兼容式掩模版上下料用花籃的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種兼容式掩模版上下料用花籃，所述兼容式掩模版上下料用花籃，包括花籃架；所述花籃架內(nèi)設(shè)有至少一層用于放置并支撐掩模版的掩模版支撐座，所述掩模版支撐座對稱分布在花籃架內(nèi)；所述掩模版支撐座包括用于支撐第一掩模版的第一支撐臺(tái)階、用于支撐第二掩模版的第二支撐臺(tái)階以及用于支撐第三掩模版的第三支撐臺(tái)階；第三支撐臺(tái)階的底端位于第二支撐臺(tái)階的頂端，第二支撐臺(tái)階的頂端位于第一支撐臺(tái)階的頂端。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單緊湊，使用方便，滿足了不同尺寸掩模版的上下料要求，滿足機(jī)械手臂的傳輸要求，降低了掩模頻繁接觸的風(fēng)險(xiǎn)，適應(yīng)范圍廣，安全可靠。
【專利說明】兼容式掩模版上下料用花籃
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種花籃結(jié)構(gòu)，尤其是一種兼容式掩模版上下料用花籃，具體地說是適用于集成電路用掩?；迳a(chǎn)企業(yè)、掩模版制造企業(yè)及晶圓制造企業(yè)用的上下料用花籃。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路生產(chǎn)過程中，將設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換到實(shí)際的芯片電路時(shí)需要使用掩模。掩模版是連接設(shè)計(jì)公司與晶圓制造間的紐帶，是一種類似于模具式的產(chǎn)品，是集成電路圓片制造刻工藝中使用的母版。因?yàn)槟壳斑€不可以在圓片上直接成像，故掩模版是集成電路制造中不可缺少的一環(huán)。
[0003]按照目前掩模應(yīng)用的不用，掩模尺寸也有多種，目前常見的主要有5009、6025、7015的三種類型，由于掩模版具有高精度、零缺陷的特點(diǎn)，在實(shí)際生產(chǎn)過程中絕大多數(shù)工序采用機(jī)械手臂對掩模版及原材料進(jìn)行上下料，避免人與掩模版的直接接觸，但是由于掩模版尺寸的不統(tǒng)一，需要設(shè)計(jì)不同的裝載式工具以滿足不同掩模尺寸的需求。
[0004]目前，業(yè)界常見的有5寸花籃、6寸花籃，7寸花籃，由于不同花籃的尺寸不一樣及每次需要進(jìn)行花籃更換，這給實(shí)際的生產(chǎn)應(yīng)用帶來了諸多不便，花籃的頻繁更換也增大了人員與花籃接觸的頻率，增加了灰塵落入的風(fēng)險(xiǎn)；部分公司采用多載臺(tái)模式放置不同尺寸的花籃，占用了凈化面積也增加了機(jī)械手臂出錯(cuò)的幾率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種兼容式掩模版上下料用花籃，其結(jié)構(gòu)簡單緊湊，使用方便，滿足了不同尺寸掩模版的上下料要求，滿足機(jī)械手臂的傳輸要求，降低了掩模頻繁接觸的風(fēng)險(xiǎn)，適應(yīng)范圍廣，安全可靠。
[0006]按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述兼容式掩模版上下料用花籃，包括花籃架；所述花籃架內(nèi)設(shè)有至少一層用于放置并支撐掩模版的掩模版支撐座，所述掩模版支撐座對稱分布在花籃架內(nèi)；所述掩模版支撐座包括用于支撐第一掩模版的第一支撐臺(tái)階、用于支撐第二掩模版的第二支撐臺(tái)階以及用于支撐第三掩模版的第三支撐臺(tái)階；第三支撐臺(tái)階的底端位于第二支撐臺(tái)階的頂端，第二支撐臺(tái)階的頂端位于第一支撐臺(tái)階的頂端。
[0007]所述花籃架的背面設(shè)置有阻隔條，所述阻隔條位于掩模版支撐座之間。
[0008]所述花籃架的底部設(shè)置有底座板，花籃架外的頂端設(shè)有手柄，所述手柄通過手柄安裝板固定安裝在花籃架的外端部。
[0009]所述第一掩模版為5英寸掩模版、第二掩模版為6英寸掩模版，第三掩模版為7英寸掩模版。
[0010]所述手柄安裝板通過螺釘固定安裝在花籃架的外端部。所述花籃架的背面設(shè)置三根阻隔條，所述三個(gè)阻隔條均勻分布于掩模版支撐座之間。
[0011]所述花籃架內(nèi)設(shè)有上下兩層的掩模版支撐座；所述兩層掩模版支撐座通過隔離槽隔離。所述隔離槽的寬度為1.2cnT2cm。
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):在花籃架內(nèi)設(shè)置掩模版支撐座，通過在掩模版支撐座內(nèi)形成不同的支撐臺(tái)階，以能夠?qū)崿F(xiàn)對不同掩模版的上下料支撐，可以實(shí)現(xiàn)不同尺寸掩模上下料的一站式放置，有效提升生產(chǎn)效率，降低物料成本，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，使用方便，滿足機(jī)械手臂的傳輸要求，降低了掩模頻繁接觸的風(fēng)險(xiǎn)，安全可靠。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為圖1的俯視圖。
[0015]圖3為圖1的后視圖。
[0016]圖4為圖1的測試圖。
[0017]附圖標(biāo)記說明:1_底座板、2-花籃架、3-掩模版支撐座、4-隔離槽、5-第一支撐臺(tái)階、6-第二支撐臺(tái)階、7-第三支撐臺(tái)階、8-阻隔條、9-手柄安裝板、10-手柄及11-螺釘。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0019]如圖1、圖2、圖3和圖4所示:為了滿足了不同尺寸掩模版的上下料要求，滿足機(jī)械手臂的傳輸要求，降低了掩模頻繁接觸的風(fēng)險(xiǎn)，本實(shí)用新型包括花籃架2 ;所述花籃架2內(nèi)設(shè)有至少一層用于放置并支撐掩模版的掩模版支撐座3，所述掩模版支撐座3對稱分布在花籃架2內(nèi)；所述掩模版支撐座3包括用于支撐第一掩模版的第一支撐臺(tái)階5、用于支撐第二掩模版的第二支撐臺(tái)階6以及用于支撐第三掩模版的第三支撐臺(tái)階7 ;第三支撐臺(tái)階7的底端位于第二支撐臺(tái)階6的頂端,第二支撐臺(tái)階6的頂端位于第一支撐臺(tái)階5的頂端。
[0020]具體地，所述花籃架2為中空的結(jié)構(gòu)，花籃架2間的掩模版支撐座3能夠用于同時(shí)支撐不同尺寸的掩模版。本實(shí)用新型實(shí)施例中，第一掩模版、第二掩模版及第三掩模版的尺寸不同，具體地為，所述第一掩模版為5英寸掩模版、第二掩模版為6英寸掩模版，第三掩模版為7英寸掩模版。
[0021]同一層內(nèi)兩掩模版支撐座3的第一支撐臺(tái)階5之間的距離與5英寸掩模版的寬度相對應(yīng)，第一支撐臺(tái)階5的高度與5英寸掩模版的厚度相對應(yīng)，同一層內(nèi)兩掩模版支撐座3的第二支撐臺(tái)階6之間的距離與6英寸掩模版的寬度相對應(yīng)，第二支撐臺(tái)階6的高度與6英寸掩模版的厚度相對應(yīng)，同一層內(nèi)兩掩模版支撐座3的第三支撐臺(tái)階7之間的距離與7英寸掩模版的寬度相對應(yīng)，第三支撐臺(tái)階7的高度與7英寸掩模版的厚度相對應(yīng)。本實(shí)用新型實(shí)施例中，第三支撐臺(tái)階7的底部形成第二支撐臺(tái)階6的頂端,第二支撐臺(tái)階6的底部形成第一支撐臺(tái)階5的頂端，即第一支撐臺(tái)階5、第二支撐臺(tái)階6與第三支撐臺(tái)階7之間相互連接成一體。其中，第一支撐臺(tái)階5位于做外側(cè)，第三支撐臺(tái)階7位于最內(nèi)側(cè)，第二支撐臺(tái)階6位于第一支撐臺(tái)階5與第三支撐臺(tái)階7之間。當(dāng)然，為了能夠在花籃架2內(nèi)支撐更多尺寸的掩模版，可以在花籃架2的掩模版支撐座3內(nèi)形成更多尺寸的支撐臺(tái)階，此處不再贅述。
[0022]在具體實(shí)施時(shí)，第一支撐臺(tái)階5、第二支撐臺(tái)階6及第三支撐臺(tái)階7的臺(tái)階面在花籃架2內(nèi)呈對應(yīng)，當(dāng)掩模版放置在第一支撐臺(tái)階5、第二支撐臺(tái)階6或第三支撐臺(tái)階7上時(shí)，花籃架2內(nèi)兩相應(yīng)的第一支撐臺(tái)階5、第二支撐臺(tái)階6或第三支撐臺(tái)階7之間的距離大于相應(yīng)掩模版的寬度，即掩模版放置在相應(yīng)的支撐臺(tái)階上后，掩模版的側(cè)邊與支撐臺(tái)階的間具有f 2mm的間隙，以避免掩模版抽取時(shí)與支撐臺(tái)階之間內(nèi)側(cè)發(fā)生摩擦，同時(shí)，避免掩模版從相應(yīng)的支撐臺(tái)階上落下。第一支撐臺(tái)階5、第二支撐臺(tái)階6及第三支撐臺(tái)階7的高度大于掩模版的厚度，即掩模版支撐在相應(yīng)的支撐臺(tái)階上后，支撐臺(tái)階的高度大于掩模版厚度8^12mm,以便于掩模上下料時(shí)機(jī)械手臂的伸縮。
[0023]所述花籃架2的背面設(shè)置有阻隔條8，所述阻隔條8位于掩模版支撐座3之間。所述花籃架2的背面設(shè)置三根阻隔條8，所述三個(gè)阻隔條8均勻分布于掩模版支撐座3之間。通過阻隔條8能防止掩模版從花籃架2的背面滑落，同時(shí)又能保證花籃架2內(nèi)的氣流暢通，防止在花籃表面聚聚灰塵。
[0024]所述花籃架2的底部設(shè)置有底座板1，花籃架2外的頂端設(shè)有手柄10，所述手柄10通過手柄安裝板9固定安裝在花籃架2的外端部。所述手柄安裝板9通過螺釘11固定安裝在花籃架2的外端部。所述手柄10通過手柄安裝板9安裝后，在花籃架2的上端面呈丁字形，手柄10采用鋁制成，通過手柄10擴(kuò)大固定面積，提升牢固度。手柄10的末端進(jìn)行圓角處理，打磨光滑，防止尖端放電效應(yīng)產(chǎn)生。
[0025]所述花籃架2內(nèi)設(shè)有上下兩層的掩模版支撐座3 ;所述兩層掩模版支撐座3通過隔離槽4隔離。通過兩層的掩模版支撐座3能同時(shí)實(shí)現(xiàn)六個(gè)掩模版的放置支撐。所述隔離槽4的寬度為1.2cnT2cm。
[0026]本實(shí)用新型在花籃架2內(nèi)設(shè)置掩模版支撐座3，通過在掩模版支撐座3內(nèi)形成不同的支撐臺(tái)階，以能夠?qū)崿F(xiàn)對不同掩模版的上下料支撐，可以實(shí)現(xiàn)不同尺寸掩模上下料的一站式放置，有效提升生產(chǎn)效率，降低物料成本，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，使用方便，滿足機(jī)械手臂的傳輸要求，降低了掩模 頻繁接觸的風(fēng)險(xiǎn)，安全可靠。
[0027]本領(lǐng)域的相關(guān)從業(yè)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，以上的實(shí)施例僅是用來說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而并非用作為對本發(fā)明專利的限定，任何基于本發(fā)明專利的實(shí)質(zhì)精神對以上所述實(shí)施例所作的變化、變型，都將落在本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種兼容式掩模版上下料用花籃，包括花籃架(2);其特征是:所述花籃架(2)內(nèi)設(shè)有至少一層用于放置并支撐掩模版的掩模版支撐座(3)，所述掩模版支撐座(3)對稱分布在花籃架(2)內(nèi)；所述掩模版支撐座(3)包括用于支撐第一掩模版的第一支撐臺(tái)階(5)、用于支撐第二掩模版的第二支撐臺(tái)階(6)以及用于支撐第三掩模版的第三支撐臺(tái)階(7);第三支撐臺(tái)階(7)的底端位于第二支撐臺(tái)階(6)的頂端，第二支撐臺(tái)階(6)的頂端位于第一支撐臺(tái)階(5)的頂端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述花籃架(2)的背面設(shè)置有阻隔條(8)，所述阻隔條(8)位于掩模版支撐座(3)之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述花籃架(2)的底部設(shè)置有底座板(I)，花籃架(2 )外的頂端設(shè)有手柄(10 )，所述手柄(10 )通過手柄安裝板(9)固定安裝在花籃架(2)的外端部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述第一掩模版為5英寸掩模版、第二掩模版為6英寸掩模版，第三掩模版為7英寸掩模版。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述手柄安裝板(9)通過螺釘(11)固定安裝在花籃架(2)的外端部。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述花籃架(2)的背面設(shè)置三根阻隔條(8)，所述三個(gè)阻隔條(8)均勻分布于掩模版支撐座(3)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述花籃架(2)內(nèi)設(shè)有上下兩層的掩模版支撐座(3);所述兩層掩模版支撐座(3)通過隔離槽(4)隔離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的兼容式掩模版上下料用花籃，其特征是:所述隔離槽(4)的寬度為1.2cm?2cm。
【文檔編號】G03F1/66GK203786461SQ201420177506
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月11日
【發(fā)明者】陳友篷, 楊晨 申請人:無錫中微掩模電子有限公司