防止顯示面板異常放電的裝置和顯示面板制備系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種防止顯示面板異常放電的裝置以及基于該裝置的顯示面板制備系統(tǒng)，其中防止顯示面板異常放電的裝置包括接觸端子和電壓控制器，接觸端子為導(dǎo)體，用于與待加工基板上的靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行連接，電壓控制器與接觸端子連接，用于調(diào)節(jié)接觸端子上的電壓，以去除待加工基板上的靜電。上述裝置和系統(tǒng)特別適用于大尺寸或者高像素密度顯示面板的制作過(guò)程中，靜電導(dǎo)出線(xiàn)吸收電荷以消除顯示面板表面積聚的大量電荷，電壓控制器通過(guò)接觸端子連接到靜電釋放觸點(diǎn)時(shí)，利用電壓控制器調(diào)節(jié)電壓去除顯示面板表面上的電荷，實(shí)現(xiàn)對(duì)聚集在顯示面板表面上電荷的異常放電進(jìn)行控制，使得顯示面板表面的電荷與工藝反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體電場(chǎng)保持平衡。
【專(zhuān)利說(shuō)明】防止顯示面板異常放電的裝置和顯示面板制備系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及防止顯示面板異常放電的裝置和顯示面板制備系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前在 TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶體管液晶顯示器)顯示面板的制作工藝過(guò)程中，由于鋪設(shè)公共電極線(xiàn)以及像素電極線(xiàn)等各種電極線(xiàn)，會(huì)由于靜電作用在顯示面板表面積聚集大量電荷，或產(chǎn)生了隨電壓交流變化的電荷，這些電荷會(huì)吸引工藝反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體，最終導(dǎo)致腔室內(nèi)的等離子體電場(chǎng)發(fā)生紊亂，導(dǎo)致放電異常問(wèn)題的發(fā)生。其中在顯示面板表面積聚的電荷是放電異常問(wèn)題發(fā)生的主要原因。
[0003]目前解決放電問(wèn)題的方法包括更改制作圖層的光罩(即Mask)設(shè)計(jì)、更改制作工藝等。其中變更Mask設(shè)計(jì)需要對(duì)制作每個(gè)圖層的光罩都重新進(jìn)行設(shè)計(jì)，制作成本較大；更改制作工藝不需要對(duì)光罩重新設(shè)計(jì)，制作成本沒(méi)有較大的增加，但是更改制作工藝之后達(dá)到解決放電問(wèn)題的效果不明顯。特別是對(duì)于現(xiàn)在使用較為廣泛的大尺寸顯示屏或高像素密度的顯示屏，放電問(wèn)題更加明顯，采用上述兩種方法均無(wú)法解決。
[0004]基于上述，現(xiàn)有技術(shù)對(duì)于顯示面板制作工藝中未能消除顯示面板表面積聚的電荷，產(chǎn)生的放電異常的問(wèn)題無(wú)法得到有效的解決。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何消除顯示面板聚集的大量電荷，避免異常放電的發(fā)生。
[0007]( 二 )技術(shù)方案
[0008]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種防止顯示面板異常放電的裝置，包括接觸端子和電壓控制器，所述接觸端子為導(dǎo)體，用于與待加工基板上的靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行連接，所述電壓控制器與所述接觸端子連接，用于調(diào)節(jié)所述接觸端子上的電壓，以去除所述待加工基板上的靜電。
[0009]進(jìn)一步地，所述接觸端子還用于遮擋靜電釋放觸點(diǎn)。
[0010]進(jìn)一步地，所述接觸端子為板狀。
[0011]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供了一種顯示面板制備系統(tǒng)，包括以上所述的防止顯示面板異常放電的裝置，還包括待加工基板，所述待加工基板上設(shè)置有靜電導(dǎo)出線(xiàn)，所述待加工基板上具有至少一個(gè)顯示面板，所述顯示面板內(nèi)包含有金屬線(xiàn)，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)的一端與所述金屬線(xiàn)相連，另一端與所述靜電釋放觸點(diǎn)相連接。
[0012]進(jìn)一步地，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)設(shè)置在顯示面板以外的切割區(qū)，所述金屬線(xiàn)延伸到所述切割區(qū)以與所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)相連。
[0013]進(jìn)一步地，所述靜電釋放觸點(diǎn)設(shè)置在所述待加工基板的邊緣，且所述靜電釋放觸點(diǎn)位于所述顯示面板之外的區(qū)域。
[0014]進(jìn)一步地，所述電壓控制器提供預(yù)設(shè)電壓以去除靜電。
[0015]進(jìn)一步地，所述接觸端子還用于在顯示面板制作過(guò)程中對(duì)所述靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行遮擋，防止絕緣材料覆蓋在所述靜電釋放觸點(diǎn)上。
[0016]進(jìn)一步地，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)為至少一層，每層靜電導(dǎo)出線(xiàn)對(duì)應(yīng)于所述顯示面板內(nèi)的一層金屬線(xiàn)。
[0017]進(jìn)一步地，不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)連接的靜電釋放觸點(diǎn)相互獨(dú)立或相互連通。
[0018](三)有益效果
[0019]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種防止顯示面板異常放電的裝置以及基于該裝置的顯示面板制備系統(tǒng)，其中防止顯示面板異常放電的裝置包括接觸端子和電壓控制器，接觸端子為導(dǎo)體，用于與待加工基板上的靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行連接，電壓控制器與接觸端子連接，用于調(diào)節(jié)接觸端子上的電壓，以去除待加工基板上的靜電。上述裝置和系統(tǒng)特別適用于大尺寸或者高像素密度顯示面板的制作過(guò)程中，靜電導(dǎo)出線(xiàn)吸收電荷以消除顯示面板表面積聚的大量電荷，電壓控制器通過(guò)接觸端子連接到靜電釋放觸點(diǎn)時(shí)，利用電壓控制器調(diào)節(jié)電壓去除顯示面板表面上的電荷，避免異常放電的發(fā)生，實(shí)現(xiàn)對(duì)聚集在顯示面板表面上電荷的異常放電進(jìn)行控制，使得顯示面板表面的電荷與工藝反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體電場(chǎng)保持平衡。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本發(fā)明實(shí)施例二中提供的一種顯示面板制備系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；
[0021]圖2是本發(fā)明實(shí)施例二中提供的一種顯示面板制備系統(tǒng)的俯視圖；
[0022]圖3是利用實(shí)施例二中提供的顯示面板制備系統(tǒng)加工陣列基板的步驟流程圖。
[0023]圖中編號(hào)代表的含義分別為:
[0024]10、機(jī)臺(tái)；20、待加工基板；30、顯示面板；40、金屬線(xiàn)；50、靜電導(dǎo)出線(xiàn)；60、靜電釋放觸點(diǎn)；70、接觸端子；80、電壓控制器。

【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0026]由于異常放電發(fā)生的原理是:在顯示面板的制作工藝中，由于金屬線(xiàn)的形成會(huì)在顯示面板表面積聚電荷，或產(chǎn)生了隨顯示面板上電壓交流變化的電荷，這些電荷會(huì)對(duì)工藝反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體產(chǎn)生的電荷造成影響，導(dǎo)致反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體電場(chǎng)發(fā)生紊亂，最終導(dǎo)致異常放電的發(fā)生?？梢?jiàn)顯示面板表面積聚的電荷是異常放電發(fā)生的主要原因，因此需要及時(shí)消除顯示面板表面積聚的電荷。
[0027]實(shí)施例一
[0028]基于上述，本發(fā)明實(shí)施例一提出了一種防止顯示面板異常放電的裝置，包括接觸端子70和電壓控制器80，接觸端子70為導(dǎo)體，用于與待加工基板20上的靜電釋放觸點(diǎn)60進(jìn)行連接，電壓控制器80與接觸端子70連接，用于調(diào)節(jié)接觸端子70上的電壓，以去除待加工基板20上的靜電。
[0029]該裝置用于顯示面板制作過(guò)程中，其中顯示面板包括陣列基板和彩膜基板，如果以陣列基板為例，具體是用于在襯底基板(一般是玻璃基板)上制作金屬薄膜，經(jīng)過(guò)構(gòu)圖工藝形成金屬線(xiàn)(例如柵線(xiàn))，這些金屬線(xiàn)會(huì)在待加工基板表面形成電荷，由于接觸端子是導(dǎo)體，當(dāng)接觸端子和待加工基板上的靜電釋放觸點(diǎn)連接時(shí)，通過(guò)控制電壓控制器產(chǎn)生合適的電壓可以對(duì)待加工基板表面上的電荷進(jìn)行去除，以達(dá)到防靜電的目的，盡可能避免在顯示面板制作過(guò)程中在基板表面發(fā)生異常放電，或降低其發(fā)生的概率。
[0030]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中的接觸端子70還用于遮擋靜電釋放觸點(diǎn)60，具體的，接觸端子70在與靜電釋放觸點(diǎn)60連接時(shí)除了能夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)出或吸收待加工基板20表面電荷功能的同時(shí)，還可以在制作絕緣層時(shí)利用接觸端子70對(duì)靜電釋放觸點(diǎn)60進(jìn)行遮擋，防止靜電釋放觸點(diǎn)60被絕緣層覆蓋后無(wú)法和接觸端子連接而不能實(shí)現(xiàn)靜電導(dǎo)出的功能。優(yōu)選地，本實(shí)施例中的接觸端子為板狀，因?yàn)榘鍫罱Y(jié)構(gòu)的接觸端子能夠更好的實(shí)現(xiàn)對(duì)靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行遮擋的作用。
[0031]綜上所述，本實(shí)施例中提供的裝置用于顯示面板制作過(guò)程，可以對(duì)顯示面板制作時(shí)在待加工基板表面產(chǎn)生的靜電電荷，通過(guò)吸收的方式對(duì)該靜電電荷進(jìn)行去除，或者通過(guò)電壓控制器產(chǎn)生與顯示面板表面電荷相平衡的電荷和靜電電荷相抵消的方式去除，以達(dá)到防止顯示面板制作過(guò)程中發(fā)生異常放電的目的。
[0032]實(shí)施例二
[0033]本發(fā)明實(shí)施例二還提供了一種顯示面板制備系統(tǒng)，除了包括實(shí)施例一中的防止顯示面板異常放電的裝置，還包括待加工基板20，待加工基板20上設(shè)置有靜電導(dǎo)出線(xiàn)50，待加工基板20上具有至少一個(gè)顯示面板30，顯示面板30內(nèi)包含有金屬線(xiàn)40，靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的一端與金屬線(xiàn)40相連，另一端與靜電釋放觸點(diǎn)60相連接。
[0034]由于顯示面板30制作時(shí)構(gòu)圖工藝的成本比較高，一般在加工過(guò)程中會(huì)在一塊面積較大的待加工基板20上需要制作多個(gè)顯示面板30，不同顯示面板30同一層到的構(gòu)圖工藝相同，因此會(huì)在待加工基板20上同時(shí)制作多個(gè)顯示面板30，顯示面板30制作完成后再進(jìn)行切割，得到符合設(shè)計(jì)尺寸的單個(gè)顯示面板30。如果以顯示面板30中陣列基板制作過(guò)程為例，一般包括:在襯底基板上沉積金屬薄膜，經(jīng)過(guò)第一構(gòu)圖工藝形成金屬線(xiàn)40，之后制作一層絕緣層，繼續(xù)制作金屬薄膜，經(jīng)過(guò)第二構(gòu)圖工藝再形成金屬線(xiàn)40，如此重復(fù)，直到完成所有薄膜的制作。一般在陣列基板中至少有兩層金屬線(xiàn)40。
[0035]除單個(gè)顯示面板30外，在待加工基板20上顯示面板30以外、相鄰的顯示面板30之間還存在切割區(qū)，切割區(qū)是不屬于顯示面板30的部分。本實(shí)施例中的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50就設(shè)置在顯示面板30以外的切割區(qū)，顯示面板30內(nèi)的金屬線(xiàn)40在待加工基板20上延伸到切割區(qū)，以與切割區(qū)的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50相連。
[0036]具體的，本實(shí)施例中的靜電釋放觸點(diǎn)60設(shè)置在待加工基板20的邊緣，且靜電釋放觸點(diǎn)60位于顯示面板30之外的區(qū)域。為實(shí)現(xiàn)靜電釋放觸點(diǎn)60與連接端子接觸，需要將靜電釋放觸點(diǎn)60設(shè)置在待加工基板20的邊緣，同時(shí)為實(shí)現(xiàn)靜電釋放觸點(diǎn)60與靜電導(dǎo)出線(xiàn)50相連，還需要將靜電釋放觸點(diǎn)60和靜電導(dǎo)出線(xiàn)50同樣的設(shè)置在顯示面板30之外的區(qū)域，即切割區(qū)。
[0037]優(yōu)選地，本實(shí)施例中的電壓控制器80提供預(yù)設(shè)電壓以去除靜電。防止顯示面板30異常放電裝置中的接觸端子70和靜電釋放觸點(diǎn)60接觸時(shí)，電壓控制器80可以為靜電釋放觸點(diǎn)60提供預(yù)設(shè)電壓，該預(yù)設(shè)電壓產(chǎn)生的電荷的數(shù)目與顯示面板30內(nèi)金屬線(xiàn)40產(chǎn)生的靜電電荷的數(shù)目相同，同時(shí)該預(yù)設(shè)電壓產(chǎn)生的靜電電荷的極性與顯示面板30內(nèi)金屬線(xiàn)40產(chǎn)生的靜電電荷的極性相反，因此通過(guò)電壓控制器80能夠?qū)︼@示面板30內(nèi)金屬線(xiàn)40產(chǎn)生的靜電電荷通過(guò)吸收的方式進(jìn)行去除，達(dá)到防止異常放電的目的。
[0038]需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中的電壓控制器80為電壓源，可以根據(jù)需要對(duì)電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，具體施加電壓的大小需要根據(jù)具體情況進(jìn)行設(shè)定。
[0039]進(jìn)一步，本實(shí)施例中的接觸端子70除了實(shí)現(xiàn)電壓控制器80和靜電釋放觸點(diǎn)60之間的連接功能以外，還具有遮擋的功能，具體的接觸端子70還用于在顯示面板30制作過(guò)程中對(duì)靜電釋放觸點(diǎn)60進(jìn)行遮擋，防止絕緣材料覆蓋在靜電釋放觸點(diǎn)60上。靜電導(dǎo)出線(xiàn)50和金屬線(xiàn)40在待加工基板20上同層形成，只是形成的區(qū)域不同，金屬線(xiàn)40形成在顯示面板30上，靜電導(dǎo)出線(xiàn)50形成在顯示面板30以外的切割區(qū)，為了能夠?qū)⒔饘倬€(xiàn)40連接到靜電導(dǎo)出線(xiàn)50，金屬線(xiàn)40還要向切割區(qū)延伸。靜電釋放觸點(diǎn)60可以實(shí)現(xiàn)靜電導(dǎo)出線(xiàn)50和接觸端子70的連接(具體是電連接)，需要盡量避免靜電釋放觸點(diǎn)60被絕緣材料覆蓋，因此在制作過(guò)程中需要利用接觸端子70對(duì)靜電釋放觸點(diǎn)60進(jìn)行遮擋。
[0040]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中靜電導(dǎo)出線(xiàn)50為至少一層，每層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50對(duì)應(yīng)于顯示面板30內(nèi)的一層金屬線(xiàn)40，即靜電導(dǎo)出線(xiàn)50是與顯示面板30內(nèi)的金屬線(xiàn)40相對(duì)應(yīng)設(shè)置的，此處的“相對(duì)應(yīng)”體現(xiàn)在層結(jié)構(gòu)分布上，即一層金屬線(xiàn)40對(duì)應(yīng)一層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50。每層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50與該層顯示面板30內(nèi)的金屬線(xiàn)40相連，實(shí)現(xiàn)對(duì)該層金屬線(xiàn)40在待加工基板20表面產(chǎn)生的靜電進(jìn)行去除。進(jìn)一步地，不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50連接的靜電釋放觸點(diǎn)60相互獨(dú)立或相互連通，即對(duì)于不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50而言，可以不同層的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50共用同一個(gè)靜電釋放觸點(diǎn)60，也可以每層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50僅與該層的靜電釋放觸點(diǎn)60連接。
[0041]本實(shí)施例中顯示面板30制備系統(tǒng)工作時(shí)的結(jié)構(gòu)圖如圖1所示，待加工基板20設(shè)置在機(jī)臺(tái)10上，在待加工基板20制作的顯示面板30具體以陣列基板為例，圖1中示出的待加工基板20上制作出4個(gè)陣列基板，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中一塊待加工基板20上一次會(huì)做出多個(gè)陣列基板，具體數(shù)目需要根據(jù)設(shè)備代線(xiàn)確定。圖1中的4個(gè)陣列基板按照2*2矩陣方式分布，將第一行的兩個(gè)陣列基板內(nèi)金屬線(xiàn)40都連接到陣列基板30以外切割區(qū)的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50上，將第二行的兩個(gè)陣列基板內(nèi)的金屬線(xiàn)40都連接到陣列基板以外切割區(qū)的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50上。
[0042]需要說(shuō)明的是，圖1中的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50是按照行向分布的，還可以是按照列向分布，即將第一列兩個(gè)顯示面板30上的所有金屬線(xiàn)40連接到第一條列向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50上，同理第二列兩個(gè)顯示面板30上的所有金屬線(xiàn)40也都連接到第二條列向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50上。
[0043]另外，多個(gè)顯示面板30 (具體以陣列基板為例)30在待加工基板20的機(jī)臺(tái)10上按照矩陣方式分布，即以行和/或列分布，可以是多個(gè)顯示面板30在一行，或者多個(gè)顯示面板30在一列，或者多個(gè)顯示面板30是m*n矩陣方式分布。更進(jìn)一步地，靜電導(dǎo)出線(xiàn)50在待加工基板20上按照行或列分布，位于同一行顯示面板30的所有金屬線(xiàn)40與行向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50連接；或同一列顯示面板30的所有金屬線(xiàn)40與列向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50連接。
[0044]還需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中對(duì)于顯示面板30的分布方式以及靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的布線(xiàn)方式只是一個(gè)示例，并不表示其分布方式僅限于此，還可以是顯示面板30按照上述方式以外的設(shè)計(jì)方式分布，而是不規(guī)則分布，例如以下方式分布:
[0045](I)如不同行或不同列之間的顯示面板30交錯(cuò)分布，即第二行/列的顯示面板30的中線(xiàn)位置對(duì)應(yīng)第一行/列的顯示面板30的空隙，而不是與第一行/列的顯示面板30的中線(xiàn)位置一致。靜電導(dǎo)出線(xiàn)50仍然按照行或列的方式分布。
[0046](2)如果顯示面板30的數(shù)目夠多，可以是由三個(gè)顯示面板30分布在三角形的三個(gè)頂點(diǎn)上，位于機(jī)臺(tái)的中心位置，其余顯示面板30構(gòu)成的三角形為與中心三角形同心的三角形。靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的分布路線(xiàn)和數(shù)目可以隨意，只要能夠通過(guò)靜電導(dǎo)出線(xiàn)50將機(jī)臺(tái)10上所有顯示面板30的金屬線(xiàn)40都連接起來(lái)即可。
[0047](3)對(duì)(2)進(jìn)一步擴(kuò)充，顯示面板30構(gòu)成的圖形還可以是五邊形、六邊形等各種形狀，甚至是不規(guī)則的分布也可以，同樣對(duì)靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的分布路線(xiàn)和數(shù)目也不做限定，只要能夠通過(guò)靜電導(dǎo)出線(xiàn)50將待加工基板20上所有顯示面板30內(nèi)的金屬線(xiàn)都連接起來(lái)即可。
[0048]還需要強(qiáng)調(diào)的是，圖1只是示出了一種情況，但并不表示對(duì)靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的設(shè)置方向進(jìn)行限定，本實(shí)施例中陣列基板(顯示面板30)的分布方式以及靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的分布方式還可以按照上述設(shè)置方式以外的任何方式進(jìn)行設(shè)計(jì)。雖然設(shè)計(jì)方式有多種，一般在實(shí)際生產(chǎn)中為了方便后續(xù)切割工藝的操作，陣列基板在待加工基板20上按照行、列分布，相對(duì)應(yīng)的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50也是按照行、列分布。
[0049]需要說(shuō)明的是，為了保證接觸端子70與靜電釋放觸點(diǎn)之間的可靠連接，一般靜電釋放觸點(diǎn)60的寬度要大于靜電導(dǎo)出線(xiàn)50的寬度。
[0050]還需要說(shuō)明的是，對(duì)于靜電導(dǎo)出線(xiàn)50除了以圖1所示按照行向設(shè)置之外，為了實(shí)現(xiàn)更好的防止異常放電的效果，還可以是行和列交叉分布，如圖2所示，圖2為上述顯示面板30制備系統(tǒng)的俯視圖，四個(gè)顯示面板30分別為PanelA、PanelB、PanelC和PanelD，既有行向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50，也有列向分布的靜電導(dǎo)出線(xiàn)50，且在交叉處電連接。
[0051]基于上述，利用上述顯示面板30制備系統(tǒng)制作陣列基板的步驟流程圖如圖3所示，具體包括以下步驟:
[0052]加工工藝開(kāi)始之前，在待加工基板20上進(jìn)行區(qū)域劃分，具體劃分為兩種，一種是制作完成后形成顯示面板30的區(qū)域，即PanelA、PanelB、PanelC和PanelD所在的區(qū)域,另一種是這四個(gè)Panel區(qū)以外的區(qū)域，即切割區(qū)，一般該步驟需要根據(jù)設(shè)計(jì)需求以及設(shè)備型號(hào)進(jìn)行規(guī)劃。
[0053]步驟S1、在待加工基板20上沉積金屬薄膜，經(jīng)過(guò)第一次構(gòu)圖工藝在Panel區(qū)形成第一層金屬線(xiàn)40,在切割區(qū)形成第一層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50,同時(shí)在待加工基板20的邊緣,與第一層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50相連的位置形成靜電釋放觸點(diǎn)60，在靜電導(dǎo)出線(xiàn)50靠近待加工基板20邊緣的位置均形成靜電釋放觸點(diǎn)60。為實(shí)現(xiàn)較好的防靜電效果在靜電導(dǎo)出線(xiàn)50任何一個(gè)靠近待加工基板20邊緣的位置都設(shè)置有靜電釋放觸點(diǎn)60 ;但是僅在靜電導(dǎo)出線(xiàn)50靠近待加工基板20邊緣的一個(gè)位置設(shè)置靜電釋放觸點(diǎn)60也可以實(shí)現(xiàn)防靜電的效果，如圖1和2所示。
[0054]步驟S2、使防止顯示面板30異常放電的裝置中接觸端子70與靜電釋放觸點(diǎn)60相接觸，并由電壓控制器80提供合適大小的電壓，對(duì)步驟SI得到的基板上第一層金屬線(xiàn)40之間產(chǎn)生的靜電電荷進(jìn)行去除。
[0055]步驟S3、繼續(xù)保持接觸端子70與靜電釋放觸點(diǎn)60相接觸，在步驟SI得到的基板表面形成一層絕緣層，由于接觸端子70的遮擋作用，靜電釋放觸點(diǎn)60上方不會(huì)形成絕緣層。
[0056]步驟S4、將接觸端子70和靜電釋放觸點(diǎn)60斷開(kāi)，在步驟S3得到的基板上重復(fù)步驟SI?S3的操作形成第二層金屬線(xiàn)40、第二層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50和相應(yīng)的靜電釋放觸點(diǎn)60......
[0057]如果兩層金屬線(xiàn)40之間的絕緣層比較薄，則兩層靜電釋放觸點(diǎn)60可以實(shí)現(xiàn)很好的電接觸，也就是上述的“不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50連接的靜電釋放觸點(diǎn)60相互連通”，但是如果兩層金屬線(xiàn)40之間的絕緣層比較厚，則兩層靜電釋放觸點(diǎn)60不能實(shí)現(xiàn)很好的電接觸，也就是上述的“不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)50連接的靜電釋放觸點(diǎn)60相互獨(dú)立”。
[0058]因此在顯示面板30制作過(guò)程中，接觸端子70與顯示面板30上的靜電釋放觸點(diǎn)60電連接，在異常放電發(fā)生的初期，顯示面板30表面已經(jīng)開(kāi)始積聚電荷，這些電荷可能導(dǎo)致異常放電發(fā)生。此時(shí)，由于電壓控制器80依次通過(guò)接觸端子70、靜電釋放觸點(diǎn)60和靜電導(dǎo)出線(xiàn)50實(shí)現(xiàn)與顯示面板30內(nèi)金屬線(xiàn)40的連接，顯示面板30表面電荷可以傳達(dá)到電壓控制器80，并被探測(cè)到。這樣，電壓控制器80利用其電壓調(diào)節(jié)功能，吸引顯示面板30表面電荷將其去除，或者產(chǎn)生與靜電相平衡的電壓來(lái)去除電荷，最終實(shí)現(xiàn)顯示面板30表面電荷與反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體電場(chǎng)相平衡，最終消除顯示面板30表面的異常放電。
[0059]綜上所述，本實(shí)施例提供的顯示面板制備系統(tǒng)，通過(guò)設(shè)置靜電導(dǎo)出線(xiàn)連接顯示面板內(nèi)部所有的金屬線(xiàn)，在靜電導(dǎo)出線(xiàn)的邊緣設(shè)置靜電釋放觸點(diǎn)，所有靜電導(dǎo)出線(xiàn)連接在該靜電釋放觸點(diǎn)上，接觸端子導(dǎo)電并與電壓控制器連接。利用電壓控制器的電壓調(diào)節(jié)功能，吸引顯示面板表面電荷將其去除，或者產(chǎn)生與其交流電相平衡的電壓來(lái)去除電荷，最終實(shí)現(xiàn)顯示面板表面電荷與反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體電場(chǎng)相平衡，消除顯示面板表面積聚的大量電荷，避免異常放電的發(fā)生。該顯示面板制備系統(tǒng)適用于目前大多數(shù)基板制作，尤其適用于大尺寸或者高像素密度設(shè)計(jì)基板的制作。
[0060]以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【權(quán)利要求】
1.一種防止顯示面板異常放電的裝置，其特征在于，包括接觸端子和電壓控制器，所述接觸端子為導(dǎo)體，用于與待加工基板上的靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行連接，所述電壓控制器與所述接觸端子連接，用于調(diào)節(jié)所述接觸端子上的電壓，以去除所述待加工基板上的靜電。
2.如權(quán)利要求1所述的防止顯示面板異常放電的裝置，其特征在于，所述接觸端子還用于遮擋靜電釋放觸點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的防止顯示面板異常放電的裝置，其特征在于，所述接觸端子為板狀。
4.一種顯示面板制備系統(tǒng)，包括權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的防止顯示面板異常放電的裝置，其特征在于，還包括待加工基板，所述待加工基板上設(shè)置有靜電導(dǎo)出線(xiàn)，所述待加工基板上具有至少一個(gè)顯示面板，所述顯示面板內(nèi)包含有金屬線(xiàn)，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)的一端與所述金屬線(xiàn)相連，另一端與所述靜電釋放觸點(diǎn)相連接。
5.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)設(shè)置在顯示面板以外的切割區(qū)，所述金屬線(xiàn)延伸到所述切割區(qū)以與所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)相連。
6.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，所述靜電釋放觸點(diǎn)設(shè)置在所述待加工基板的邊緣，且所述靜電釋放觸點(diǎn)位于所述顯示面板之外的區(qū)域。
7.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，所述電壓控制器提供預(yù)設(shè)電壓以去除靜電。
8.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，所述接觸端子還用于在顯示面板制作過(guò)程中對(duì)所述靜電釋放觸點(diǎn)進(jìn)行遮擋，防止絕緣材料覆蓋在所述靜電釋放觸點(diǎn)上。
9.如權(quán)利要求4所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，所述靜電導(dǎo)出線(xiàn)為至少一層，每層靜電導(dǎo)出線(xiàn)對(duì)應(yīng)于所述顯示面板內(nèi)的一層金屬線(xiàn)。
10.如權(quán)利要求9所述的顯示面板制備系統(tǒng)，其特征在于，不同層靜電導(dǎo)出線(xiàn)連接的靜電釋放觸點(diǎn)相互獨(dú)立或相互連通。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK104049392SQ201410256278
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年6月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月10日
【發(fā)明者】張治超, 郭總杰, 劉正, 丁向前, 劉明懸 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司