專利名稱：大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為表膜構(gòu)件(pellicle)的構(gòu)成構(gòu)件的框體，該表膜構(gòu)件用于防止在制造構(gòu)成LSI、液晶顯示器(IXD)的薄膜晶體管(TFT)、濾色片(CF)等時的光刻工序中使用的光掩模、中間掩模(reticle)中附著異物。特別是涉及作為液晶用大型表膜構(gòu)件的構(gòu)成構(gòu)件、即作為長邊長度為Im以上的大型表膜構(gòu)件的構(gòu)成構(gòu)件的框體。
背景技術(shù)：
、
本發(fā)明是涉及作為表膜構(gòu)件的構(gòu)成構(gòu)件的框體的技術(shù)，首先說明表膜構(gòu)件。以往，在半導(dǎo)體裝置的制造中，在晶圓上形成電路圖案的光刻工序中，通常使用被稱作表膜構(gòu)件的防塵部件來防止異物附著于光掩模、中間掩模。表膜構(gòu)件是在形狀與光掩模或者中間掩模的形狀相符的、厚度為幾毫米左右的框體的上緣面鋪展并粘接厚度為IOiim以下的硝酸纖維素、纖維素衍生物(cellulose derivative)或者氟類聚合物等透明的高分子膜(以下稱作“表膜”)而成的。通常，表膜構(gòu)件大多以在該框體的下緣面涂敷粘合材料、并在該粘合材料層上層疊保護膜而成的產(chǎn)品狀態(tài)出貨。上述粘合材料層用于將表膜構(gòu)件粘著于光掩模或者中間掩模，而且，上述保護膜為了在該粘合材料層被用于上述用途前維持粘合材料的粘接力而保護該粘合材料層的粘接面。該表膜構(gòu)件通常由表膜構(gòu)件制造者提供給制造光掩?；蛘咧虚g掩模的制造者(以下稱作“掩模制造者”)。掩模制造者自表膜構(gòu)件剝離上述保護膜，利用粘合材料層將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模或者中間掩模之后，將該掩模或者中間掩模提供給進行光刻的制造者、例如半導(dǎo)體裝置制造者或者液晶面板制造者。在表膜構(gòu)件用作防塵部件的特性方面，該表膜構(gòu)件的處理需要處理為不附著塵埃。通常，在處理表膜構(gòu)件時，通常通過向形成在框體外側(cè)面的孔中插入銷狀工具來把持，通過把持工具主體而使人手不會直接接觸表膜構(gòu)件(例如參照專利文獻I )。另外，也提出了通過在框體的外側(cè)面形成用于供旋轉(zhuǎn)桿插入的槽而使用具有旋轉(zhuǎn)桿的工具來把持，通過把持該工具的主體而使人手不會直接接觸表膜構(gòu)件(例如參照專利文獻2)。另外，在將表膜構(gòu)件從表膜構(gòu)件制造者搬運到掩模制造者時，為了不附著灰塵，通常將表膜構(gòu)件放入到具有密封性的容納容器中來進行搬運。當然，由于要求表膜構(gòu)件被可靠地固定在容納容器內(nèi)，因此，也提出了通過向形成在框體外側(cè)面的孔中插入銷狀功具而將表膜構(gòu)件固定于容納容器內(nèi)的方法(例如參照專利文獻3 )。另外，也提出了通過由構(gòu)成容納容器的托盤和蓋夾著形成在框體外側(cè)面上的水平突出部而將表膜構(gòu)件固定于容納容器的方法(例如參照專利文獻4或5)。并且，不僅注目于形成在框體外側(cè)面上的突出部、槽或者孔對表膜構(gòu)件的把持、固定功能，還對表膜構(gòu)件的框體形狀也進行了各種研究。例如，為了確保表膜構(gòu)件內(nèi)部與外部的透氣性，提出了設(shè)置從框體外側(cè)面貫穿到內(nèi)側(cè)面帶有過濾器的孔(例如參照專利文獻6)。另外，為了控制從光掩膜的圖案面到表膜的距離(基準距)(例如參照專利文獻7 9)、控制掩膜粘合材料的伸出(例如參照專利文獻10或11)、形成掩模粘合材料的臺階(例如參照專利文獻12)、確保粘貼于光掩模時的加壓區(qū)域(例如參照專利文獻13)，提出了在框體的上緣面或下緣面設(shè)槽、突起、臺階的各種形狀。近年來，隨著LCD的大型化，光掩模及其使用的表膜構(gòu)件也大型化，最長邊的長度大于Im的表膜構(gòu)件面世了。一般認為,今后,為了應(yīng)對LCD的大型化、提高生產(chǎn)效率,光掩模的大型化也是必不可少的。在大型光掩模的情況下，原料大多是合成石英基板，材料費非常昂貴。因此，相對于設(shè)定的有效曝光區(qū)域尺寸，光掩模尺寸通常設(shè)計得極小。在是粘貼于大型光掩模上的大型表膜構(gòu)件的情況下，鑒于光掩模尺寸的制約，對于被粘貼在從有效曝光區(qū)域到光掩模的外周端之間的表模的框體寬度也存在制約，即使表膜構(gòu)件大型化，框體的寬度實際上也無法增大。并且，由于從光掩模的圖案面到表膜的距離(基準距)受到曝光機的光學系統(tǒng)制約，因此，對于框體的高度也存在制約，即使表膜構(gòu)件大型化，框體的高度實際上也無法增大。另一方面，作為抑制表膜的面積為IOOOcm2以上的大型表膜構(gòu)件的框體撓曲的方法，提出了使框體的長邊寬度大于短邊寬度(例如參照專利文獻14)。另外，近年來，掩模等的制造者為了將表膜構(gòu)件從容納容器取出之后直接安裝于掩模，采用在從容納容器取出表膜構(gòu)件時、在將保護膜粘貼于托盤的狀態(tài)下從保護膜與粘合材料的界面取出表膜構(gòu)件的方法，要求在取出時不會使表膜構(gòu)件產(chǎn)生變形撓曲地將其取出的方法(例如參照專利文獻15)。專利文獻I :日本特開平9 - 204039號公報專利文獻2 :日本特開2005 - 326634號公報專利文獻3 :日本特開2006 - 267179號公報專利文獻4 :日本特開平10 — 48812號公報專利文獻5 :日本特開平10 — 48811號公報專利文獻6 :日本特開2001 - 133960號公報專利文獻7 日本特開2002 — 182373號公報專利文獻8 :日本特開2002 — 182371號公報專利文獻9 日本特開2000 - 298333號公報專利文獻10 日本特開2005 - 338722號公報專利文獻11 :日本特開2000 - 292910號公報專利文獻12 日本特開2006 — 163035號公報、圖6專利文獻13 :日本特開2005 - 308901號公報專利文獻14 :日本特開2001 - 109135號公報專利文獻15 :日本特開2007 — 017811號公報如上所述，在大型表膜構(gòu)件中，由于框體的寬度、高度的限制，框體邊部的撓曲會、隨著表膜構(gòu)件的大型化而變大。于是，本發(fā)明人對最長邊的大小為I. 4m 2. Om的大型表膜構(gòu)件的制作進行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)采用以往的方法極難把持框體。S卩，如上述專利文獻I 5所述，采用通過向形成在框體的相對的兩條邊外側(cè)面上的槽、孔中插入銷、滑塊等工具來把持或固定的以往方法，存在由于框體邊部的撓曲而易于導(dǎo)致銷、滑塊等工具自槽、孔脫離，采用框體外側(cè)面的槽、孔已經(jīng)無法把持、固定的狀況。例如，在向孔中插入銷的方法(專利文獻I)、向槽中插入旋轉(zhuǎn)桿的方法(專利文獻2)的情況下，由于在框體各邊的大致一點支承，因此，負載易于集中，有時會因框體邊部的撓曲而容易脫離。由框體的原料變更實現(xiàn)的高剛性化也被考慮為對策，但鑒于表膜構(gòu)件所要求的無塵等品質(zhì)，實際上無法容易地變更框體的原料。
至此，如上所述，對框體形狀進行了各種設(shè)想，但基本上是在受到制約的框體的寬度、高度的范圍內(nèi)設(shè)計框體形狀(例如參照專利文獻6 12)，因此，并不十分有助于框體的高剛性化。另外，對于在框體的寬度、高度的范圍之外設(shè)計框體形狀也進行了研究(例如參照專利文獻4或5)。其相對于申請當時對框體的制約可以說是優(yōu)良的技術(shù)。即，在專利文獻4或5的申請當時，LSI用途的表膜構(gòu)件是主流，LSI用途的光掩模尺寸通常一邊為5 7英寸(127 178mm)，小于液晶顯示器(IXD)用途的大型的光掩模尺寸(一邊為330 1400mm)，因此，與大型的光掩模尺寸相比，能夠使光掩模尺寸大于表膜構(gòu)件尺寸。因此，在框體的寬度、高度的范圍之外設(shè)計框體形狀并不是問題。但是，今后，針對隨著更加大型的表膜構(gòu)件普及而考慮表面化的課題、即由于極力減小光掩模尺寸而無法針對表模大型化的期望來相應(yīng)使框體的寬度、高度增大到所需程度以上這樣的課題，需要改良表膜構(gòu)件的把持方法。對于取出方法，例如也存在一邊利用表膜構(gòu)件保持器具保持后述的表膜構(gòu)件且檢測對表膜構(gòu)件保持器具施加的負載、一邊使保持器具與容納容器拉開距離來剝離表膜構(gòu)件的方法；前述的表膜構(gòu)件是用粘接帶將相當于配置在矩形框體的邊的中央部附近的保護膜的標簽(按壓部分)固定于表膜構(gòu)件容納容器而成的(例如參照專利文獻13)。但是，一般認為，采用該方法，在大型表膜構(gòu)件的情況下，由于用粘接帶將配置在邊的中央部的標簽(按壓部分)保持于容納容器，因此，即使一邊檢測負載一邊剝離也無法避免框體的撓曲(參照專利文獻13的圖9)。S卩，表膜構(gòu)件的框體要求一種在能夠可靠地把持的基礎(chǔ)上、在隨后從容納容器取出表膜構(gòu)件時能夠不使框體產(chǎn)生撓曲、扭轉(zhuǎn)地取出的方法。而且，特別是對于表膜構(gòu)件自身重量變大、處理也較為困難的大型表膜構(gòu)件，在容納、搬運、保管時要求一種這樣的方法，即，可靠地保持自不必提，而且在從容納容器取出時，為了在取出之后將其直接粘貼于掩模等上，使表膜構(gòu)件不會從保護膜與粘合材料的界面產(chǎn)生歪斜撓曲地取出。

發(fā)明內(nèi)容
S卩，本發(fā)明提供一種在表膜構(gòu)件框體的處理時、容納、搬運、保管時能夠可靠地把持框體、而且在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模等上時不會產(chǎn)生歪斜、撓曲而能夠簡單地將表膜構(gòu)件從容納容器取出的表膜構(gòu)件的框體。另外，還提供一種使用該表膜構(gòu)件的框體的大型表膜構(gòu)件的把持方法。本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法所把持的框體具有由多條邊構(gòu)成的多邊形形狀，能夠在該框體的上緣面粘接表膜，在該框體的下緣面涂敷粘合材料，上述框體的最長邊的長度為Im以上，其中，上述框體在所有的邊部分別具有把持用的凸部或凹部；在上述框體的所有邊部上分別把持至少I處的把持用的凸部或凹部而進行搬運。此外，本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法優(yōu)選在上述框體的所有邊部上把持所有的把持用的凸部或凹部。本發(fā)明人等為了解決上述課題而進行深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，為了不受到光掩模的制約，通過在表膜構(gòu)件框體的所有邊部上分別形成把持用的凸部或凹部，能夠解決把持最長邊的長度為I. 4m 2. Om的大型表膜構(gòu)件這樣的上述課題?；谘芯康慕Y(jié)果發(fā)現(xiàn)，該方法也能夠有效地用于最長邊的長度為Im以上的大型表膜構(gòu)件，從而完成了本發(fā)明。SP，本發(fā)明如下。 I. 一種大型表膜構(gòu)件的框體，該框體具有由多條邊構(gòu)成的多邊形形狀，能夠包括粘接在該框體的上緣面的表膜和涂敷在該框體的下緣面的粘合材料，上述框體的最長邊的長度為Im以上，其中，上述框體在所有的邊部上分別具有把持用的凸部或凹部。2.根據(jù)上述I所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部處于框體的外側(cè)面上。3.根據(jù)上述2所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部處于框體的外側(cè)面上的、自上緣面及下緣面離開的位置。4.根據(jù)上述I 3中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是槽或孔。5.根據(jù)上述4所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是具有向內(nèi)變寬的空間部的槽或孔。6.根據(jù)上述4所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是具有向內(nèi)變窄的空間部的槽或孔。 7.根據(jù)上述I 6中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部在框體的各邊上，該把持用的凸部或凹部所占的長度分別為邊的長度的10%以上。8.根據(jù)上述7所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是設(shè)在框體的所有邊部的整周上的槽。9.根據(jù)上述7所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是局部設(shè)于框體的邊部上的槽。10.根據(jù)上述I 6中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是在框體的所有邊部上各設(shè)有多個的孔。11. 一種大型表膜構(gòu)件，該大型表膜構(gòu)件由上述I 10中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體、粘接于該框體的上緣面上的表膜和涂敷在該框體的下緣面的粘合材料構(gòu)成。12.根據(jù)上述11所述的大型表膜構(gòu)件，其中，框體的最長邊的長度為I. 4m 2. Om013.根據(jù)上述11 12中任一項所述的大型表膜構(gòu)件，其中，框體的寬度與高度之比為I. 5 4. O。
14. 一種大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法,該大型表膜構(gòu)件的框體如上述I 10中任一項所述，其中，在上述大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上分別把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部。15.根據(jù)上述13所述的大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法，其中，在大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上把持所有的把持用的凸部或凹部。16. 一種大型表膜構(gòu)件的框體形狀的矯正方法,該矯正方法用于矯正上述11 13中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體形狀，其中，在上述大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上分別把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部，通過對上述大型表膜構(gòu)件的框體的至少I處施加應(yīng)力來減小該框體的變形。17.根據(jù)上述I 3中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是裝卸自由地固定于框體的邊部上的突出部。18.根據(jù)上述I 3及17中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是板狀的突出部或棒狀的突出部。19.根據(jù)上述I 3及17中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是板狀，且是該突出部的突出量從框體的四個角部朝向邊的中央部變大的突出部。20.根據(jù)上述I 3及17 19中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是前端形成鉤形狀的突出部。21.根據(jù)上述I 3及17 20中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是形成為在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時、與光掩模的外周側(cè)面及/或形成于光掩模上的槽接觸的突出部。22.根據(jù)上述I 3及17 21中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是形成為在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時、通過與另一零件組合而能夠利用物理方法將框體固定于該光掩模的突出部。23.根據(jù)上述7所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是設(shè)置在框體的所有邊部的整周上的板狀的突出部。24.根據(jù)上述7所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是局部設(shè)置于框體的邊部上的板狀的突出部。25.根據(jù)上述I 3及17 18中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體，其中，把持用的凸部或凹部是在框體的所有邊部上各設(shè)有多個的棒狀的突出部。26. 一種大型表膜構(gòu)件,其中，該大型表膜構(gòu)件由上述17 25中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體、粘接于該框體的上緣面上的表膜和涂敷在該框體的下緣面的粘合材料構(gòu)成。27.根據(jù)上述26所述的大型表膜構(gòu)件，其中，框體的最長邊的長度為I. 4m
2.Om028.根據(jù)上述26 27中任一項所述的大型表膜構(gòu)件，其中，框體的寬度與高度之比為I. 5 4. O。29. 一種大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法,該大型表膜構(gòu)件的框體如上述17 25中任一項所述，其中，在上述大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上分別把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部。30.根據(jù)上述29所述的大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法,其中，在大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上把持所有的把持用的凸部或凹部。31. 一種大型表膜構(gòu)件的框體形狀的矯正方法,該矯正方法用于矯正上述26 28中任一項所述的大型表膜構(gòu)件的框體形狀，其中，在上述大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上分別把持至少I處以上的 把持用的凸部或凹部，通過對上述大型表膜構(gòu)件的框體的至少I處施加應(yīng)力來減小該框體的變形。采用本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體及該 框體的把持方法，在表膜構(gòu)件的處理時、容納、搬運、保管時能夠可靠地把持框體、而且在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時不會產(chǎn)生歪斜、撓曲而能夠簡單地將表膜構(gòu)件從容納容器取出。


圖IA是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凹部是槽)的立體圖，表示粘接于光掩模的大型表膜構(gòu)件。圖IB是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凹部是槽)的圖，表示包含框體的局部放大縱剖視圖。圖IC是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凹部是槽)的圖，表示大型表膜構(gòu)件的框體。圖ID是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凸部為板狀)的立體圖，表示粘接于光掩模的大型表膜構(gòu)件。圖IE是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凸部為板狀)的圖，表示包含框體的局部放大縱剖視圖。圖IF是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個方式(把持用的凸部為板狀)的圖，表示大型表膜構(gòu)件的框體。圖2A是用于說明以往的小型表膜構(gòu)件的框體的一個方式的立體圖，表示粘接于光掩模的表膜。圖2B是用于說明以往的小型表膜構(gòu)件的框體的一個方式的圖，表示包含框體的槽的局部放大縱剖視圖。圖2C是用于說明以往的小型表膜構(gòu)件的框體的一個方式的圖，表示表膜構(gòu)件的框體。圖3A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3E是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3F是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖3G是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖4A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的上緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖4B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的上緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖5A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的下緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。
圖5B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的上緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6E是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6F是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6G是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖7A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個把持用的槽或孔的方式例子。圖7B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個把持用的槽或孔的方式例子。圖7C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個把持用的槽或孔的方式例子。圖8A是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖SB是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖SC是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。
圖8D是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖9A是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖9B是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖9C是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖IOA是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、從框體的側(cè)面方向看到的概略圖。
圖IOB是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的配置的、從框體的側(cè)面方向看到的概略圖。圖IlA是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的一個方式例子的局部放大縱剖視圖。圖IlB是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的一個方式例子的局部放大縱剖視圖。圖IlC是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的一個方式例子的局部放大縱剖視圖。圖IlD是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的一個方式例子的局部放大縱剖視圖。圖IlE是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的一個方式例子的局部放大縱剖視圖。圖12A是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的方式例子的、從框體的外側(cè)面方向看到的局部概略圖。圖12B是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的方式例子的、從看表膜的方向看到的局部概略圖。圖12C是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的方式例子的、從看表膜的方向看到的局部概略圖。圖12D是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽的方式例子的、從看表膜的方向看到的局部概略圖。圖13A是用于說明大型表膜構(gòu)件的框體上的、設(shè)置于拐角部的孔的配置的圖，是從框體的外側(cè)面方向看到的局部概略圖。圖13B是用于說明大型表膜構(gòu)件的框體上的、設(shè)置于拐角部的孔的配置的圖，是從看表膜的方向看到的局部概略圖。圖14A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14E是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14F是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖14G是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖15A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的上緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖15B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的上緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖15C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的上緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖I 是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的上緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖16A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的下緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖16B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的下緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖16C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的下緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖16D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的下緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖17A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17E是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17F是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖17G是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。
圖18A是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖18B是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖18C是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖18D是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖18E是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。
圖18F是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖18G是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，是設(shè)有多個突出部的方式例子。圖19A是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖19B是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖19C是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖19D是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖20A是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖20B是用于說明在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖20C是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖20D是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖20E是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。圖21A是設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部裝卸自由地固定于框體邊部的方式時的局部放大縱剖視圖，表示螺紋固定。圖21B是設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部裝卸自由地固定于框體邊部的方式時的局部放大縱剖視圖，表示利用聯(lián)接器進行的固定。圖21C是設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部裝卸自由地固定于框體邊部的方式時的局部放大縱剖視圖，表示利用彈性體進行的固定。圖21D是設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部裝卸自由地固定于框體邊部的方式時的局部放大縱剖視圖，表示通過夾入進行的固定。圖22A是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的另一方式(突出部為棒狀)的立體圖，表示粘接于光掩模的大型表膜構(gòu)件。圖22B是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的另一方式(突出部為棒狀)的立體圖，表示大型表膜構(gòu)件的框體。圖23A是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的棒狀的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖，是與圖12的方式相同的、在短邊和長邊分別各設(shè)有3條突出部的情況。圖23B是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的棒狀的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖，是與圖12的方式相同的、在短邊和長邊分別各設(shè)有I條突出部、并且在4個角各設(shè)有I條突出部的情況。 圖23C是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的棒狀的突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖，是與圖12的方式相同的、使圖23A中的各邊的突出部一體化的情況。圖24A是包含設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體中的突出部的局部放大縱剖視圖，表示突出部為L字形、前端彎曲的邊部與光掩模接觸的方式。圖24B是包含設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體中的突出部的局部放大縱剖視圖，表示突出部為L字形、前端刺入到設(shè)置于光掩模上的槽中的方式。圖25是在設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部組合另一構(gòu)件而固定大型表膜構(gòu)件時的局部放大縱剖視圖。圖26A是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，表示把持、固定截面為矩形的突出部的方式。圖26B是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，表示把持、固定設(shè)置于框體的外側(cè)面的突出部、即截面為L字形的突出部的方式。圖26C是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，表示把持、固定設(shè)置于框體的上緣面的突出部、即截面為L字形的突出部的方式。圖26D是用于說明用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，表示把持、固定設(shè)置于框體的內(nèi)側(cè)面的突出部、即2個矩形的突出部的方式。圖27是表示實施例I使用的保護膜的平面形狀的示意圖。附圖標記說明I、表膜框；2、掩模粘合材料；3、框體的上緣面；4、框體的下緣面；5、框體的外側(cè)面；6、框體的內(nèi)側(cè)面；7、把持用的槽或孔或者突出部；7a、把持用的槽或孔的向內(nèi)變寬了的內(nèi)部空間或者把持用的突出部的前端部；7b、把持用的槽的開口部；7c、把持用的槽的最深部；9、光掩模；10、20、框體；11、保護膜；lla、按壓部分；llb、按壓部分；15、另一構(gòu)件；16、把持構(gòu)件；21、槽；30、框體(以往產(chǎn)品)。
具體實施例方式參照

本發(fā)明的實施方式。以下說明的實施方式是本發(fā)明的構(gòu)成例，本發(fā)明并不限定于以下實施方式。只要起到本發(fā)明的效果，也可以進行各種方式的變更。本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體是具有由多條邊構(gòu)成的多邊形形狀的框體，該框體可以包括粘接于該框體的上緣面的表膜和涂敷于該框體的下緣面的粘合材料，在上述框體的最長邊的長度為Im以上的大型表膜構(gòu)件的上述框體中，上述框體在所有的邊部分別具有保持用的凸部或凹部。在此，框體的多邊形形狀通常是大致四邊形狀，但也可以是在角部具有缺口、圓弧部(R部)的多邊形形狀。圖IA是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的一個實施方式的立體圖，圖IA及圖ID表不粘接于光掩模的大型表膜構(gòu)件，圖IB及圖IE表不包含框體的局部放大縱剖視圖，圖IC及圖IF表示大型表膜構(gòu)件的框體。圖2是用于說明以往的小型表膜構(gòu)件框體的一個實施方式(例如專利文獻2的類型)的立體圖，圖2A表示粘接于光掩模的表膜構(gòu)件，圖2B表示包含框體的槽的局部放大縱剖視圖，圖2C表示表膜構(gòu)件的框體。例如，如圖I所示，大型表膜構(gòu)件由框體10、粘接于框體10的上緣面3的表膜I、涂敷于框體10的下緣面4的粘合材料2構(gòu)成。在此，表膜I借助粘接劑(未圖示)粘接于框體10的上緣面3。另外，在圖IA及圖IB中，表膜構(gòu)件框體10借助粘合材料2粘接于光掩模9。大型表膜構(gòu)件在被粘接于光掩模9之前，具有在框體10的下緣面4借助粘合材料2粘合有保護膜(未圖示)的構(gòu)造。表膜I的材質(zhì)、粘合材料2的材質(zhì)、形狀、粘接劑的材質(zhì)、保護膜的材質(zhì)、形狀可以
使用以往通常采用的材質(zhì)、形狀。作為表膜，可以使用透明的高分子膜、例如硝酸纖維素、纖維素衍生物或者氟類聚合物。表膜的厚度考慮光線透射率、膜強度來設(shè)定，例如優(yōu)選為0. Iiim IOii m。在將表膜粘接于框體的上緣面時，可使用粘接劑、例如丙烯酸樹脂粘接劑、環(huán)氧樹脂粘接劑、硅樹脂粘接劑或者含氟的硅粘接劑等氟類聚合物。作為粘合材料,可以使用苯乙烯乙烯丁烯苯乙烯、苯乙烯乙烯丙烯苯乙烯或者烯烴類等的熱熔粘合材料、硅類粘合材料、丙烯酸類粘合材料或者以發(fā)泡體為基材的粘合帶。粘合材料層的厚度為，框體厚度與粘合材料厚度合計在不超過規(guī)定的膜與掩模之間的距離的范圍內(nèi)設(shè)定，例如優(yōu)選為0. Olmm 10mm。作為保護膜，可以使用由聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯樹脂構(gòu)成的膜。另外，也可以根據(jù)粘合材料的粘合力將脫模劑、例如硅類脫模劑或者氟類脫模劑涂敷在保護膜的表面。保護膜的厚度例如優(yōu)選為0. Olmm 1mm?？蝮w10的材質(zhì)只要能保持機械強度即可，沒有特別的限定。例如可列舉金屬、樹月旨、復(fù)合材料，更詳細地講，優(yōu)選采用鋁或其合金例如硬鋁、鐵或鐵類合金、例如不銹鋼、工程塑料、纖維強化塑料(FRP)及碳纖維強化塑料(CFRP)。另外，考慮到由大型化導(dǎo)致自重增力口，優(yōu)選輕量且具有剛性的材料，例如優(yōu)選鋁或其合金?？蝮w10是以往通常進行的制法即可。例如，將一體物的板切斷、切削加工即可。另 夕卜，在隨著表膜構(gòu)件的大型化而難以準備一體物的板的情況下，除切斷、切削加工之外還可列舉焊接加工、成型加工(若是金屬則為壓鑄成型，若是樹脂則為注射模塑成型)。此時，優(yōu)選將把持用的凸部或凹部一體成型，如后所述，在為凸部的情況下，也優(yōu)選成型為裝卸自由的零件，之后再安裝。另外，為了防止反射，也可以對框體的表面實施黑色鍍鉻、黑色耐酸鋁、黑色涂裝等黑色化處理。另外，為了捕捉異物，也可以在框體的內(nèi)側(cè)面涂敷粘合材料。本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10將框體10的最長邊(以下也稱作“長邊”。同樣將框體的最短邊也稱作“短邊”)的長度為Im以上的大型表膜構(gòu)件的框體作為對象?？蝮w的寬度(圖IB及圖IE的W)、高度(圖IB及圖IE的h)相對于這樣的框體、框體的邊(圖IA及圖ID的長邊長度L、短邊長度S)的長度的比例較小，其剛性不得不低于小型表膜構(gòu)件的框體。在框體10的長邊長度L為Im以上時，明顯地看到剛性降低的傾向。在圖2所示的以往LSI用的小型表膜構(gòu)件的框體30中，長邊長度L最多為15cm以下，短邊長度S最多為13cm以下，而且，框體30的寬度w與高度h之比為(w / h)= 0. 3 0. 8。但是，在本發(fā)明作為對象的大型表膜構(gòu)件的框體中，長邊長度L為Im以上，也存在達到2m的情況，今后 也可能存在更加大型化的情況。另外，在短邊中，短邊長度S也例如為75cm以上。另外，由于大型表膜構(gòu)件的框體中的框體的寬度w與高度h之比大到例如(w / h)= I. 5 4.0，因此，剛性的降低較大，在(w / h)= 2. 3 4.0的框體中，剛性的降低特別大。另外，由于更加大型化，也可能存在(w / h)大于4的情況。因而，在本發(fā)明作為對象的大型表膜構(gòu)件的框體中，與以往的框體相比，表膜表面的法線方向上的撓曲量非常大。這樣，大型表膜構(gòu)件的框體的撓曲方式與以往的小型表膜構(gòu)件的撓曲方式完全不同。并且，在框體的寬度w與高度h之比(w / h)大于以往框體的寬度w與高度h之比(w / h)的基礎(chǔ)之上，框體的邊本身就很長，因此，根據(jù)表膜的張力不同，表膜的與表面平行的方向的撓曲量也會變大。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，也能夠利用把持用的凸部或凹部來矯正由表膜的張力導(dǎo)致的框體的變形。這一點見后述。本發(fā)明的框體通常是與掩模形狀相似的矩形，但與掩模等的各種形狀相對應(yīng)，只要是多邊形的框體即可，沒有特別的限定。另外，在本發(fā)明中，將長邊長度為Im以上的框體作為對象，但在框體形狀為(I)矩形的情況下，將長邊長度為Im以上的框體作為對象，在框體形狀為(2)正方形的情況下，將一邊長度為Im以上的框體作為對象，在框體形狀為(3)多邊形的情況下，將最長邊長度為Im以上的框體作為對象。在本發(fā)明中，若滿足以下說明的條件就能起到更大的效果，因此，以下進行說明。第一，對上述框體是在所有的邊部分別具有把持用的凹部的框體的方式進行說明。作為該凹部，存在槽或孔。另外，在本發(fā)明中，槽是指形成在框體的外側(cè)面、內(nèi)側(cè)面、上緣面或者下緣面的凹部、且這些面中的該凹部的開口部的圓周方向長度為該開口部的高度方向長度的I. 5倍以上，孔是指該開口部的圓周方向長度小于該開口部的高度方向長度的I. 5 倍。對形成于框體上的把持用的槽或者孔進行說明。圖3是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖3A G是從框體外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖4是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖4A B是從框體的上緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖5是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖5A B是從框體的下緣面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。圖6是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖6A G是從框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式例子。如圖3所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10具有自框體的外側(cè)面5朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔7。下面，在沒有特別提示的情況下，不區(qū)分槽和孔而作為把持用的槽或孔7來說明。另外，如圖4所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的上緣面3朝向下方的把持用的槽或孔7。另外，如圖5所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的下緣面4朝向上方的把持用的槽或孔7。另外，如圖6所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的內(nèi)側(cè)面6朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔7。將把持用的槽或孔設(shè)置在框體的哪個面上都能夠處于與用于把持的夾具或裝置的設(shè)計相應(yīng)的位置，但在夾具或裝置的設(shè)計方面考慮優(yōu)選設(shè)置在外側(cè)面。另外，在將把持用 的槽或孔設(shè)置在框體的外側(cè)面或內(nèi)側(cè)面的情況下，為了在把持時不對表膜的粘接劑層或者表膜與掩模粘合的粘合材料層施加額外的力，優(yōu)選設(shè)置在自上緣面及下緣面離開的位置。因而，把持用的槽或孔更優(yōu)選設(shè)置在框體的外側(cè)面上的、自上緣面及下緣面離開的位置。自框體的上緣面3朝向下方的把持用的槽或孔7除了沿上緣面3的法線方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向挖掘的方式。自框體的下緣面4朝向上方的把持用的槽或孔7除了沿下緣面4的法線方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向挖掘的方式。自框體的內(nèi)側(cè)面6朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔7除了沿內(nèi)側(cè)面6的法線方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向挖掘的方式。在是以框體的表面為基準而從外側(cè)面或內(nèi)側(cè)面挖掘的槽或孔7的情況下，把持用的槽或孔7的深度優(yōu)選為框體寬度的0. 01 0. 9倍，更優(yōu)選0. 01 0. 5倍，進一步優(yōu)選0. 01 0. 3倍的深度。另外，在是從上緣面或下緣面挖掘的槽或孔7的情況下，把持用的槽或孔7的深度優(yōu)選為框體高度的0. I I倍(另外，I倍是貫穿的情況)，更優(yōu)選0. I 0. 5倍，進一步優(yōu)選0. I 0. 3倍。并且，如圖I所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以在框體的各邊部具有多個把持用的槽或孔7。圖7是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖7A C是設(shè)有多個把持用的槽或孔的方式例子。作為組合，存在具有自框體的上緣面朝向下方的把持用的槽或孔和自框體的下緣面朝向上方的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況、具有自框體的上緣面朝向下方的把持用的槽或孔和自框體的內(nèi)側(cè)面朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況(例如圖7A)。另外，還存在具有自框體的下緣面朝向上方的把持用的槽或孔和自框體的內(nèi)側(cè)面朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況(例如圖7C)。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10中，也可以相對于自框體的上緣面朝向下方的把持用的槽或孔、自框體的下緣面朝向上方的把持用的槽或孔或者自框體的內(nèi)側(cè)面朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔，分別組合自框體的外側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔。例如，存在具有自框體的外側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔和自框體的上緣面朝向下方的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況(例如圖7B)、具有自框體的外側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔和自框體的下緣面朝向上方的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況、具有自框體的外側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔和自框體的內(nèi)側(cè)面朝向外側(cè)方向的把持用的槽或孔這兩種槽或孔的情況。并且，也存在從框體的4個表面中的3個表面挖掘把持用的槽或孔的方式或者從框體的4個表面都挖掘把持用的槽或孔的方式。通過在框體的多個表面設(shè)置把持用的槽或孔，把持、固定更加可靠。另外，相對于把持框體的不同表面的2種以上把持器具，也具有能夠以同一個框體來應(yīng)對這樣的優(yōu)點。另外，除上述把持用的槽或孔7之外，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有用于透氣用的孔(將表膜構(gòu) 件安裝于掩模時用于供由表膜構(gòu)件和掩模封閉的空間與外部透氣的孔)等其他用途的孔或槽。為了設(shè)置這樣的用于其他用途的孔或槽，把持用的凹部或凸部是局部設(shè)置在框體邊部的槽或孔，這樣加工自由度升高，更為理想。把持用的槽或孔7的截面形狀是矩形(例如圖6A)、梯形(例如圖4A、圖5A、圖6E)、多邊形、圓形、半圓形或者橢圓形(例如圖6B)等，并沒有特別的要求。另外，例如圖4A所示，也可以是沿著槽或孔變深的方向而槽的寬度或孔的內(nèi)徑變小的方式。也可以根據(jù)需要在槽或孔的角部設(shè)置曲率R、C面。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，把持用的槽或孔7優(yōu)選具有向內(nèi)變寬的空間部7a。例如是L字形(例如圖3C、圖4B、圖5B、圖6C及G、圖7C)、T字形(例如圖3D、圖6D)。與不存在向內(nèi)變寬的空間部7a的情況相比，能夠勾掛于把持構(gòu)件，因此，把持、固定更加可靠。另外，作為向內(nèi)變寬了的空間部的形狀，如上所述，可以是框體的寬度方向的截面形狀向內(nèi)變寬，可以是框體的高度方向的截面形狀向內(nèi)變寬，也可以是框體的長度方向的截面形狀向內(nèi)變寬。另外，也優(yōu)選把持用的槽或孔具有向內(nèi)變窄的空間部。在這種情況下，在插入比槽或孔的入口更小的把持構(gòu)件時，通過該把持構(gòu)件與向內(nèi)變窄的部分接觸而被定位，能夠在防止把持構(gòu)件相對于槽或孔錯位的同時進行把持。作為向內(nèi)變窄的空間部的形狀，如圖3B、圖4A、圖5A所示，可以是框體的寬度方向的截面形狀向內(nèi)變窄，可以是框體的高度方向的截面形狀向內(nèi)變窄，也可以是框體的長度方向的截面形狀向內(nèi)變窄。作為框體的長度方向的截面形狀為向內(nèi)變窄的例子，可列舉在邊部局部存在的圓周方向的槽，即該槽的開口部的圓周方向長度大于該槽的深度(是指槽的開口部與槽的最深部的最短距離)的槽(參照圖12)。另外，也可列舉該槽的開口部的圓周方向長度小于該槽的深度的情況。若是具有該形狀的把持部的框體，則能夠?qū)⑶岸俗冋陌鍫畹陌殉制骶叨ㄎ挥谠摬壑械乩迷摪殉制骶哌M行把持。另外，槽的開口部的圓周方向長度與槽的深度之比優(yōu)選為0. 5 30倍，更優(yōu)選為2 20倍，最優(yōu)選為3 10倍。若該比為0. 5以上則易于插入把持構(gòu)件，若該比為30以下則難以拆下把持器具。如圖3所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的另一實施方式是具有下述的把持用的槽或孔7的形態(tài)，上述的把持用的槽或孔7自框體10的外側(cè)面5朝向內(nèi)側(cè)方向，且具有向內(nèi)變寬了的空間部7a。在此，自框體的外側(cè)面5朝向內(nèi)側(cè)方向的把持用的槽或孔7除沿外側(cè)面5的法線方向挖掘的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向挖掘的方式。本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的、向內(nèi)變寬的空間部7a的形狀例如為L字形(例如圖3C及G)、T字形(例如圖3D)。與不存在向內(nèi)變寬的空間部7a的情況相比，能夠勾掛于把持構(gòu)件，因此把持更加可靠。
圖8和圖9是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、把持用的槽或孔7的配置的、看表膜的方向的概略圖。如圖8A、C及D和圖9所示，把持用的槽或孔7的配置只要在4個邊上都具有把持用的凹部即可，可以配置在框體10的邊部整周上(圖8A)，也可以局部配置在框體10的邊部(圖SC D、圖9A C)上。在局部配置的情況下，也能夠與工具、裝置等把持構(gòu)件的位置相應(yīng)地在框體的指定部位配置把持用的槽或孔。在局部配置把持用的槽的情況下，優(yōu)選預(yù)先配置在框體的任一個邊部上。在把持表膜構(gòu)件的框體時，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，從而能夠抑制撓曲的產(chǎn)生。另一方面，如后述的比較例所示，在僅在相對的2條邊上具有把持用的凸部或凹部的方式(圖SB)中，無法充分抑制撓曲的產(chǎn)生。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、把持用的凹部是槽的情況下，該把持用的凹部所占的長度相對于各邊的長度分別為10%以上，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，更為優(yōu)選。進一步優(yōu)選為20%以上，最優(yōu)選為30%以上。另外，在框體上需要留有利用加工形成具有除把持之外的功能的部分的余地的情況下，優(yōu)選該把持用的凹部所占的 長度相對于各邊的長度分別為90%以下。更優(yōu)選為80%以下，最優(yōu)選為70%以下。若該把持用的凹部在各邊部的配置為相對于各邊部的各中心對稱的方式，則能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，較為理想。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、把持用的凹部是孔的情況下，其配置優(yōu)選預(yù)先在框體的各邊部上均配置多個。在把持表膜構(gòu)件的框體時，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，從而能夠抑制撓曲的產(chǎn)生。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，把持用的槽7也可以是切削槽側(cè)壁的一側(cè)而成的階梯式切削狀的槽。另外，把持用的孔7也可以是切削孔的側(cè)壁面的一側(cè)而成的縱切筒狀的孔。即，把持用的槽或孔7的槽的側(cè)壁面或者孔的側(cè)壁面也可以構(gòu)成框體10表面的一部分。作為這樣的方式，例如存在槽或孔的側(cè)壁面到達框體的表面、從框體的表面挖掘槽或孔的側(cè)壁面而成的形狀的槽或孔。另外，在縱切圓筒的孔中，以通過主軸的縱截面切開的、橫截面為半圓的孔自不必提，也包含以不通過主軸的縱截面切開的孔。若表示其截面形狀的例子，例如為圖3F及G、圖6F及G、圖7B。特別優(yōu)選槽的側(cè)壁面或者孔的側(cè)壁面構(gòu)成框體10的下緣面一部分的方式(例如圖3F及G、圖6F及G、圖7B)。在框體10的下緣面4粘貼有粘合材料2，但下緣面4與光掩模9的表面之間的距離僅擴大粘合材料2的厚度的量，易于插入把持構(gòu)件，而且，能夠減小槽或孔的直徑，因此，框體強度降低的可能性較小。但是，在使用上述方式的框體的情況下，在把持時需要留意不對粘合材料、表膜的粘接部施加多余的力。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，為了防止起塵，也可以對槽或孔與把持構(gòu)件的接觸部的、槽或孔或把持構(gòu)件的至少一方實施某種表面處理。例如可列舉利用硅膠等緩沖材料包覆。圖10是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的把持用的槽7的配置的、從框體的側(cè)面方向看到的概略圖。如圖IOA所示，從框體的側(cè)面方向看，把持用的槽7也能夠在邊方向上從上緣面?zhèn)认蛳戮壝鎮(zhèn)葍A斜地配置。并且，如圖IOB所示，從框體的側(cè)面方向看，也能夠在邊方向上從上緣面?zhèn)认蛳戮壝鎮(zhèn)取南戮壝鎮(zhèn)认蛏暇壝鎮(zhèn)冗@樣重復(fù)地配置。另外，在框體的外側(cè)面上，也可以在4個角部分設(shè)置沿圖13所示的傾斜方向貫穿的孔。通過設(shè)置這樣的貫穿孔，也能夠?qū)魻畹墓ぞ叽┻^該貫穿孔內(nèi)來把持。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，各個槽的寬度或孔的內(nèi)徑小于設(shè)有該槽或孔的框體的寬度W或者高度h，例如設(shè)置在上緣面3或者下緣面4的情況下，各個槽的寬度或孔的內(nèi)徑優(yōu)選為框體寬度的0.01 I倍，更優(yōu)選為0.01 0.5倍，進一步優(yōu)選為0. 01 0. 2倍。例如設(shè)置在外側(cè)面5或者內(nèi)側(cè)面6的情況下，各個槽的寬度或孔的內(nèi)徑優(yōu)選為框體高度的0. 01 I倍，更優(yōu)選為0. 01 0. 5倍，進一步優(yōu)選為0. 01 0. 2倍。另夕卜，在槽或孔的深度較大的情況下，為了避免框體的剛性降低，優(yōu)選槽的寬度或孔的內(nèi)徑較小。在設(shè)有向把持用的槽或孔7的內(nèi)部變寬的空間7a的情況下，變寬的空間7a的寬度或內(nèi)徑小于框體的寬度W或者高度h。把持用的槽或孔7可用于把持表膜構(gòu)件的框體(包括把 持粘接表膜之前的框體和把持粘接表膜之后的框體這兩種)，能夠在處理表膜構(gòu)件時、將表膜構(gòu)件容納于容納容器時、從容納容器取出表膜構(gòu)件時有效地利用。 對利用把持構(gòu)件把持、固定把持用的槽或孔的方法進行說明。圖11是用于說明利用把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，圖IlA表示向截面為T字形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有由塑料等彈性體形成的鎖定機構(gòu)的把持構(gòu)件16的方式，圖IlB表示向設(shè)置在框體上緣面的、截面為L字形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有L字形的勾掛部的把持構(gòu)件16的方式，圖IlC表示向設(shè)置在框體外側(cè)面的、截面為L字形的、側(cè)壁面構(gòu)成框體的表面一部分的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定具有L字形的勾掛部的把持構(gòu)件16的方式，圖IlD表示向設(shè)置在框體下緣面的、截面為梯形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定L字形的把持構(gòu)件16的前端部的方式，圖IIE表示向設(shè)置在框體內(nèi)側(cè)面的、截面為矩形的把持用的槽或孔7中插入并把持、固定把持構(gòu)件16的方式。在圖IlA E中，把持構(gòu)件16可靠地把持、固定在把持用的槽或孔中。在本發(fā)明中，對于上述大型表膜構(gòu)件的框體，通過在框體的各邊部分別同時把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部的方式來減少撓曲，因此優(yōu)選。更優(yōu)選在大型表膜構(gòu)件的框體的各邊部同時把持所有的把持用的凸部或凹部。另外，在自光掩模剝離表膜構(gòu)件時，能夠在把持把持用的槽或孔之后進行剝離，在剝離時，能夠可靠地傳遞剝離力。第二，對上述框體在所有的邊部分別具有把持用的凸部的形態(tài)進行說明。作為該凸部，存在板狀的形態(tài)或者棒狀的形態(tài)。另外，在本發(fā)明中，板狀的凸部是指形成在框體的外側(cè)面、內(nèi)側(cè)面、上緣面或者下緣面的凸部，且這些面中的該凸部的圓周方向長度為高度方向長度的I. 5倍以上，棒狀的凸部是指該凸部的圓周方向的長度小于該凸部的高度方向長度的I. 5倍。首先，說明形成于框體上的凸部(以下也稱作“突出部”)。圖14是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖14A G是在框體的外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。圖15是表本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖15A D是在框體的上緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖16是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖16A D是在框體的下緣面設(shè)有突出部的方式例子。圖17是表示本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖17A G是在框體的內(nèi)側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。如圖14所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10具有自框體的外側(cè)面5朝向外側(cè)方向突出的突出部7。另外，如圖15所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的上緣面3朝向上方突出的突出部7。另外，如圖16所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的下緣面4朝向下方突出的突出部7。另外，如圖17所不，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以具有自框體的內(nèi)側(cè)面6朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部7。在此，自框體的外側(cè)面5朝向外側(cè)方向突出的突出部7除了沿外側(cè)面5的法線方向突出的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向突出的方式。自框體的上緣面3朝向上方突出的突出部除了沿上緣面3的法線方向突出的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向突出的方式。自框體的下緣面4朝向下方突出的突出部7除了沿下緣面4的法線方向突出的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向突出的方式。自框體的內(nèi)側(cè)面6朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部7除了沿內(nèi)側(cè)面6的法線方向突出的方式之外，也可以做成沿相對于法線方向傾斜的方向突出的方式。自框體的外側(cè)面朝向外側(cè)方向突出的突出部及自框體的內(nèi)側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部的突出量以突出的框體的表面為基準，突出長度為框體寬度的0. I 10倍，優(yōu)選為0. I 5倍，更優(yōu)選為0. I 3倍。另外，自框體的上緣面朝向上方突出的突出部及自框體的下緣面朝向下方突出的突出部的突出量以突出的框體的表面為基準，突出長度為框體寬度的0. I 10倍，優(yōu)選為0. I 5倍，更優(yōu)選為0. I 3倍。在設(shè)有自框體的上緣面3朝向上方突出的突出部7的情況、以及設(shè)有自框體的下緣面4朝向下方突出的突出部7的情況下，除把持、固定的可靠化之外，突出部7對于表膜I的表面的法線方向的撓曲起到加強肋的作用。另一方面，在設(shè)有自框體的外側(cè)面5朝向外側(cè)方向突出的突出部7的情況、以及設(shè)有自框體的內(nèi)側(cè)面6朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部7的情況下，除把持、固定的可靠化之外，對于在鋪展表膜I時由于向與表膜I表面平行的方向施加的張力而使框體向中央方向的撓曲起到加強肋的作用。并且，如圖18所示，本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體10也可以在框體上具有多個突出部7。圖18是表不本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的各種方式例子的局部放大縱剖視圖，圖18A G是設(shè)有多個突出部的方式例子。作為組合，存在具有自框體的外側(cè)面朝向外側(cè)方向突出的突出部和自框體的上緣面朝向上方突出的突出部這兩種突出部的情況、具有自框體的外側(cè)面朝向外側(cè)方向突出的突出部和自框體的下緣面朝向下方突出的突出部這兩種突出部的情況、具有自框體的外側(cè)面朝向外側(cè)方向突出的突出部和自框體的內(nèi) 側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部這兩種突出部的情況。另外，還存在具有自框體的上緣面朝向上方突出的突出部和自框體的下緣面朝向下方突出的突出部這兩種突出部的情況、具有自框體的上緣面朝向上方突出的突出部和自框體的內(nèi)側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部這兩種突出部的情況。還存在具有自框體的下緣面朝向下方突出的突出部和自框體的內(nèi)側(cè)面朝向內(nèi)側(cè)方向突出的突出部這兩種突出部的情況。并且，也存在在框體的4個表面中的3個表面設(shè)置突出部的方式或者在框體的4個表面都設(shè)置突出部的方式。通過在框體的多個表面設(shè)置突出部而使把持、固定更加可靠，而且，能夠增加框體的加強方向。另外，相對于把持框體的不同表面的2種以上把持器具，也具有能夠以同一個框體來應(yīng)對這樣的優(yōu)點。突出部7的截面形狀是矩形(例如圖14A及B、圖15A、圖16A、圖17A及B)、梯形(例如圖14F、圖15D、圖16A、圖17F)、多邊形、圓形、半圓形(例如圖15B、圖15C)或者橢圓形(例如圖14G、圖17G)等，并沒有特別的要求。也可以根據(jù)需要在角部設(shè)置曲率R、C面。圖19和圖20是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖。如圖19A、C及D和圖20所示，突出部7的配置只要在4個邊上都具有把持用的凸部即可，可以配置在框體10的邊部整周上(圖19A)，也可以局部配置在框體10的邊部(圖19C D、圖20A E)上。在局部配置的情況下，也能夠與處理粘貼的光掩模時的把持、固定位置、光掩模的對準標記位置、將光掩模固定于曝光機時的把持、固定位置相對應(yīng)地在框體的指定部位配置突出部。在局部配置突出部的情況下，優(yōu)選預(yù)先配置在框體的任一個邊部上。相對于框體的撓曲加強強度。、在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中把持用的凸部是板狀的情況下，該把持用的凸部所占的長度相對于各邊的長度分別為10%以上，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，更為優(yōu)選。進一步優(yōu)選為20%以上，最優(yōu)選為30%以上。另外，在框體上需要留有通過加工形成具有除把持之外的功能的部分的余地的情況下，優(yōu)選該把持用的凸部所占的長度相對于各邊的長度分別為90%以下。更優(yōu)選為80%以下，最優(yōu)選為70%以下。該把持用的凸部在各邊部的配置為相對于各邊部的各中心對稱的方式，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，較為理想。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中把持用的凸部是棒狀的情況下，其配置優(yōu)選預(yù)先在框體的各邊部上都配置多個。在把持表膜構(gòu)件的框體時，能夠均勻地分散由自重產(chǎn)生的負載偏置，從而能夠抑制撓曲的產(chǎn)生。圖10是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、突出部的配置的、從框體的側(cè)面方向看到的概略圖。如圖IOA所示，從框體的側(cè)面方向看，突出部7也能夠在邊方向上從上緣面?zhèn)认蛳戮壝鎮(zhèn)葍A斜地配置。并且，如圖IOB所示，從框體的側(cè)面方向看，也能夠在邊方向上從上緣面?zhèn)认蛳戮壝鎮(zhèn)?、從下緣面?zhèn)认蛏暇壝鎮(zhèn)冗@樣重復(fù)地配置。圖21是設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部裝卸自由地固定在框體邊部的方式時的局部放大縱剖視圖，圖21A表示螺紋固定，圖21B表示由聯(lián)接器進行的固定，圖21C是表示由彈性體進行的固定，圖21D是表示通過夾持進行的固定。如圖21所示，在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，框體10的突出部7優(yōu)選裝卸自由地固定在框體10的邊部。在表膜構(gòu)件的框體被粘貼于剛性比表膜構(gòu)件的框體高的光掩模之后，由于不必擔心表膜構(gòu)件的框體的剛性，因此，用于提高剛性和固定、把持的突出部也可以拆下。通過這樣操作，也能夠避免受到處理光掩模時的把持、固定位置、將光掩模固定于曝光機時的把持、固定位置的制約。另外，在自光掩模剝離表膜構(gòu)件時，也可以預(yù)先安裝突出部。通過這樣操作，謀求提高表膜構(gòu)件的框體的剛性，能夠把持、固定突出部，因此，在剝離時，能可靠地傳遞剝離力。裝卸方法只要是能夠裝卸的機械的固定方法即可。例如圖21所示，可列舉螺紋、聯(lián)接器、彈性體的插入、夾入等。為了防止起塵，優(yōu)選為也可以對接觸部預(yù)先實施某種表面處理。例如，可列舉由硅橡膠等緩沖材料進行包覆。在突出部能夠裝卸的情況下，突出部也可以由剛性比框體高的原料形成。在框體的外側(cè)面或內(nèi)側(cè)面帶有突出部的情況下，用于安裝突出部的孔或槽的尺寸(內(nèi)徑)為框體高度的0. Ol I倍，優(yōu)選為框體高度的0. 01 0. 5倍，更優(yōu)選為框體高度的0. 01 0. 2倍。另外，在框體的上緣面或下緣面帶有突出部的情況下，用于安裝突出部的孔或槽的尺寸(內(nèi)徑)為框體寬度的0. 01 I倍，優(yōu)選為框體高度的0. 01 0. 5倍，更優(yōu)選為框體高度的0. 01 0. 2倍。為了避免框體的剛性降低，優(yōu)選孔或槽較小。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，例如圖19或圖20所示，框體10的突出部形狀優(yōu)選為板狀。板的厚度小于設(shè)置該板的框體的寬度W或高度h，例如優(yōu)選為突出部7的突出量的0. 01倍以上的厚度，更優(yōu)選為0. I倍以上的厚度。在使突出部7為鉤形的情況下，鉤形的彎曲的前端部7a也可以大于設(shè)置板的框體的寬度W或高度h。在此，如圖20(c)所示，在突出部7為板狀的情況下，也可以從框體的四個角部朝向邊的中央部連續(xù)地增大突出部的突出量。通過這樣,剛性較弱的邊部中央附近的剛性會加強,框體四個角部的剛性和邊部的剛性均勻。 在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，例如圖22所示，也可以將框體20的突出部7的形狀做成棒狀。圖22是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體的另一方式(突出部為棒狀)的立體圖，圖22k表不粘接于光掩模的大型表膜構(gòu)件，圖22B表不大型表膜構(gòu)件的框體。棒狀突出部7的截面形狀為矩形、梯形、多邊形、圓形、橢圓形等，并沒有特別的要求。也可以根據(jù)需要在角部設(shè)置曲率R、C面。突出部7也可以設(shè)置在框體20的上緣面、下緣面、外側(cè)面或內(nèi)側(cè)面中的任一個面上。圖22是在外側(cè)面設(shè)有突出部的方式例子。例如，在設(shè)置于上緣面3或下緣面4的情況下，棒的直徑優(yōu)選為框體寬度的0. I 2倍的長度，更優(yōu)選為0. I 0. 5倍的長度。例如在設(shè)置于外側(cè)面5或內(nèi)側(cè)面6的情況下,棒的直徑優(yōu)選為框體高度的0. I 3倍的長度，更優(yōu)選為0. I I倍的長度。圖23是用于說明本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體上的、棒狀突出部的配置的、看表膜的方向的概略圖，圖23A與圖22的方式相同，是在短邊和長邊分別各設(shè)有3條突出部的情況，圖23B是在短邊和長邊分別各設(shè)有I條突出部、并且在4個角各設(shè)有I條突出部的情況，圖23C是使圖23A中的各邊上的突出部一體化的情況。在圖23C中，由于3條棒狀突出部7 —體化，因此，除期待提高強度之外，拆卸時作業(yè)性也較佳。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，突出部優(yōu)選其前端做成鉤形。例如為L字形(例如圖14C及E、圖15C、圖16D、圖17C及E)、T字形(例如圖14D、圖17D)。與沒有鍵的情況相比，能夠勾掛于把持構(gòu)件，因此，把持、固定更加可靠。在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時，框體的突出部也可以形成為與光掩模的外周側(cè)面接觸?；蛘?，在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時，框體的突出部也可以形成為與形成于光掩模上的槽接觸。圖24是包含設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部的局部放大縱剖視圖，圖24A表示突出部為L字形、前端彎曲的邊部與光掩模接觸的方式，圖24B表示突出部為L字形、前端刺入到設(shè)置于光掩模上的槽中的方式。如圖24A所示，在與下緣面4垂直的方向上的L字形突出部的前端部7a自粘合材料2的下表面突出的情況下，L字形突出部的前端部7a配置為與光掩模9的外側(cè)面大體接觸?；蛘?，如圖24B所示，在必須將與下緣面4垂直的方向上的L字形突出部的前端部7a配置在比光掩模9的外側(cè)面靠內(nèi)側(cè)的情況下，也可以將光掩模9的表面切削為與前端部7a相同的形狀。在圖24A及B的任一種情況下，在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時，都起到使表膜構(gòu)件的對位簡化、提高表膜構(gòu)件的粘貼位置精度的效果。并且,在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時，框體的突出部也可以形成為與光掩模的外周側(cè)面及形成于光掩模上的槽接觸。例如，是將框體的左右的突出部中的一個突出部形成為與光掩模的外周側(cè)面接觸、將另一個突出部形成為與形成于光掩模上的槽接觸的方式。或者，是將框體的突出部做成F字形、將前端側(cè)彎曲的部分形成為與光掩模的外周側(cè)面接觸、將跟前側(cè)彎曲的部分形成為與形成于光掩模上的槽接觸的方式。這樣，只要在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時起到使表膜構(gòu)件的對位簡化、提高表膜構(gòu)件的粘貼位置精度的效果，也可以將方式變形。圖25在設(shè)置于大型表膜構(gòu)件的框體上的突出部中組合另一零件而固定大型表膜構(gòu)件時的局部放大縱剖視圖。如圖25所示，在本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體中，優(yōu)選為在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模9時，框體的突出部7與另一零件15組合，從而形成為能夠利用物理方法將框體10固定于光掩模9。通過這樣，能將表膜構(gòu)件可靠地安裝于光掩模，能夠防止脫落等。作為將另一零件15安裝于框體的突出部7的方法，可以使用螺紋卡定、聯(lián)接器、采用彈性體進行的嵌合、夾入等各種固定方法。突出部也能用于把持、固定，能夠在處理表膜構(gòu)件時、將其容納于容納容器時、從容納容器取出表膜構(gòu)件時有效地利用。說明由把持構(gòu)件把持、固定突出部的方法。圖26是用于說明由把持構(gòu)件把持、固定本實施方式的大型表膜構(gòu)件的框體時的情形的局部放大縱剖視圖，圖26A表示把持、固定截面為矩形的突出部的方式，圖26B表示把持、固定設(shè)置于框體外側(cè)面的突出部、即截面為L字形的突出部的方式，圖26C表示把持、固定設(shè)置于框體上緣面的突出部、即截面為L字形的突出部的方式，圖26D表示把持、固定設(shè)置于框體內(nèi)側(cè)面的突出部、2個矩形的突出部的方式。在圖26A及C中，把持構(gòu)件16可靠地把持、固定突出部。在圖26B中，突出部的L字前端部(鉤部分)勾掛于把持構(gòu)件16而被更可靠地把持、固定。另外，在圖26D中，在2個矩形的突出部之間勾掛把持構(gòu)件16而被可靠地把持、固定。對于以上說明的、框體在所有的邊部分別具有把持用的凹部的形態(tài)以及框體在所有的邊部分別具有把持用的凸部的形態(tài)，不言而喻，也可以在一個框體中將把持用的凹部和凸部組合起來使用。在強調(diào)空間效率的情況下，優(yōu)選為凹部，在強調(diào)框體的加強效果的情況下，優(yōu)選為凸部，但在上述各種形態(tài)的范圍內(nèi)，可以與把持構(gòu)件的設(shè)計相結(jié)合地進行設(shè)計。對于把持本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體，優(yōu)選在框體的各邊部分別同時把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部，更優(yōu)選在框體的各邊部分別同時把持至少2處以上的把持用的凸部或凹部，最優(yōu)選在框體的各邊部同時把持所有的把持用的凸部或凹部。對粘接有表膜的框體施加由表膜欲收縮的張力產(chǎn)生的向內(nèi)側(cè)方向拉伸的應(yīng)力。在本實施方式中，在自框體的內(nèi)側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式的情況下，能夠通過插入到把持用的槽或孔中的把持構(gòu)件對框體的邊部施加外側(cè)的應(yīng)力。由此，能夠矯正由上述應(yīng)力產(chǎn)生的框體的微小變形。并且，在自框體的上緣面挖掘把持用的槽或孔的方式、自框體的下緣面挖掘把持用的槽或孔的方式或自框體的外側(cè)面挖掘把持用的槽或孔的方式中的任一種方式中，例如通過設(shè)置向槽或孔的內(nèi)部變寬的空間部，并在把持構(gòu)件的插入的前端部設(shè)置鎖定機構(gòu)，均能夠矯正框體由表膜產(chǎn)生的向內(nèi)側(cè)變形。同樣，對于形成于框體上的凸部，、通過把持凸部，也能夠矯正框體由表膜產(chǎn)生的向內(nèi)側(cè)方向變形。另外，不言而喻，矯正上述框體向內(nèi)側(cè)變形的方法除能夠應(yīng)用于矯正由表膜的收縮張力導(dǎo)致的向內(nèi)側(cè)變形的情況之外，也能夠應(yīng)用于由框 體的自重、除膜張力之外的外力導(dǎo)致的變形的情況。在矯正大型表膜構(gòu)件的框體形狀時，優(yōu)選在上述大型表膜構(gòu)件的框體的各邊部分別同時把持至少I處以上的把持用的凸部或凹部，對上述大型表膜構(gòu)件的框體的至少I處施加應(yīng)力，從而減少該框體的變形。實施例本發(fā)明人等使用具有上述構(gòu)造的本發(fā)明的大型表膜構(gòu)件的框體進行實驗，結(jié)果可獲得以下實施例所示的好結(jié)果。實施例I準備長邊長度為1600mm、短邊長度為1400mm、寬度為14mm、高度為6mm的四邊形的鋁合金制的框體。在各邊外側(cè)面的高度為3mm的位置，以距各邊的中央及各邊的兩端250mm的3點為中心，利用切削加工在框體的所有4條邊中的各邊上分別形成3處開口部的圓周方向長度為200mm、開口部的高度為I. 5mm、槽的深度為3mm的槽。在框體的下緣面，作為粘合材料層而粘貼表面涂敷有丙烯酸類粘接劑的聚乙烯發(fā)泡體基材(厚度為1mm)。接著，在該粘合材料層上層疊與上述框體相同的框狀的保護膜，即在表面涂敷有硅類脫模劑的聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂制的保護膜，該保護膜被設(shè)置為在長邊的中央部向框體的外側(cè)方向伸出尺寸為寬IOmmX長900mm的按壓部分、在短邊的中央部向框體的外側(cè)方向伸出尺寸為寬IOmmX長750mm的按壓部分、在四角的頂點以頂點為中心向框體的外側(cè)方向伸出半徑IOmm的按壓部分(參照圖27)。將這樣地獲得的帶有保護膜的大型表膜構(gòu)件的框體搭載在利用ABS樹脂材料真空成形的容納容器的托盤上，借助粘合帶(帶尺寸長邊15mmX940mm、短邊15mmX790mm、四角15mmX60mm)將上述按壓部分的8處粘合固定于托盤上。實施例2除長邊長度為1800mm、短邊長度為1600mm、寬度為16mm之外，準備與上述實施例I同樣的框體，與實施例I同樣地將其固定于托盤上。實施例3除長邊長度為2000mm、短邊長度為1800mm、寬度為18mm之外，準備與上述實施例I同樣的框體，與實施例I同樣地將其固定于托盤上。實施例4除在距各邊的中央及各邊的兩端150mm的3點、在框體的外側(cè)面、在框體的所有4條邊中的各邊上分別形成3處開口部的直徑為3mm、深度為3mm的圓形的孔之外，準備與上述實施例2同樣的框體，與實施例I同樣地將其固定于托盤上。比較例I除在短邊外側(cè)面的整周上形成開口部的高度為I. 5mm、槽的深度為3mm的槽、在長邊上未形成把持部之外，準備與上述實施例2同樣的框體，與實施例I同樣地將其固定于托盤上。實施例5除在距長邊的中央及兩端150mm的位置、在框體的外側(cè)面各形成3處開口部的直徑為3mm、深度為3mm的圓形的孔、在短邊中央的框體的外側(cè)面各形成I處開口部的直徑為3mm、深度為3mm的圓形的孔之外，準備與上述實施例2同樣的框體，與實施例I同樣地將其固定于托盤上。以下表I中表示上述實施例I 5和比較例I的評價結(jié)果。利用粘接固定于托盤上之前的框體對表膜構(gòu)件框體進行可靠的把持評價。在實施例I 3的情況下，作為把持構(gòu)件，準備具有由強化塑料制成的寬度100mm、厚度0. 75mm的板狀的把持構(gòu)件的12組工具，將該把持構(gòu)件插入到框體的各邊的所有的把持用的槽中同時進行把持，水平地抬起框體。另外，在比較例I的情況下，將相同的工具插入到以距兩短邊的中央及兩短邊的兩端250mm的共計6點為中心的6處，水平地抬起框體。另外，在實施例4 5的情況下，作為把持構(gòu)件，準備由強化塑料制成的直徑2mm的棒，將該把持構(gòu)件插入到框體的各邊上的所有的把持用的孔中同時進行把持，水平地抬起框體。在水平地抬起之后，在水平狀態(tài)下以每I秒I次的比例使其在300mm的高度上下5次，用“〇”表示所有的把持構(gòu)件都未從所有的把持用的槽或孔脫出的情況，用“A”表示一部分把持構(gòu)件從對應(yīng)的一部分把持用的槽或孔脫出的情況，用“ X ”表示所有的把持構(gòu)件從所有的把持用的槽或 孔脫出而表膜構(gòu)件框體落下的情況。另外，利用隔著保護膜粘接固定于水平放置的托盤上的框體對該表膜構(gòu)件框體進行撓曲防止評價。在實施例I 3的情況下，作為把持構(gòu)件，準備具有由強化塑料制成的寬度100mm、厚度0. 75mm的板狀的把持構(gòu)件的12組工具，將該把持構(gòu)件插入到框體的各邊上的所有的把持用的槽中同時進行把持，水平地抬起框體。另外，在比較例I的情況下，將相同的工具插入到以距兩短邊的中央及兩短邊的兩端250mm的共計6點為中心的6處，水平地抬起框體。另外，在實施例4 5的情況下，作為把持構(gòu)件，準備由強化塑料制成的直徑2mm的棒，將該把持構(gòu)件插入到框體的各邊上的所有的把持用的孔中同時進行把持，水平地抬起框體。抬起的速度為每秒lcm，用“◎”表示即將完全剝開保護膜與粘合材料的界面之前的表膜構(gòu)件框體的邊的撓曲量小于IOmm的情況，用“〇”表示即將完全剝開保護膜與粘合材料的界面之前的表膜構(gòu)件框體的邊的撓曲量大于等于IOmm且小于15mm的情況，用“A”(在實際應(yīng)用中沒有問題的下限水平)表示即將完全剝開保護膜與粘合材料的界面之前的表膜構(gòu)件框體的邊的撓曲量大于等于15mm且小于20mm的情況，用“X”(在實際應(yīng)用中存在問題的水平)表示即將完全剝開保護膜與粘合材料的界面之前的表膜構(gòu)件框體的邊的撓曲量大于等于20mm的情況。表I
權(quán)利要求
1.ー種大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法，該框體具有由多條邊構(gòu)成的多邊形形狀，能夠在該框體的上緣面粘接表膜，在該框體的下緣面涂敷粘合材料，上述框體的最長邊的長度為Im以上，其中， 上述框體在所有的邊部分別具有把持用的凸部或凹部； 在上述框體的所有邊部上分別把持至少I處的把持用的凸部或凹部而進行搬運。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法，其特征在于， 在上述大型表膜構(gòu)件的框體的所有邊部上把持所有的把持用的凸部或凹部。
全文摘要
本發(fā)明提供大型表膜構(gòu)件的框體的把持方法。該框體具有由多條邊構(gòu)成的多邊形形狀的框體、由粘接在該框體的上緣面的表膜和涂敷在該框體的下緣面的粘合材料構(gòu)成，在把持上述框體的最長邊的長度為1m以上的大型表膜構(gòu)件的上述框體時，上述框體在所有的邊部上分別具有把持用的凸部或凹部，通過在上述框體的各邊部上分別同時把持至少1處以上的把持用的凸部或凹部，能夠可靠地把持框體，而且在將表膜構(gòu)件粘貼于光掩模時不會產(chǎn)生歪斜、撓曲而簡單地將表膜構(gòu)件從容納容器取出。
文檔編號G03F1/64GK102681334SQ20121014072
公開日2012年9月19日 申請日期2008年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月6日
發(fā)明者前田拓郎, 谷村彰浩 申請人:旭化成電子材料株式會社