專利名稱：多載置臺光刻系統(tǒng)的制作方法
多載置臺光刻系統(tǒng)相關(guān)申請的交叉引用本專利申請要求2009年2月13日提交的臨時美國專利申請No. 61/202，289的優(yōu)先權(quán)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的描述在用于在工件(例如基片或晶片)上進行寫入或形成圖案的常規(guī)裝置中，工件流程通常包括至少四個處理步驟裝載、測量、寫入和卸載。如果這些處理步驟順次地進行，系統(tǒng)資源存在空閑時間，導(dǎo)致較低的吞吐量。為了提高系統(tǒng)資源的利用，可使用流水線式(pipelined)構(gòu)造。具有多個基片承載臺的裝置能實現(xiàn)并行的動作，并減少系統(tǒng)資源的空閑時間。在一個示例裝置中，兩個載置臺配置在單個棱柱軸線上，以便載置臺從兩相反端進入寫入?yún)^(qū)域。然而，這種配置需要雙份的裝載和對準(zhǔn)用系統(tǒng)和區(qū)域。

發(fā)明內(nèi)容
示例性實施例提供多載置臺系統(tǒng)，其中載置臺可在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。這種示例性實施例只需單個裝載區(qū)域和單個處理區(qū)域。至少一個示例性實施例提供光刻處理工具。該工具包括用于裝載工件的裝載區(qū)域；用于處理工件的處理區(qū)域；和配置在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間的多載置臺系統(tǒng)。多載置臺系統(tǒng)包括構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動的同時經(jīng)過彼此的至少兩個載置臺。 所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成保持工件。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的每一個可構(gòu)造成從上方或下方經(jīng)過所述至少兩個載置臺中的另一個。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的每一個可構(gòu)造成被上升和下降中的至少一種，以使所述至少兩個載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。所述至少兩個載置臺中的每一個可安裝在軸承上。軸承沿一軸提供棱柱運動 (prismatic movement)，并繞一軸線提供旋轉(zhuǎn)運動。工具可以是圖案生成器、測量工具、檢查工具、掃描多光束系統(tǒng)、或包括一個或多個旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂的光學(xué)處理裝置，所述旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂包括構(gòu)造成從調(diào)制器向工件的表面中繼圖像信息的光學(xué)系統(tǒng)。


將參考附圖來更詳細地描述示例性實施例，附圖中圖1示出了一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)；圖2示出了一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分；圖3A-3E示出了一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的示例操作；
圖4示出了另一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的示例操作；圖5示出了另一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分；圖6示出了又一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分；圖7示出了再一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分；圖8示出了用于組合編碼器輸出的方法的一個示例性實施例；而圖9是示出根據(jù)一示例性實施例的用于處理工件的方法的流程圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參考示出了一些示例性實施例的附圖來更充分地描述示例性實施例。附圖中，各層和區(qū)域的厚度是夸大的，以便于說明。各圖中的相同附圖標(biāo)記代表相同元件。具體的說明性實施例在本文公開。然而，本文所公開的特定結(jié)構(gòu)和功能詳情僅僅是為了描述示例性實施例的目的。示例性實施例可借多種變型進行實施，而不應(yīng)該解釋為只局限于本文給出的示例性實施例。然而，應(yīng)該理解的是，沒有意圖將示例性實施例限制于所公開的特定示例性實施例，相反，示例性實施例應(yīng)覆蓋落于適當(dāng)范圍內(nèi)的所有變型、等同方案和替代方案。在整個附圖的描述中，相同的標(biāo)記指代相同的元件。應(yīng)該理解的是，雖然本文中可能使用第一、第二等術(shù)語來描述多種不同的元件，但是這些元件不應(yīng)該被這些術(shù)語限制。這些術(shù)語只用于區(qū)別元件。例如，在不背離示例性實施例的范圍的情況下，第一元件可稱為第二元件，并且相似地，第二元件也可稱為第一元件。 如本文所使用的，術(shù)語“和/或”包括相關(guān)聯(lián)的列舉項目中的一個或多個的任一個和所有組
I=I O應(yīng)該理解的是，當(dāng)一元件被描述為“連接”或“連結(jié)”至另一元件時，它可以是直接連接或連結(jié)至另一元件，也可以存在中間元件。對比之下，當(dāng)一元件被描述為“直接連接”或 “直接連結(jié)”至另一元件時，則不存在中間元件。用于描述元件之間的關(guān)系的其它詞語也應(yīng)該以相同的方式解釋(例如“之間”與“直接之間”、“相鄰”與“直接相鄰”等)。本文使用的術(shù)語只是為了描述特定實施例，而并非旨在限制示例性實施例。如本文所使用的，“一”、“一個”、“該”等單數(shù)形式旨在也包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文另有清楚地指明。此外，應(yīng)理解的是，“包括”、“包含”和/或“含有”等術(shù)語在用于本文時，表明所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一個或多個其它特征、整體、步驟、 操作、元件、部件和/或組合的存在或添加。還應(yīng)注意的是，在一些替代實施方式中，所標(biāo)示的功能/動作可能不以圖中標(biāo)示的順序發(fā)生。例如，連續(xù)示出的兩幅圖實際上可能基本同時地執(zhí)行，有時也可能以相反順序執(zhí)行，取決于所涉及的功能/動作。示例性實施例涉及掃描工件，例如基片或晶片，以讀取和寫入圖案和/或圖像。示例性實施例還涉及測量工件。示例性基片或晶片包括平板顯示器、印刷電路板(PCB)、用于包裝應(yīng)用的基片或工件、光伏面板(photovoltaic panel)等。根據(jù)示例性實施例，應(yīng)廣義地理解讀取和寫入。例如，讀取操作可包括比較小或比較大工件的顯微檢測、檢查、度量、波譜檢測、干涉測量、散射測量等。寫入可包括曝光光阻材料、通過光學(xué)加熱退火、消融、通過光束在表面生成任何其它變化等。
根據(jù)示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)可實施于(或隨同于)用于在基片上寫入圖像的圖案生成器(或其它工具)，例如包括一個或多個圖像生成調(diào)制器的圖案生成器。根據(jù)示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)可實施于(或隨同于)用于測量工件的測量和 /或檢查工具。一個或多個示例性實施例可實施于其中的測量和/或檢查工具可包括一個或多個檢測器、傳感器(例如時間延遲和積分(TDI)傳感器)、攝像裝置(例如電荷耦合器件(CCD))等。示例性實施例還可實施于用于在例如三維(3D)基片等比較厚的基片上寫入圖案的圖案生成器，也可實施于用于測量或檢查比較厚的工件或基片的工具(例如，用于測量或檢查位于厚度超過約2μπι 約ΙΟΟμπι或更多的光阻材料中的三維(3D)圖案的工具)。示例性實施例還可實施于掃描多光束系統(tǒng)，例如包括至少一個偏轉(zhuǎn)器的聲光多光束系統(tǒng)。再者，示例性實施例可實施于較高吞吐量光學(xué)處理裝置，該光學(xué)處理裝置包括具有光學(xué)系統(tǒng)的一個或多個旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂，所述光學(xué)系統(tǒng)從調(diào)制器向工件的表面中繼圖像信息，同時在工件上的信息與旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂的中樞處的信息之間保持基本一致的取向關(guān)系，即使是當(dāng)臂在工件上掃描出一個弧度時也如此。示例性實施例還可實施于包括一個或多個旋轉(zhuǎn)臂的測量和/或檢查工具，所述一個或多個旋轉(zhuǎn)臂包括一個或多個檢測傳感器。示例性實施例提供一種系統(tǒng)，其中載置臺可在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動的同時經(jīng)過彼此。根據(jù)至少一些示例性實施例，處理區(qū)域可以是讀取區(qū)域、寫入?yún)^(qū)域和/或測量區(qū)域。示例性實施例提供一種多載置臺系統(tǒng)，其中載置臺可在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。這種示例性實施例只需單個裝載區(qū)域和單個處理區(qū)域。至少一個示例性實施例提供光刻處理工具。該工具包括用于裝載工件的裝載區(qū)域；用于處理工件的處理區(qū)域；和配置在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間的多載置臺系統(tǒng)。多載置臺系統(tǒng)包括構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動的同時經(jīng)過彼此的至少兩個載置臺。 所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成保持工件。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的每一個可構(gòu)造成上升和下降中的至少一種，以使所述至少兩個載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。所述至少兩個載置臺中的每一個可安裝在軸承上。軸承沿一軸提供棱柱運動，并繞一軸線提供旋轉(zhuǎn)運動。工具可以是圖案生成器、測量工具、檢查工具、掃描多光束系統(tǒng)、或包括一個或多個旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂的光學(xué)處理裝置，所述旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂包括構(gòu)造成從調(diào)制器向工件的表面中繼圖像信息的光學(xué)系統(tǒng)。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的每一個可構(gòu)造成從上方或下方經(jīng)過所述至少兩個載置臺中的另一個。根據(jù)至少一些示例性實施例，工具還可構(gòu)造成抬升所述至少兩個載置臺中的第一個，以使所述至少兩個載置臺中的第二個從第一載置臺下方經(jīng)過。根據(jù)至少一些示例性實施例，工具還可包括至少一個第一機械手，該第一機械手構(gòu)造成抬升所述至少兩個載置臺中的第一個，以使所述至少兩個載置臺中的第二個從第一載置臺下方經(jīng)過。
多載置臺系統(tǒng)還包括第一載置臺組件和第二載置臺組件。第一載置臺組件可包括所述至少兩個載置臺中的第一個，并且所述第一載置臺組件構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動。第二載置臺組件包括所述至少兩個載置臺中的第二個，并且所述第二載置臺組件構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動。第一載置臺安裝在第一支撐部上，第二載置臺安裝在第二支撐部上，并且第一載置臺構(gòu)造成經(jīng)由致動器上升或下降，以使第一載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從上方經(jīng)過第二載置臺。第一載置臺組件的支撐部和第二載置臺組件的支撐部可在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時在相同或大致相同的垂直高度處經(jīng)過彼此。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的第一個安裝在第一可垂直致動軸上，而所述至少兩個載置臺中的第二個安裝在第二可垂直致動軸上。第一和第二載置臺構(gòu)造成發(fā)生上升和下降，以使第一和第二載置臺中的一個在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從下方經(jīng)過第一和第二載置臺中的另一個。根據(jù)至少一些示例性實施例，所述至少兩個載置臺中的第一個小于所述至少兩個載置臺中的第二個，并且第一載置臺構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從下方經(jīng)過
第二載置臺。至少一個其它示例性實施例提供一種用于光刻應(yīng)用的工件處理方法。根據(jù)至少該示例性實施例，第一工件裝載到所述至少兩個載置臺中的第一個上，并且第一載置臺向處理區(qū)域移動。第一工件被處理，并且第二工件裝載到所述至少兩個載置臺中的第二個上。在某些實施例中，第一工件受到處理的時間與裝載第二工件的時間至少部分地重疊。這將能實現(xiàn)比現(xiàn)有技術(shù)單個載置臺系統(tǒng)快的生產(chǎn)率。現(xiàn)有技術(shù)多載置臺系統(tǒng)通常遭遇不均勻的工件流和與生產(chǎn)線中的其它系統(tǒng)的貧弱交接。本發(fā)明的示例性實施例的對稱雙載置臺設(shè)計解決或減輕上述問題，方法是提供在多個載置臺之間共享的基本平行的軸和線性電機導(dǎo)軌和/或線性刻度尺，從而能實現(xiàn)以均勻的步調(diào)處理工件，其也有助于與生產(chǎn)線中其它系統(tǒng)的交接。根據(jù)至少一些示例性實施例，當(dāng)移動至處理區(qū)域時，第一載置臺從上方或下方經(jīng)過第二載置臺。根據(jù)至少一些示例性實施例，第二載置臺可移動至處理區(qū)域，而第一載置臺可移動返回裝載區(qū)域。在第一和第二載置臺經(jīng)過彼此時，載置臺中的至少一個的至少一側(cè)上升或下降，以允許載置臺的經(jīng)過。至少一個其它示例性實施例提供一種圖案生成器。該圖案生成器包括構(gòu)造成在工件上生成圖案的圖案生成單元、和構(gòu)造成使工件往返于圖案生成單元的載置臺系統(tǒng)。載置臺系統(tǒng)包括分別安裝在延伸于裝載區(qū)域與圖案生成單元之間的各軸上的至少兩個載置臺。 所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成承載工件，并且構(gòu)造成沿各軸的軸線樞轉(zhuǎn)，以使所述至少兩個載置臺中的第一個從上方或下方經(jīng)過所述至少兩個載置臺中的第二個。圖1是一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的俯視圖。參考圖1，多載置臺系統(tǒng)10包括裝載區(qū)域108和處理區(qū)域106。載置臺110安裝在軸或?qū)к?02上，而載置臺112安裝在軸或?qū)к?04上。軸102和104至少在裝載區(qū)域 108與處理區(qū)域106之間延伸并穿過它們。載置臺110和112構(gòu)造成在軸102和104上在裝載區(qū)域108與處理區(qū)域106之間一齊或同時移動。在一個示例中，軸102和104可以是磁導(dǎo)軌，而載置臺110和112可被線性電機(未示出)驅(qū)動。雖然圖1中未示出，載置臺110 和112可共享同一線性電機，甚至共享同一軸或?qū)к?。因此，在某些實施例中，載置臺110 和112可被公用線性電機(未示出)驅(qū)動，而在又一實施例中，載置臺110和112于是可共享同一線性電機磁導(dǎo)軌。通過根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例在多載置臺系統(tǒng)中的載置臺之間共享同一線性電機，與具有多個磁導(dǎo)軌的系統(tǒng)相比，能夠顯著降低系統(tǒng)的總成本。對多載置臺系統(tǒng)使用單個公用的磁導(dǎo)軌還減少組裝時間。需要非常精確的速率控制的高精度系統(tǒng)可能有必要對沿各磁導(dǎo)軌的作用力波動進行測量和抵消。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例對載置臺引入公用導(dǎo)軌能實現(xiàn)高精度系統(tǒng)中的精確速率控制，或者能夠降低對精確速率控制和校準(zhǔn)的需求。在一示例操作中，載置臺110和112中的一個在裝載區(qū)域108與處理區(qū)域106之間移動時從上方或下方經(jīng)過載置臺中的另一個。在裝載區(qū)域108，工件被裝載和卸載。在處理區(qū)域106，工件被處理。處理區(qū)域106 可以是讀取區(qū)域、寫入?yún)^(qū)域和/或測量區(qū)域。在一個示例中，處理區(qū)域106可包括構(gòu)造成處理裝載于載置臺110和112上的工件的處理單元或工具(例如，讀取單元、寫入單元和/或測量單元)。例如，處理區(qū)域106可包括以下物體中的一個或多個圖案生成工具；用于測量工件的測量和/或檢查工具；聲光多光束圖案生成設(shè)備；和較高吞吐量的光學(xué)處理裝置。根據(jù)至少一些示例性實施例，第一載置臺(例如載置臺110)上的工件受到處理的時間與將工件裝載于第二載置臺(例如載置臺112)上的時間至少部分地重疊。仍然參考圖1，當(dāng)載置臺110和112能夠經(jīng)過彼此時，同一裝載系統(tǒng)、對準(zhǔn)系統(tǒng)和/ 或處理系統(tǒng)可用于配置在載置臺Iio和112兩者上的工件。因此，能夠增加總吞吐量，同時能夠降低整個系統(tǒng)所需求的成本和/或空間。圖2示出了一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分。多載置臺系統(tǒng)的圖2所示部分示出了載置臺110和112經(jīng)過彼此的一個示例方式。參考圖2，載置臺110經(jīng)由樞轉(zhuǎn)軸承202安裝在軸102上，具有至少兩個自由度。 載置臺110還安裝在垂直軸承204上。載置臺112也經(jīng)由樞轉(zhuǎn)軸承202安裝在軸104上， 具有至少兩個自由度。載置臺112還安裝在垂直軸承204上。雖然圖2示出了兩個載置臺 110和112安裝在軸承上，但是載置臺110和112中只有一個能夠安裝在樞轉(zhuǎn)軸承202上。 軸承202和204實現(xiàn)載置臺110和112沿軸102和104做棱柱運動，以及繞作為旋轉(zhuǎn)軸線的軸102和104做旋轉(zhuǎn)運動。具有兩個自由度的樞轉(zhuǎn)軸承202可以是例如徑向空氣軸承、 空氣軸瓦、磁軸承、滾珠軸承，或能夠提供棱柱和旋轉(zhuǎn)自由度的任何其它類型的軸承。使用樞轉(zhuǎn)軸承202提供的旋轉(zhuǎn)自由度，載置臺110能夠被抬升，以使載置臺112在載置臺Iio和112于裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間經(jīng)過彼此時，從下方經(jīng)過載置臺110。雖然圖2中未示出，旋轉(zhuǎn)自由度也可用于使載置臺中的一個(例如載置臺112)下降，同時使另一載置臺(例如載置臺110)從上方經(jīng)過下降了的載置臺。根據(jù)至少一個示例性實施例，載置臺110和112可在除經(jīng)過彼此時之外的所有時間在同一或大致同一垂直高度處承載基片或晶片。根據(jù)示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)可設(shè)置有較少移動部分或不設(shè)置移動部分。另外，載置臺可具有運動學(xué)軸承設(shè)計，該設(shè)計具有橫跨單一平面的至少三個支撐點，這能夠簡化多載置臺系統(tǒng)的組裝和/或調(diào)節(jié)。此外，如上所述，如果根據(jù)示例性實施例的載置臺設(shè)計成由線性電機驅(qū)動，則載置臺可共享同一磁導(dǎo)軌。此外，如果以線性編碼器測量載置臺位置，則載置臺還可共享同一線性刻度尺。用于多個載置臺的一個公用線性刻度尺降低成本、 簡化組裝并最小化對準(zhǔn)所需的工作量。此外，用于多個載置臺的一個刻度尺將最小化載置臺之間的位置偏差。這有助于處理過程得到可重復(fù)的結(jié)果，而與使用的載置臺是哪一個無關(guān)。獲得可重復(fù)的結(jié)果對于批處理特別重要，在批處理中各被處理工件之間的覆蓋是關(guān)鍵因素。與多個刻度尺相比，單個線性刻度尺的另一優(yōu)點是易于保護和清潔，因為線性刻度尺通常對顆粒和污染是敏感的。根據(jù)至少一個示例性實施例，電機和/或刻度尺可定位成比較靠近載置臺的旋轉(zhuǎn)中心，這能夠降低和/或最小化寄生旋轉(zhuǎn)(parasitic rotation)。圖3A-3E是示出載置臺110在從裝載區(qū)域108向處理區(qū)域106移動時從下方經(jīng)過載置臺112的一示例操作的順序圖。如圖3A所示，各載置臺110和112最初位于相同或大致相同的垂直高度。參考圖;3B和3C，隨著載置臺110朝處理區(qū)域106移動并接近載置臺112，載置臺 112被抬升以使載置臺110從下方經(jīng)過載置臺112。在本示例中，載置臺112在軸104上樞轉(zhuǎn)，以使載置臺112繞軸104旋轉(zhuǎn)，使得載置臺112的一側(cè)得到抬升。參考圖3C和3D，當(dāng)載置臺112被抬升后，載置臺110從下方經(jīng)過載置臺112。參考圖3E，當(dāng)載置臺110從下方經(jīng)過載置臺112后，載置臺112下降返回其初始位置并繼續(xù)朝處理區(qū)域106移動。圖3A-3E所示示例性實施例能實現(xiàn)一個工件的裝載、卸載和測量與另一工件的處理并行。根據(jù)至少一些示例性實施例，系統(tǒng)資源只在載置臺于裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間或在處理區(qū)域與裝載區(qū)域之間移動時空閑。根據(jù)至少一個示例性實施例，載置臺的抬升運動可由位于載置臺自由端(例如與載置臺安裝至軸那側(cè)相反的一側(cè))的機械手或磁致動器生成，或由構(gòu)造成繞軸生成轉(zhuǎn)矩的電磁裝置生成。圖4A-4D是示出機械手抬升載置臺的一側(cè)的示例性實施例的順序圖。在本示例性實施例中，載置臺406安裝在軸402上，以便載置臺406在軸402上樞轉(zhuǎn)，而載置臺406的一側(cè)能夠被機械手404抬升。機械手404構(gòu)造成上升和下降，以抬升和降低載置臺406。參考圖4A，機械手404安裝在載置臺406的自由端。在本示例中，機械手404安裝在軸402的相反側(cè)，并定位在一上位，使得機械手404的下部位于載置臺406的上表面的上方。參考圖4B，隨著載置臺406接近機械手404，機械手404下降至一下位，使得機械手404的抬升部分的上表面位于載置臺406的下表面的下方。參考圖4C，一旦處于下位，載置臺406從上方經(jīng)過機械手404的抬升部分。參考圖4D，機械手404于是移動至上位，以抬升載置臺406的一側(cè)，以便另一載置臺(未示出)能夠從下方經(jīng)過載置臺406。如以下將詳細描述的，可使用其它可能的設(shè)計選擇來實現(xiàn)至少兩個載置臺在不同垂直水平處經(jīng)過，同時在其它時間保持載置臺處于相同或大致相同的垂直高度。圖5示出了另一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)的一部分。如圖5所示，載置臺組件500A和500B包括多個部分。在本示例中，一個載置臺組件的至少一部分可上升或下降。參考圖5，載置臺組件500A安裝在軸506A上，以便載置臺組件500A能夠沿軸506A 做棱柱運動。載置臺組件500B安裝在軸506B上，以便載置臺組件500B能夠沿軸506B做棱柱運動。載置臺組件500A包括安裝在支撐部508A上的載置臺502A。載置臺組件500B包括安裝在支撐部508B上的載置臺502B。支撐部508A和508B中的每一個配置在相同或大致相同的垂直高度，并且配置成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間或在處理區(qū)域與裝載區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。在圖5所示示例性實施例中，載置臺502A和502B比支撐部508A和508B大(例如，至少在水平方向上)。載置臺502A和502B可定位在相同垂直高度，直到經(jīng)過彼此時。在本示例中，在載置臺組件500A和500B接近彼此時，載置臺502A被致動器504A升高，以使載置臺502A從上方經(jīng)過載置臺502B。雖然圖5中未示出，載置臺組件500B也可包括致動器，以便載置臺502B能夠像載置臺502A那樣上升或下降。圖6示出了又一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)。參考圖6，載置臺600A在一側(cè)固定至可垂直致動軸602A。載置臺600B也在一側(cè)固定至可垂直致動軸602B。可垂直致動軸602A和602B配置在兩相反側(cè)，以便載置臺600A 和600B的未附接至可垂直致動軸602A和602B的端部彼此面對。在圖6所示示例性實施例中，載置臺600A和600B可上升和下降至離散位置(或連續(xù)地)，以便載置臺600A和600B能夠在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間或在處理區(qū)域與裝載區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。根據(jù)示例性實施例，載置臺600A和600B中的一個可小于另一個。在一個示例中， 較小載置臺可在處理和/或?qū)?zhǔn)期間上升。圖7示出了再一示例性實施例的多載置臺系統(tǒng)。如圖7所示，載置臺組件700B包括載置臺702B，載置臺702B小于載置臺組件700A 的載置臺702A。在本示例中，較大載置臺702A可上升，以便較小載置臺702B在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間或在處理區(qū)域與裝載區(qū)域之間移動時從下方經(jīng)過較大載置臺702A。更詳細地參考圖7，載置臺組件700A安裝在軸706A上，以便載置臺組件700A能夠在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間做棱柱運動。載置臺組件700B安裝在軸706B上，以便載置臺組件700B能夠在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間做棱柱運動。載置臺702A和702B可定位在相同或大致相同垂直高度，直到經(jīng)過彼此?；蛘?，載置臺702A和702B可定位在不同垂直高度。在一個示例中，較小載置臺702B可相對于較大載置臺702A定位在較低垂直高度，以便較小載置臺702B能夠從下方經(jīng)過較大載置臺702A。在載置臺702A和702B定位在相同或大致相同的垂直高度直到經(jīng)過彼此的示例中，當(dāng)載置臺組件700A和700B接近彼此時，載置臺702A借助配置于載置臺組件500A的一側(cè)的致動器(未示出)上升，以便較大載置臺702A從上方經(jīng)過較小載置臺702B。根據(jù)示例性實施例的吞吐量系統(tǒng)可使用線性編碼器來進行位置測量。線性編碼器可具有迫使在速率與分辨率之間進行折衷的帶寬極限。在較高吞吐量系統(tǒng)中，以比較高的速率進行傳送移動和/或在寫入和/或?qū)?zhǔn)期間使用比較高的分辨率是有益的。這可通過以下方法實現(xiàn)在每個載置臺使用兩個或兩個以上的編碼器讀取頭，并如圖8所示那樣將兩個編碼器的輸出進行組合起來。圖8示出了用于組合編碼器輸出的方法的一個示例性實施例。參考圖8，第一編碼器構(gòu)造成用于較高速率(例如約2.5m/s的最大速率)和較低分辨率(例如約50nm)，而第二編碼器構(gòu)造成用于較低速率(例如約0. 25m/s的最小速率)和較高分辨率(例如約5nm)。第一編碼器能夠內(nèi)插約400x，而第二編碼器能夠內(nèi)插約 4000χο絕對位置于是由第一編碼器給定，而多余的高分辨率數(shù)字可從第二編碼器添加， 得到較高分辨率位置，該位置可能在較高速率運動期間在最后一位數(shù)字中具有誤差，但是在較低速率運動期間是精確的。根據(jù)至少該示例性實施例的編碼器系統(tǒng)可用于其它系統(tǒng)、載物臺方案和/或移動目標(biāo)，其使用編碼器以及較高速率-較低分辨率模式與較低速率-較高分辨率模式的組合。圖9示出了根據(jù)一示例性實施例的用于處理工件的方法。為清楚起見，將參考圖 1所示多載置臺系統(tǒng)來描述圖9所示方法。然而，應(yīng)該理解的是，示例性實施例也可適用于其它多載置臺和/或光刻系統(tǒng)。參考圖9，在S902，在裝載區(qū)域108將工件裝載于載置臺110上。在S904，在軸102上向處理區(qū)域106移動載置臺110。在裝載區(qū)域108與處理區(qū)域106之間移動的同時，載置臺110如上參考例如圖2-7所述那樣經(jīng)過載置臺112。在一更具體的示例中，載置臺110和112中的一個被抬升，以便載置臺110和112中的另一個從下方經(jīng)過被抬升的載置臺。仍然參考圖9，在S906A，在處理區(qū)域106處理裝載于載置臺110上的第一工件。一齊地或同時地，在S906B，在裝載區(qū)域108向載置臺112上裝載第二工件。在S908A，在處理完第一工件后，使載置臺110移動返回裝載區(qū)域108。一齊地或同時地，在S908B，向處理區(qū)域106移動載置臺112。如上所述，在裝載區(qū)域108與處理區(qū)域 106之間移動的同時，載置臺110和112如上針對例如圖2-7所述那樣經(jīng)過彼此。在一更具體的示例中，載置臺110和112中的一個被抬升，以便另一載置臺能夠從下方經(jīng)過上升的載置臺。仍然參考圖9，在S910A，在裝載區(qū)域108從載置臺110卸載第一工件。一齊地或同時地，在S910B，在處理區(qū)域106處理第二工件。針對圖9所描述的方法可重復(fù)進行，以提高多載置臺系統(tǒng)的吞吐量，以便裝載于一個載置臺上的工件的處理可與向另一載置臺上裝載工件一齊地或同時地進行。根據(jù)圖9所示的示例性實施例，第一工件受到處理的時間與向載置臺上裝載第二工件的時間至少部分地重疊。以上提供的描述是為了圖示和描述目的。它并非旨在窮舉。特定示例性實施例的各元件或特征通常并不局限于該特定示例，在適用時是可交換的，并且能夠用于即使未具體地圖示或描述的所選實施例。同樣的事物也可以多種方式發(fā)生變型。這種變型不能視為背離示例性實施例，并且所有這種變型旨在包括在本文所述示例性實施例的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光刻處理工具，包括用于裝載工件的裝載區(qū)域；用于處理工件的處理區(qū)域；和配置于裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間的多載置臺系統(tǒng)，所述多載置臺系統(tǒng)包括構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動的同時經(jīng)過彼此的至少兩個載置臺，所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成保持工件。
2.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成被上升和下降中的至少一種，以使所述至少兩個載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時經(jīng)過彼此。
3.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的每一個安裝在軸承上，所述軸承沿一軸提供棱柱運動并繞相同軸線提供旋轉(zhuǎn)運動。
4.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的第一載置臺在所述軸上樞轉(zhuǎn)，以使第一載置臺的一側(cè)上升，從而使得所述至少兩個載置臺中的第二載置臺從下方經(jīng)過第一載置臺。
5.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述工具是圖案生成器。
6.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述工具是測量或檢查工具中的至少一個。
7.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述工具是掃描多光束系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述工具是包括一個或多個旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂的光學(xué)處理裝置，所述一個或多個旋轉(zhuǎn)光學(xué)臂包括構(gòu)造成從一調(diào)制器向工件的表面中繼圖像信息的光學(xué)系統(tǒng)。
9.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成從上方或下方經(jīng)過所述至少兩個載置臺中的另一個。
10.如權(quán)利要求1所述的工具，還包括至少第一機械手，其構(gòu)造成抬升所述至少兩個載置臺中的第一載置臺以便所述至少兩個載置臺中的第二載置臺從下方經(jīng)過第一載置臺。
11.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述多載置臺系統(tǒng)還包括第一載置臺組件，包括所述至少兩個載置臺中的第一和第二載置臺，所述第一載置臺組件構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動；和第二載置臺組件，包括所述至少兩個載置臺中的第三和第四載置臺，所述第二載置臺組件構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動；其中第一載置臺安裝在第二載置臺上，第三載置臺安裝在第四載置臺上，并且第一載置臺構(gòu)造成經(jīng)由致動器上升或下降，以便第一載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從上方經(jīng)過第三載置臺。
12.如權(quán)利要求11所述的工具，其中，第二載置臺和第四載置臺在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時在相同或大致相同的垂直高度經(jīng)過彼此。
13.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的第一載置臺安裝在第一可垂直致動軸上，而所述至少兩個載置臺中的第二載置臺安裝在第二可垂直致動軸上；并且其中第一和第二載置臺構(gòu)造成被上升和下降，以使第一和第二載置臺中的一個在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從下方經(jīng)過第一和第二載置臺中的另一個。
14.如權(quán)利要求1所述的工具，其中，所述至少兩個載置臺中的第一載置臺小于所述至少兩個載置臺中的第二載置臺，并且第一載置臺構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動時從下方經(jīng)過第二載置臺。
15.一種用于處理工件的光刻方法，該方法包括將第一工件裝載到至少兩個載置臺中的第一載置臺上；使第一載置臺向處理單元移動；處理第一工件；和將第二工件裝載到所述至少兩個載置臺中的第二載置臺上；其中第一工件受到處理的時間與裝載第二工件的時間至少部分地重疊。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，當(dāng)向處理單元移動時，第一載置臺從上方或下方經(jīng)過第二載置臺。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，還包括向處理單元移動第二載置臺；和將第一載置臺移動返回裝載區(qū)域；其中在第一和第二載置臺經(jīng)過彼此時，載置臺中的至少一個的至少一側(cè)被上升或下降，以能夠使載置臺經(jīng)過。
18.一種圖案生成器，包括構(gòu)造成在工件上生成圖案的圖案生成單元；和構(gòu)造成使工件移動往返于所述圖案生成單元的載置臺系統(tǒng)，所述載置臺系統(tǒng)包括至少兩個載置臺，所述至少兩個載置臺安裝于在裝載區(qū)域與圖案生成單元之間延伸的軸上，所述至少兩個載置臺構(gòu)造成承載工件，并且構(gòu)造成沿所述軸的軸線樞轉(zhuǎn)，以使所述至少兩個載置臺中的第一載置臺從上方或下方經(jīng)過所述至少兩個載置臺中的第二載置臺。
19.如權(quán)利要求18所述的圖案生成器，其中，所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成被上升和下降中的至少一種，以使所述至少兩個載置臺在裝載區(qū)域與圖案生成單元之間移動時經(jīng)過彼此。
20.如權(quán)利要求18所述的圖案生成器，其中，所述至少兩個載置臺中的每一個安裝在軸承上，所述軸承沿一軸提供棱柱運動并繞相同軸線提供旋轉(zhuǎn)運動。
全文摘要
一種光刻式工件處理工具，包括用于裝載工件的裝載區(qū)域(108)；和用于處理工件的處理區(qū)域(106)。該工件處理工具還包括配置于裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間的多載置臺系統(tǒng)(10)。多載置臺系統(tǒng)包括構(gòu)造成在裝載區(qū)域與處理區(qū)域之間移動的同時經(jīng)過彼此的至少兩個載置臺(110、112)。所述至少兩個載置臺中的每一個構(gòu)造成保持工件。
文檔編號G03F7/20GK102317865SQ201080007155
公開日2012年1月11日 申請日期2010年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月13日
發(fā)明者J.沃爾瑟 申請人:麥克羅尼克邁達塔有限責(zé)任公司