專利名稱：整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管液晶顯示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display;以下 簡稱TFT-LCD)的生產(chǎn)過程中，需進行光刻工藝。光刻工藝首先需在玻璃基板上涂布均勻 的光刻膠，然后進行后續(xù)工藝?，F(xiàn)有涂膠工藝有兩種，一種是直涂式，直接在玻璃基板上涂布均勻的光刻膠，無需 對玻璃基板進行離心旋轉(zhuǎn)；另一種是預涂式，在玻璃基板上部分區(qū)域涂布光刻膠，然后利用 離心設(shè)備將玻璃基板旋轉(zhuǎn)，使得玻璃上預涂的光刻膠均勻覆蓋整個玻璃基板，且具有較好 的平整度。玻璃基板經(jīng)過離心設(shè)備旋轉(zhuǎn)后，在進入下一道工序前，需要對流水線上的玻璃基 板進行整列，避免由于流水線上基板偏移而導致下一道工序中玻璃基板被撞碎?，F(xiàn)有的基 板整列裝置是采用氣動方式即利用控制氣閥開關(guān)信號來推動氣缸往復運動，帶動安裝在支 架上的整列針(Pin)對基板從前后左右四個方向進行推移，當基板偏移時，由玻璃基板四 周的整列針將基板推移到合適位置。涂膠工序中，光刻膠會不可避免地附著在玻璃基板的側(cè)面，且具有較強的粘性，當 整列針接觸玻璃基板對其進行整列后，整列針上會粘黏光刻膠。為了保證后續(xù)整列過程的 順利進行，通常應用整列針清洗裝置對整列針進行清洗，去除其粘黏的光刻膠?，F(xiàn)有的整列針清洗裝置中，噴射清洗液對整列針進行清洗的四個清洗針分布在垂 直于整列針中心線的平面的四個方向上，對整列針進行清洗時，相對的兩個清洗針所噴射 出來的清洗液是處于同一直線的，整列針在清洗過程中始終處于靜止狀態(tài)，整列針上粘黏 的光刻膠難以清洗干凈。若長時間清洗不干凈，光刻膠會在整列針上形成硬塊，進行整列時 有可能將玻璃基板撞碎。而且，由于整列針上附著的光刻膠會對玻璃基板的側(cè)面造成污染， 當玻璃基板進入到后續(xù)工藝的處理設(shè)備時，將對該處理設(shè)備造成污染。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)，在應用整列針 清洗裝置清洗整列針的同時促使整列針旋轉(zhuǎn)，將整列針清洗干凈。本實用新型提供一種整列針，包括用于與基板接觸的接觸柱體，在所述接觸柱體 上設(shè)置有一能夠帶動所述接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。如上所述的整列針，其中，所述旋轉(zhuǎn)裝置為設(shè)置在所述接觸柱體上的至少一個能 夠基于空氣流動而帶動所述接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)的葉輪。如上所述的整列針，其中，所述接觸柱體上還設(shè)置有用于帶動所述接觸柱體以所 述接觸柱體的中心線為軸進行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套，所述葉輪設(shè)置在所述外螺紋套的外表面 上。[0011]如上所述的整列針，其中，所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的切線平行。如上所述的整列針，其中，所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的切線的夾角為a， 其中0 < a彡90°。如上所述的整列針，其中，在所述外螺紋套的外表面上設(shè)置有多個所述葉輪，且多 個所述葉輪均勻分布。本實用新型提供一種整列針清洗裝置，包括用于對整列針上用于與基板接觸的接 觸柱體進行清洗的基座，所述基座的一端設(shè)置有用于容置所述接觸柱體的凹槽，所述凹槽 的側(cè)壁上設(shè)置有用于向容置在所述凹槽內(nèi)的接觸柱體噴射清洗液的清洗裝置，在所述基座 上方還設(shè)置有一換風管，所述換風管能夠促使空氣流動而帶動所述葉輪進行旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述基座的另一端還設(shè)置有一用于回收清洗 液的負壓排氣管。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風管與所述負壓排氣管連通，用于通過 吸附所述接觸柱體周圍的空氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風管與一鼓風設(shè)備連接，用于通過向所 述接觸柱體噴氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風管包括兩個支管，所述兩個支管的換 風口分別位于所述接觸柱體的兩側(cè)，且相對設(shè)置。本實用新型提供一種整列針清洗系統(tǒng)，包括上述的整列針和整列針清洗裝置。本實用新型提供的整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)，通過對整列針和 整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時，促使整列 針旋轉(zhuǎn)，更好地達到清洗目的；解決了原整列針清洗不干凈而給后序帶來的問題；避免由 于整列針清洗不干凈長期處于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，提高良品率。同時還可以 避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當玻璃基板進入后續(xù)工序時，對后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。

[0021]圖1為本實用新型一實施例提供的整列針結(jié)構(gòu)示意圖；[0022]圖2為圖1的剖面示意圖；[0023]圖3為本實用新型一實施例提供的整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；[0024]圖4為圖3的俯視剖面示意圖；[0025]圖5為本實用新型一實施例提供的整列針清洗系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；[0026]圖6為本實用新型一實施例提供的整列針清洗系統(tǒng)的工作示意圖[0027]附圖標記[0028]1-整列針； 2-整列針清洗裝置；12-接觸柱體；[0029]13- 一字頭螺桿；14-固定螺母；15-卡圈；[0030]16-球軸承； 17-套筒；18-外螺紋套；[0031]19-葉輪； 21-基座；22-凹槽；[0032]23-清洗探針；24-負壓排氣管；25-換風管。
具體實施方式
為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新 型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于 本實用新型保護的范圍。本實用新型實施例針對現(xiàn)有整列針在清洗過程中因靜止導致清洗不干凈等缺陷， 提供一種新型的整列針，包括接觸柱體，該接觸柱體用于對基板進行整列，即作為整列針與 基板相接觸的部分。為了實現(xiàn)整列針在清洗時能夠進行旋轉(zhuǎn)，本實施例中在接觸柱體上設(shè) 置一能夠帶動接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置，該旋轉(zhuǎn)裝置可以基于空氣流動或外力觸發(fā)而 旋轉(zhuǎn)，從而帶動接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)。本實施例中旋轉(zhuǎn)裝置可以為至少一個葉輪，該葉輪能夠 基于空氣流動而帶動接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)。本實用新型各實施例中，葉輪可以固定設(shè)置在接 觸柱體上，此時接觸柱體可以通過葉輪帶動實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。當然也可以通過其他方式實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，
以下結(jié)合附圖詳細介紹如下。圖1為本實用新型一實施例提供的整列針結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1的剖面示意圖， 如圖1和圖2所示，該整列針1主體部分呈圓柱形，整列針1是通過位于其下端部的接觸柱 體12與基板接觸的，也就是說整列針1通過接觸柱體12的外表面接觸基板的側(cè)面并推動 基板移動，達到整列目的。整列針1還包括一字頭螺桿13、固定螺母14、卡圈15、球軸承16、 套筒17和外螺紋套18，其中，一字頭螺桿13用于將整列針1通過卡圈15卡設(shè)在固定支架 上，外螺紋套18套設(shè)在球軸承16和套筒17外，并與接觸柱體12連接。外螺紋套18可以通過 球軸承16和套筒17實現(xiàn)以整列針1的中心線為軸進行旋轉(zhuǎn)，由于外螺紋套18與接觸柱體12 連接，因此當外螺紋套18旋轉(zhuǎn)時便可以帶動接觸柱體12旋轉(zhuǎn)，具體地，外螺紋套18與接觸柱 體12同軸，因此接觸柱體12可以隨著外螺紋套18以接觸柱體12的中心線為軸進行旋轉(zhuǎn)。為了在被清洗的過程中能夠旋轉(zhuǎn)以達到清洗干凈的目的，本實施例提供的整列針 在外螺紋套18上增設(shè)至少一個葉輪19，具體地，葉輪19設(shè)置在外螺紋套18的外表面上，葉 輪19能夠基于周邊空氣的流動而旋轉(zhuǎn)，并且?guī)油饴菁y套18旋轉(zhuǎn)，而又進一步帶動接觸柱 體12旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)的目的。當整列針1回到整列針清洗裝置上時，通過清洗裝置 上匹配設(shè)置的噴氣或抽氣設(shè)備來改變?nèi)~輪19周圍空氣的流動，實現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)。在上述整列針的實施例中，葉輪可以根據(jù)實際需求以不同的方式設(shè)置在外螺紋套 上，例如一種設(shè)置方式為將葉輪的延長線與外螺紋套的切線平行，即葉輪的整體結(jié)構(gòu)是沿 著外螺紋套的切線向外延伸；當然，也可以將葉輪的延長線與外螺紋套的切線設(shè)置成具有 一定夾角《，其中0< a彡90°。當a為90°時，葉輪的整體結(jié)構(gòu)與外螺紋套的切線垂 直設(shè)置。葉輪的材質(zhì)可以選用輕薄具有一定硬度的材料制成，例如硬塑料等。進一步地，為了較容易地實現(xiàn)整列針的旋轉(zhuǎn)，外螺紋套上設(shè)置可以設(shè)置多個葉輪， 而且該多個葉輪可均勻地分布在外螺紋套上。上述各實施例提供的整列針可以是在現(xiàn)有的整列針結(jié)構(gòu)上增設(shè)葉輪，葉輪可通過 焊接或螺接等方式固設(shè)在整列針上，通過空氣流動帶動葉輪運動而實現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)。該整 列針不但能夠完成基板整列功能，而且在由整列位置回到整列針清洗位置進行清洗即回程 清洗的過程中通過旋轉(zhuǎn)而達到清洗干凈的目的，避免殘留光刻膠，解決了原整列針清洗不干凈而給后續(xù)工藝帶來的一系列問題；減少由于整列針清洗不干凈長期處于空氣中形成硬 塊而撞碎玻璃基板的可能性，從而提高設(shè)備稼動率。圖3為本實用新型一實施例提供的整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為圖3的俯 視剖面示意圖，如圖3和圖4所示，該整列針清洗裝置2包括基座21，該基座21用于對整列 針上用于與基板接觸的接觸柱體進行清洗。在基座21 —端設(shè)置有一凹槽22，該凹槽22用 于容置整列針的接觸柱體。具體地，當整列針整列回程后到達整列針清洗裝置的基座21位 置時，接觸柱體可以沿著凹槽22進到基座21內(nèi)部的清洗空間內(nèi)進行清洗，當清洗結(jié)束后， 再沿著原路遠離基座21。凹槽22的側(cè)壁上設(shè)置有用于向容置在凹槽22內(nèi)的接觸柱體噴 射清洗液的清洗裝置，具體地，為了達到更好的清洗效果，本實施例中在凹槽22的側(cè)壁上 設(shè)置有四個清洗探針23，可以向容置在該清洗空間中的接觸柱體的四周噴射清洗液。具體 地，四個清洗探針23分別設(shè)置在凹槽22的四個側(cè)壁上且兩兩相對，并分別與輸液管連接。進一步地，為了及時回收用過的清洗液，本實施例提供的整列針清洗裝置2中還 可以在基座21的另一端設(shè)置一負壓排氣管24，該負壓排氣管24通過閥門控制向內(nèi)抽氣，使 得落到基座底部的清洗液被吸到負壓排氣管24內(nèi)實現(xiàn)回收。為了配合上述實施例提供的增設(shè)有葉輪的整列針，并實現(xiàn)整列針在清洗的過程中 旋轉(zhuǎn)，本實施例提供的整列針清洗裝置中，在基座21的上方還增設(shè)一換風管25，由于要應 用該換風管25對整列針上的葉輪進行作用，因此換風管25的位置需要根據(jù)整列針上葉輪 的高度進行實際調(diào)整設(shè)置。以帶有外螺紋套的整列針為例，換風管25可以與整列針上用于 帶動接觸柱體以接觸柱體的中心線為軸進行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套等高，其目的是通過換風管25 改變外螺紋套周邊的空氣流動以觸發(fā)外螺紋套旋轉(zhuǎn)。進一步地，換風管25的換風口沿著與 接觸柱體外表面相切的方向設(shè)置，由于外螺紋套與接觸柱體同軸，因此，換風管25的換風 口沿著與外螺紋套的外表面相切的方向設(shè)置。本實施例中通過將換風管25的換風口沿著 與接觸柱體外表面相切的方向設(shè)置，可以使得在換風管25的換風口處交換的氣體的流向 與外螺紋套的外表面相切，這樣交換的氣體可直接對外螺紋套上的葉輪施力，便可通過氣 體的流動帶動整列針進行旋轉(zhuǎn)。本實施例提供的整列針清洗裝置中，增設(shè)的換風管既可以用來抽氣，也可以用來 噴氣。具體地，當換風管用來抽氣時可以將換風管25與負壓排氣管24連通，使用同一抽氣 設(shè)備。當換風管用來噴氣時可以將換風管25單獨與一噴氣設(shè)備連接，通過向外螺紋套噴氣 觸發(fā)外螺紋套帶動接觸柱體旋轉(zhuǎn)。進一步地，本實施例提供的整列針清洗裝置中，換風管還可以是包括兩個支管的 結(jié)構(gòu)，且該兩個支管的換風口分別位于外螺紋套的兩側(cè)，且相對設(shè)置。本實施提供的整列針清洗裝置可以是在現(xiàn)有的整列針清洗裝置上增設(shè)換風管，通 過設(shè)置的換風管，整列針清洗裝置不但能夠完成自身的清洗整列針的功能，而且清洗的過 程中通過觸發(fā)整列針旋轉(zhuǎn)而達到清洗干凈的目的，避免整列針上殘留的光刻膠，解決了原 整列針清洗不干凈而給后序帶來的一系列問題；減少由于整列針清洗不干凈長期處于空氣 中形成硬塊而撞碎玻璃基板的可能性，從而提高設(shè)備稼動率；同時整列針清洗干凈，還可以 避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當玻璃基板進入后續(xù)工序時，對后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。圖5為本實用新型一實施例提供的整列針清洗系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，圖6為本實用新 型一實施例提供的整列針清洗系統(tǒng)的工作示意圖，如圖5和圖6所示，該整列針清洗系統(tǒng)包
6括整列針1和用于對整列針1進行清洗的整列針清洗裝置2，其中整列針1和整列針清洗裝 置2可以采用上述各裝置實施例提供的整列針和整列針清洗裝置，本實施例結(jié)合附圖，以 在整列針清洗裝置增設(shè)抽氣管為例，介紹整列針清洗裝置在清洗整列針的過程中如何實現(xiàn) 整列針的旋轉(zhuǎn)。如圖所示，整列針清洗裝置2中在原負壓排氣管24上通過安裝三通接頭連接換風 管25，通過閥門控制負壓排氣管24和換風管25同時抽氣，通過基座21內(nèi)部的四個清洗探 針23清洗接觸柱體12的同時，負壓排氣管24回收清洗液，同時換風管25通過負壓來帶動 葉輪19進行旋轉(zhuǎn)，從而帶動下端接觸柱體12 —起旋轉(zhuǎn)，起到清洗同時進行旋轉(zhuǎn)作用，使整 列針清洗干凈。本實施例中，換風管25包括兩個支管，分別為第一支管251和第二支管252，且第 一支管251和第二支管252分別位于外螺紋套18的兩側(cè)，且相對設(shè)置。在清洗過程中，第 一支管251和第二支管252同時進行抽氣，第一支管251抽氣口的周圍空氣沿F1方向流動， 第二支管252抽氣口的周圍空氣沿F2方向流動，這樣便觸發(fā)整列針1沿著順時針即W方向 旋轉(zhuǎn)。本實用新型提供的整列針清洗系中，通過對整列針和整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹 配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時，促使整列針旋轉(zhuǎn)，更好地達到清洗目 的；解決了原整列針清洗不干凈而給后序帶來的問題；避免由于整列針清洗不干凈長期處 于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，從而提高良品率；同時整列針清洗干凈，還可以避免污 染玻璃基板側(cè)面，減少當玻璃基板進入后續(xù)工序時，對后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。最后應說明的是以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應當理解: 其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求一種整列針，包括用于與基板接觸的接觸柱體，其特征在于，在所述接觸柱體上設(shè)置有一能夠帶動所述接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整列針，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置為設(shè)置在所述接觸柱體 上的至少一個能夠基于空氣流動而帶動所述接觸柱體進行旋轉(zhuǎn)的葉輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的整列針，其特征在于，所述接觸柱體上還設(shè)置有用于帶動所 述接觸柱體以所述接觸柱體的中心線為軸進行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套，所述葉輪設(shè)置在所述外螺 紋套的外表面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整列針，其特征在于，所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的 切線平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整列針，其特征在于，所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的 切線的夾角為α，其中0 < α彡90°。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的整列針，其特征在于，在所述外螺紋套的外表面上設(shè) 置有多個所述葉輪，且多個所述葉輪均勻分布。
7.—種整列針清洗裝置，包括用于對整列針上用于與基板接觸的接觸柱體進行清洗的 基座，所述基座的一端設(shè)置有用于容置所述接觸柱體的凹槽，所述凹槽的側(cè)壁上設(shè)置有用 于向容置在所述凹槽內(nèi)的接觸柱體噴射清洗液的清洗裝置，其特征在于，在所述基座上方 還設(shè)置有一換風管，所述換風管能夠促使空氣流動而帶動所述葉輪進行旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述基座的另一端還設(shè)置有 一用于回收清洗液的負壓排氣管。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風管與所述負壓排氣 管連通，用于通過吸附所述接觸柱體周圍的空氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風管與一鼓風設(shè)備 連接，用于通過向所述接觸柱體噴氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或8或9或10所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風管包 括兩個支管，所述兩個支管的換風口分別位于所述接觸柱體的兩側(cè)，且相對設(shè)置。
12.—種整列針清洗系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至6任一所述的整列針以及 如權(quán)利要求7至11任一所述的整列針清洗裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)。本實用新型提供的實施例通過對整列針和整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時，促使整列針旋轉(zhuǎn)，更好地達到清洗目的；解決了原整列針清洗不干凈給后續(xù)工序帶來的問題；避免由于整列針清洗不干凈長期處于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，從而提高良品率；同時還可以避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當玻璃基板進入后續(xù)工序時，對后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。
文檔編號G02F1/1333GK201765414SQ201020171479
公開日2011年3月16日 申請日期2010年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月20日
發(fā)明者張學智, 張琨鵬, 焦宇 申請人:北京京東方光電科技有限公司