專利名稱：干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及干涉儀，特別是一種干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)及其制備方法。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)通常是在主鏡裝配過程中，依靠機(jī)械修配方法或其他穩(wěn)定性較差的調(diào)整方法來實現(xiàn)主鏡鏡片垂直于光軸的兩維角度微量調(diào)整，這些方法的局限性在于
1、 修配難度非常高，往往需要業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的技師才可以完成。
2、 修配時可修正的范圍非常小，不容易滿足干涉儀光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計要求。
3、 機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性不夠好，影響干涉儀測量精度。
由以上幾點不足導(dǎo)致傳統(tǒng)干涉儀中主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)在使用上有很大的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于克服上述傳統(tǒng)技術(shù)的不足，提供一種干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)及其制備方法，以達(dá)到不需要對主鏡進(jìn)行修配，即可實現(xiàn)主鏡垂直于光軸Z方向兩維微量角度調(diào)整，從而實現(xiàn)主鏡球心像光軸與棱鏡組光軸在同一理想光軸上擬合。該主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、安裝調(diào)整方便、制造成本低、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性高、而且外形美觀，適用于各類干涉儀主鏡的安裝調(diào)整，也可適用于其他裝置中透鏡的調(diào)整與安裝。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下.-
一種干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特點是該機(jī)構(gòu)由螺紋套筒、調(diào)節(jié)凸
臺、N個調(diào)節(jié)螺栓、N個球面墊圈、N個彈簧墊圈、N個螺釘、主鏡和
5主鏡鏡框構(gòu)成，其中N為2以上的正整數(shù)
所述的螺紋套筒是一段一定壁厚的圓筒，該圓筒的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋，外圓面沿圓周方向均勻地分布N個完全相同的長腰槽形通孔；
所述的調(diào)節(jié)凸臺由N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊構(gòu)成，每一調(diào)節(jié)塊的外圓面具有與所述的螺紋套筒的內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，在該外螺紋圓面上離右端一定距離有一個垂直于軸線的螺紋通孔，在該調(diào)節(jié)塊右端面有一個沿軸向的螺紋沉孔；
所述的主鏡鏡框是具有主鏡安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的框座，在所述的主鏡鏡框邊框上的一個以該主鏡鏡框的主鏡通光孔的對稱軸為圓心的圓周上并沿該圓周均勻地分布著N個短腰槽形通孔；
所述的主鏡安裝并固定在所述的主鏡鏡框中，N個固定螺釘分別通過所述的主鏡鏡框的N個短腰槽形通孔擰入所述的調(diào)節(jié)凸臺的N塊圓弧
形的調(diào)節(jié)塊端面的螺紋沉孔，所述的調(diào)節(jié)凸臺的外螺紋與所述的螺紋套
筒的內(nèi)螺紋相互嵌套，N個調(diào)節(jié)螺栓依次套入彈簧墊圈和球面墊圈后，通過所述的長腰槽形通孔并擰入所述的螺紋通孔中。所述的N-3。
所述的長腰槽形通孔是寬度大于所述的調(diào)節(jié)螺栓的直徑，長度方向為圓心指向角度20。的槽孔。
上述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)的制備方法，該方法包括下列步驟
① 主鏡鏡框的制備；根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡的通光口徑D7，制備具有主鏡安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的主鏡鏡框，在所述的主鏡鏡框邊框上的一個以該主鏡鏡框主鏡通光孔的對稱軸為圓心的圓周上并沿該圓周均勻地加工N個短腰槽形通孔，所述的圓周的直徑為D8;
② 將所述的主鏡安裝在所述的主鏡鏡框中，使所述的主鏡的球心像光軸基本上通過所述的主鏡鏡框的對稱中心，然后固定之；③ 螺紋套筒制備根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡的直徑，加工具有適當(dāng)內(nèi)徑的和一定壁厚的圓筒，該螺紋套筒的內(nèi)徑為D2，外徑為D1，其內(nèi)壁加工內(nèi)螺紋，外圓面離右端一定長度沿同一圓周均勻地垂直于該圓筒的軸線加工N個完全相同的長腰槽形通孔；
④ 所述的調(diào)節(jié)凸臺的制備取一段具有一定壁厚的圓筒，該圓筒的
內(nèi)徑為D3，外徑為D4，該內(nèi)徑D3應(yīng)不小于所述的干涉儀主鏡的通光口徑D7，該外徑D4與所述的螺紋套筒的內(nèi)徑D2相匹配，該圓筒的外圓面加工出外螺紋與所述的螺紋套筒的內(nèi)螺紋相匹配，將該圓筒的外螺紋擰入所述的螺紋套筒的內(nèi)螺紋中，使之相互嵌套自由旋轉(zhuǎn)，定位后，通過所述的螺紋套筒上的N個長腰槽形通孔的中心位置，在所述的調(diào)節(jié)圓筒的外螺紋圓面各加工一個螺紋通孔，而且在該圓筒的右端的端面的直徑為D8的同一圓周上垂直于該端面并對應(yīng)所述的N個螺紋通孔的位置加工N個螺紋沉孔，然后分別以所述的螺紋沉孔為中心的一定圓弧寬度沿該圓筒的軸線依序號切割出N塊調(diào)節(jié)塊，所述的一定圓弧寬度應(yīng)<360。/N;
⑤ 利用固定螺釘穿過所述的主鏡鏡框的短腰槽形通孔按所述的調(diào)節(jié)塊的序號依次擰入所述的調(diào)節(jié)塊的螺紋沉孔，將所述的N塊調(diào)節(jié)塊依次與所述的主鏡鏡框相垂直地連接在一起，使所述的N塊調(diào)節(jié)塊的外螺紋處在同一螺紋升角圓周外圓面上；
(D將所述的調(diào)節(jié)凸臺的外螺紋旋入所述的螺紋套筒的內(nèi)螺紋中，使所述的調(diào)節(jié)凸臺的N塊調(diào)節(jié)塊的螺紋通孔與所述的螺紋套筒(101)的長腰槽形通孔相對應(yīng)，將N個調(diào)節(jié)螺栓依次穿入彈簧墊圈和球面墊圈后，通過所述的長腰槽形通孔并擰入所述的螺紋通孔中。
本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)的優(yōu)點
1、本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)不同于以往干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，它
7不需要機(jī)械修配，利用一組內(nèi)外螺紋的配合及調(diào)節(jié)螺栓的吊緊實現(xiàn)主鏡垂直于光軸Z方向的兩維角度微量調(diào)整，保證主鏡球心像光軸與棱鏡組光軸在同一理想光軸上擬合，是實現(xiàn)主鏡球心像光軸與棱鏡組光軸擬合的比較穩(wěn)定可靠，方便簡單的一種辦法。
2、 本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)主要應(yīng)用于各類高精度干涉儀中主鏡
安裝與調(diào)整，其中主鏡鏡片為透射式標(biāo)準(zhǔn)鏡與球面或非球面透鏡一體式結(jié)構(gòu)，本發(fā)明為干涉儀后續(xù)對光學(xué)工件進(jìn)行高精度干涉測量提供了高精度和高穩(wěn)定性保證。
3、 本發(fā)明調(diào)整機(jī)構(gòu)加工方便，安裝便捷，制造成本低，易調(diào)整，精度高，穩(wěn)定性好；
4、 本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)適用于各類干涉儀主鏡的安裝調(diào)整，
也可適用于其他裝置中透鏡的調(diào)整與安裝，應(yīng)用范圍廣泛。


圖1為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例的正視剖面示意圖。
圖2為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例的右視外觀示意圖。圖3為圖1的A-A剖面示意圖。
圖4為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例的俯視外觀示意圖。
圖5為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例中主鏡鏡框左視圖中短腰
槽形通孔示意圖。
圖6為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例中單塊凸臺上螺紋孔位置
示意圖。
圖7為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例中螺紋套筒上長腰槽形通孔位置示意圖。
圖8為本發(fā)明主鏡與棱鏡組成像檢測示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本 發(fā)明的保護(hù)范圍。
參閱圖1，并結(jié)合參閱圖2、圖3、圖4、圖5、圖6和圖7，圖1
為本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)實施例的正視剖面示意圖，由圖可見，本
發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，由螺紋套筒101、調(diào)節(jié)凸臺102、 N個調(diào)節(jié)螺 栓103、 N個球面墊圈104、 N個彈簧墊圈105、 N個固定螺釘106、主 鏡107和主鏡鏡框108構(gòu)成，本實施例的N二3:
所述的螺紋套筒101是一段一定壁厚的圓筒，該圓筒的內(nèi)壁具有內(nèi) 螺紋，外圓面沿圓周方向均勻地分布N個完全相同的長腰槽形通孔
101-1;
所述的調(diào)節(jié)凸臺102由N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊構(gòu)成，每一調(diào)節(jié)塊的外 圓面具有與所述的螺紋套筒101的內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，在該外螺紋 圓面上離右端一定距離有一個垂直于軸線的螺紋通孔102-1，在該調(diào)節(jié) 塊右端面有一個沿軸向的螺紋沉孔102-2;
所述的主鏡鏡框108是具有主鏡107安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的框座， 在所述的主鏡鏡框108邊框上的一個以該主鏡鏡框主鏡通光孔的對稱軸 為圓心的圓周上并沿該圓周均勻地分布著N個短腰槽形通孔108 — 1;
所述的主鏡107安裝并固定在所述的主鏡鏡框108中，N個固定螺 釘106分別通過所述的主鏡鏡框108的N個短腰槽形通孔108_1擰入 所述的調(diào)節(jié)凸臺102的N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊端面的螺紋沉孔102-2，所 述的調(diào)節(jié)凸臺102的外螺紋與所述的螺紋套筒101的內(nèi)螺紋相互嵌套， N個調(diào)節(jié)螺栓103依次套入彈簧墊圈105和球面墊圈104后，通過所述 的長腰槽形通孔101-1并擰入所述的螺紋通孔102-1中。所述的長腰槽 形通孔101-1是寬度大于所述的調(diào)節(jié)螺栓103的直徑，長度方向為圓心 指向角度20。的槽孔。
上述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)的制備方法，包括下列步驟① 主鏡鏡框108的制備；根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡107的通光l ]
徑D7，制備具有主鏡107安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的主鏡鏡框108，在所 述的主鏡鏡框108邊框上的一個以該主鏡鏡框主鏡通光孔的對稱軸為圓 心的圓周上并沿該圓周均勻地加工N個短腰槽形通孔108 — 1，所述的圓 周的直徑為D8;
② 將所述的主鏡107安裝在所述的主鏡鏡框108中，使所述的主鏡 107的球心像光軸基本上通過所述的主鏡鏡框108的對稱中心，然后固 定之；
④螺紋套筒101制備根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡107的直徑，加 工具有適當(dāng)內(nèi)徑的和一定壁厚的圓筒，該螺紋套筒IOI的內(nèi)徑為D2，外 徑為D1，其內(nèi)壁加工內(nèi)螺紋MDX1 (D為直徑，l是螺距t-lmm，以
下相同)，外圓面離右端一定長度沿同一圓周均勻地垂直于該圓筒的軸線 加工N個完全相同的長腰槽形通孔101-1;
(D所述的調(diào)節(jié)凸臺102的制備取一段具有一定壁厚的圓筒，該圓 筒的內(nèi)徑為D3，外徑為D4，該內(nèi)徑D3應(yīng)不小于所述的干涉儀主鏡107 的通光口徑D7，該外徑D4與所述的螺紋套筒101的內(nèi)徑D2相匹配， 該圓筒的外圓面加工出外螺紋MDX1與所述的螺紋套筒101的內(nèi)螺紋 MDX 1相匹配，將該圓筒的外螺紋擰入所述的螺紋套筒101的內(nèi)螺紋中， 使之相互嵌套自由旋轉(zhuǎn)，定位后，通過所述的螺紋套筒101上的N個長 腰槽形通孔101-1的中心位置，在所述的調(diào)節(jié)圓筒的外螺紋圓面各加工 一個螺紋通孔102-1，而且在該圓筒的右端的端面的直徑為D8的同一圓 周上垂直于所述的端面并對應(yīng)所述的N個螺紋通孔102-1的位置加工N 個螺紋沉孔102-2，然后分別以所述的螺紋沉孔102-2為中心的按所確定 的圓弧寬度沿該圓筒的軸線依序號1、 2、 3、…、N切割出N塊調(diào)節(jié)塊， 所述的一定圓弧寬度應(yīng)〈360。/N;⑥ 利用固定螺釘106穿過所述的主鏡鏡框108的短腰槽形通孔108
—1按調(diào)節(jié)塊的序號依次擰入所述的調(diào)節(jié)塊的螺紋沉孔102-2，將所述的 N塊調(diào)節(jié)塊依次與所述的主鏡鏡框108相垂直地連接在一起，使所述的 N塊調(diào)節(jié)塊的外螺紋處在同一螺紋升角圓周外圓面上；
⑦ 將所述的調(diào)節(jié)凸臺102的外螺紋旋入所述的螺紋套筒101的內(nèi)螺 紋中，使所述的調(diào)節(jié)凸臺102的N塊調(diào)節(jié)塊的螺紋通孔102-1與所述的 螺紋套筒101的長腰槽形通孔101-1相對應(yīng)，將N個調(diào)節(jié)螺栓103依次 穿入彈簧墊圈105和球面墊圈104后，通過所述的長腰槽形通孔101-1 并擰入所述的螺紋通孔102-1中。
螺紋套筒101的長腰槽形通孔101-1的圓周方向20°角尺寸范圍， 確定了主鏡鏡框108和主鏡107的兩維角度微量調(diào)整范圍，使得主鏡107 的球心像光軸與棱鏡組2光軸調(diào)至完全重合成為較易實現(xiàn)的目標(biāo)。同時 螺紋套筒101上的三個長腰槽形通孔101-1與調(diào)節(jié)凸臺102上的三個螺 紋沉孔102-1及調(diào)節(jié)螺釘103的配合使用、螺紋套筒101與調(diào)節(jié)凸臺102 之間一定長度螺紋配合使得整體裝配剛性得到加強(qiáng)，穩(wěn)定性提高。
所述的調(diào)節(jié)螺釘103，及配合使用的球面墊片104和彈簧墊圈105， 與套筒101及調(diào)節(jié)凸臺102—起，實現(xiàn)垂直于Z軸方向平面內(nèi)兩維高精 度微量角度調(diào)節(jié)，即實現(xiàn)主鏡107高精度微量兩維角度調(diào)節(jié)。其球面墊 圈104作用為角度調(diào)節(jié)時有球面圓弧過渡不至于在調(diào)整時卡死，其彈簧 墊圈105作用為調(diào)節(jié)時有適量預(yù)緊力。
所述的主鏡鏡框108上安裝有我們需要使用的主鏡107，同時主鏡 鏡框108通過三顆螺釘106將調(diào)節(jié)凸臺102按編好的序號固定成一體形 成了完整的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)的安裝與調(diào)整流程如下
1、將點光源3、棱鏡組2和平行光管4按圖8所示安裝架在同一水
ii平高度，首先點亮點光源3，點光源3發(fā)出的光束經(jīng)棱鏡組2的反射由
所述的平行光管4接收，并記錄此時棱鏡組2在平行光管4中所形成十 字叉絲像點位置(X，Y方向的坐標(biāo))，以棱鏡組2在平行光管4中所成像 點為基準(zhǔn)；
2、 將所述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)移入棱鏡組2和平行光管4之間的 光路中，按所述的干涉儀放大倍率，設(shè)定的主鏡107與棱鏡組2之間距 離，調(diào)整主鏡107的位置；
3、 觀察平行光管4中主鏡107球心像點與初始狀態(tài)棱鏡組2所成基 準(zhǔn)像點的重合度，如果不重合，記下平行光管4中的讀數(shù)與初始棱鏡組 2基準(zhǔn)像點讀數(shù)的偏差量，固定干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)中的螺紋套筒101 使其不動，緩慢旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)凸臺102，調(diào)節(jié)凸臺102帶著主鏡107及主鏡 鏡框108 —起旋轉(zhuǎn)一定角度，適量吊緊長腰槽形通孔101-1中的三顆調(diào) 節(jié)螺釘103，對主鏡107進(jìn)行與讀數(shù)偏差量反方向的角度調(diào)整補(bǔ)償，即 按需要調(diào)整的方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)凸臺102旋轉(zhuǎn)角度量并調(diào)整調(diào)節(jié)螺釘103的 吊緊量，連續(xù)調(diào)整，直至使主鏡107球心像點調(diào)整到與棱鏡組2基準(zhǔn)像 點在平行光管4中所成的十字叉絲像坐標(biāo)重合，即保證了主鏡107球心 像光軸與棱鏡組2光軸在同一理想光軸上擬合；
經(jīng)試用表明，本發(fā)明千涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)能實現(xiàn)對主鏡進(jìn)行高精度 微量角度調(diào)整。而且具有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)簡單、安裝調(diào)節(jié)方便、制造成本低、 較高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、外形美觀等優(yōu)點，適用于各種干涉儀的主鏡安裝與 調(diào)節(jié)。
權(quán)利要求
1、一種干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于該機(jī)構(gòu)由螺紋套筒(101)、調(diào)節(jié)凸臺(102)、N個調(diào)節(jié)螺栓(103)、N個球面墊圈(104)、N個彈簧墊圈(105)、N個螺釘(106)、主鏡(107)和主鏡鏡框(108)構(gòu)成，其中N為2以上的正整數(shù)所述的螺紋套筒(101)是一段一定壁厚的圓筒，該圓筒的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋，外圓面沿圓周方向均勻地分布N個完全相同的長腰槽形通孔(101-1)；所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)由N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊構(gòu)成，每一調(diào)節(jié)塊的外圓面具有與所述的螺紋套筒(101)的內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，在該外螺紋圓面上離右端一定距離有一個垂直于軸線的螺紋通孔(102-1)，在該調(diào)節(jié)塊右端面有一個沿軸向的螺紋沉孔(102-2)；所述的主鏡鏡框(108)是具有主鏡(107)安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的框座，在所述的主鏡鏡框(108)邊框上的一個以該主鏡鏡框主鏡通光孔的對稱軸為圓心的圓周上并沿該圓周均勻地分布著N個短腰槽形通孔(108—1)；所述的主鏡(107)安裝并固定在所述的主鏡鏡框(108)中，N個固定螺釘(106)分別通過所述的主鏡鏡框(108)的N個短腰槽形通孔(108—1)擰入所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)的N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊端面的螺紋沉孔(102-2)將所述的N塊圓弧形的調(diào)節(jié)塊與所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)形成一體，所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)的外螺紋與所述的螺紋套筒(101)的內(nèi)螺紋相互嵌套，N個調(diào)節(jié)螺栓(103)依次套入彈簧墊圈(105)和球面墊圈(104)后，通過所述的長腰槽形通孔(101-1)并擰入所述的螺紋通孔(102-1)中。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的N=3。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的 長腰槽形通孔(101-1)是寬度大于所述的調(diào)節(jié)螺栓(103)的直徑，長 度方向為圓心指向角度20。的槽孔。
4、 權(quán)利要求1所述的干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)的制備方法，其特征在于 該方法包括下列步驟① 主鏡鏡框(108)的制備；根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡(107)的 通光口徑D7，制備具有主鏡(107)安裝結(jié)構(gòu)和主鏡通光孔的主鏡鏡框(108)，在所述的主鏡鏡框(108)邊框上的一個以該主鏡鏡框主鏡通光 孔的對稱軸為圓心的圓周上并沿該圓周均勻地加工N個短腰槽形通孔 (108_1)，所述的圓周的直徑為D8;② 將所述的主鏡(107)安裝在所述的主鏡鏡框(108)中，使所述 的主鏡(107)的球心像光軸基本上通過所述的主鏡鏡框(108)的對稱 中心，然后固定之；③ 螺紋套筒(101)制備根據(jù)所需調(diào)整的干涉儀主鏡(107)的直 徑，加工具有適當(dāng)內(nèi)徑的和一定壁厚的圓筒，該螺紋套筒(101)的內(nèi)徑 為D2，外徑為D1，其內(nèi)壁加工內(nèi)螺紋MDX1，外圓面離右端一定長度 沿同一圓周均勻地垂直于該圓筒的軸線加工N個完全相同的長腰槽形通孔(101-1);④ 所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)的制備取一段具有一定壁厚的圓筒，該圓筒的內(nèi)徑為D3，外徑為D4，該內(nèi)徑D3應(yīng)不小于所述的干涉儀主鏡 (107)的通光口徑D7，該外徑D4與所述的螺紋套筒(101)的內(nèi)徑D2 相匹配，所述的圓筒的外圓面加工出外螺紋與所述的螺紋套筒(101)的 內(nèi)螺紋相匹配，將該圓筒的外螺紋擰入所述的螺紋套筒(101)的內(nèi)螺紋 中，使之相互嵌套自由旋轉(zhuǎn)，定位后，通過所述的螺紋套筒(101)上的N個長腰槽形通孔(101-1)的中心位置，在所述的調(diào)節(jié)圓筒的外螺紋圓 面各加工一個螺紋通孔(102-1)，而且在該圓筒的右端的端面的直徑為D8的同一圓周上垂直于該端面并對應(yīng)所述的N個螺紋通孔(102-1)的 位置加工N個螺紋沉孔(102-2)，然后分別以所述的螺紋沉孔(102-2) 為中心的一定圓弧寬度沿該圓筒的軸線依序號(1、 2、 3、…、N)切割 出N塊調(diào)節(jié)塊，所述的一定圓弧寬度應(yīng)〈360。/N;⑤ 利用固定螺釘(106)穿過所述的主鏡鏡框(108)的短腰槽形通 孔(108 — l)按調(diào)節(jié)塊的序號依次擰入所述的調(diào)節(jié)塊的螺紋沉孔(102-2)， 將所述的N塊調(diào)節(jié)塊依次與所述的主鏡鏡框(108)相垂直地連接在一 起，使所述的N塊調(diào)節(jié)塊的外螺紋處在同一螺紋升角圓周外圓面上；⑥ 將所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)的外螺紋旋入所述的螺紋套筒(101) 的內(nèi)螺紋中，使所述的調(diào)節(jié)凸臺(102)的N塊調(diào)節(jié)塊的螺紋通孔(102-1) 與所述的螺紋套筒(101)的長腰槽形通孔(101-1)相對應(yīng)，將N個調(diào) 節(jié)螺栓(103)依次穿入彈簧墊圈(105)和球面墊圈(104)后，通過所 述的長腰槽形通孔(101-1)并擰入所述的螺紋通孔(102-1)中。
全文摘要
一種干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)及其制備方法，該干涉儀主鏡調(diào)整機(jī)構(gòu)由螺紋套筒、調(diào)節(jié)凸臺、N個調(diào)節(jié)螺栓、N個球面墊圈、N個彈簧墊圈、N個螺釘、主鏡和主鏡鏡框構(gòu)成，其中N為2以上的正整數(shù)本發(fā)明是高精度、高穩(wěn)定性兩維角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，不需要對主鏡進(jìn)行修配，通過簡單的調(diào)整，即可解決了主鏡球心像光軸與棱鏡組光軸在同一理想光軸上的擬合，是實現(xiàn)高精度干涉測量必備條件。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、安裝調(diào)整方便、制造成本低和穩(wěn)定性高的特點，適用于各類干涉儀主鏡的安裝調(diào)整，也適用于其他裝置中透鏡的調(diào)整與安裝。
文檔編號G02B7/02GK101477236SQ200910045460
公開日2009年7月8日 申請日期2009年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月16日
發(fā)明者朱健強(qiáng), 湯更秀, 王國興, 王聰瑜, 蔡志堅 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所