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      一種多焦點(diǎn)成像裝置及方法

      文檔序號(hào):2683726閱讀:323來源:國(guó)知局
      專利名稱:一種多焦點(diǎn)成像裝置及方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明屬于應(yīng)用光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種成像裝置,尤其涉及一種多焦點(diǎn)成像裝置;同時(shí),本發(fā)明還涉及一種多焦點(diǎn)成像方法,主要用于激光微加工、光學(xué)微操縱、光信息存儲(chǔ)、光與物質(zhì)相互作用等領(lǐng)域。
      背景技術(shù)
      現(xiàn)有的多焦點(diǎn)產(chǎn)生方法,大多通過采用微透鏡陣列、光束分離器或衍射光學(xué)元件等元件或方法生成多焦點(diǎn)光束。其中,采用微透鏡陣列方法產(chǎn)生多焦點(diǎn)光束時(shí),因入射光一般采用高斯光束,又因高斯光束的不均勻性,導(dǎo)致該方法存在光能利用率不高的缺點(diǎn);而光束分離器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積較大,調(diào)節(jié)精度要求高,在使用上較困難;衍射光學(xué)元件使用時(shí)必須與設(shè)計(jì)波長(zhǎng)匹配,且不能用于不同波長(zhǎng),造價(jià)太高。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種多焦點(diǎn)成像裝置,具有對(duì)光束波前調(diào)控便捷、光能量利用率高、成本低廉等特點(diǎn)。此外,本發(fā)明還提供一種多焦點(diǎn)成像方法,具有對(duì)光束波前調(diào)控便捷、光能量利用率高、成本低廉等特點(diǎn)。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案—種多焦點(diǎn)成像裝置,包括光源、光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述光源出射光束方向上依次置有光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述濾波片的濾波函數(shù)為COSn(ItKp)或者Sinn(ItKp),其中,η為正奇數(shù),m為非零整數(shù),
      φ為光束橫截面上的方位角。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述濾波片的濾波函數(shù)中的參數(shù)η和m可調(diào)。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述光束直徑調(diào)節(jié)器是光束擴(kuò)束倍率可調(diào)的光束擴(kuò)束光學(xué)部件。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述光束直徑調(diào)節(jié)器為擴(kuò)束鏡。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述焦點(diǎn)調(diào)制相位板為可編程相位型空間光調(diào)制器或可編程液晶光學(xué)相位控制器件或光機(jī)電集成相位控制器件。一種上述的多焦點(diǎn)成像裝置的成像方法,包括如下步驟光源出射光束經(jīng)過光束直徑調(diào)節(jié)器,光束直徑調(diào)節(jié)器對(duì)光束進(jìn)行擴(kuò)束,擴(kuò)束后的激光束由起偏器對(duì)其進(jìn)行偏振調(diào)制;調(diào)制得到的激光束經(jīng)過濾波片濾波后,由光學(xué)聚焦部件聚焦,并由光電探測(cè)部件探測(cè)顯示聚焦結(jié)果;
      濾波片對(duì)入射的激光束進(jìn)行調(diào)制,在焦點(diǎn)區(qū)域形成了多個(gè)焦點(diǎn);其中,濾波片的濾波函數(shù)為COSn(ItKp)或者Sinn(ItKp),φ為光束橫截面上的方位角,當(dāng)η為正奇數(shù),m為非零整數(shù)時(shí);最終得到的焦點(diǎn)個(gè)數(shù)為2 |m|。本發(fā)明的有益效果在于本發(fā)明提出的多焦點(diǎn)成像裝置及方法,對(duì)光束波前調(diào)控便捷,光能量利用率高,成本低廉,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定,對(duì)機(jī)械定位要求低。


      圖1為本發(fā)明多焦點(diǎn)成像裝置的組成示意圖。圖2為本發(fā)明多焦點(diǎn)成像裝置的焦點(diǎn)示意圖。
      具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。實(shí)施例一請(qǐng)參閱圖1,圖1為本發(fā)明實(shí)施例成像裝置示意圖。一種多焦點(diǎn)成像裝置,由光源 1、光束直徑調(diào)節(jié)器2、起偏器3、濾波片4、光學(xué)聚焦部件5和光電探測(cè)部件6構(gòu)成;光源1出射光束方向上依次置有光束直徑調(diào)節(jié)器2、起偏器3、濾波片4、光學(xué)聚焦部件5和光電探測(cè)部件6,濾波片4的濾波函數(shù)為c0S(2(p),(p為光束橫截面上的方位角。光源1采用He-Ni激光器,波長(zhǎng)為632. 8nm,光束直徑調(diào)節(jié)器2采用伽利略型擴(kuò)束鏡(當(dāng)然,也可以采用開普敦型擴(kuò)束鏡),光學(xué)聚焦部件5為尼康平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡。本發(fā)明的一種相位板多焦點(diǎn)產(chǎn)生裝置如上所述結(jié)構(gòu),工作過程為光源1出射光束經(jīng)過光束直徑調(diào)節(jié)器2,光束直徑調(diào)節(jié)器2對(duì)光束進(jìn)行擴(kuò)束,擴(kuò)束后的激光束由起偏器3對(duì)其進(jìn)行偏振調(diào)制,調(diào)制得到的激光束經(jīng)過濾波片4濾波后,由光學(xué)聚焦部件5聚焦,并由光電探測(cè)部件6探測(cè)顯示聚焦結(jié)果;濾波片4對(duì)入射的激光束進(jìn)行調(diào)制,在焦點(diǎn)區(qū)域形成了多個(gè)焦點(diǎn)。其中,濾波片4的濾波函數(shù)為c0S(2(p),(p為光束橫截面上的方位角,因n= l,m = 2, 最終得到的焦點(diǎn)個(gè)數(shù)為4個(gè),如圖2所示。綜上所述,本發(fā)明提出的多焦點(diǎn)成像裝置及方法,對(duì)光束波前調(diào)控便捷,光能量利用率高,成本低廉,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定,對(duì)機(jī)械定位要求低。這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說明性的,并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例中。這里所披露的實(shí)施例的變形和改變是可能的,對(duì)于那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說實(shí)施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是,在不脫離本發(fā)明的精神或本質(zhì)特征的情況下,本發(fā)明可以以其它形式、結(jié)構(gòu)、布置、比例,以及用其它組件、 材料和部件來實(shí)現(xiàn)。在不脫離本發(fā)明范圍和精神的情況下,可以對(duì)這里所披露的實(shí)施例進(jìn)行其它變形和改變。
      權(quán)利要求
      1.一種多焦點(diǎn)成像裝置,其特征在于,包括光源、光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、 光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述光源出射光束方向上依次置有光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述濾波片的濾波函數(shù)為COSn(ItKP)或者Sinn(ItKp),其中,η為正奇數(shù),m為非零整數(shù),φ為光束橫截面上的方位角。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)成像裝置,其特征在于 所述濾波片的濾波函數(shù)中的參數(shù)η和m可調(diào)。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)成像裝置,其特征在于所述光束直徑調(diào)節(jié)器是光束擴(kuò)束倍率可調(diào)的光束擴(kuò)束光學(xué)部件。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)成像裝置,其特征在于 所述光束直徑調(diào)節(jié)器為擴(kuò)束鏡。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)成像裝置,其特征在于所述焦點(diǎn)調(diào)制相位板為可編程相位型空間光調(diào)制器或可編程液晶光學(xué)相位控制器件或光機(jī)電集成相位控制器件。
      6.一種權(quán)利要求1所述的多焦點(diǎn)成像裝置的成像方法,其特征在于,包括如下步驟 光源出射光束經(jīng)過光束直徑調(diào)節(jié)器,光束直徑調(diào)節(jié)器對(duì)光束進(jìn)行擴(kuò)束,擴(kuò)束后的激光束由起偏器對(duì)其進(jìn)行偏振調(diào)制;調(diào)制得到的激光束經(jīng)過濾波片濾波后,由光學(xué)聚焦部件聚焦,并由光電探測(cè)部件探測(cè)顯示聚焦結(jié)果;濾波片對(duì)入射的激光束進(jìn)行調(diào)制,在焦點(diǎn)區(qū)域形成了多個(gè)焦點(diǎn);其中,濾波片的濾波函數(shù)為COSn(ItKp)或者Sinn(ItKp),φ為光束橫截面上的方位角,當(dāng)η為正奇數(shù),m為非零整數(shù)時(shí); 最終得到的焦點(diǎn)個(gè)數(shù)為2 |m|。
      全文摘要
      本發(fā)明揭示了一種多焦點(diǎn)成像裝置及方法,所述裝置包括光源、光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述光源出射光束方向上依次置有光束直徑調(diào)節(jié)器、起偏器、濾波片、光學(xué)聚焦部件和光電探測(cè)部件;所述濾波片的濾波函數(shù)為或者其中,n為正奇數(shù),m為非零整數(shù),為光束橫截面上的方位角。本發(fā)明提出的多焦點(diǎn)成像裝置及方法,對(duì)光束波前調(diào)控便捷,光能量利用率高,成本低廉,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定,對(duì)機(jī)械定位要求低。
      文檔編號(hào)G02B27/28GK102566077SQ20121003036
      公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2012年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
      發(fā)明者姜曼, 莊松林, 瑚琦, 田毅強(qiáng), 翁曉羽, 蔣庭佳, 郭漢明, 隋國(guó)榮 申請(qǐng)人:上海理工大學(xué)
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