專利名稱：：懸架用層合體及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在布線一體型懸架的制造中使用的懸架用層合體及其制造方法，所述懸架彈性支撐含有磁頭的滑塊。
背景技術(shù)：
：硬盤裝置中，含有磁頭的滑塊由懸架彈性支撐，與記錄介質(zhì)相對(duì)地配置。記錄介質(zhì)旋轉(zhuǎn)，則流過(guò)記錄介質(zhì)與滑塊之間的空氣流使滑塊產(chǎn)生浮力，滑塊通過(guò)該浮力稍微由記錄介質(zhì)的表面浮起。因此，懸架的剛性等機(jī)械特性對(duì)于滑塊的浮起量或姿勢(shì)有很大影響?；瑝K中所含的^f茲頭與布線連接。該布線沿著懸架配置。以往，該布線是在懸架制作后安裝于懸架上的。但是，這樣在懸架上安裝布線的方法中，有布線的剛性或空氣阻力等對(duì)滑塊的浮起量或姿勢(shì)產(chǎn)生影響的問(wèn)題，或者有布線與磁頭的連接步驟無(wú)法筒略的問(wèn)題。例如如專利文獻(xiàn)1、2所示，有人提出了將懸架與布線一體化的布線一體型懸架。該布線一體型懸架在懸架上經(jīng)由絕緣層形成圖案化的導(dǎo)體層。專利文獻(xiàn)1中記載作為導(dǎo)體層的圖案化方法，是使用在不銹鋼箔上依次層合絕緣層和導(dǎo)體層形成的層合體，通過(guò)蝕刻，在該層合體上的導(dǎo)體層上形成圖案的方法。專利文獻(xiàn)2中記載作為在導(dǎo)體層上形成圖案的方法，是使用在不銹鋼箔上層合絕緣層得到的層合體，使用濺射法或鍍敷法等，在該層合體的絕緣層上形成圖案化的導(dǎo)體層的方法。專利文獻(xiàn)l:國(guó)際公開第WO98/08216號(hào)小冊(cè)子專利文獻(xiàn)2:日本特開平10-270817號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容如上所述，在布線一體型懸架的制造中使用的懸架用層合體有在不銹鋼箔上依次層合絕緣層和導(dǎo)體層而成的層合體；在不銹鋼箔上層合絕緣層而成的層合體。以往，在不銹鋼箔上依次層合絕緣層和導(dǎo)體層形成的層合體中，在制造該層合體后，有層合體翹曲的情況發(fā)生。這樣層合體翹曲，則在懸架制造過(guò)程中，翹曲的層合體堵塞層合體的運(yùn)送線路，產(chǎn)生懸架的機(jī)械精度變差的問(wèn)題。另外，使用在不銹鋼箔上層合絕緣層得到的層合體制造懸架時(shí)，在層合體的絕緣層上形成導(dǎo)體層后，也有層合體翹曲的問(wèn)題。這種情況下也會(huì)產(chǎn)生懸架的機(jī)械精度變差的問(wèn)題。本發(fā)明的目的在于提供可以抑制在布線一體型懸架的制造中使用的懸架用層合體的翹曲的懸架用層合體及其制造方法。本發(fā)明的懸架用層合體是在彈性支撐含有磁頭的滑塊、以使滑塊與記錄介質(zhì)相對(duì)的布線一體型懸架制造中使用。本發(fā)明的懸架用層合體具備不銹鋼箔、和在該不銹鋼箔上層合的絕緣層，不銹鋼箔含有0.42.5體積％的馬氏體相。本發(fā)明的懸架用層合體的制造方法具備以下步驟選擇含有0.4~2.5體積％馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔的步驟；在選擇的不銹鋼箔上層合絕緣層的步驟。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，通過(guò)使用含有0.4-2.5體積％馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔，可以抑制在絕緣層上層合導(dǎo)體層時(shí)懸架用層合體的翹曲。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，不銹鋼箔可以含有含馬氏體相的奧氏體系的不銹鋼。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，不銹鋼箔可以含有7~13重量％的Ni和16~20重量％的Cr。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，絕緣層可以含有聚酰亞胺系樹脂。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，不銹鋼箔的厚度在10~100pm的范圍內(nèi)，絕緣層的厚度可以在5~50pm的范圍內(nèi)。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，絕緣層的線熱膨脹系數(shù)可以在10x10—6~30xlCr6的范圍內(nèi)。本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法中，絕緣層具有與不銹鋼箔接觸的第1面及相反側(cè)的第2面，懸架用層合體可具備導(dǎo)體層，其與絕緣層的第2面接觸配置。這種情況下，不銹鋼箔的厚度可在10~100(im的范圍內(nèi)，絕緣層的厚度在550]im的范圍內(nèi)，導(dǎo)體層的厚度在5~50^un的范圍內(nèi)。絕緣層的線熱膨脹系數(shù)在10xl0-6~30xl0-6的范圍內(nèi)，導(dǎo)體層的線熱膨脹系數(shù)在10xl(T6~30xlO-6的范圍內(nèi)。導(dǎo)體層可以含有純銅或銅合金。根據(jù)本發(fā)明的懸架用層合體或其制造方法，通過(guò)使用含有0.4-2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔，可以抑制在絕緣層上層合導(dǎo)體層時(shí)懸架用層合體的翹曲。本發(fā)明的其它目的、特征和優(yōu)勢(shì)可根據(jù)以下的說(shuō)明加以了解。附圖簡(jiǎn)述圖1是表示本發(fā)明第一實(shí)施方案的懸架用層合體的一部分的截面圖。圖2是表示本發(fā)明第二實(shí)施方案的懸架用層合體的一部分的截面圖。圖3是使用本發(fā)明的懸架用層合體制造的布線一體型懸架的一個(gè)例子的平面圖。圖4是表示懸架用層合體的翹曲的第一形態(tài)的說(shuō)明圖。圖5是表示懸架用層合體的翹曲的第二形態(tài)的說(shuō)明圖。圖6是表示實(shí)施例和比較例中不銹鋼箔的馬氏體相體積比率與線熱膨脹系數(shù)的關(guān)系的特性圖。圖7是表示實(shí)施例和比較例中不銹鋼箔的馬氏體相的體積比率與層合體的翹曲量的關(guān)系的特性圖。符號(hào)說(shuō)明1…負(fù)載桿(loadbeam)、2…柔性部(flexer)、3…萬(wàn)向部(gimbal)、4…布線、10、20…懸架用層合體、ll...不銹鋼箔、12…絕緣層、13…導(dǎo)體層具體實(shí)施方式以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，參照?qǐng)D3,對(duì)使用本發(fā)明的懸架用層合體制造的布線一體型懸架的構(gòu)成的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。圖3是布線一體型懸架的平面圖。該布線一體型懸架是彈性支撐含有磁頭的滑塊，使其與記錄介質(zhì)相對(duì)。圖3所示的布線一體型懸架具備例如由不銹鋼形成的板簧狀的負(fù)載桿1、安裝在該負(fù)載桿1的一個(gè)端部的柔性部2。柔性部2的一個(gè)端部安裝了含有磁頭的滑塊，本說(shuō)明書中未圖示。柔性部2可以使滑塊具有適當(dāng)?shù)淖杂啥?。柔性?中，在安裝滑塊的部分設(shè)置了使滑塊的姿勢(shì)保持一定的萬(wàn)向部3。負(fù)載桿1的另一端部安裝了驅(qū)動(dòng)器。該驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)懸架，使滑塊沿記錄介質(zhì)的磁道的橫切方向移動(dòng)。柔性部2含有一端與磁頭連接的布線4。本發(fā)明的懸架用層合體在制造柔性部2中使用。使用本發(fā)明的懸架用層合體制造的布線一體型懸架的構(gòu)成不只限于圖3所示。例如，布線一體型懸架中，代替圖3的負(fù)載桿1和柔性部2，可以具備將它們一體化的懸架本體。這種情況下，懸架本體含有布線4。本發(fā)明的懸架用層合體在制造懸架用本體中使用。下面，參照?qǐng)D1和圖2，對(duì)本發(fā)明的第一和第二實(shí)施方案的懸架用層合體(以下簡(jiǎn)稱為層合體)及其制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖1是第一實(shí)施方案的層合體10的一部分的截面圖。本實(shí)施方案的層合體10具備不銹鋼箔11和層合在該不銹鋼箔11上的絕緣層12。絕緣層12具有與不銹鋼箔11接觸的第1面12a和相反側(cè)的第2面12b。本實(shí)施方案的層合體10的制造方法具備在不銹鋼箔11上層合絕緣層12的步驟。在不銹鋼箔11上層合絕緣層12的方法沒有特別限定。例如，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成含有樹脂的絕緣層12,也可以將樹脂薄膜層合在不銹鋼箔11上，形成絕緣層12。使用本實(shí)施方案的層合體10制造柔性部2或懸架本體時(shí)，在絕緣層12的第2面12b上形成圖案化的導(dǎo)體層13。該圖案化的導(dǎo)體層13即為布線4。導(dǎo)體層13的形成圖案的方法沒有特別限定。例如，在絕緣層12的第2面12b上形成未圖案化的導(dǎo)體層13，然后通過(guò)蝕刻使該導(dǎo)體層13形成圖案，也可以使用濺射或鍍敷法等在絕緣層12的第2面12b的上面形成圖案化的導(dǎo)體層13。另外，層合體10通過(guò)蝕刻等可以加工成規(guī)定的形狀，形成柔性部2或懸架本體。圖2是表示第二實(shí)施方案的層合體20的一部分的截面圖。本實(shí)施方案的層合體20具備不銹鋼箔11、在該不銹鋼箔11上依次層合的絕緣層12和導(dǎo)體層13。絕緣層12具有與不銹鋼箔11接觸的第1面12a和其相反側(cè)的第2面12b,導(dǎo)體層13配置成與第2面12b接觸。本實(shí)施方案的層合體20的制造方法具備以下步驟在不銹鋼箔11上層合絕緣層12的步驟；形成導(dǎo)體層13，使其與該絕緣層12的第2面12b接觸的步驟。該兩個(gè)步驟的順序沒有特別限定。例如，可以是在不銹鋼箔11上層合絕緣層12,然后在絕緣層12上形成導(dǎo)體層13，也可以相反。還可以將分別形成的不銹鋼箔11和絕緣層12和導(dǎo)體層13重疊，將它們同時(shí)接合。在將不銹鋼箔11和絕緣層12和導(dǎo)體層13同時(shí)接合時(shí)，上述兩個(gè)步驟可同時(shí)進(jìn)行。不銹鋼箔11上層合絕緣層12的方法與第一實(shí)施方案同樣，沒有特別限定。例如，可以通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成含有樹脂的絕緣層12，也可以將樹脂薄膜層合在不銹鋼箔11上，形成絕緣層12。形在導(dǎo)體層13的方法沒有特別限定。例如可以將作為導(dǎo)體層13的導(dǎo)體箔與絕緣層12接合，形成導(dǎo)體層13,也可以使用濺射法或鍍敷法等，在絕緣層12的第2面12b上形成導(dǎo)體層13。使用本實(shí)施方案的層合體20制造柔性部2或懸架本體時(shí)，通過(guò)蝕刻等使導(dǎo)體層13形成圖案，形成布線4。層合體20可通過(guò)蝕刻等加工成規(guī)定的形狀，使其形成柔性部2或懸架本體。第一實(shí)施方案的層合體10和第二實(shí)施方案的層合體20任意一方中，不銹鋼箔11均含有0.4~2.5體積％體積比率的馬氏體相。第一實(shí)施方案的層合體10的制造方法和第二實(shí)施方案的層合體20的制造方法任意一方中，均具備選擇含有0.4-2.5體積％馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11的步驟。第一實(shí)施方案中，通過(guò)使用含有0.4-2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11，可以抑制在絕緣層12上層合導(dǎo)體層13時(shí)層合體10的翹曲。第二實(shí)施方案中，通過(guò)使用含有0.4-2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11,可以抑制層合體20的翹曲。這樣，通過(guò)使用含有0.4~2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11，可以抑制層合體10、20的翹曲，其理由如后所述。各實(shí)施方案中，不銹鋼箔11優(yōu)選含有含馬氏體相的奧氏體系不銹鋼。各實(shí)施方案中，不銹鋼箔11優(yōu)選含有7~13重量％的Ni和16~20重量％的Cr。由此，不銹鋼箔11的厚度在后述優(yōu)選的范圍內(nèi)時(shí)，可以使不銹鋼箔11的彈性模量和強(qiáng)度均在優(yōu)選范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，絕緣層12優(yōu)選含有聚酰亞胺系樹脂。各實(shí)施方案中，導(dǎo)體層13優(yōu)選含有純銅或銅合金。各實(shí)施方案中，不銹鋼箔11的厚度優(yōu)選在10-100i!m的范圍內(nèi)。不銹鋼箔11的厚度低于10|im時(shí)，使用層合體10或?qū)雍象w20制造的懸架的強(qiáng)度可能不足。不銹鋼箔11的厚度超過(guò)100jLim,則使用層合體10或?qū)雍象w20制造的懸架的重量過(guò)大，驅(qū)動(dòng)懸架的驅(qū)動(dòng)器的消耗功率可能過(guò)大。不銹鋼箔11的厚度更優(yōu)選在15~51pm的范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，絕緣層12的厚度優(yōu)選在5~50pm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選5~20jLim的范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，導(dǎo)體層13的厚度優(yōu)選在5~50nm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選在518iim的范圍內(nèi)。這些優(yōu)選的范圍均是為了使使用層合體10或?qū)雍象w20制造的懸架的厚度在通常的懸架厚度范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，絕緣層12的厚度除以不銹鋼箔11的厚度所得的值優(yōu)選在0.09~1.00的范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，導(dǎo)體層13的厚度除以不銹鋼箔11的厚度所得的值優(yōu)選在0.092.50的范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，絕緣層12的線熱膨脹系數(shù)優(yōu)選在10x10-6~30xl(T6的范圍內(nèi)。各實(shí)施方案中，導(dǎo)體層13的線熱膨脹系數(shù)優(yōu)選在10xl0-6~30xlO"的范圍內(nèi)。絕緣層12的線熱膨脹系數(shù)和導(dǎo)體層13的線熱膨脹系數(shù)至少一方脫離上述優(yōu)選范圍，'則在加工導(dǎo)體層10、20時(shí)，層合體10、20的尺寸穩(wěn)定性變差，可能發(fā)生層合體10、20的翹曲或變形。更優(yōu)選絕緣層12的線熱膨脹系數(shù)在15xl(^25xl(^的范圍內(nèi)。更優(yōu)選導(dǎo)體層13的線熱膨脹系數(shù)在17xl0-e20xl0"的范圍內(nèi)。這里，對(duì)于使用含有0.4-2.5體積％馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11可以抑制絕緣層12上層合導(dǎo)體層13時(shí)層合體10的翹曲以及抑制層合體20的翹曲的理由進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明人通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)不銹鋼箔11中的馬氏體相體積比率與不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)之間具有相關(guān)性，以及不銹鋼箔11中的馬氏體相的體積比率與層合體10、20的翹曲之間具有相關(guān)性。另外，本發(fā)明人認(rèn)為層合體10、20發(fā)生翹曲的原因之一是不銹鋼箔11、絕緣層12、導(dǎo)體層13的各線熱膨脹系數(shù)不同。本發(fā)明人基于以上認(rèn)識(shí)，認(rèn)為通過(guò)控制不銹鋼箔11的馬氏體相的體積比率可以抑制層合體10、20的翹曲，并對(duì)此進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，結(jié)果發(fā)現(xiàn)使用含有0.4-2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔ll，可以抑制層合體10、20的翹曲。不銹鋼箔11的彈性模量比絕緣層12的彈性模量和導(dǎo)體層13的彈性模量大。因此，不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)發(fā)生變化，則層合體10、20的翹曲的大小程度發(fā)生很大變化。與此相對(duì)，絕緣層12、導(dǎo)體層13的各線熱膨脹系數(shù)或絕緣層12、導(dǎo)體層13的各厚度即使在上述優(yōu)選范圍內(nèi)變化，層合體10、20的翹曲的大小程度幾乎沒有變化。因此，在抑制層合體10、20的翹曲中，控制不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)是很重要的。本發(fā)明中，通過(guò)控制不銹鋼箔11中的馬氏體相的體積比率，可以控制不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)，抑制層合體10、20的翹曲。以下，對(duì)在實(shí)驗(yàn)中制造的實(shí)施例和比較例進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施例對(duì)應(yīng)第二實(shí)施方案，但本發(fā)明并不限于以下實(shí)施例。首先，實(shí)施例和比較例中的各種特性的測(cè)定方法進(jìn)4亍說(shuō)明。實(shí)施例和比較例中的聚酰亞胺樹脂使用酰亞胺化充分進(jìn)行了的樹脂。將10片不銹鋼箔11重疊，制成長(zhǎng)30mm、寬30mm的矩形片，使用(林):74、>^一O7卜>>7制造的鐵素體測(cè)量?jī)x(商品名)測(cè)定該片中的鐵素體含有率，將所得值作為不銹鋼箔11中的馬氏體相的體積比率。通過(guò)切裁機(jī)，將層合體20切斷，制成A4大小的片，將該片放置在桌子上，使用游標(biāo)卡尺測(cè)定翹離桌面的部分距離桌面的最高度，將該高度作為層合體20的翹曲量。層合體20的翹曲方式有以下兩種方式。第一方式如圖4所示，將層合體20放置于桌子上、使不銹鋼箔11朝下時(shí)，中央為翹起的方式。實(shí)驗(yàn)中，將第一方式的翹曲量W以正值表示。第二方式如圖5所示，將層合體20放置于桌子上、不銹鋼箔11朝下時(shí)，周邊為翹起的方式。實(shí)驗(yàn)中，將第二方式的翹曲量w以負(fù)值表示。[不銹鋼箔的線熱膨脹系數(shù)的測(cè)定方法]使用七43—o只7》(抹)制造的熱機(jī)械分析裝置，將不銹鋼箔11升溫至255°C,在該溫度下保持10分鐘，然后以5。C/分鐘的速度冷卻，求出240°C5(TC范圍內(nèi)不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)的平均值，將其作為不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)。以下的說(shuō)明中，使用下述簡(jiǎn)略符號(hào)，其含義如下。PMDA:均苯四曱酸二酐DSDA:3,4,3，,4，-二苯石風(fēng)四甲酸二酐BPDA:3,3，,4,4，-聯(lián)苯基四曱酸二酐MABA:4,4，-二氨基-2，-曱氧基苯曱酰苯胺DAPE:4,4，-二氨基二苯基醚PDA:對(duì)苯二胺APB:1,3-雙-(3-氨基苯氧基)苯BAPS:雙(4-氨基苯氧基)砜BAPP:2,2，-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷DMAc:N,N-二曱基乙酰胺在制造實(shí)施例和比較例的層合體時(shí)，按照下述合成例1~4準(zhǔn)備四種聚酰亞胺前體A、B、C、D的各溶液。[合成例1]合成例l中，首先，在5L可分離式燒瓶中，將154.4g(0.60mol)MABA和80.1g(0.40mol)DAPE邊攪拌邊溶解于2560gDMAc中。接著，在氮?dú)饬飨?，向該溶液中加?18.1g(1mol)PMDA。然后持續(xù)攪拌3小時(shí)進(jìn)行聚合反應(yīng)，得到粘稠的聚酰亞胺前體A的溶液。[合成例2]在5L可分離式燒瓶中，將75.7g(0.70mol)PDA和60.1g(0.30mol)DAPE邊攪拌邊溶解于2010gDMAc中。然后在氮?dú)饬飨?，向該溶液中加?18.1g(1mol)PMDA。然后持續(xù)攪拌3小時(shí)進(jìn)行聚合反應(yīng)，得到粘稠的聚酰亞胺前體B的溶液。[合成例3]在5L可分離的燒瓶中，將292.3g(1mol)APB邊攪拌邊溶解于3690gDMAc中。然后在氮?dú)饬飨拢蛟撊芤褐屑尤?58.3g(1mol)DSDA。然后持續(xù)攪拌3小時(shí)進(jìn)行聚合反應(yīng)，得到粘稠的聚酰亞胺前體C的溶液。[合成例4]在5L可分離的燒瓶中，將414.2g(1mol)BAPP邊攪拌邊溶解于3486gDMAc中。然后在氮?dú)饬飨?，向該溶液中加?99.8g(1mol)BPDA。然后持續(xù)攪拌3小時(shí)進(jìn)行聚合反應(yīng)，得到粘稠的聚酰亞胺前體D的溶液。使用按照上述合成例1~4得到的溶液，制造下述實(shí)施例和比較例的層合體。[實(shí)施例1]實(shí)施例1的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為0.50體積％、線熱膨脹系數(shù)為l7.82ppm(ppm=xl0-6)、厚度加的不銹鋼箔(新日本制鐵林式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后厚度為1pm,在11(TC千燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例1所得的聚酰亞胺前體A的溶液，使固化后的厚度為7nm,在ll(TC干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2pm，在11(TC干燥3分鐘。再在130~36(TC的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12的壓延銅箔((抹)日礦Tr!J7V^乂制造NK120(產(chǎn)品名》重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20pm的不銹鋼箔11、厚度10pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例2]實(shí)施例2的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為1.52體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.55ppm、厚度20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后厚度為1pm，在11(TC千燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例1所得的聚酰亞胺前體A的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C千燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2|im，在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10jum的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12pm的壓延銅箔((抹)日礦7rij7V^乂制造NK120(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20nm的不銹鋼箔11、厚度10nm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例3]實(shí)施例3的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.38體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.62ppm、厚度20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后厚度為1)im，在11(TC千燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例1所得的聚酰亞胺前體A的溶液，使固化后的厚度為7在110。C千燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2pm,在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10]im的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12pm的壓延銅箔((林)日礦7r卩7Vk乂制造NK120(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層l2上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度32CTC、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20|im的不銹鋼箔11、厚度10jim的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例4]實(shí)施例4的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為1.67體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.61ppm、厚度20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后厚度為1在110。C干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例2所得的聚酰亞胺前體B的溶液，使固化后的厚度為7pm,在110。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2pm,在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度18pm的壓延銅箔(才一卩7制造C7025(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層l2上，使用真空壓機(jī)，在面壓l5MPa、溫度320。C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20nm的不銹鋼箔11、厚度10pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為18pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例5]實(shí)施例5的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.00體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.50ppm、厚度20|im的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后厚度為1在11(TC干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例2所得的聚酰亞胺前體B的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2pm，在11(TC干燥3分鐘。再在130-360r的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度18pm的壓延銅箔((林)日礦^fJ7Vl^乂制造NK120(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層l2上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20pm的不銹鋼箔11、厚度10|im的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為18pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例6]實(shí)施例6的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.23體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.66卯m、厚度25pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后厚度為1)Lim,在11(TC干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例2所得的聚酰亞胺前體B的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12pm的壓延銅箔((抹)日礦T^卩7V^乂制造NK120(產(chǎn)品名》重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓^/L，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為25|im的不銹鋼箔11、厚度10|im的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12nm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例7]實(shí)施例7的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.23體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.66ppm、厚度20]im的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后厚度為1nm，在11(TC千燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例2所得的聚酰亞胺前體B的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2|im，在11(TC干燥3分鐘。再在130~360r的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12pm的電解銅箔(古河電氣工業(yè)抹式會(huì)社制造F厶WS(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20nm的不銹鋼箔11、厚度10pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[實(shí)施例8]實(shí)施例8的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.23體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.66ppm、厚度20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后厚度為1pm，在11(TC干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例2所得的聚酰亞胺前體B的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C千燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2jum，在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10jim的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。下面，如下所示，使用濺射法或鍍敷法，在絕緣層12的第2面12b上形成導(dǎo)體層13。首先，將含有不銹鋼箔11和絕緣層12的層合體放置在DC磁控濺射裝置的腔內(nèi)。接著，將腔內(nèi)減壓至lxio-3Pa，然后將氬氣導(dǎo)入腔內(nèi)，通過(guò)DC電源產(chǎn)生等離子體，通過(guò)濺射法，在絕緣層12的第2面12b上形成厚度為4nm的鎳膜。接著，在同一氣氛下，通過(guò)濺射法在鎳膜上形成厚度為300nm的銅濺射膜。接著，以該銅濺射膜作為電極，通過(guò)電解鍍敷法，在銅濺射膜上形成厚度為9nm的銅鍍敷層。此時(shí)，鍍敷浴使用硫酸銅浴(硫酸銅100g/L、疏酸200/L、氯40mg/L)，陽(yáng)極使用磷銅，電流密度為2.0A/dm2。通過(guò)以上的步驟形成的導(dǎo)體層13由鎳膜、銅濺射膜和銅鍍敷層構(gòu)成。這樣，可以制造含有厚度20pm的不銹鋼箔11、厚度10pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度約為9pm的導(dǎo)體層13的層合體20。[實(shí)施例9]實(shí)施例9的層合體20如下制造。首先，在厚度為12.5pm的市售非熱塑性聚酰亞胺薄膜(林式會(huì)社東k.r4水7抹式會(huì)社制造的力/卜>EN(商品名))的一個(gè)面上涂布合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后的厚度為2nm,在11(TC下干燥3分鐘。接著，在上述非熱塑性聚酰亞胺薄膜的另一個(gè)面上涂布由合成例4得到的聚酰亞胺前體D的溶液，使固化后的厚度為2pm，在11(TC下干燥3分鐘。接著，在13036(TC的范圍內(nèi)分階段進(jìn)行熱處理，完成酰亞胺化，制造厚度為16.5pm的三層結(jié)構(gòu)的聚酰亞胺薄膜。該聚酰亞胺薄膜形成絕緣層12,之后層合在不銹鋼箔11上。接著，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.23體積％、線熱膨脹系數(shù)17.66ppm、厚度為20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll和作為導(dǎo)體層13的厚度為12pm的壓延銅箔((抹)日礦T^ij7^X制造NK120(產(chǎn)品名))。接著，在用上述方法制作的絕緣層12(聚酰亞胺薄膜)的第1面12a上接合不銹鋼箔11,在第2面12b上接合壓延銅箔，使不銹鋼箔11、絕緣層12和壓延銅箔重疊，用真空壓才幾以面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件進(jìn)行加熱壓合，制造含有厚度為20pm的不銹鋼箔11、厚度為16.5pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)和厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[比較例1]比較例1的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為0.30體積％、線熱膨脹系數(shù)為l7.89ppm、厚度20pm的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后厚度為1在11(TC干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例1所得的聚酰亞胺前體A的溶液，使固化后的厚度為7pm，在IIO。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2nm,在11(TC干燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10jim的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12pm的壓延銅箔((林)日礦"rr!/7Vk乂制造NK120(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度320°C、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20pm的不銹鋼箔11、厚度10|iim的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。[比較例2]比較例2的層合體20如下制造。首先，準(zhǔn)備馬氏體相的體積比率為2.71體積％、線熱膨脹系數(shù)為17.42ppm、厚度20的不銹鋼箔(新日本制鐵抹式會(huì)社制造、SUS304、張力退火處理品)ll。接著，如下所述，通過(guò)流延鑄塑，在不銹鋼箔11上形成絕緣層12。即，首先，在不銹鋼箔11上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后厚度為1在11(TC干燥3分鐘。接著，在其上涂布合成例1所得的聚酰亞胺前體A的溶液，使固化后的厚度為7pm，在110。C干燥10分鐘。然后，在其上涂布合成例3得到的聚酰亞胺前體C的溶液，使固化后的厚度為2pm，在11(TC千燥3分鐘。再在130-360。C的范圍內(nèi)進(jìn)行階段性熱處理，完成酰亞胺化，在不銹鋼箔11上形成厚度10pm的聚酰亞胺樹脂層作為絕緣層12。接著，將作為導(dǎo)體層13的厚度12的壓延銅箔((抹)日礦Tr卩7VL乂制造NK120(產(chǎn)品名))重疊在上述絕緣層12上，使用真空壓機(jī)，在面壓15MPa、溫度32(TC、加壓時(shí)間20分鐘的條件下加熱壓合，制造含有厚度為20pm的不銹鋼箔11、厚度為10pm的絕緣層12(聚酰亞胺樹脂層)、以及厚度為12pm的導(dǎo)體層13(銅箔層)的層合體20。實(shí)驗(yàn)中，對(duì)于以上實(shí)施例和比較例測(cè)定層合體20的翹曲量。各實(shí)施例和比較例的相克要以及翹曲量的測(cè)定結(jié)果如以下兩個(gè)表所示。以下兩個(gè)表中記載了絕緣層12和導(dǎo)體層13的各線熱膨脹系數(shù)和不銹鋼箔11、絕緣層12和導(dǎo)體層13的各彈性模量。表中的空格部分表示未測(cè)定。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>圖6表示實(shí)施例和比較例中不銹鋼箔11的馬氏體相的體積比率與線熱膨脹系數(shù)的關(guān)系。圖6可知，不銹鋼箔11中的馬氏體相的體積比率與不銹鋼箔11的線熱膨脹系數(shù)之間有相關(guān)性。即，至少在圖6所示的馬氏體相的體積比率的范圍內(nèi)，馬氏體相的體積比率越大，則線熱膨脹系數(shù)越小。圖7表示實(shí)施例和比較例中不銹鋼箔11的馬氏體相的體積比率與層合體20的翹曲量的關(guān)系。實(shí)施例6-9中，馬氏體相的體積比率相等，但層合體20的翹曲量不同。這可能與絕緣層12的形成方法或?qū)w層13的形成方法的不同有關(guān)。圖7表示實(shí)施例6~9的翹曲量中，絕緣層12的形成方法和導(dǎo)體層13的形成方法與實(shí)施例1~5相同的實(shí)施例6的翹曲量。由圖7可知，不銹鋼箔11的馬氏體相的體積比率與層合體20的翹曲量之間存在相關(guān)性。即，在圖7所示的馬氏體相的體積比率的范圍內(nèi)，馬氏體相的體積比率越大，則包含正負(fù)符號(hào)的翹曲量的值越小。實(shí)施例6-9中，實(shí)施例8的翹曲量的絕對(duì)值比實(shí)施例6、7、9中的翹曲量的絕對(duì)值小。其原因可如下考慮。實(shí)施例6、7、9中，通過(guò)加熱壓合使絕緣層12和導(dǎo)體層13接合。因此，實(shí)施例6、7、9中，層合體20的制造過(guò)程中的不銹鋼箔11、絕緣層12和導(dǎo)體層13的溫度變化大，伴隨該溫度變化，不銹鋼箔11、絕緣層12和導(dǎo)體層13的膨脹和收縮量也增大，結(jié)果翹曲量的絕對(duì)值變大。與此相對(duì)，實(shí)施例8中，通過(guò)賊射法和鍍敷法在絕緣層12上形成導(dǎo)體層13。因此，實(shí)施例8與實(shí)施例6、7、9相比，層合體20制造過(guò)程中的不銹鋼箔11、絕緣層12和導(dǎo)體層13的溫度變化小，伴隨該溫度變化，不銹鋼箔11、絕緣層12和導(dǎo)體層13的膨脹和收縮量減小，結(jié)果，翹曲量的絕對(duì)值變小。這里，為了消除在懸架制造過(guò)程中層合體20的翹曲導(dǎo)致的問(wèn)題，在用A4大小的層合體20測(cè)定時(shí)，翹曲量的大小、即翹曲量的絕對(duì)值優(yōu)選4mm或以下。圖7中，通過(guò)使不銹鋼箔11的馬氏體相的體積比率在0.4-2.5體積％的范圍內(nèi)，可以使層合體20的翹曲量的絕對(duì)值在4mm或以下。因此本發(fā)明中，-使用含有0.4~2.5體積％的馬氏體相的不銹鋼作為不銹鋼箔11。由此可以抑制層合體20的翹曲。第一實(shí)施方案的層合體10中，在絕緣層12上形成導(dǎo)體層13,則形成與第二實(shí)施方案的層合體20同樣的構(gòu)成。因此，第一實(shí)施方案的層合體10中，通過(guò)使不銹鋼箔11中的馬氏體相的體積比率在0.4-2.5體積％的范圍內(nèi)，可以抑制在絕緣層12上層合導(dǎo)體層13時(shí)層合體10的翹曲。本發(fā)明并不限于上述各實(shí)施方案，可以進(jìn)行各種變化。例如，實(shí)施方案所示的層合體10、20的制造方法只是一個(gè)例子，本發(fā)明的層合體的制造方法并不限于此。權(quán)利要求1.懸架用層合體，該懸架用層合體在布線一體型懸架的制造中使用，其中，布線一體型懸架彈性支撐含有磁頭的滑塊，以使滑塊與記錄介質(zhì)相對(duì)，其特征在于，該懸架用層合體具備不銹鋼箔和在該不銹鋼箔上層合的絕緣層，上述不銹鋼箔含有0.4～2.5體積％的馬氏體相。2.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述不銹鋼箔含有含上述馬氏體相的奧氏體系不銹鋼。3.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述不銹鋼箔含有7~13重量％的Ni和16~20重量％的Cr。4.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述絕緣層含有聚酰亞胺系樹脂。5.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述不銹鋼箔的厚度在10-100pm的范圍內(nèi)，上述絕緣層的厚度在5~50pm的范圍內(nèi)。6.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述絕緣層的線熱膨脹系數(shù)在10xl0-6~30xl0"的范圍內(nèi)。7.權(quán)利要求1的懸架用層合體，其特征在于，上述絕緣層具有與上述不銹鋼箔接觸的第1面和位于第1面相反側(cè)的第2面，懸架用層合體進(jìn)一步具備配置成與上述絕緣層的第2面接觸的導(dǎo)體層。8.權(quán)利要求7的懸架用層合體，其特征在于，上述不銹鋼箔的厚度在10~100nm的范圍內(nèi)，上述絕緣層的厚度在5~50pm的范圍內(nèi)，上述導(dǎo)體層的厚度在5-50iim的范圍內(nèi)。9.權(quán)利要求7的懸架用層合體，其特征在于，上述絕緣層的線熱膨脹系數(shù)在10xlO-6~30xl(T6的范圍內(nèi)，上述導(dǎo)體層的線熱膨脹系數(shù)在10xl0-630xl0-6的范圍內(nèi)。10.權(quán)利要求7的懸架用層合體，其特征在于，上述導(dǎo)體層含有純銅或銅合金。11.懸架用層合體的制造方法，該懸架用層合體在布線一體型懸架的制造中使用，其中，布線一體型懸架彈性支撐含有磁頭的滑塊，以使滑塊與記錄介質(zhì)相對(duì)，該懸架用層合體具備不銹鋼箔和在該不銹鋼箔上層合的絕緣層，其特征在于，包括選擇含有0.4-2.5體積％馬氏體相的不銹鋼作為上述不銹鋼箔的步驟；在所選擇的上述不銹鋼箔上層合上述絕緣層的步驟。12.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述不銹鋼箔含有含上述馬氏體相的奧氏體系不銹鋼。13.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述不銹鋼箔含有7~13重量％的Ni和16~20重量％的Cr。14.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述絕緣層含有聚酰亞胺系樹脂。15.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述不銹鋼箔的厚度在10~100pm的范圍內(nèi)，上述絕緣層的厚度在5~50pm的范圍內(nèi)。16.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述絕緣層的線熱膨脹系數(shù)在10x1(T6~30x10-6的范圍內(nèi)。17.權(quán)利要求11的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述絕緣層具有與上述不銹鋼箔接觸的第1面和位于第1面相反側(cè)的第2面，上述懸架用層合體進(jìn)一步具備配置成與上述絕緣層的第2面接觸的導(dǎo)體層，懸架用層合體的制造方法進(jìn)一步具備形成上述導(dǎo)體層的步驟。18.權(quán)利要求17的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述不銹鋼箔的厚度在10~100pm的范圍內(nèi)，上述絕緣層的厚度在5~50pm的范圍內(nèi)，上述導(dǎo)體層的厚度在550pm的范圍內(nèi)。19.權(quán)利要求17的懸架用層合體的制造方法，其中，上述絕緣層的線熱膨脹系數(shù)在10xlO-6~30xl(T6的范圍內(nèi)，上述導(dǎo)體層的線熱膨脹系數(shù)在10xl(T6~30xlO-s的范圍內(nèi)。20.權(quán)利要求17的懸架用層合體的制造方法，其特征在于，上述導(dǎo)體層含有純銅或銅合金。全文摘要懸架用層合體(20)具備不銹鋼箔(11)、在該不銹鋼箔(11)上依次層合的絕緣層(12)和導(dǎo)體層(13)。不銹鋼箔(11)含有0.4～2.5體積％體積比率的馬氏體相。絕緣層(12)例如含有聚酰亞胺系樹脂。導(dǎo)體層(13)例如含有純銅或銅合金。懸架用層合體(20)在布線一體型懸架的制造中使用，其中，布線一體型懸架彈性支撐含有磁頭的滑塊，以使滑塊與記錄介質(zhì)相對(duì)。文檔編號(hào)B32B15/08GK101133455SQ2006800068公開日2008年2月27日申請(qǐng)日期2006年2月27日優(yōu)先權(quán)日2005年3月3日發(fā)明者九鬼隆容,向井悠能,浦野和久,西山哲平申請(qǐng)人:新日鐵化學(xué)株式會(huì)社