本技術(shù)屬于脫膜裝置，具體涉及一種脫膜輥。

背景技術(shù)：

1、在微納米壓印行業(yè)，無論是研發(fā)實(shí)驗(yàn)過程中還是生產(chǎn)過程中，都會遇到手動(dòng)脫膜的操作。通過手動(dòng)撕拉的方式，將模板和目標(biāo)結(jié)構(gòu)材料分離開來。尤其是晶圓尺寸的實(shí)驗(yàn)樣品，由于其尺寸小、數(shù)量少，因此無法適用自動(dòng)化的脫膜儀器。同時(shí)，純手動(dòng)的脫膜方式，容易產(chǎn)生脫膜力度、脫膜角度的不均勻性，不僅操作不方便，且容易導(dǎo)致人為誤差的產(chǎn)生。

2、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種脫膜輥，其能夠簡單方便地完成脫膜操作，提高脫膜的均勻性，減少人為誤差，適用多種應(yīng)用場景。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、一種脫膜輥，所述脫膜輥包括握桿、輥體、連接所述握桿和本體的連接件、及抽氣裝置，所述抽氣裝置包括進(jìn)氣口、出氣口及連通所述進(jìn)氣口和出氣口的腔室，所述輥體上設(shè)有若干吸附孔單元，所述吸附孔單元包括若干吸附孔，所述輥體內(nèi)部設(shè)有與所述吸附孔及出氣口相連通的第一通氣管路。

4、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述吸附孔單元包括多個(gè)吸附孔，所述吸附孔沿所述輥體軸向間隔分布于所述輥體上。

5、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述輥體上設(shè)有多個(gè)吸附孔單元，所述吸附孔單元沿周向間隔分布于所述輥體上。

6、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述吸附孔單元分布區(qū)域所對應(yīng)的張角小于或等于360°。

7、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述吸附孔呈陣列分布或蜂窩狀分布。

8、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述脫膜輥還包括設(shè)置于所述握桿中的供電機(jī)構(gòu)，所述抽氣裝置設(shè)置于所述握桿中且與所述供電機(jī)構(gòu)電性連接，所述抽氣裝置的出氣口與外界相連通。

9、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述握桿中設(shè)有連通所述進(jìn)氣口的第二通氣管路，所述連接件中設(shè)置有連通所述第一通氣管路和第二通氣管路的第三通氣管路。

10、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述第三通氣管路包括連通所述第一通氣管路第一端和第二通氣管路的第一氣管；和/或，

11、所述第三通氣管路包括連通所述第一通氣管路第二端和第二通氣管路的第二氣管；和/或，

12、所述握桿上設(shè)有控制按鍵。

13、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述輥體的兩端分別設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸，所述連接件包括與握桿相連的第一連接部、連接所述第一轉(zhuǎn)軸和第一連接部的第二連接部、及連接所述第二轉(zhuǎn)軸和第一連接部的第三連接部。

14、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述第一連接部和第二連接部之間設(shè)有第一彎折部，所述第一連接部和第三連接部之間設(shè)有第二彎折部。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

16、本實(shí)用新型可通過滾動(dòng)輥體以將柔性材料與模板相分離，簡化脫膜操作，提高脫膜效率，保證脫膜力度和脫膜角度的均勻性，避免手撕脫膜導(dǎo)致的人為誤差；同時(shí)，脫膜輥的整體結(jié)構(gòu)輕巧，可便于拿取，攜帶方便，能夠適應(yīng)多種應(yīng)用場景；

17、本實(shí)施例中的脫膜輥結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)方便，有利于推廣發(fā)展。

技術(shù)特征：

1.一種脫膜輥，其特征在于，所述脫膜輥包括握桿(1)、輥體(2)、連接所述握桿(1)和本體的連接件(3)、及抽氣裝置(4)，所述抽氣裝置(4)包括進(jìn)氣口(41)、出氣口(42)及連通所述進(jìn)氣口(41)和出氣口(42)的腔室，所述輥體(2)上設(shè)有若干吸附孔單元，所述吸附孔單元包括若干吸附孔(21)，所述輥體(2)內(nèi)部設(shè)有與所述吸附孔(21)及出氣口(42)相連通的第一通氣管路(22)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膜輥，其特征在于，所述吸附孔單元包括多個(gè)吸附孔(21)，所述吸附孔(21)沿所述輥體(2)軸向間隔分布于所述輥體(2)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膜輥，其特征在于，所述輥體(2)上設(shè)有多個(gè)吸附孔單元，所述吸附孔單元沿周向間隔分布于所述輥體(2)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的脫膜輥，其特征在于，所述吸附孔單元分布區(qū)域所對應(yīng)的張角小于或等于360°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膜輥，其特征在于，所述吸附孔(21)呈陣列分布或蜂窩狀分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膜輥，其特征在于，所述脫膜輥還包括設(shè)置于所述握桿(1)中的供電機(jī)構(gòu)(5)，所述抽氣裝置(4)設(shè)置于所述握桿(1)中且與所述供電機(jī)構(gòu)(5)電性連接，所述抽氣裝置(4)的出氣口(42)與外界相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的脫膜輥，其特征在于，所述握桿(1)中設(shè)有連通所述進(jìn)氣口(41)的第二通氣管路(6)，所述連接件(3)中設(shè)置有連通所述第一通氣管路(22)和第二通氣管路(6)的第三通氣管路(7)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的脫膜輥，其特征在于，所述第三通氣管路(7)包括連通所述第一通氣管路(22)第一端和第二通氣管路(6)的第一氣管(71)；和/或，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脫膜輥，其特征在于，所述輥體(2)的兩端分別設(shè)有第一轉(zhuǎn)軸(23)和第二轉(zhuǎn)軸(24)，所述連接件(3)包括與握桿(1)相連的第一連接部(31)、連接所述第一轉(zhuǎn)軸(23)和第一連接部(31)的第二連接部(32)、及連接所述第二轉(zhuǎn)軸(24)和第一連接部(31)的第三連接部(33)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的脫膜輥，其特征在于，所述第一連接部(31)和第二連接部(32)之間設(shè)有第一彎折部(34)，所述第一連接部(31)和第三連接部(33)之間設(shè)有第二彎折部(35)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種脫膜輥，包括握桿、輥體、連接握桿和本體的連接件、及抽氣裝置，抽氣裝置包括進(jìn)氣口、出氣口及連通進(jìn)氣口和出氣口的腔室，輥體上設(shè)有若干吸附孔單元，吸附孔單元包括若干吸附孔，輥體內(nèi)部設(shè)有與吸附孔及出氣口相連通的第一通氣管路。本技術(shù)可通過滾動(dòng)輥體以將柔性材料與模板相分離，簡化脫膜操作，提高脫膜效率，保證脫膜力度和脫膜角度的均勻性，避免手撕脫膜導(dǎo)致的人為誤差；本技術(shù)整體結(jié)構(gòu)輕巧，可便于拿取，攜帶方便，能夠適應(yīng)多種應(yīng)用場景。

技術(shù)研發(fā)人員：姜英杰,劉澤,劉超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州新維度微納科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240509
技術(shù)公布日：2024/12/19