夾具。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件制造過程中，用于制造半導(dǎo)體器件的晶圓需要經(jīng)歷若干道工藝后被制作成所需的半導(dǎo)體器件。晶圓通常由夾具夾持以完成相應(yīng)工藝，如電鍍、電化學(xué)拋光工藝等。
[0003]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，用于制造半導(dǎo)體器件的裝置也在不斷改進(jìn)以滿足各種工藝所需，其中包括用于夾持晶圓的夾具。夾具一般分為兩種，一種是接觸型夾具，另一種是非接觸型夾具。以真空產(chǎn)生的負(fù)壓將晶圓定位和夾緊的真空夾具是一種典型的接觸型夾具。如美國專利號US6032997揭露的一種真空夾具，該真空夾具具有基部，基部具有頂表面，若干同心平面分布在基部的頂表面用于支撐晶圓。每兩個相鄰的同心平面之間形成有一同心溝槽，若干個通孔穿過基部并與相對應(yīng)的同心溝槽連通。每個通孔分別與一真空管道相連接，真空管道與真空源相連接。晶圓接觸同心平面時，同心溝槽內(nèi)的空氣通過通孔和真空管道排出，從而產(chǎn)生真空負(fù)壓而將晶圓固定在真空夾具上。
[0004]又如美國專利號US6164633公開的一種真空夾具，該真空夾具具有大致呈方形的夾具主體，夾具主體具有第一表面及與第一表面相對的第二表面。第一表面設(shè)置有第一圓形平臺及第二圓形平臺分別用于支撐兩種不同直徑的晶圓。第二表面設(shè)置有第三圓形平臺用于支撐具有又一直徑的晶圓。第一真空槽和第二真空槽分別形成于第一圓形平臺及第二圓形平臺，第三真空槽形成于第三圓形平臺。三個真空通道從夾具主體的內(nèi)部延伸至夾具主體的外部并與位于夾具主體一側(cè)的三個真空口相連通。每個真空通道連接一個真空槽及真空源。真空槽內(nèi)的空氣通過真空通道及真空口排出，從而產(chǎn)生真空負(fù)壓而將晶圓固定在真空夾具的圓形平臺上。
[0005]然而，上述兩種真空夾具雖然結(jié)構(gòu)較為簡單，但真空夾具的氣密性較差，夾持其上的晶圓容易脫落，從而導(dǎo)致晶圓被損壞。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、氣密性較佳的真空夾具，該真空夾具能夠穩(wěn)固夾持晶圓。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的真空夾具，包括:承載集成、密封單元、夾具連接頭及至少一個真空管。承載集成具有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)有至少一個第一真空孔。密封單元包括密封圈，密封圈凸起形成真空槽，密封圈開設(shè)有至少一個第二真空孔，密封圈固定設(shè)置在承載集成的凹槽內(nèi)，密封圈的第二真空孔與承載集成的第一真空孔相連通。夾具連接頭具有至少一個抽氣口及與抽氣口相連通的至少一個抽氣孔，夾具連接頭與承載集成固定連接。真空管將承載集成的第一真空孔與夾具連接頭的抽氣孔連通。
[0008]在一個實(shí)施例中，密封單元進(jìn)一步包括固定環(huán)，固定環(huán)開設(shè)有至少一個第二真空孔，固定環(huán)放置于密封圈的真空槽內(nèi)，固定環(huán)的第二真空孔與密封圈的第二真空孔連通，固定環(huán)及密封圈固定設(shè)置在承載集成的凹槽內(nèi)。固定環(huán)為金屬環(huán)。密封圈為橡膠密封圈。
[0009]在一個實(shí)施例中，承載集成包括承載體及底座，承載體具有基部及沿基部向下延伸的側(cè)墻，基部及側(cè)墻圍成一收容空間以容納底座，基部開設(shè)有裝配孔以安裝夾具連接頭，基部還開設(shè)有至少一個定位孔及容納槽，容納槽的一端與定位孔連通，容納槽的另一端與裝配孔連通，凹槽及第一真空孔設(shè)置于底座上，第一真空孔與定位孔連通，真空管收容于容納槽內(nèi)。
[0010]在一個實(shí)施例中，進(jìn)一步包括中空的連接管，連接管的一端固定安裝在底座的第一真空孔中，連接管的另一端穿過承載體的定位孔后插入真空管。連接管呈L型，固定安裝在底座的第一真空孔中的連接管的一端具有螺紋，穿過承載體的定位孔后插入真空管的連接管的另一端呈錐型。
[0011]在一個實(shí)施例中，底座開設(shè)有若干相互連通的空氣槽，空氣槽被底座的凹槽包圍。至少一個壓力釋放孔設(shè)置于空氣槽內(nèi)。
[0012]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的又一種真空夾具，包括:承載集成、第一密封單元、第二密封單元、夾具連接頭、及至少一個真空管。承載集成具有第一凹槽及第二凹槽，第一凹槽內(nèi)設(shè)有至少一個第一真空孔，第二凹槽包圍的承載集成內(nèi)設(shè)置有真空通道。第一密封單元包括第一密封圈，第一密封圈凸起形成真空槽，第一密封圈開設(shè)有至少一個第二真空孔，第一密封圈固定設(shè)置在承載集成的第一凹槽內(nèi)，第一密封圈的第二真空孔與承載集成的第一真空孔相連通。第二密封單元包括第二密封圈，第二密封圈固定設(shè)置在承載集成的第二凹槽內(nèi)。夾具連接頭具有至少一個抽氣口、與抽氣口相連通的至少一個抽氣孔及與承載集成的真空通道相連通的第三真空通道，夾具連接頭與承載集成固定連接。真空管將承載集成的第一真空孔與夾具連接頭的抽氣孔連通。
[0013]在一個實(shí)施例中，第一凹槽及第二凹槽為同心圓環(huán)，第一凹槽與承載集成的中心之間的距離大于第二凹槽與承載集成的中心之間的距離。
[0014]在一個實(shí)施例中，第一密封單元進(jìn)一步包括第一固定環(huán)，第一固定環(huán)開設(shè)有至少一個第二真空孔，第一固定環(huán)放置于第一密封圈的真空槽內(nèi)，第一固定環(huán)的第二真空孔與第一密封圈的第二真空孔連通，第一固定環(huán)及第一密封圈固定設(shè)置在承載集成的第一凹槽內(nèi)。第二密封單元進(jìn)一步包括第二固定環(huán)，第二固定環(huán)布設(shè)于第二密封圈的內(nèi)邊緣上方，第二固定環(huán)及第二密封圈固定設(shè)置在承載集成的第二凹槽內(nèi)。第一固定環(huán)及第二固定環(huán)均為金屬環(huán)。第一密封圈及第二密封圈均為橡膠密封圈。
[0015]在一個實(shí)施例中，承載集成包括承載體及底座，承載體具有基部及沿基部向下延伸的側(cè)墻，基部及側(cè)墻圍成一收容空間以容納底座，基部開設(shè)有裝配孔以安裝夾具連接頭，基部還開設(shè)有至少一個定位孔及容納槽，容納槽的一端與定位孔連通，容納槽的另一端與裝配孔連通，第一凹槽及第二凹槽設(shè)置于底座上，第一真空孔與定位孔連通，真空管收容于容納槽內(nèi)。
[0016]在一個實(shí)施例中，進(jìn)一步包括中空的連接管，連接管的一端固定安裝在底座的第一真空孔中，連接管的另一端穿過承載體的定位孔后插入真空管。連接管呈L型，固定安裝在底座的第一真空孔中的連接管的一端具有螺紋，穿過承載體的定位孔后插入真空管的連接管的另一端呈錐型。
[0017]在一個實(shí)施例中，第一凹槽與第二凹槽之間的底座底表面開設(shè)有數(shù)個相互連通的空氣槽。至少一個壓力釋放孔設(shè)置于空氣槽內(nèi)。
[0018]在一個實(shí)施例中，第二凹槽所包圍的底座底表面開設(shè)有數(shù)個空氣槽，該數(shù)個空氣槽分別與承載集成的真空通道相連通。
[0019]在一個實(shí)施例中，承載集成進(jìn)一步包括中間板，中間板設(shè)置于承載體與底座之間并與夾具連接頭固定連接，中間板開設(shè)有第一真空通道，底座開設(shè)有第二真空通道，第一真空通道、第二真空通道及夾具連接頭的第三真空通道相連通。
[0020]在一個實(shí)施例中，中間板具有上表面及與上表面相對的下表面，中間板的上表面及下表面分別開設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽環(huán)繞著第一真空通道，兩個密封件分別配置在中間板的上表面及下表面的環(huán)形槽內(nèi)。
[0021]在一個實(shí)施例中，中間板、底座及夾具連接頭的中心分別開設(shè)有校準(zhǔn)孔，第一真空通道、第二真空通道及第三真空通道分別與校準(zhǔn)孔相鄰布置。
[0022]在一個實(shí)施例中，中間板、底座及夾具連接頭分別開設(shè)有數(shù)個固定孔，數(shù)個固定孔環(huán)繞校準(zhǔn)孔及真空通道布置。
[0023]在一個實(shí)施例中，中間板、底座及夾具連接頭分別開設(shè)有數(shù)個軸孔，數(shù)個軸孔環(huán)繞校準(zhǔn)孔及真空通道布置。
[0024]綜上所述，本發(fā)明真空夾具通過設(shè)置密封圈，使得真空夾具具有良好的氣密性，從而使晶圓能夠穩(wěn)固夾持于真空夾具上。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的頂視圖。
[0026]圖2揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的底視圖。
[0027]圖3揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的承載體的頂視圖。
[0028]圖4揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的承載體的底視圖。
[0029]圖5揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的中間板的頂視圖。
[0030]圖6揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的中間板的底視圖。
[0031]圖7揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的底座的頂視圖。
[0032]圖8揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的底座的底視圖。
[0033]圖9揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的承載集成及夾具連接頭組裝后的剖視圖。
[0034]圖10揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的剖視圖。
[0035]圖11揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的又一剖視圖。
[0036]圖12揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的第一密封單元及第二密封單元的爆炸圖。
[0037]圖13揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的連接管的立體示意圖。
[0038]圖14揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的夾具連接頭的立體示意圖。
[0039]圖15揭露了根據(jù)本發(fā)明真空夾具的夾具連接頭的剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0040]為詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合圖式予以詳細(xì)說明。
[0041]參閱圖1至圖11，本發(fā)明揭露的真空夾具100大致呈圓形，真空夾具100包括承載集成10及與承載集成10固定連接的夾具連接頭20。承載集成10包括承載體11、中間板12及底座13，其中，中間板12設(shè)置在承載體11與底座13之間。承載體11、中間板12及底座13通過螺絲固定在一起，顯然，除了使用螺絲固定承載體11、中間板12及底座13外，還可以通過其他方式將承載體11、中間板12及底座13固定在一起。
[0042]如圖3和圖4所示，承載體11具有基部111及沿基部111邊緣向下延伸的側(cè)墻112?；?11及側(cè)墻112圍成一收容空間113以容納中間板12及底座13。基部111的中心開設(shè)有圓形的裝配孔114以安裝夾具連接頭20?；?11還開設(shè)有四個定位孔115?；?11的頂表面開設(shè)有四個容納槽116，每個容納槽116的一端與一定位孔115相連通，該容納槽116的另一端與裝配孔114相連通。四個定位孔115及四個容納槽116對稱分布在基部111上。
[0043]如圖5和圖6所示，中間板12為一圓形板，中間板12開設(shè)有第一校準(zhǔn)孔121及第一真空通道122，其中，第一校準(zhǔn)孔121位于中間板12的中心，第一真空通道122與第一校準(zhǔn)孔121相鄰布置。中間板12還開設(shè)有數(shù)個第一軸孔123及第一固定孔124，在本實(shí)施例中，第一軸孔123及第一固定孔124的數(shù)量分別為三個，第一軸孔123及第一固定孔124環(huán)繞第一校準(zhǔn)孔121及第一真空通道122交替布置。中間板12具有上表面及與上表面相對的下表面，中間板12的上表面及下表面分別開設(shè)有環(huán)形槽125，環(huán)形槽125環(huán)繞著第一校準(zhǔn)孔121、第一真空通道122、第一軸孔123及第一固定孔124。如圖10所示，兩個密封件30分別配置在中間板12的上表面及下表面的環(huán)形槽125內(nèi)，目的是密封中間板12與夾具連接頭20之間的接合處，以及中間板12與底座13之間的接合處，阻止空氣進(jìn)入真空夾具100內(nèi)。
[0044]如圖7和圖8所示，底座13具有頂表面及與頂表面相對的底表面，晶圓固定夾持在底座13的底表面上。底座13的頂表面的中部向底座13的底表面方向凹陷形成一圓形凹部130以收容中間板12。底座13的底表面開設(shè)有第一凹槽131及第二凹槽132，第一凹槽131及第二凹槽132為同心圓環(huán)，第一凹槽131與底座13的底表面的中心之間的距離大于第二凹槽132與底座13的底表面的中心之間的距離，第一凹槽131位于靠近底座13的底表面的邊緣處，第二凹槽132位于靠近底座13的底表面的中心處。第一凹槽131及第二凹槽132內(nèi)均設(shè)置有若干螺孔133。第一凹槽131內(nèi)還設(shè)置有數(shù)個，例如四個第一真空孔134，第一真空孔134對稱分布在第一凹槽131內(nèi)且貫穿底座13的頂表面及底表面。第一凹槽131與第二凹槽132之間的底表面開設(shè)有數(shù)個相互連通的空氣槽135。三個壓力釋放孔140對稱設(shè)置于第一凹槽131與第二凹槽132之間的空氣槽135內(nèi)以釋放第一凹槽131與第二凹槽132之間的真空負(fù)壓，從而使晶圓脫離真空夾具100。底座13的中心開設(shè)有第二校準(zhǔn)孔136。第二真空通道137貫穿底座13并與第二校準(zhǔn)孔136相鄰設(shè)置。底座13還開設(shè)有第二軸孔138及第二固定孔139，第二軸孔138及第二固定孔139的數(shù)量分別為三個，第二軸孔138及第二固定孔139交替分布在底座13上且環(huán)繞第二校準(zhǔn)孔136及第二真空通道137。第二校準(zhǔn)孔136、第二真空通道137、第二軸孔138及第二固定孔139均被第二凹槽132包圍。第二凹槽132所包圍的底表面開設(shè)有數(shù)個空氣槽135，該數(shù)個空氣槽135分別與第二真空通道137相連通。
[0045]參閱圖12同時結(jié)合圖9至圖11，第一密封單元40包括至少一片第一金屬環(huán)41及第一密封圈42。第一密封圈42的中部凸起形成真空槽421。一片第一金屬環(huán)41放置于真空槽421內(nèi)。第一金屬環(huán)41及第一密封圈42通過螺絲裝配在底座13的第一凹槽131內(nèi)，螺絲插設(shè)于底座13的螺孔133中，從而將第一金屬環(huán)41、第一密封圈42及底座13固定在一起。第一金屬環(huán)41及第一密封圈42分別開設(shè)有四個第二真空孔43，四個第二真空孔43分別與底座13的四個第一真空孔134相連通。在本實(shí)施例中，第一金屬環(huán)41為兩片第一金屬環(huán)41，兩片第一金屬環(huán)41夾持第一密封圈42。第二密封單元50包括至少一片第二金屬環(huán)51及第二密封圈52。第二金屬環(huán)51布設(shè)于第二密封圈52的內(nèi)邊緣上方。第二金屬環(huán)51及第二密封圈52通過螺絲裝配在底座13的第二凹槽132內(nèi)，螺絲插設(shè)于底座13的螺孔133中，從而將第二金屬環(huán)51、第二密封圈52及底座13固定在一起。在本實(shí)施例中，第二金屬環(huán)51為兩片第二金屬環(huán)51，兩片第二金屬環(huán)51夾持第二密封圈52的內(nèi)邊緣。根據(jù)不同的工藝需求，第一密封圈42及第二密封圈52的材料可以選用如橡膠材料。
[0046]參閱圖13同時結(jié)合圖9至圖10，連接管60為中空的連接管60，連接管60大致呈L型。連接管60的一端具有螺紋并固定安裝在底座13的第一真空孔134中，連接管60的另一端大致呈錐型，連接管60的另一端穿過承載體11的定位孔115后插入真空管70，真空管70收容于承載體11的容納槽116。與承載體11的定位孔115及容納槽116的數(shù)量相對應(yīng)，連接管60及真空管70的數(shù)量均為四個。
[0047]參閱圖14及圖15同時結(jié)合圖1及圖9至圖11，夾具連接頭20的頂表面設(shè)置有兩個相互平行的細(xì)長條狀的抽氣口 21。夾具連接頭20的側(cè)壁開設(shè)有四個抽氣孔22，抽氣孔22分別與抽氣口 21相連通，真空管70與抽氣孔22相連通。夾具連接頭20的底表面開設(shè)有第三校準(zhǔn)孔23及第三真空通道24，其中，第三校準(zhǔn)孔23位于夾具連接頭20的底表面的中心，第三真空通道24與第三校準(zhǔn)孔23相鄰布置并貫穿夾具連接頭20。夾具連接頭20的底表面還開設(shè)有數(shù)個第三軸孔25及第三固定孔26，在本實(shí)施例中，第三軸孔25及第三固定孔26的數(shù)量分別為三個，第三軸孔25及第三固定孔26環(huán)繞第三校準(zhǔn)孔23及第三真空通道24交替布置。兩個細(xì)長條狀的環(huán)型的密封套80設(shè)置在抽氣口 21處以防止氣體從抽氣口 21處泄露。夾具連接頭20固定安裝在承載體11的裝配孔114處，并通過將螺絲插入第一固定孔124、第二固定孔139及第三固定孔26，從而將夾具連接頭20與中間板12及底座13固定在一起。三個主軸(圖中未示)分別插設(shè)于第一軸孔123、第二軸孔138及第三軸孔25。校準(zhǔn)裝置(圖中未示)設(shè)置在第一校準(zhǔn)孔121、第二校準(zhǔn)孔136及第三校準(zhǔn)孔23處以檢測晶圓是否位于真空夾具100的中心位置。
[0048]使用真空夾具100夾持晶圓時，底座13的底表面作為吸附面與晶圓接觸。第一密封圈42與晶圓的外邊緣部接觸，真空槽421內(nèi)的氣體依次通過第二真空孔43、第一真空孔134、連接管60、真空管70、抽氣孔22及抽氣口 21排出。第二密封圈52與晶圓的靠近中心的中部接觸，第二密封圈52與晶圓圍成的空間內(nèi)的氣體依次通過第二凹槽132所包圍的底座13的底表面上的空氣槽135、第二真空通道137、第一真空通道122及第三真空通道24排出。本發(fā)明真空夾具100通過設(shè)置第一密封圈42及第二密封圈52，使得真空夾具100具有良好的氣密性，從而使晶圓能夠穩(wěn)固夾持于真空夾具100上。
[0049]綜上所述，本發(fā)明通過上述實(shí)施方式及相關(guān)圖式說明，己具體、詳實(shí)的揭露了相關(guān)技術(shù)，使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以據(jù)以實(shí)施。而以上所述實(shí)施例只是用來說明本發(fā)明，而不是用來限制本發(fā)明的，本發(fā)明的權(quán)利范圍，應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求來界定。至于本文中所述元件數(shù)目的改變或等效元件的代替等仍都應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種真空夾具，其特征在于，包括: 承載集成，所述承載集成具有凹槽，凹槽內(nèi)設(shè)有至少一個第一真空孔； 密封單元，所述密封單元包括密封圈，密封圈凸起形成真空槽，密封圈開設(shè)有至少一個第二真空孔，密封圈固定設(shè)置在承載集成的凹槽內(nèi)，密封圈的第二真空孔與承載集成的第一真空孔相連通； 夾具連接頭，所述夾具連接頭具有至少一個抽氣口及與抽氣口相連通的至少一個抽氣孔，夾具連接頭與承載集成固定連接；及 至少一個真空管，所述真空管將承載集成的第一真空孔與夾具連接頭的抽氣孔連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空夾具，其特征在于，所述密封單元進(jìn)一步包括固定環(huán)，固定環(huán)開設(shè)有至少一個第二真空孔，固定環(huán)放置于密封圈的真空槽內(nèi)，固定環(huán)的第二真空孔與密封圈的第二真空孔連通，固定環(huán)及密封圈固定設(shè)置在承載集成的凹槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空夾具，其特征在于，所述固定環(huán)為金屬環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空夾具，其特征在于，所述密封圈為橡膠密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空夾具，其特征在于，所述承載集成包括承載體及底座，承載體具有基部及沿基部向下延伸的側(cè)墻，基部及側(cè)墻圍成一收容空間以容納底座，基部開設(shè)有裝配孔以安裝夾具連接頭，基部還開設(shè)有至少一個定位孔及容納槽，容納槽的一端與定位孔連通，容納槽的另一端與裝配孔連通，凹槽及第一真空孔設(shè)置于底座上，第一真空孔與定位孔連通，真空管收容于容納槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空夾具，其特征在于，進(jìn)一步包括中空的連接管，連接管的一端固定安裝在底座的第一真空孔中，連接管的另一端穿過承載體的定位孔后插入真空管。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空夾具，其特征在于，所述連接管呈L型，固定安裝在底座的第一真空孔中的連接管的一端具有螺紋，穿過承載體的定位孔后插入真空管的連接管的另一端呈錐型。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空夾具，其特征在于，所述底座開設(shè)有若干相互連通的空氣槽，空氣槽被底座的凹槽包圍。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空夾具，其特征在于，至少一個壓力釋放孔設(shè)置于空氣槽內(nèi)。
10.一種真空夾具，其特征在于，包括: 承載集成，所述承載集成具有第一凹槽及第二凹槽，第一凹槽內(nèi)設(shè)有至少一個第一真空孔，第二凹槽包圍的承載集成內(nèi)設(shè)置有真空通道； 第一密封單元，所述第一密封單元包括第一密封圈，第一密封圈凸起形成真空槽，第一密封圈開設(shè)有至少一個第二真空孔，第一密封圈固定設(shè)置在承載集成的第一凹槽內(nèi)，第一密封圈的第二真空孔與承載集成的第一真空孔相連通； 第二密封單元，所述第二密封單元包括第二密封圈，第二密封圈固定設(shè)置在承載集成的第二凹槽內(nèi)； 夾具連接頭，所述夾具連接頭具有至少一個抽氣口、與抽氣口相連通的至少一個抽氣孔及與承載集成的真空通道相連通的第三真空通道，夾具連接頭與承載集成固定連接；及 至少一個真空管，所述真空管將承載集成的第一真空孔與夾具連接頭的抽氣孔連通。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空夾具，其特征在于，所述第一凹槽及第二凹槽為同心圓環(huán)，第一凹槽與承載集成的中心之間的距離大于第二凹槽與承載集成的中心之間的距離。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空夾具，其特征在于，所述第一密封圈及第二密封圈均為橡膠密封圈。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空夾具，其特征在于，所述第一密封單元進(jìn)一步包括第一固定環(huán)，第一固定環(huán)開設(shè)有至少一個第二真空孔，第一固定環(huán)放置于第一密封圈的真空槽內(nèi)，第一固定環(huán)的第二真空孔與第一密封圈的第二真空孔連通，第一固定環(huán)及第一密封圈固定設(shè)置在承載集成的第一凹槽內(nèi)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空夾具，其特征在于，所述第二密封單元進(jìn)一步包括第二固定環(huán)，第二固定環(huán)布設(shè)于第二密封圈的內(nèi)邊緣上方，第二固定環(huán)及第二密封圈固定設(shè)置在承載集成的第二凹槽內(nèi)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的真空夾具，其特征在于，所述第一固定環(huán)及第二固定環(huán)均為金屬環(huán)。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空夾具，其特征在于，所述承載集成包括承載體及底座，承載體具有基部及沿基部向下延伸的側(cè)墻，基部及側(cè)墻圍成一收容空間以容納底座，基部開設(shè)有裝配孔以安裝夾具連接頭，基部還開設(shè)有至少一個定位孔及容納槽，容納槽的一端與定位孔連通，容納槽的另一端與裝配孔連通，第一凹槽及第二凹槽設(shè)置于底座上，第一真空孔與定位孔連通，真空管收容于容納槽內(nèi)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空夾具，其特征在于，進(jìn)一步包括中空的連接管，連接管的一端固定安裝在底座的第一真空孔中，連接管的另一端穿過承載體的定位孔后插入真空管。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的真空夾具，其特征在于，所述連接管呈L型，固定安裝在底座的第一真空孔中的連接管的一端具有螺紋，穿過承載體的定位孔后插入真空管的連接管的另一端呈錐型。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空夾具，其特征在于，所述第一凹槽與第二凹槽之間的底座底表面開設(shè)有數(shù)個相互連通的空氣槽。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的真空夾具，其特征在于，至少一個壓力釋放孔設(shè)置于空氣槽內(nèi)。
21.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空夾具，其特征在于，所述第二凹槽所包圍的底座底表面開設(shè)有數(shù)個空氣槽，該數(shù)個空氣槽分別與承載集成的真空通道相連通。
22.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空夾具，其特征在于，所述承載集成進(jìn)一步包括中間板，中間板設(shè)置于承載體與底座之間并與夾具連接頭固定連接，中間板開設(shè)有第一真空通道，底座開設(shè)有第二真空通道，第一真空通道、第二真空通道及夾具連接頭的第三真空通道相連通。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的真空夾具，其特征在于，所述中間板具有上表面及與上表面相對的下表面，中間板的上表面及下表面分別開設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽環(huán)繞著第一真空通道，兩個密封件分別配置在中間板的上表面及下表面的環(huán)形槽內(nèi)。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的真空夾具，其特征在于，所述中間板、底座及夾具連接頭的中心分別開設(shè)有校準(zhǔn)孔，第一真空通道、第二真空通道及第三真空通道分別與校準(zhǔn)孔相鄰布置。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的真空夾具，其特征在于，所述中間板、底座及夾具連接頭分別開設(shè)有數(shù)個固定孔，數(shù)個固定孔環(huán)繞校準(zhǔn)孔及真空通道布置。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的真空夾具，其特征在于，所述中間板、底座及夾具連接頭分別開設(shè)有數(shù)個軸孔，數(shù)個軸孔環(huán)繞校準(zhǔn)孔及真空通道布置。
【文檔編號】B25B11/00GK104471700SQ201280071561
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2012年3月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月28日
【發(fā)明者】王堅(jiān), 金一諾, 邵勇, 王暉 申請人:盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司