氣動打點器的三軸精密手動滑臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種氣動打點器的三軸精密手動滑臺，包括底座、X軸基座、X軸滑臺、Y軸滑臺、Z軸基座與Z軸滑臺；底座的右側(cè)壁為安裝面，且安裝面為斜面，在底座上安裝有X軸基座，在X軸基座上滑動安裝有X軸滑臺，在X軸滑臺上滑動安裝有Y軸滑臺，在Y軸滑臺上固定有Z軸基座，在Z軸基座上滑動安裝有Z軸滑臺，Z軸滑臺的下壁面為打點器固定面，且打點器固定面為斜面。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、滑動平穩(wěn)、功能齊全且操作方便等優(yōu)點。
【專利說明】
氣動打點器的三軸精密手動滑臺
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種氣動打點器的機構(gòu)，本實用新型尤其是涉及一種氣動打點器的三軸精密手動滑臺。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶元檢查時，需要對于不合格晶元進行點墨標(biāo)識。目前，一般通過裝載在工業(yè)顯微鏡上的打點器實現(xiàn)。而在實際生產(chǎn)中，需要對不同產(chǎn)品的不同部位進行標(biāo)識，這時，就需要將氣動打點器精確地平移到指定位置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、滑動平穩(wěn)、功能齊全且操作方便的氣動打點器的三軸精密手動滑臺。
[0004]按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述氣動打點器的三軸精密手動滑臺，包括底座、X軸基座、X軸滑臺、Y軸滑臺、Z軸基座與Z軸滑臺；底座的右側(cè)壁為安裝面，且安裝面為斜面，在底座上安裝有X軸基座，在X軸基座上滑動安裝有X軸滑臺，在X軸滑臺上滑動安裝有Y軸滑臺，在Y軸滑臺上固定有Z軸基座，在Z軸基座上滑動安裝有Z軸滑臺，Z軸滑臺的下壁面為打點器固定面，且打點器固定面為斜面。
[0005]在底座上開設(shè)有上下兩個T型槽，在X軸基座上一體連接有T型凸棱，T型凸棱與T型槽配合。
[0006]所述底座上的安裝面與水平面所成的夾角α度數(shù)為100?120°。
[0007]所述Z軸滑臺上的打點器固定面與水平面所成的夾角β度數(shù)為20?40°。
[0008]在Z軸滑臺的打點器固定面上開設(shè)有內(nèi)外兩排呈一一對應(yīng)的安裝調(diào)節(jié)孔。
[0009]本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、滑動平穩(wěn)、功能齊全且操作方便等優(yōu)點。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的主視圖。
[0011]圖2是本實用新型的左視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合具體實施例對本實用新型作進一步說明。
[0013]該氣動打點器的三軸精密手動滑臺，包括底座1、Χ軸基座2、Χ軸滑臺3、Υ軸滑臺4、Ζ軸基座5與Z軸滑臺6;底座I的右側(cè)壁為安裝面1.2，且安裝面1.2為斜面，在底座I上安裝有X軸基座2，在X軸基座2上滑動安裝有X軸滑臺3，在X軸滑臺3上滑動安裝有Y軸滑臺4，在Y軸滑臺4上固定有Z軸基座5，在Z軸基座5上滑動安裝有Z軸滑臺6，Ζ軸滑臺6的下壁面為打點器固定面6.1，且打點器固定面6.1為斜面。
[0014]在底座I上開設(shè)有上下兩個T型槽1.1，在X軸基座2上一體連接有T型凸棱2.1，Τ型凸棱2.1與T型槽1.1配合，這樣，可以方便地調(diào)整X軸基座2的安裝高度。
[0015]所述底座I上的安裝面1.2與水平面所成的夾角α度數(shù)為100?120°。
[0016]所述Z軸滑臺6上的打點器固定面6.1與水平面所成的夾角β度數(shù)為20?40°。
[0017]在Z軸滑臺6的打點器固定面6.1上開設(shè)有內(nèi)外兩排呈一一對應(yīng)的安裝調(diào)節(jié)孔6.2，方便對打點器10的安裝位置進行調(diào)整。
[0018]本實用新型中，X軸滑臺3兼具Y軸基座的功能，使得Y軸滑臺4可以沿著X軸滑臺3在Y軸移動。
[0019]本實用新型中，X軸滑臺3移動時，靠轉(zhuǎn)動X軸旋鈕7來實現(xiàn);Y軸滑臺4移動時，靠轉(zhuǎn)動Y軸旋鈕8來實現(xiàn);Z軸滑臺6移動時，靠轉(zhuǎn)動Z軸旋鈕9來實現(xiàn);X軸旋鈕7、Y軸旋鈕8與Z軸旋鈕9均為絲桿結(jié)構(gòu)，在X軸滑臺3、Υ軸滑臺4以及Z軸滑臺6上設(shè)置螺母結(jié)構(gòu)，旋鈕與對應(yīng)的滑臺構(gòu)成絲桿螺母機構(gòu)。
【主權(quán)項】
1.一種氣動打點器的三軸精密手動滑臺，包括底座(I)、x軸基座(2)、X軸滑臺(3)、Y軸滑臺(4)、Ζ軸基座(5)與Z軸滑臺(6);其特征是:底座(I)的右側(cè)壁為安裝面(1.2)，且安裝面(1.2)為斜面，在底座(I)上安裝有X軸基座(2)，在X軸基座(2)上滑動安裝有X軸滑臺(3)，在X軸滑臺(3)上滑動安裝有Y軸滑臺(4)，在Y軸滑臺(4)上固定有Z軸基座(5)，在Z軸基座(5)上滑動安裝有Z軸滑臺(6)，Ζ軸滑臺(6)的下壁面為打點器固定面(6.1)，且打點器固定面(6.1)為斜面。2.如權(quán)利要求1所述的氣動打點器的三軸精密手動滑臺，其特征是:在底座(I)上開設(shè)有上下兩個T型槽(1.1)，在X軸基座(2)上一體連接有T型凸棱(2.1)，Τ型凸棱(2.1)與T型槽(I.I)配合。3.如權(quán)利要求1所述的氣動打點器的三軸精密手動滑臺，其特征是:所述底座(I)上的安裝面(1.2)與水平面所成的夾角α度數(shù)為100?120°。4.如權(quán)利要求1所述的氣動打點器的三軸精密手動滑臺，其特征是:所述Z軸滑臺(6)上的打點器固定面(6.1)與水平面所成的夾角β度數(shù)為20?40°。5.如權(quán)利要求1所述的氣動打點器的三軸精密手動滑臺，其特征是:在Z軸滑臺(6)的打點器固定面(6.1)上開設(shè)有內(nèi)外兩排呈一一對應(yīng)的安裝調(diào)節(jié)孔(6.2)。
【文檔編號】B41J3/407GK205631739SQ201620460644
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月19日
【發(fā)明人】陳宏成, 祁云峰
【申請人】無錫聯(lián)發(fā)易創(chuàng)科技有限公司