專(zhuān)利名稱(chēng)：在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置和激光射束的射束引導(dǎo)方法
在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置和激光射束的射束引導(dǎo)方法本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求I前序部分的在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置，還涉及具有這種激光裝置的激光系統(tǒng)和根據(jù)權(quán)利要求15前序部分的激光射束的射束引導(dǎo)方法。在產(chǎn)生超短脈沖即脈沖持續(xù)時(shí)間為毫微微秒級(jí)或微微秒級(jí)的脈沖的激光系統(tǒng)中，通常需要在端面反射鏡之間有大的間距，例如當(dāng)需要低脈沖重復(fù)率時(shí)，即一般小于-30MHz。這樣的激光系統(tǒng)的諧振器除了大的長(zhǎng)度(Mm)外應(yīng)該具有緊湊的結(jié)構(gòu)、對(duì)光學(xué)元件的例如因溫度變化、機(jī)械振動(dòng)等引起的偶然移動(dòng)的高度不敏感性以及簡(jiǎn)單的可實(shí)現(xiàn)性。這種激光系統(tǒng)的一個(gè)例子是根據(jù)脈沖出射或腔倒空原理的模式耦合激光裝置，例如以Nd:YV04為激光器介質(zhì)并且在500kHz重復(fù)率下具有7. 8W平均功率和15. 6 y J脈沖能量和在IMHz重復(fù)率下具有IOW平均功率和IOii J脈沖能量。這樣的激光系統(tǒng)例如被用于材料加工。 在現(xiàn)有技術(shù)中描述了不同的方法，其中如此布置兩個(gè)或更多的反射鏡，光線或者說(shuō)激光射束在這些反射鏡之間被多次反射并由此能在小的基本面上增加總路徑長(zhǎng)度。通常，該布置結(jié)構(gòu)按照首次報(bào)告的作者來(lái)命名，例如White單元(JU.White, J. Opt. Soc. Am. 32, 285 (1942)) > Hanst 單兀(P. L. Hanst, Adv. Environ. Sei.Technol. 2, 91 (1971))或者可能用得最多的單兀即Herriott單兀(D. R. Herriott和H. J. Schulte, Appl. Opt. 4, 883 (1965)以及 US 3437954)。以下將舉例詳細(xì)描述 Herriott單元。涉及多次反射經(jīng)過(guò)或者說(shuō)按照多次反射布置形式的這種Herriott單元在最簡(jiǎn)單的布置中由作為限定該單元的端面反射鏡的兩個(gè)反射鏡構(gòu)成，至少其中一個(gè)反射鏡具有凹面，這兩個(gè)反射鏡彼此間隔一段距離布置。該反射鏡裝置本身構(gòu)成一個(gè)光學(xué)諧振器，光在該諧振器中被多次反射并且在反射過(guò)一定次數(shù)后自動(dòng)重復(fù)。此時(shí)在端面反射鏡上形成一個(gè)環(huán)繞的位于橢圓或圓上的反射點(diǎn)圖案。一般，射束在經(jīng)過(guò)一次該單元后即在即將面臨的相同光路重復(fù)之前又從反射鏡裝置中被出射。為了在利用光學(xué)諧振器情況下實(shí)現(xiàn)出射，在該單元內(nèi)的閉合光路通過(guò)單獨(dú)的反射鏡或通過(guò)在其中一個(gè)端面反射鏡上的多個(gè)孔被中斷(參見(jiàn)例如 Kowalevicz 等人的“Design principles of q-preserving multipass-eavityfemtosecond lasers，，J. Opt. Soc. Am. B,第 23 卷，第 4 期，2006 年 4 月)。Kowalevicz 等人的公開(kāi)文獻(xiàn)(“Generation of 150nj pulses from aultiple-pass cavity Kerr-Iens modelocked Ti:AL201 oscilator，，0ptic Letters Opt.Soc. Am.，第23卷，第17期，2003年9 月)以及 SENNAR0GLU A, FUJ M0T0 J G 等人(“CompactFemtosecond Lasers Based on Novel Multipass Cavities，，IEEE Journal of QuantumElectronics,第40卷,第5期,2004年5月)示出了用于已知的多次反射型Herriott單元的例子，在這里，在端面反射鏡上的反射點(diǎn)“旋轉(zhuǎn)(Umlauf) ” (順時(shí)針或逆時(shí)針進(jìn)行)之后，一個(gè)回反射元件可以使射束返回。另一個(gè)折光反射鏡裝置例如由EP1588461公開(kāi)，在此如此布置兩個(gè)反射平面，激光射束在每個(gè)反射面上被多次反射并且光路具有入射折射裝置的射束和從折射裝置射出的射束，在這里，反射面彼此以大于O度的張角定向。因此，這樣的直線布置造成光路的曲折走向，在這里，該反射點(diǎn)在兩個(gè)反射表面上位于一條線上并且具有變化的距離。因而在此布置中，只能在一個(gè)平面內(nèi)即以?xún)删S方式利用供射束折射裝置用的空間。因而在迄今的反射鏡裝置，反射次數(shù)受限于通行狀況或者射束折射只在一個(gè)平面內(nèi)進(jìn)行。本發(fā)明的一個(gè)任務(wù)在于提供一種更好的激光系統(tǒng)，尤其是二極管抽運(yùn)的模式耦合型激光系統(tǒng)。另一任務(wù)在于提供這樣的激光系統(tǒng)，它具有更高的結(jié)構(gòu)緊湊性和/或更加的穩(wěn)健性。這些任務(wù)通過(guò)權(quán)利要求I或15或者從屬權(quán)利要求的主題來(lái)完成或加以方案改進(jìn)。本發(fā)明涉及用于在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置以及用于激光射束的相應(yīng)的射束引導(dǎo)方法。此時(shí)，該反射鏡裝置依靠至少兩個(gè)反射鏡，它們作為端面反射鏡限定出用于射束折射引導(dǎo)的諧振器并且光路在兩者之間多次來(lái)回往復(fù)，其中分別在端面反射鏡上出現(xiàn)反射。此時(shí)，諧振器內(nèi)的光路可通過(guò)使用一個(gè)或多個(gè)其它反射鏡被附加折射，從而可進(jìn)一步提高該裝置或利用該裝置的總體結(jié)構(gòu)的緊湊性。在此反射鏡裝置中，激光射束被引導(dǎo)或入射，從而激光射束經(jīng)過(guò)作為在諧振器內(nèi)的總光路一部分的第一光路。在第一次經(jīng)過(guò)的過(guò)程中，該光路在端面反射鏡之間延伸，在這里，出現(xiàn)在那里的反射點(diǎn)位于一條圓線上并且以一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)方向例如順時(shí)針?lè)较蚪?jīng)過(guò)。在一次經(jīng)過(guò)后，即在到達(dá)將會(huì)在此實(shí)現(xiàn)在此經(jīng)過(guò)已走過(guò)的路徑或光路的點(diǎn)之后，在角度變化的情況下完成射束的回反射，從而經(jīng)過(guò)相同或相似的第二光路，但第二光路的在端面反射鏡上的反射點(diǎn)相對(duì)于第一光路是錯(cuò)開(kāi)或者旋轉(zhuǎn)的。例如如果在第一光路內(nèi)在端面反射鏡上各有五次反射，則第二光路通過(guò)回反射在角度改變情況下最好如此構(gòu)成，即同樣各有五個(gè)反射點(diǎn)出現(xiàn)在該端面反射鏡上，在這里，這些反射點(diǎn)可以位于第一光路的反射點(diǎn)圖案的間隙中。當(dāng)射束在諧振器內(nèi)回送或經(jīng)過(guò)諧振器時(shí)，此時(shí)使轉(zhuǎn)動(dòng)方向調(diào)轉(zhuǎn)，從而轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反的兩個(gè)光路彼此交叉。這是基于從在端面反射鏡上的射束圖案的觀察中得到的重要認(rèn)識(shí)。得到一種圖案，其中射束順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，還得到一種逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的圖案，在這里，兩個(gè)圖案具有此外都相同的特性。就是說(shuō)，原則上可以?xún)纱谓?jīng)過(guò)具有兩個(gè)端面反射鏡或Herriott單元的反射鏡裝置。這兩次經(jīng)過(guò)除了轉(zhuǎn)動(dòng)方向外，具有相同的特性。由不同的角度得到射束可分離性。不過(guò)，除了用于兩個(gè)光路的關(guān)于反射是相同但錯(cuò)位的射束引導(dǎo)外，原則上也可以通過(guò)適當(dāng)選擇回反射角度和/或其它影響射束的元件來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)兩個(gè)光路之一采用較多數(shù)量的反射點(diǎn)。因此，在第一光路內(nèi)可以在兩個(gè)端面反射鏡上出現(xiàn)四個(gè)反射點(diǎn)，而返回光路形成有數(shù)量倍增的反射點(diǎn)，即此時(shí)是十個(gè)反射點(diǎn)。因?yàn)楣饴分g的反射點(diǎn)的整數(shù)關(guān)系，所以這兩個(gè)光路即使在反射點(diǎn)數(shù)量不同時(shí)也還是相互交叉。在現(xiàn)有技術(shù)所公開(kāi)的裝置中，根據(jù)實(shí)施方式的不同，在端面反射鏡上的這些點(diǎn)或是沿順時(shí)針?lè)较蚧蚰鏁r(shí)針?lè)较蜻\(yùn)行，隨后射束返回。而本發(fā)明通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)方向在反向點(diǎn)反向而允許同時(shí)采用兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)方向，連同反射點(diǎn)數(shù)量的增加和因而在相同結(jié)構(gòu)尺寸時(shí)的諧振器 長(zhǎng)度增大。
通過(guò)其它的反射鏡元件，可以形成激光射束的入射和出射。以下將示意示出并且單純舉例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的反射鏡裝置或相應(yīng)方法和采用反射鏡裝置的激光系統(tǒng)的實(shí)施例。具體示出了

圖1-8示出本發(fā)明反射鏡裝置或者用于激光射束的本發(fā)明射束引導(dǎo)方法的第一實(shí)施例，圖9-10示出包括折射鏡的本發(fā)明反射鏡裝置的第二實(shí)施例，圖11示出包括本發(fā)明反射鏡裝置的第二實(shí)施例的激光系統(tǒng)。圖1-8示出本發(fā)明反射鏡裝置或者用于激光射束的本發(fā)明射束引導(dǎo)方法的第一實(shí)施例，在這里在不同的圖中說(shuō)明射束引導(dǎo)。 圖I示出激光射束作為輸入激光射束ES被入射到諧振器的情況，在這里，諧振器以Herriott單元形式構(gòu)成，其至少包括第一端面反射鏡I和帶有凹面的第二端面反射鏡2。單純舉例選擇了在此實(shí)施例中示出的兩個(gè)端面反射鏡1、2的布置。尤其是，兩個(gè)反射鏡的位置原則上也可交換。連接兩個(gè)端面反射鏡的光學(xué)諧振器軸線OA在兩個(gè)端面反射鏡之間延伸，其中，該軸線在此例子中呈直線。但是在折射布置結(jié)構(gòu)中，光學(xué)諧振器軸線OA也可以具有相應(yīng)的彎折(即拐彎)走向。在諧振器前面設(shè)有用于輸入激光射束ES和輸出激光射束AS的聚焦反射鏡3。如圖2所示，聚焦反射鏡3將激光射束轉(zhuǎn)向反射鏡4，因而轉(zhuǎn)向真正的諧振器，其中，聚焦反射鏡3的軸線位于包含諧振器軸線OA的平面內(nèi)。隨后，如圖3所示，激光射束被入射反射鏡4被引導(dǎo)至第一端面反射鏡1，隨后如圖4所示來(lái)到第二端面反射鏡2。如圖5所示，在第一和第二端面反射鏡1、2上相應(yīng)地發(fā)生了多次反射，在這個(gè)例子中，在端面反射鏡I和2上出現(xiàn)了四個(gè)反射點(diǎn)，它們構(gòu)成以下圖案，在此圖案中，這些反射點(diǎn)位于正方形的角點(diǎn)上。由此，在第一和第二端面反射鏡1、2上的反射順序限定了相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的諧振器軸線OA的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。此時(shí)，全部的反射和位于其間的光程構(gòu)成了具有規(guī)定轉(zhuǎn)動(dòng)方向的第一光路，其中，第一光路是在順時(shí)針?lè)较蚧蚰鏁r(shí)針?lè)较蛏弦苿?dòng)的。激光射束因此按照規(guī)定轉(zhuǎn)動(dòng)方向在諧振器內(nèi)在第一和第二端面反射鏡之間來(lái)回或者說(shuō)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。與現(xiàn)有技術(shù)的常規(guī)Herriott單元或反射鏡裝置不同，如此構(gòu)成諧振器，即，轉(zhuǎn)動(dòng)方向在反向點(diǎn)反向或者說(shuō)掉轉(zhuǎn)，并且激光射束在諧振器內(nèi)至少部分地以與第一光路相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向經(jīng)過(guò)，由此限定出第二光路。圖6示出了這種情況，在此實(shí)施例中采用反轉(zhuǎn)反射鏡5來(lái)產(chǎn)生反向點(diǎn)，從而在經(jīng)過(guò)第一光路后，它造成了觸發(fā)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者說(shuō)轉(zhuǎn)向改變的回反射。在常見(jiàn)的Herriott單元中，激光射束在此位置從裝置中被出射，如在圖6中用虛線箭頭所示。現(xiàn)在，如圖7所示，激光射束在轉(zhuǎn)動(dòng)方向改變或者說(shuō)反轉(zhuǎn)的第二光路中再次經(jīng)過(guò)諧振器，其中第一和第二光路在空間上是彼此分開(kāi)的。這樣，第一和第二光路構(gòu)成一條閉合的自身重復(fù)的共同光路，假如它回反射至第一光路的起點(diǎn)，那么它也將重新來(lái)過(guò)。此時(shí)，在端面反射鏡1、2上，第一光路和第二光路具有同樣多的反射點(diǎn)，尤其是三個(gè)、四個(gè)或五個(gè)反射點(diǎn)，這些反射點(diǎn)在所述兩個(gè)端面反射鏡1、2的每一個(gè)上均位于同一圓線上。此時(shí)，通過(guò)在反轉(zhuǎn)反射鏡5上的反射，第一光路和第二光路在第一和第二端面反射鏡1、2上的反射點(diǎn)位置相對(duì)錯(cuò)開(kāi)，或者說(shuō)圍繞諧振器軸線OA旋轉(zhuǎn)。在此例子中，激光射束分別按照反射點(diǎn)1-8的順序，經(jīng)過(guò)在圖5和圖6中針對(duì)兩個(gè)端面反射鏡1、2和光路示出的反射點(diǎn)圖案。此時(shí)，由于兩個(gè)光路的不同方向造成了彼此相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。在經(jīng)過(guò)第二光路后，激光射束最終作為輸出激光射束AS又從諧振器中射出，如圖7所示。此時(shí)如此設(shè)置聚焦反射鏡3，它針對(duì)在經(jīng)過(guò)第二光路后的輸出激光射束AS造成平行于諧振器軸線OA的射束“錯(cuò)位”。此外，諧振器或反射鏡裝置可以具有如圖8所示的將輸入激光射束ES和輸出激光射束AS分開(kāi)的分隔反射鏡6。圖9-圖10示出本發(fā)明反射鏡裝置的第二實(shí)施例，它具有共同折射第一光路和第二光路的折射鏡8。在這種針對(duì)圖11所示的激光系統(tǒng)而實(shí)現(xiàn)的布置結(jié)構(gòu)中，采用了由三個(gè)反射鏡7、8、9組成的Herriott單元，用于獲得更緊湊的結(jié)構(gòu)。輸入激光射束ES又通過(guò)呈曲面反射鏡形式的聚焦反射鏡3被聚焦于入射反射鏡4上，隨后在順時(shí)針?lè)较蛏辖?jīng)過(guò)一次該反射鏡裝置的諧振器。在折射鏡8上的最后反射后，射束照中反轉(zhuǎn)反射鏡5，現(xiàn)在射束沿逆時(shí)針?lè)较虮辉俅嗡瓦^(guò)該諧振器。在第二光路和進(jìn)而在第二轉(zhuǎn)動(dòng)的末端，激光射束再次照中入射反射鏡4，但是以相反的角度。這在被聚焦反射鏡3傳播和反射后導(dǎo)致輸入激光射束 ES和輸出激光射束AS的空間分離。位于下游的小型分隔反射鏡6被用于使得輸出激光射束AS可被簡(jiǎn)單地接近。圖11表示將本發(fā)明反射鏡裝置的第二實(shí)施例集成到一個(gè)示例性激光系統(tǒng)中，用于產(chǎn)生或放大毫微微秒脈沖或者微微秒脈沖。該激光系統(tǒng)構(gòu)成為按照脈沖出射或腔倒空原理的模式耦合激光裝置，利用Nd = YVO4晶體作為激光器介質(zhì)XTALl和XTAL2。此時(shí)，采用了用于產(chǎn)生模式耦合的可飽和吸收反射鏡SESAM、具有四分之一波長(zhǎng)片\ /4和薄膜極化器TFP的Pockels盒PC作為脈沖出射件以及用于抽運(yùn)激光器介質(zhì)XTAL1、XTAL2的激光二極管源LDl和LD2。作為其它部件，采用了光電二極管PD、脈沖延遲發(fā)生器PDG和用于BBO-Pockels盒PC的高電壓供電裝置HVD以及反射鏡元件Ml至M13，其中，圖9和10所示的Herriott單兀HZ由反射鏡兀件M8至M13構(gòu)成并且反射鏡兀件M3是激光系統(tǒng)的出射反射鏡。而對(duì)于Herriott單元,采用反射鏡元件M9和MlO作為入射反射鏡和出射反射鏡,在這里，反射鏡元件M8作為聚焦反射鏡。作為Herriott單元的第二端面反射鏡的反射鏡元件Mll具有1600mm的曲率半徑，而作為第一端面反射鏡和折射鏡的反射鏡元件M12和M13為平面結(jié)構(gòu)。反射鏡元件Ml和M4是二色反射鏡，它們連同光纖耦合的激光二極管源LDl和LD2 —起用作抽運(yùn)裝置。利用這種布置結(jié)構(gòu)，獲得了在7. 8W (在500kHz的重復(fù)率時(shí))和IOW (在IMHz的重復(fù)率時(shí))之間的功率。但是，所示的激光系統(tǒng)只是應(yīng)用本發(fā)明反射鏡裝置的一個(gè)例子，因此其應(yīng)用不局限于此。原則上，本發(fā)明反射鏡裝置或用于激光射束的本發(fā)明射束引導(dǎo)方法可以用在許多激光系統(tǒng)中，如果在該激光系統(tǒng)中需要在有限空間里實(shí)現(xiàn)緊湊和/或強(qiáng)健的諧振器或者集成大光程的話。
權(quán)利要求
1.一種用于在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的反射鏡裝置，所述激光系統(tǒng)尤其是用于產(chǎn)生毫微微秒脈沖或微微秒脈沖的激光系統(tǒng)，所述反射鏡裝置至少包括 第一端面反射鏡(1、7)， 具有凹面的第二端面反射鏡(2、9)， 其中， -該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)構(gòu)成諧振器，所述諧振器具有連接這些端面反射鏡(1、2、7、9)的光學(xué)諧振器軸線(OA), -激光射束作為輸入激光射束(ES)被引入該諧振器并且分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上多次反射后作為輸出激光射束(AS)又從該諧振器被引出，并且 -在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射順序確定了相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的諧振器軸線(OA)所限定的、在該諧振器內(nèi)在該第一和第二端面反射鏡之間的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，由此限定出第一光路， 其特征在干， 如此構(gòu)成該諧振器，即，該轉(zhuǎn)動(dòng)方向在反向點(diǎn)處掉轉(zhuǎn)，并且該激光射束至少部分以與該第一光路相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向經(jīng)過(guò)該諧振器，由此限定出第二光路。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器以Herriott単元的形式構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的反射鏡裝置，其特征在于，該第一和第二光路在空間上是分開(kāi)的。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該第一和第二光路構(gòu)成閉合的、自身重復(fù)的共同光路。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于入射反射鏡(4)，該入射反射鏡(4)設(shè)置在該第一和/或第二端面反射鏡(1、2、7、9)的上游。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，設(shè)有用于產(chǎn)生所述反向點(diǎn)的反轉(zhuǎn)反射鏡(5)，其中在經(jīng)過(guò)該第一光路后，在該反轉(zhuǎn)反射鏡上實(shí)現(xiàn)改變轉(zhuǎn)動(dòng)方向的反射。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在干，該第一和第二光路分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上具有數(shù)量相同的反射點(diǎn)，尤其是3、4或5個(gè)反射點(diǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6和7所述的反射鏡裝置，其特征在于，通過(guò)在反轉(zhuǎn)反射鏡(5)上的反射，該第一和第二光路的在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射點(diǎn)的位置是相互錯(cuò)開(kāi)的，尤其是圍繞諧振器軸線(OA)旋轉(zhuǎn)的。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于聚焦反射鏡(3)，所述聚焦反射鏡(3)用于輸入激光射束(ES)和/或輸出激光射束(AS)，尤其是在這里，該聚焦反射鏡(3)的光軸位于包含光學(xué)諧振器軸線(OA)的平面內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的反射鏡裝置，其特征在于，如此設(shè)置該聚焦反射鏡(3)，即，針對(duì)該輸出激光射束(AS)，在經(jīng)過(guò)第二光路后，該聚焦反射鏡造成與該諧振器軸線(OA)平行的射束錯(cuò)移。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器具有至少ー個(gè)折射鏡(8)，該折射鏡(8)共同地折射該第一和第二光路。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置，其特征在于，該諧振器具有至少ー個(gè)分隔反射鏡(6),所述分隔反射鏡(6)用于分開(kāi)輸入激光射束(ES)和輸出激光射束(AS)。
13.—種用于產(chǎn)生或放大毫微微秒脈沖或者微微秒脈沖的激光系統(tǒng),其具有根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的反射鏡裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光系統(tǒng)，其特征在干 -用于產(chǎn)生模式耦合的可飽和的吸收反射鏡， -脈沖出射部件，尤其是電光調(diào)制器， -激光器介質(zhì)，尤其是由Nd: YVCM制成， -用于抽運(yùn)激光器介質(zhì)的激光二極管源。
15.一種在激光系統(tǒng)內(nèi)用于激光射束的射束引導(dǎo)方法，所述激光系統(tǒng)尤其是用于產(chǎn)生毫微微秒脈沖或微微秒脈沖的激光系統(tǒng)，所述激光系統(tǒng)至少包括 第一端面反射鏡(1、7)， 具有凹面的第二端面反射鏡(2、9)， 其中， -該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)形成了具有連接所述端面反射鏡(1、2、7、9)的光學(xué)諧振器軸線(OA)的諧振器， 所述射束引導(dǎo)方法包括 -引導(dǎo)作為輸入激光射束(ES)的激光射束進(jìn)入該諧振器， -分別在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上經(jīng)多次反射后，使該激光射束作為輸出激光射束(AS)出射， 其中，在該第一和第二端面反射鏡(1、2、7、9)上的反射順序確定了相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的該諧振器軸線(OA)所限定的、在該諧振器內(nèi)在該第一和第二端面反射鏡之間的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，由此限定出第一光路，從而射束按照相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的諧振器軸線(OA)所限定的轉(zhuǎn)動(dòng)方向在該諧振器內(nèi)在第一和第二端面反射鏡之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 其特征在干， 該轉(zhuǎn)動(dòng)方向在反向點(diǎn)掉轉(zhuǎn)并且該激光射束至少部分以與該第一光路相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向經(jīng)過(guò)該諧振器，由此限定出第二光路。
全文摘要
在用于在激光系統(tǒng)中引導(dǎo)激光射束的、且包括至少一個(gè)第一端面反射鏡(1)和第二端面反射鏡(2)的反射鏡裝置中，這兩個(gè)端面反射鏡(1、2)限定出具有光學(xué)諧振器軸線(OA)的諧振器，激光射束作為輸入激光射束(ES)被引入諧振器并且分別在第一和第二端面反射鏡(1、2)上多次反射后作為輸出激光射束(AS)又從諧振器被引出。此時(shí)，在第一和第二端面反射鏡(1、2)上的反射順序確定了相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的諧振器軸線(OA)所限定的、在諧振器內(nèi)在第一和第二端面反射鏡之間的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，由此限定出第一光路，并且激光射束以相對(duì)于作為轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的諧振器軸線(OA)所限定的轉(zhuǎn)動(dòng)方向在諧振器內(nèi)在第一和第二端面反射鏡之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。如此構(gòu)成諧振器，即，轉(zhuǎn)動(dòng)方向在反向點(diǎn)掉轉(zhuǎn)，并且該激光射束至少部分以與第一光路相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向經(jīng)過(guò)該諧振器，由此限定出第二光路。
文檔編號(hào)G02B17/00GK102668276SQ201080053618
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月26日
發(fā)明者J·邁耶, U·威戈內(nèi)爾, 馬克西米利安·約瑟夫·萊德勒 申請(qǐng)人:高質(zhì)激光有限公司