一種去邊液處理裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種去邊液處理裝置，包括壓力氣源、承壓罐、出液管路，承壓罐內(nèi)裝有去邊液，壓力氣源通過氣體管路與承壓罐相連，出液管路與承壓罐相連，出液管路上設(shè)有流量計和氣動閥，所述壓力氣源的氣源為氦氣；出液管路上還設(shè)有真空罐；真空罐內(nèi)設(shè)有用于供去邊液流通的管道，該管道為特氟龍管。本實用新型提供了一種避免在去邊過程中的會產(chǎn)生氣阻現(xiàn)象的去邊液處理裝置。
【專利說明】一種去邊液處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于LED【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種去邊液處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前LED外延襯底圖形制造最重要的一環(huán)為光刻工藝,光刻工藝用以定義圖形，光刻工藝的步驟為涂膠，曝光，顯影；具體的過程是在晶圓的表面涂布上一層厚度均勻的光刻膠，再經(jīng)過步進式光刻機曝光，把光刻板上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上，再通過顯影，顯影液和光照過的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最終把外延襯底圖形顯示出來。其中涂膠機涂膠分為五步，滴膠:將光刻膠滴到晶圓上；勻膠:得到所需的膜后；去邊:去除晶圓邊部分殘膠；后烘:固化光刻膠；冷卻:冷卻后烘后的晶圓。在現(xiàn)有去邊工藝中，去邊液體在清洗過程中有氣阻現(xiàn)象，會造成液體的壓力不穩(wěn)定，從而導(dǎo)致去邊異常，污染曝光機臺，嚴重影響晶圓品質(zhì)，大大增加了返工率。如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)的去邊液處理裝置圖，該裝置主要靠氮氣將去邊液體從承壓罐中壓出，在此過程中氮氣會少量溶入去邊液中造成氣阻現(xiàn)象，造成去邊異常。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型提供一種去邊液處理裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的去邊液處理裝置在去邊過程中氣阻現(xiàn)象的產(chǎn)生，因而造成去邊異常的技術(shù)問題。
[0004]為解決以上技術(shù)問題，本實用新型給出以下技術(shù)方案:
[0005]一種去邊液處理裝置，包括壓力氣源、承壓罐、出液管路，承壓罐內(nèi)裝有去邊液，壓力氣源通過氣體管路與承壓罐相連，出液管路與承壓罐相連，出液管路上設(shè)有流量計和氣動閥，其特殊之處在于:
[0006]所述壓力氣源的氣源為氦氣；
[0007]出液管路上還設(shè)有真空罐；真空罐內(nèi)設(shè)有用于供去邊液流通的管道，該管道為特氟龍管。
[0008]上述管道為螺旋狀。
[0009]該裝置還包括真空泵，所述真空罐與真空泵相連，真空泵用于對真空罐進行抽真空。
[0010]上述真空罐、流量計和氣動閥依次設(shè)置在出液管路上，真空罐設(shè)置在承壓罐與流量計之間。
[0011]本實用新型具有以下技術(shù)效果:
[0012]經(jīng)過使用本實用新型完全可以解決去邊異常問題，在去邊過程中有效避免了氣阻現(xiàn)象的發(fā)生，提高晶圓品質(zhì)，降低返工率，從而降低成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為現(xiàn)有技術(shù)去邊液處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0014]圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]附圖標記:
[0016]1-壓力氣源；2_承壓罐；3_流量計；4_氣動閥；5_去邊液；6_真空罐；7_管道；8_真空泵。
【具體實施方式】
[0017]本實用新型提供的一種去邊液處理裝置，壓力氣源1、承壓罐2、出液管路，承壓罐內(nèi)裝有去邊液5，壓力氣源通過氣體管路與承壓罐相連，出液管路與承壓罐相連，去邊液能夠在壓力氣源的作用下由承壓罐進入到出液管路，出液管路上設(shè)有流量計3和氣動閥4，氣動閥起開關(guān)的作用，流量計起控制流量大小的作用，壓力氣源的氣源為氦氣；出液管路上還設(shè)有真空罐6，真空罐內(nèi)設(shè)有用于供去邊液流通的管道7，該管道為特氟龍管?？梢詫⒄婵展?、流量計和氣動閥依次設(shè)置在出液管路上，真空罐設(shè)置在承壓罐與流量計之間。
[0018]本實用新型還包括真空泵8，當(dāng)使用本實用新型時，需要將真空罐與真空泵相連，真空泵用于對真空罐進行抽真空。
[0019]由于氦氣屬于惰性氣體，穩(wěn)定、分子量小，氦氣分子小，具有穿透特氟龍管材的能力，真空罐內(nèi)的管道為特氟龍管，特氟龍管材不容易與去邊液發(fā)生反應(yīng)，因而，在真空泵的作用下，氦氣能夠穿透真空罐內(nèi)的管道被真空泵抽出真空罐內(nèi)管道，而去邊液不能穿透真空罐內(nèi)管道，本實用新型的管路就不會有氣阻現(xiàn)象發(fā)生，液體穩(wěn)定流出，徹底解決了去邊異常問題。
[0020]為了有效避免氣阻現(xiàn)象的發(fā)生，本實用新型的真空罐內(nèi)管道為螺旋狀，螺旋狀方便氣泡的排出。
【權(quán)利要求】
1.一種去邊液處理裝置，包括壓力氣源、承壓罐、出液管路，承壓罐內(nèi)裝有去邊液，壓力氣源通過氣體管路與承壓罐相連，出液管路與承壓罐相連，出液管路上設(shè)有流量計和氣動閥，其特征在于: 所述壓力氣源的氣源為氦氣； 出液管路上還設(shè)有真空罐；真空罐內(nèi)設(shè)有用于供去邊液流通的管道，該管道為特氟龍管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去邊液處理裝置，其特征在于:所述管道為螺旋狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的去邊液處理裝置，其特征在于:該裝置還包括真空泵，所述真空罐與真空泵相連，真空泵用于對真空罐進行抽真空。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的去邊液處理裝置，其特征在于:所述真空罐、流量計和氣動閥依次設(shè)置在出液管路上，真空罐設(shè)置在承壓罐與流量計之間。
【文檔編號】G03F7/30GK203732879SQ201420050345
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年1月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月26日
【發(fā)明者】張亞鵬, 羅建華, 陳起偉, 郭鵬 申請人:西安神光安瑞光電科技有限公司