專利名稱：偏振積分器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對用于將非偏振光分離為P偏振光和S偏振光、以及用于將一種偏振光轉(zhuǎn)換為另一種偏振光、并合成光線的偏振積分器(polarization integrator)的改進。這種偏振積分器可令人滿意地用于例如液晶投影儀中。
背景技術(shù)：
圖7以示意性簡圖的方式示出了傳統(tǒng)液晶投影儀的一個例子。液晶投影儀包括光源1。為了提高光的利用率，將光源1置于圓頂形或拋物線形反射鏡2的內(nèi)部。來自光源1的反射光線通過準直透鏡3成為平行光線，然后由第一全反射鏡M1將其引向第一分色鏡DM1。第一分色鏡DM1僅透射藍光B，而反射其它顏色光。已透射通過第一分色鏡DM1的藍光B經(jīng)第二反射鏡M2和第一聚光透鏡CL1聚焦到液晶面板LC1上。
由第一分色鏡DM1反射的光被引向第二分色鏡DM2。第二分色鏡DM2僅反射綠光G，而透射剩余的紅光R。由第二分色鏡DM2反射的綠光G被第二聚光透鏡CL2聚焦到液晶面板LC2上。由第二分色鏡透射的紅光經(jīng)由第三全反射鏡M3、第四全反射鏡M4和第三聚光透鏡CL3聚焦到第三液晶面板LC3上。
被聚焦到第一液晶面板LC1、第二液晶面板LC2和第三液晶面板LC3上的藍光B、綠光G和紅光R在透射通過各自對應的液晶面板后由棱鏡4合成。然后，由棱鏡4合成的三原色被投影透鏡5投影到顯示屏(圖中未示出)上。
眾所周知，液晶面板包括多個呈矩陣排列的像素，并且能夠通過對每個像素施加電信號來透射光或是遮光。為了能夠遮光，將液晶層夾在兩個偏振片之間。具體地說，液晶面板接收到的光是平行于預定直線方向的偏振光。但是，由一般用在液晶投影儀中的光源輻射的光都是非偏振光(或是任意偏振光)。因此，由光源輻射并且透射通過液晶面板的投影光的利用率不到光源輻射光的1/2。近些年來，偏振積分器已經(jīng)被用于提高由于在液晶投影儀中使用非偏振光源而導致的較低的光利用率。
圖8是描繪偏振積分器基本原理(參見Nobuo Nishida，“LargeScreen Displays”，Kyoritsu Publishing，2002)的示意性剖視圖。在這種偏振積分器中，由覆蓋有圓頂形反射鏡2的光源1所發(fā)出的光線通過準直透鏡(圖中未示出)成為平行光線，并入射到偏振分光棱鏡11。棱鏡11包括PBS(偏振分束器)膜12。PBS膜12發(fā)揮作用以透射來自光源的P偏振光并反射來自光源的S偏振光。
用1/2波片13使透射通過PBS膜12的P偏振光的偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)，并且使之轉(zhuǎn)換為S偏振光。另一方面，被PBS膜12反射的S偏振光被全反射鏡14反射后，變得與透射通過1/2波片13的S偏振光平行。然后，由全反射鏡14反射的S偏振光和透射通過1/2波片13的S偏振光被透鏡(圖中未示出)合成，并且使該合成后的S偏振光入射到液晶面板上。
應注意的是，在圖8中將1/2波片應用于透射通過PBS膜12的P偏振光，但也應認識到，相反地，還可以將1/2波片13應用于被PBS膜12反射的S偏振光。在這種情況中，光源光束被分離為P偏振光束和S偏振光束。一旦S偏振光束被轉(zhuǎn)換為P偏振光束，則兩束P偏振光束被合成并入射到液晶面板上。

發(fā)明內(nèi)容
圖8中所示類型的偏振積分器包括偏振分光棱鏡11。從減小液晶投影儀尺寸的觀點來看，這種類型的棱鏡并不理想。如果棱鏡是由玻璃制造的，那么會相對較重并難于加工。棱鏡還可以由樹脂制造，這樣投影儀發(fā)光度增大，但隨之也帶來了樹脂的耐熱性差的問題。此外，PBS膜需要數(shù)十層使用多層電介質(zhì)膜的偏振分束器涂層，這使得成本提高。
考慮到傳統(tǒng)偏振涂層的這些問題，本發(fā)明的一個目的是提供一種能夠減小重量和尺寸、具有優(yōu)異耐熱性、形式簡單并且成本低的偏振積分器。
本發(fā)明的偏振積分器包括將光源的光分離為P偏振光和S偏振光的偏振分束器、第一微透鏡、1/2波片和第二微透鏡，其特征在于第一微透鏡被設(shè)置為使得由偏振分束器分離的P偏振光和S偏振光被聚焦到互不相同的位置上；1/2波片被設(shè)置在P偏振光或是S偏振光被聚焦的位置上，并且將P偏振光或S偏振光轉(zhuǎn)換為S偏振光或是P偏振光；第二微透鏡將透射通過1/2波片并且經(jīng)過偏振轉(zhuǎn)換的S偏振光或是P偏振光與沒有透射通過1/2波片的S偏振光或是P偏振光合成；并且該偏振分束器、該第一微透鏡、該1/2波片或是該第二微透鏡中的至少之一是利用DLC(類金剛石碳)膜形成的。
偏振分束器或是1/2波片中的至少之一可由在DLC膜中形成的折射率調(diào)制衍射光柵制成。至少第一微透鏡或是第二微透鏡可以是在DLC膜中制成的折射透鏡或是折射率調(diào)制衍射透鏡。另外，每一組都具有偏振分束器、第一微透鏡、1/2波片和第二微透鏡的多個組可在光源發(fā)出的光束的截面內(nèi)循環(huán)排列。這類偏振積分器可優(yōu)選用在液晶投影儀中。


圖1是示意性描述根據(jù)本發(fā)明的偏振積分器一個例子的剖視圖；圖2是示意性描述用DLC膜制造被包括在圖1所示偏振積分器中的折射微透鏡陣列的方法的剖視圖；圖3是示意性描述壓印方法的剖視圖，可將其用作制造圖2所示折射微透鏡的方法；圖4是示意性描述被包括在圖1所示偏振積分器中的DLC膜衍射微透鏡的剖視圖；圖5是示意性描述用于制造圖4所示衍射微透鏡的方法的剖視圖；
圖6是示意性描述被包括在圖1所示偏振積分器中的DLC膜偏振分束器的剖視圖；圖7是示意性描述傳統(tǒng)液晶投影儀的剖視圖；圖8是示意性描述傳統(tǒng)偏振積分器基本原理的剖視圖。
本發(fā)明的最佳實施方式首先，在作出本發(fā)明的過程中，本發(fā)明人證實通過使能量束入射到透射性DLC(類金剛石碳)膜上可增大折射率。這種DLC膜可在硅石基底、玻璃基底或是各種其它類型的基底上利用等離子體CVD(化學汽相沉積)形成。如此通過等離子體CVD獲得的透明DLC膜一般具有約為1.55的折射率。
可使用離子束、電子束、同步加速器輻射(SR)光、紫外(UV)光等作為增大DLC膜折射率的能量束。通常確認的是在這些能量束中，He離子輻射使得DLC膜折射率的最大變化達到約Δn＝0.65。SR光輻射一般也允許DLC膜折射率的最大變化達到約Δn＝0.50。另外，利用UV輻射也可達到使DLC膜折射率的最大增幅約為Δn＝0.20。可以看出，與由傳統(tǒng)的玻璃離子交換而導致的折射率變化(最大為Δn＝0.17)或是由石英玻璃受UV輻射而引起的折射率變化(小于約Δn＝0.01)相比，利用能量束輻射DLC膜而產(chǎn)生的折射率變化量非常大。
圖1是示意性描述本發(fā)明實施方式的一個例子中的偏振積分器的剖視圖。在這種偏振積分器中，將光源1置于圓頂形或是拋物線形反射鏡2的內(nèi)部。由光源1輻射的光經(jīng)過準直透鏡(圖中未示出)變?yōu)槠叫泄猓缓笕肷涞狡穹质?1上。也就是說，偏振分束器51將光源發(fā)出的光分離為P偏振光和S偏振光。第一微透鏡52將P偏振光束聚焦到1/2波片53上，并將S偏振光束聚焦到?jīng)]有設(shè)置1/2波片的區(qū)域上。
1/2波片53將P偏振光轉(zhuǎn)換為S偏振光。透射通過1/2波片53的S偏振光束和通過沒有設(shè)置1/2波片53的區(qū)域的S偏振光束由第二微透鏡54和透鏡55合成，并由準直透鏡CL入射到液晶面板LC上。液晶面板LC所包括的偏振片當然被設(shè)置為接收S偏振光。
在圖1所示的實施例中，將1/2波片53應用于P偏振光，但應當理解的是，也可將1/2波片53應用于S偏振光。在這種情況中，光源光束被偏振分束器51分離為P偏振光束和S偏振光束，并且在S偏振光束被1/2波片53轉(zhuǎn)換為P偏振光束之后，這兩束P偏振光束被合成并入射到液晶面板LC上。當然，液晶面板LC所包括的偏振片被設(shè)置為接收P偏振光。
通過利用偏振積分器將光源發(fā)出的非偏振光合成為S偏振光或P偏振光，可由此提高液晶投影儀中光源光線的利用率。在本發(fā)明中，構(gòu)成偏振積分器的偏振分束器、第一微透鏡、1/2波片和第二微透鏡中的至少之一是利用DLC膜形成的。DLC膜當然是又薄又輕并且耐熱性優(yōu)異。因此，使構(gòu)成偏振積分器的偏振分束器、第一微透鏡、1/2波片和第二微透鏡中的至少之一能夠利用DLC膜形成，可以使偏振積分器的尺寸、重量和成本降低，并且進一步來說，可以使液晶投影儀的尺寸、重量和成本降低。
圖2是根據(jù)本發(fā)明用于制造折射微透鏡陣列的方法的一個例子的示意性剖視圖?？梢詫⑦@種類型的折射微透鏡陣列用作圖1所示的第一微透鏡52或是第二微透鏡54。
在圖2A中，在DLC膜21上形成掩模層22。能夠限制能量束23透射的各種材料都可以用于掩模層22；優(yōu)選使用金。掩模層22具有呈陣列排列的非常小的凹陷22a。這些凹陷22a中的每一個都具有包含近似球面的一部分或是近似圓柱面的一部分的底面。能量束23經(jīng)由包括這些凹陷22a的掩模層22射到DLC膜21上。
在圖2B中，在被能量束23輻射之后，去除掩模層22，在DLC膜21中形成微透鏡陣列21a。也就是說，被能量束23輻射使得在DLC膜21中，形成了對應于掩模層22的凹陷22a陣列的高折射率區(qū)域21a陣列。在這一情況下，掩模層凹陷22a具有球形或圓柱形底面；因此，掩模層的厚度從凹陷22a的中心部分向周邊增大。換句話說，這意味著能量束23透射通過凹陷22a的中心部分可能比透射通過其周邊更容易。因此，高折射率區(qū)域21a的深度具有球形凸透鏡或是圓柱形凸透鏡的形狀，并且其中心部分較深，而周邊較淺。結(jié)果，每一個高折射率區(qū)域21a可作為單個的微透鏡來使用。
當如圖2所示利用能量束23制造微透鏡陣列時，通過調(diào)節(jié)球形或是圓柱形凹陷22a的深度可以調(diào)節(jié)微透鏡21a的厚度；即，可調(diào)節(jié)焦距。即使是不調(diào)節(jié)凹陷22a的深度，也可以通過改變?nèi)肷淠芰渴?3的透射率來調(diào)節(jié)微透鏡21a的焦距。例如，如果把He離子束用作能量束23，則可以通過增大它的離子加速度能量來提高透射率，從而可縮短微透鏡陣列21a的焦距。隨著相對于DLC膜而言能量束23的劑量增大，折射率變化Δn也增大了，因此微透鏡21a的焦距也可以通過調(diào)節(jié)劑量來調(diào)節(jié)。
可通過各種方法制造如圖2A所示的、具有近似球形或是近似圓柱形的凹陷22a的掩模。例如，可以在DLC膜21上形成厚度均勻的掩模層22，在掩模層的頂部上形成帶有微孔陣列或是平行的線性開口陣列的保護層。通過從保護層中的小孔或是線性開口開始各向同性地進行蝕刻，可在這些非常小的孔之下的掩模層22中形成近似球形或是近似圓柱形的凹陷22a。
使用可以由圖3中以剖視圖示意性描述的方法制成的沖壓模，可以容易地制造出掩模層22，該掩模層22具有如圖2A所示的近似球形或近似圓柱形底面的凹陷22a。
在圖3A中，例如在硅石基底31上形成保護圖案32。在基底31上的以陣列布置的多個非常小的圓形區(qū)域上或是在基底31上的多個平行排列的細帶形區(qū)域上形成保護圖案32。
在圖3B中，加熱并熔化保護圖案32。在每個非常小的圓形區(qū)域或是細帶形區(qū)域上熔化的保護劑32a由于其表面張力而呈現(xiàn)出近似球形或是近似圓柱形的凸透鏡形狀。
在圖3C中，對硅石基底31a和近似為凸透鏡形狀的保護劑32b一起進行RIE(反應離子蝕刻)，在RIE引起保護劑32b的直徑或是寬度縮小時，導致硅石基底31a受到蝕刻。
結(jié)果，最終獲得如圖3D所示的具有近似球形或是近似圓柱形凸起部分31b的陣列的硅石沖壓模31c。可通過調(diào)節(jié)圖3c中保護劑32b與硅石基底31a的蝕刻速度的相對百分比來調(diào)節(jié)凸起部分31b的高度。
由此獲得的沖壓模31c可優(yōu)選用于制造帶有例如圖2A所示的凹陷22a的掩模層22。也就是說，如果例如用材料金形成掩模層22，金的良好延展性則意味著通過用沖壓模31c在金掩模層22上壓印就可以容易地形成凹陷22a。因為一旦制造出沖壓模31c，就可以重復使用該沖壓模，所以使用此方法形成凹陷22a可以遠比通過蝕刻在掩模層22中形成凹陷22a更容易和更便宜。
根據(jù)本發(fā)明利用DLC膜形成的折射微透鏡陣列，使得能夠通過用能量束輻射形成與傳統(tǒng)所使用的玻璃基底相比而言具有更高折射率的透鏡，因此能夠在DLC膜中形成比玻璃基底薄得多的折射微透鏡陣列。然而，即使是有了使用DLC膜的折射微透鏡，仍需要比下述的衍射型微透鏡更薄的DLC膜；要求約10至20μm的厚度(作為使用衍射效應的微透鏡的一個例子，參閱“Ultra Precise Processing andHigh Volume Manufacturing Technology for Micro Lens(Arrays)”，Technical Information Institute Co.，Ltd.，2003，pp.71-81)。
圖4A的示意性平面圖以及圖4B的示意性剖視圖描述了根據(jù)本發(fā)明另一種實施方式的衍射微透鏡。尤其是，可以制造出與折射微透鏡相比而言非常薄的折射率調(diào)制衍射微透鏡。可以在厚度約為1至2μm的DLC薄膜中制造衍射微透鏡。也就是說，折射率調(diào)制衍射微透鏡40利用DLC膜41制造而成，并包括多個同心帶狀環(huán)形區(qū)域Rmn。此處，符號“Rmn”表示第m個環(huán)區(qū)中第n個帶狀環(huán)形區(qū)域，并且還表示從同心圓的中心至帶狀環(huán)形區(qū)域的外邊緣的半徑。越是遠離同心圓中心的帶狀環(huán)形區(qū)域Rmn，其寬度被減小得越多。
相鄰的帶狀環(huán)形區(qū)域Rmn各自具有不同的折射率。如果圖4所示的衍射微透鏡是包括兩個折射率調(diào)制級別的衍射透鏡，則該透鏡包括3個環(huán)區(qū)(即m最大為3)，每個環(huán)區(qū)包括2個帶狀環(huán)形區(qū)域(即n最大為2)。在同一環(huán)區(qū)中，內(nèi)側(cè)的帶狀環(huán)形區(qū)域比外側(cè)的帶狀環(huán)形區(qū)域具有較高的折射率。
由上述可推測在具有四個折射率調(diào)制級別的衍射透鏡中，一個環(huán)區(qū)包括4個帶狀環(huán)形區(qū)域(即n最大為4)。在這種情況中，在給定環(huán)區(qū)中，也是越靠近同心圓中心的折射率越大。也就是說，從單個環(huán)區(qū)的內(nèi)圓周側(cè)到外圓周側(cè)形成四級折射率變化。這四級折射率變化的循環(huán)在每個環(huán)區(qū)都重復，共重復了m次。
可根據(jù)下面基于衍射理論的等式(1)來確定帶狀環(huán)形區(qū)域Rmn的外圓周半徑，該半徑屬于標量近似值。在等式(1)中，L表示透鏡衍射級，λ表示光波長，f表示透鏡焦距。最大的折射率變化量Δn必須能夠產(chǎn)生最大的相位調(diào)制幅度Δφ＝2π(L-1)/L。
等式1Rmn=2mnfλL+(mnλL)2...(1)]]>圖5的示意性剖視圖描述了制造圖4所示類型的二級衍射微透鏡的方法。
在圖5A中，例如，鎳傳導層42通過EB(電子束)汽相沉積法形成在DLC膜41上。保護圖案43形成在該傳導層42上，以覆蓋對應于圖4中n＝1的帶狀環(huán)形區(qū)域Rmn(m＝1-3)。金掩模44通過電鍍形成在保護圖案43的開口部分。
在圖5B中，去除保護圖案43，留下金掩模44。能量束45通過金掩模44中的開口部分入射到DLC膜41上。這導致帶狀環(huán)區(qū)域(41a)Rm1受能量束45的輻射，使得折射率增大，而屏蔽掉了能量束45的帶狀環(huán)區(qū)域(41b)Rm2則保持DLC膜的原始折射率。也就是說，獲得了圖4所示類型的二級衍射微透鏡。
在圖5的例子中，在各個DLC膜上形成掩模層，但不用說，也可以使能量束通過單獨制造的獨立掩模輻射DLC膜。應當理解的是，可通過依次利用調(diào)整了圖案的掩模、用能力束重復輻射DLC膜而獲得多級衍射微透鏡。
另外，在DLC膜上，通過使用包括多個厚度級別的同心帶狀環(huán)區(qū)域的沖壓模來沖壓金掩模層，而不是使用圖3D所示的沖壓模類型，并且用能量束經(jīng)由沖壓后的金掩模層進行輻射，也有可能利用單行程的能量束輻射制成多級衍射微透鏡。
此外，在上述衍射微透鏡的實施方式中，盡管對應于圓柱形凸透鏡衍射透鏡說明了衍射微透鏡，但應理解的是，本發(fā)明也可以應用在對應于圓柱形凸透鏡折射透鏡的折射微透鏡中。在這種情況中，應形成取代多個折射率調(diào)節(jié)型同心帶狀環(huán)形區(qū)域的多個折射率調(diào)節(jié)型平行帶狀區(qū)域。在這種情況中，例如將圖4B剖視圖中的多個折射率調(diào)節(jié)型平行帶狀區(qū)域相對于示圖所在紙面垂直拉伸。在這種情況中，將圖5B中的金掩模44也相對于示圖所在紙面垂直拉伸。
此外，在本發(fā)明中，可利用DLC膜制造圖1的偏振分束器51。也就是說，偏振分束器51包括在DLC膜中形成的折射率調(diào)制衍射光柵。例如，在Applied Optics，Vol.41，2002，pp.3558-3566中說明了用衍射光柵實現(xiàn)偏振分光的能力。
圖6示出了包括DLC膜的偏振分束器51A的示意性剖視圖，該DLC膜具有折射率調(diào)制衍射光柵。也就是說，DLC膜51A包括相對較低的折射率區(qū)域51a和相對較高的折射率區(qū)域51b。低折射率區(qū)域51a是沒有被能量束輻射的區(qū)域，其具有例如1.55的折射率。另一方面，高折射率區(qū)域51b是已用SR(同步加速器輻射)光在例如620(mA/min/mm2)的同步加速器條件下輻射過的區(qū)域，其折射率被提高到例如1.90。高折射率區(qū)域51b和低折射率區(qū)域51a之間的分界面相對于DLC膜表面例如以40度傾斜。
這種類型的偏振分束器51A可按下述方法制造。例如，可在DLC膜上形成具有線條和空白相間圖案的金掩模，該圖案中0.5μm寬的金條帶以周期為1μm的重復圖案排列。然后SR光在垂直于金條帶的縱向方向上相對于DLC膜表面以40度角入射。
如果包含有S偏振光和P偏振光的光如圖6所示入射到DLC膜偏振分束器51上，則S偏振光會作為零級衍射光(相當于TE波)通過，而P偏振光會作為一級衍射光(相當于TM波)被衍射。也就是說，P偏振光和S偏振光彼此分離。
另外，也可以利用本發(fā)明的DLC膜制造圖1中的1/2波片。即，利用這樣的DLC膜可導致產(chǎn)生1/2波片的作用，該DLC膜包括與圖6所示的折射率調(diào)制衍射光柵相似的衍射光柵?？扇缦率龇椒ㄖ圃爝@種類型的1/2波片53。例如，可在DLC膜上形成具有線條和空白相間圖案的金掩模，該圖案中0.5μm寬的金條帶以周期為1μm的重復圖案排列。然后，用SR光以垂直于DLC膜表面的方向照射。使P偏振光通過例如具有如上所述獲得的折射率調(diào)制衍射光柵的DLC膜1/2波片，線性偏振光平面被旋轉(zhuǎn)90度而被轉(zhuǎn)換為S偏振光。當然，也可能利用1/2波片將S偏振光轉(zhuǎn)換為P偏振光。
圖7示出了透射型液晶投影儀，但不必說，本發(fā)明的偏振積分器也可以用于反射型液晶投影儀(參見文獻同前，“Large ScreenDisplays”)。
如上所述，在本發(fā)明中，包括在偏振積分器中的偏振分束器、第一微透鏡、1/2波片和第二微透鏡中的至少一個是利用DLC膜形成的，因此，能夠更簡單并且更廉價地獲得更輕更小型化的偏振積分器。
工業(yè)適用性本發(fā)明的偏振分束器可減小重量和尺寸，并具有更簡單的結(jié)構(gòu)和更低的成本。這種偏振分束器還可以使液晶投影儀的重量、尺寸和成本也降低。
權(quán)利要求
1.一種偏振積分器，包括用于將光源的光分離為P偏振光和S偏振光的偏振分束器，第一微透鏡，1/2波片和第二微透鏡，其特征在于所述第一微透鏡被設(shè)置為使得由所述偏振分束器分離的P偏振光和S偏振光被聚焦到互不相同的位置上；所述1/2波片被設(shè)置在P偏振光或是S偏振光被聚焦的位置上，并且起到將P偏振光或是S偏振光轉(zhuǎn)換為S偏振光或是P偏振光的作用；所述第二微透鏡將透射通過所述1/2波片并且經(jīng)過偏振轉(zhuǎn)換的S偏振光或是P偏振光與沒有通過所述1/2波片的S偏振光或是P偏振光合成；以及所述偏振分束器，所述第一微透鏡，所述1/2波片和所述第二微透鏡中的至少之一是利用DLC膜形成的。
2.如權(quán)利要求1所述的偏振積分器，其特征在于所述偏振分束器或是所述1/2波片中的至少之一是由在DLC膜中形成的折射率調(diào)制衍射光柵制成的。
3.如權(quán)利要求1或2所述的偏振積分器，其特征在于至少所述第一微透鏡或是所述第二微透鏡是在DLC膜中形成的折射透鏡或是折射率調(diào)制衍射透鏡。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的偏振積分器，其特征在于每一組都具有所述偏振分束器、所述第一微透鏡、所述1/2波片和所述第二微透鏡的多個組在所述光源發(fā)出的光束的截面內(nèi)循環(huán)排列。
5.一種包含權(quán)利要求1至4中任一項所述的偏振積分器的液晶投影儀。
全文摘要
偏振積分器包括用于將光源1的光分離為P偏振光和S偏振光的偏振分束器(PBS)，第一微透鏡52，1/2波片53和第二微透鏡54；第一微透鏡被設(shè)置為使得由PBS分離的P偏振光和S偏振光被聚焦到互不相同的位置上；1/2波片被設(shè)置在P偏振光被聚焦的位置上，并且將P偏振光轉(zhuǎn)換為S偏振光；第二微透鏡將透射通過1/2波片并且經(jīng)過偏振轉(zhuǎn)換的S偏振光與沒有通過1/2波片的S偏振光合成；以及該偏振分束器、該第一微透鏡、該1/2波片或是該第二微透鏡中的至少之一是利用DLC膜形成的。
文檔編號G02B27/28GK1910513SQ20058000213
公開日2007年2月7日 申請日期2005年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月8日
發(fā)明者后利彥, 大久?？傄焕? 松浦尚 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社