一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電路板曝光，特別是一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，它常用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制領(lǐng)域。
[0003]在電路板板加工過(guò)程中，需要對(duì)電路板進(jìn)行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機(jī)曝光，但是現(xiàn)有的曝光機(jī)在曝光時(shí)，因?yàn)槠毓鈺r(shí)間不固定，通常導(dǎo)致電路板曝光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或則過(guò)短，從而導(dǎo)致電路板曝光的質(zhì)量不穩(wěn)定，而且現(xiàn)有的曝光機(jī)，如中國(guó)專利一種電路板曝光機(jī)(CN 204740422 U)，這種曝光機(jī)在曝光時(shí)，電路板的曝光位置不在一個(gè)水平面上，從而導(dǎo)致照射到電路板上的光照強(qiáng)度不一樣，從而導(dǎo)致電路板的曝光質(zhì)量不穩(wěn)定；并且電路板在曝光時(shí)，曝光燈容易出現(xiàn)損壞，而曝光燈損壞后，將會(huì)直接導(dǎo)致電路板的曝光度不夠，從而影響電路板的曝光質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種生產(chǎn)效率高、光照強(qiáng)度穩(wěn)定和曝光質(zhì)量好的曝光裝置。
[0005]本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，它包括工作臺(tái)和曝光室，所述的曝光室與工作臺(tái)連接為一體，其特征在于:它還包括旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)位于工作臺(tái)上方，且可相對(duì)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的底部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸連接有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝臺(tái)工作臺(tái)內(nèi)，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上方對(duì)稱設(shè)置有曝光平臺(tái)，所述的工作臺(tái)內(nèi)還設(shè)置有一控制器，所述的控制器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)電連接，所述的曝光室內(nèi)的頂部設(shè)置有若干曝光燈，在曝光燈的周圍設(shè)置有反光罩，在曝光室內(nèi)還設(shè)置有多個(gè)光照測(cè)試儀，所述的光照測(cè)試儀與控制器電連接。
[0006]所述的曝光平臺(tái)包括曝光平臺(tái)座和透明蓋，所述的曝光平臺(tái)座固定安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，所述的透明蓋與曝光平臺(tái)座通過(guò)合頁(yè)鉸接在一起。
[0007]所述的曝光平臺(tái)座上開(kāi)設(shè)有放置電路板的凹槽，凹槽底部放置有軟墊。
[0008]所述的曝光室的頂部設(shè)置有一翻轉(zhuǎn)蓋，翻轉(zhuǎn)蓋內(nèi)設(shè)置有一鼓風(fēng)機(jī)。
[0009]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的曝光裝置，設(shè)置有旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上設(shè)置有曝光平臺(tái)，從而使得電路板在曝光時(shí)，都處于同一水平面上，從而提高了曝光質(zhì)量；而且旋轉(zhuǎn)平臺(tái)通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)控制，使得旋轉(zhuǎn)平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的頻率一致，從而使得電路板的曝光時(shí)間一致，從而進(jìn)一步的提高了電路板的曝光質(zhì)量;而且旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱的曝光平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)曝光平臺(tái)曝光，另一掛曝光平臺(tái)裝電路板，從而提高了電路板的曝光效率;在曝光室內(nèi)設(shè)置有反光罩，反光罩提高了曝光燈的光照利用率，保證了光照強(qiáng)度，在曝光室內(nèi)設(shè)置有光照測(cè)試儀，從而可通過(guò)光照的強(qiáng)弱來(lái)檢測(cè)曝光燈是否損壞或者老化，從而進(jìn)一步的提高了光照強(qiáng)度。
【附圖說(shuō)明】
[00?0]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型的立體不意圖；
[0012]圖中，1-工作臺(tái)，2-旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，3-曝光室，4-曝光燈，5-轉(zhuǎn)軸，6_驅(qū)動(dòng)電機(jī)，7_曝光平臺(tái)，8-控制器，9-反光罩，I O-光照測(cè)試儀，31-翻轉(zhuǎn)蓋，32-鼓風(fēng)機(jī)，71-曝光平臺(tái)座，72-透明蓋，73-軟墊，74-凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0014]如圖1和圖2所示，一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，它包括工作臺(tái)I和曝光室3，所述的曝光室3與工作臺(tái)I連接為一體，其特征在于:它還包括旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2位于工作臺(tái)I上方，且可相對(duì)工作臺(tái)I轉(zhuǎn)動(dòng)，在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2的底部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸5，轉(zhuǎn)軸5連接有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)6，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)6安裝臺(tái)工作臺(tái)I內(nèi)，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2上方對(duì)稱設(shè)置有曝光平臺(tái)7，所述的工作臺(tái)I內(nèi)還設(shè)置有一控制器8，所述的控制器8與驅(qū)動(dòng)電機(jī)6電連接，所述的曝光室3內(nèi)的頂部設(shè)置有若干曝光燈4，在曝光燈4的周圍設(shè)置有反光罩9，放光罩9能夠?qū)⑵毓獾?的光源進(jìn)行反射，從而提高電路板的曝光強(qiáng)度，在曝光室3內(nèi)還設(shè)置有多個(gè)光照測(cè)試儀10，所述的光照測(cè)試儀10與控制器8電連接，光照測(cè)試儀10能夠隨時(shí)檢測(cè)曝光室3內(nèi)各個(gè)位置點(diǎn)的光照強(qiáng)度，當(dāng)某一測(cè)試點(diǎn)達(dá)不到光照強(qiáng)度是，則光照測(cè)試儀10將信號(hào)傳遞到控制器8，控制器8則控制電機(jī)停止工作。
[0015]在本實(shí)施例中，所述的曝光平臺(tái)7包括曝光平臺(tái)座71和透明蓋72，所述的曝光平臺(tái)座71固定安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)2上，所述的透明蓋72與曝光平臺(tái)座71通過(guò)合頁(yè)鉸接在一起，進(jìn)一步的，所述的曝光平臺(tái)座71上開(kāi)設(shè)有放置電路板的凹槽74，凹槽74底部放置有軟墊73，將電路板放置在凹槽74上的軟墊73上，軟墊73能夠避免電路板與曝光平臺(tái)座71發(fā)生磕碰時(shí)所造成的損壞，保證曝光生產(chǎn)良率。
[0016]在本實(shí)施例中，所述的曝光室3的頂部設(shè)置有一翻轉(zhuǎn)蓋31，翻轉(zhuǎn)蓋31內(nèi)設(shè)置有一鼓風(fēng)機(jī)32，鼓風(fēng)機(jī)32可對(duì)曝光室3內(nèi)鼓入新風(fēng)，從而使得曝光室3內(nèi)的溫度不會(huì)隨著曝光的時(shí)間變長(zhǎng)而升高，從而提高曝光燈4的使用壽命，當(dāng)曝光燈4出現(xiàn)損壞或者曝光光照不夠時(shí)，則可直接打開(kāi)翻轉(zhuǎn)蓋31對(duì)曝光燈4進(jìn)行更換，從而使得該曝光裝置檢修方便。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，它包括工作臺(tái)(I)和曝光室(3)，所述的曝光室(3)與工作臺(tái)(I)連接為一體，其特征在于:它還包括旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(2)，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(2)位于工作臺(tái)(I)上方，且可相對(duì)工作臺(tái)(I)轉(zhuǎn)動(dòng)，在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(2)的底部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸(5)，轉(zhuǎn)軸(5)連接有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(6)，所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(6)安裝臺(tái)工作臺(tái)(I)內(nèi)，所述的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(2)上方對(duì)稱設(shè)置有曝光平臺(tái)(7)，所述的工作臺(tái)(I)內(nèi)還設(shè)置有一控制器(8)，所述的控制器(8)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(6 )電連接，所述的曝光室(3 )內(nèi)的頂部設(shè)置有若干曝光燈(4)，在曝光燈(4 )的周圍設(shè)置有反光罩(9)，在曝光室(3)內(nèi)還設(shè)置有多個(gè)光照測(cè)試儀(10)，所述的光照測(cè)試儀(10)與控制器(8)電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，其特征在于:所述的曝光平臺(tái)(7)包括曝光平臺(tái)座(71)和透明蓋(72)，所述的曝光平臺(tái)座(71)固定安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)(2)上，所述的透明蓋(72)與曝光平臺(tái)座(71)通過(guò)合頁(yè)鉸接在一起。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，其特征在于:所述的曝光平臺(tái)座(71)上開(kāi)設(shè)有放置電路板的凹槽(74)，凹槽(74)底部放置有軟墊(73)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，其特征在于:所述的曝光室(3)的頂部設(shè)置有一翻轉(zhuǎn)蓋(31)，翻轉(zhuǎn)蓋(31)內(nèi)設(shè)置有一鼓風(fēng)機(jī)(32)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種曝光質(zhì)量好的曝光裝置，它包括工作臺(tái)和曝光室，曝光室與工作臺(tái)連接為一體，其特征在于：它還包括選擇平臺(tái)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)位于工作臺(tái)上方，且可相對(duì)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的底部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸連接有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝臺(tái)工作臺(tái)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上方對(duì)稱設(shè)置有曝光平臺(tái)，工作臺(tái)內(nèi)還設(shè)置有一控制器，控制器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)電連接，曝光室內(nèi)的頂部設(shè)置有若干曝光燈，在曝光燈的周圍設(shè)置有反光罩，在曝光室內(nèi)還設(shè)置有多個(gè)光照測(cè)試儀，光照測(cè)試儀與控制器電連接。本實(shí)用新型的有益效果是：它具有生產(chǎn)效率高、光照強(qiáng)度穩(wěn)定和曝光質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】G03F7/20
【公開(kāi)號(hào)】CN205247060
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521095867
【發(fā)明人】莫軍, 李德東
【申請(qǐng)人】遂寧威士凱科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2015年12月25日