專利名稱：用于控制施加于等離子體發(fā)生器中靜電屏的電壓的裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一等離子體處理裝置。具體而言，本發(fā)明涉及用于控制施加于一置于感應(yīng)線圈與等離子體之間靜電屏的電壓的一種方法及裝置。
背景技術(shù)：
感應(yīng)耦合型干法刻蝕系統(tǒng)通常應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工業(yè)。該干法刻蝕裝置一般具有帶有電介質(zhì)墻天花板的處理室，其上布置了環(huán)形或者螺旋形射頻(RF)天線。
有幾種用于激勵帶有RF場的等離子體的現(xiàn)有技術(shù)，其中包括電容耦合、感應(yīng)耦合以及波加熱。在一標(biāo)準(zhǔn)感應(yīng)耦合等離子體(ICP)發(fā)生器中，RF電流通過線圈而在一等離子體中產(chǎn)生電磁流感應(yīng)。這些電流通過歐姆加熱方式對該導(dǎo)電等離子體進(jìn)行加熱以使得其維持在穩(wěn)定狀態(tài)。典型地，該電流通過作為變壓器的該主線圈的線圈。該等離子體作為該變壓器的一單圈旋轉(zhuǎn)副線圈。
在等離子體處理中，該RF天線與該處理室中所激勵的等離子體不但產(chǎn)生感應(yīng)耦合而且產(chǎn)生電容耦合。因此，由比如石英所構(gòu)成的該電介質(zhì)墻的內(nèi)表面暴露于靠近該RF天線的該處理室內(nèi)部空氣中，并且?guī)в邢鄬τ谠摰入x子體的負(fù)偏壓。由于該等離子體與該電介質(zhì)墻的該暴露內(nèi)表面之間的電勢差，該等離子體中的正離子與該暴露內(nèi)表面相碰撞同時被加速。結(jié)果，問題產(chǎn)生了該處理室中產(chǎn)生了污染物并且該電介質(zhì)墻很快就被破壞了。
為了解決這些問題，導(dǎo)電法拉第屏蔽通常布置于電介質(zhì)窗口與RF天線下的絕緣層之間。在該RF天線與該等離子體之間產(chǎn)生的該電容耦合就被該法拉第屏蔽所破壞，以使得該電介質(zhì)墻暴露的該內(nèi)表面受到保護(hù)而免受來自該等離子體被加速的正離子的碰撞。該法拉第屏蔽較佳地與RF電勢源相連接以控制其相對電勢或者偏壓。如圖1所示，一種選擇就是將該屏蔽連接到該天線的一點(diǎn)上，在此情況下該屏蔽工作于與該線圈相同的頻率。然而，在該線圈外所耦合的該電流減少了與該等離子體的磁耦合。雖然這種提供動力方案簡單并且有效率，但因此方法變量的控制受到限制。
如圖2所示，另一可選的提供動力方案使用了外部第二輔助RF電源，其與向該線圈提供動力的該主電源相隔離。此方案的優(yōu)點(diǎn)在于可以選擇與該天線不同的頻率來操作該屏蔽、在該屏蔽與該線圈電路之間實質(zhì)上更小的相互作用以及控制的簡易。
因此，就需要一種裝置及方法來獨(dú)立控制由單個電源來提供動力的該天線電流以及該法拉第屏蔽的該電壓。

發(fā)明內(nèi)容
一種用于控制施加于一屏蔽的該電壓的裝置，其中該屏蔽置于通過一匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，該裝置包括屏蔽、第一反饋電路以及第二反饋電路。該電源為該屏蔽提供動力。該第一反饋電路與該感應(yīng)線圈相連用來控制該電源。該第二反饋電路與該屏蔽相連用來控制該屏蔽的電壓。第一反饋電路與第二反饋電路兩者均工作于不同的頻率范圍。該第一反饋電路進(jìn)一步包括第一控制器以及第一傳感器。該第一傳感器將表示提供給該感應(yīng)線圈的該功率的第一信號發(fā)送給該第一控制器。該第一控制器調(diào)整該電源使得提供給該感應(yīng)線圈的該功率由第一調(diào)整點(diǎn)所控制。該第二反饋電路進(jìn)一步包括第二傳感器、第二控制器以及可變阻抗網(wǎng)絡(luò)。該屏蔽通過可變阻抗網(wǎng)絡(luò)來提供動力。該第二傳感器將表示該屏蔽的該電壓的第二信號發(fā)送給該第二控制器。該第二控制器調(diào)整該可變阻抗網(wǎng)絡(luò)使得該屏蔽的該電壓由第二調(diào)整點(diǎn)所控制。


這些附圖被并入到本說明書并且構(gòu)成了本說明書的一部分。其闡明了本發(fā)明的一個或多個帶有該詳細(xì)描述的實施例并且用于解釋本發(fā)明的原理以及實現(xiàn)。
附圖中圖1為闡明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)由單個電源提供動力的天線以及法拉第屏蔽的示意圖。
圖2為根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)由第一電源提供動力的天線以及由第二電源提供動力的法拉第屏蔽的示意圖。
圖3為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面由單個電源提供動力的天線以及法拉第屏蔽的示意圖。
圖4為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面用于獨(dú)立控制由單個電源提供動力的該天線的功率以及該屏蔽的電壓的方法的流程圖。
圖5為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面功率控制器的算法的流程圖。
圖6為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面電壓控制器的算法的流程圖。
具體實施例方式
在用于控制施加于一置于感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間的靜電屏的電壓的裝置及方法的上下文中描述了本發(fā)明的實施例。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到本發(fā)明的如下詳細(xì)描述僅僅用于闡述而非希望以任何方式進(jìn)行限制。本發(fā)明的其它實施例樂意將其建議給所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員并使其受益于本發(fā)明。如附圖所示，本發(fā)明的實現(xiàn)將有詳細(xì)參考。通過所有附圖以及如下詳細(xì)描述，相同的參考指標(biāo)將被用于指代相同或相似部分。
考慮到清晰明了，此處描述的實現(xiàn)中并非所有的常規(guī)特征均被顯示及描述。當(dāng)然，應(yīng)當(dāng)了解到在任何如此實際的實現(xiàn)的開發(fā)中，必須作出大量的具體實現(xiàn)的決定以實現(xiàn)該開發(fā)者的具體目標(biāo)，例如順從于與申請案相關(guān)以及與商業(yè)相關(guān)的約束，并且這些具體目標(biāo)將因為不同的實現(xiàn)以及不同的開發(fā)者而發(fā)生變化。此外，應(yīng)當(dāng)了解到這樣一個開發(fā)可能會很復(fù)雜并且相當(dāng)耗時，但是對于受益于本發(fā)明的所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言仍然是工程的一個常規(guī)任務(wù)。
根據(jù)本發(fā)明，組件、處理步驟以及/或者數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可使用不同類型的操作系統(tǒng)、計算平臺、計算機(jī)程序以及/或者通用機(jī)床來實現(xiàn)。此外，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到具有一較少通用特征的那些裝置，例如硬件裝置、現(xiàn)場可編程門陣列(FPGAs)、專用集成電路(ASICs)、或者類似也可在不脫離此處所揭示的發(fā)明概念的該范圍及精神而使用。
圖3為闡明根據(jù)本發(fā)明的一具體方面由單個電源306提供動力的天線302以及法拉第屏蔽304的示意圖。該電源306優(yōu)選地通過匹配網(wǎng)絡(luò)308對例如一螺旋線圈形狀的該天線306發(fā)生射頻(RF)電流。第一反饋電路包括電連接到功率控制器312的傳感器310。該傳感器310可以是任何能夠測量功率或者電流的傳感器。該傳感器與電源線314中的一根線相耦合，優(yōu)選地產(chǎn)生磁耦合，而該電源線將匹配網(wǎng)絡(luò)308與該天線302連接起來。該功率控制器314監(jiān)視通過該天線302的該電流或者功率，并且基于從該傳感器310所獲得的該信號來調(diào)整該電源306以產(chǎn)生需要的電流或者功率。此信號可被用作為一反饋來與外部調(diào)整點(diǎn)316以及/或者該匹配網(wǎng)絡(luò)308設(shè)定值進(jìn)行比較，以使得通過該天線的電流或者功率保持穩(wěn)定。或者，該匹配網(wǎng)絡(luò)308可允許跟蹤該天線變化，使用標(biāo)準(zhǔn)自動調(diào)諧算法，或者其可在一固定值處保持固定，或者轉(zhuǎn)換以預(yù)調(diào)固定值。關(guān)于這些算法的進(jìn)一步細(xì)節(jié)在圖5中有描述。
請注意該法拉第屏蔽表示的是可作為法拉第屏蔽的任何金屬板。該屏蔽304置于該天線306與等離子體室(未顯示)之上的ICP窗口(未顯示)之間并且實際上與該ICP窗口平行。該屏蔽304由來自該天線302的分流能源提供動力。本質(zhì)上該屏蔽304與該天線302電路并聯(lián)運(yùn)行作為一載荷，在該天線302的輸入端或者終端拾取一高壓點(diǎn)。該屏蔽304優(yōu)選地通過一可變阻抗組件或者網(wǎng)絡(luò)318來較佳地連接電機(jī)驅(qū)動的真空電容器。傳感器320，優(yōu)選地為電壓傳感器，在該系列控制元件318之后的該屏蔽輸入點(diǎn)處相連接，使得該屏蔽電壓可被測量并且被用作反饋控制變量?；蛘撸撾娏骰蛘吖β士稍谠撓嗤瑐鞲悬c(diǎn)處被測量。該傳感器320測量該屏蔽304的電壓并且將表示該被測電壓的信號發(fā)送給電壓控制器322以形成另一反饋電路。該電壓控制器322將該電壓信號與外部調(diào)整點(diǎn)324進(jìn)行比較。所比較的該結(jié)果對該可變阻抗組件318產(chǎn)生一信號以調(diào)整該屏蔽304的該電壓。該電壓控制器322的該算法在圖6中有進(jìn)一步描述。
如果該網(wǎng)絡(luò)不能精確地與該總載荷也就是該天線302電路以及該屏蔽304電路進(jìn)行動態(tài)匹配，那么將對反射功率進(jìn)行測量。然而，只要該效率沒有過分地降低，并且只要該電源306能夠容許該反射功率，那么該反射功率效應(yīng)就可被忽略。
這些反饋算法可使用模擬電路或者更可能將數(shù)字控制器加入到該模擬電子裝置中來實現(xiàn)。如先前所描述的那樣，該裝置工作于兩個反饋回路并同時控制兩個相關(guān)變量，而不需要設(shè)置任何優(yōu)先權(quán)。為了確保這兩個反饋回路實質(zhì)上能夠獨(dú)立工作，有必要通過在該頻域?qū)⑦@兩個回路進(jìn)行隔離來在該響應(yīng)中設(shè)置一主導(dǎo)極點(diǎn)。也就是一個反饋電路可能具有更快的響應(yīng)速度而另一個反饋電路則具有稍慢的響應(yīng)速度。優(yōu)選地在快速時間量程比如從1KHz到1MHz內(nèi)穩(wěn)定該天線302中的該電流，以提高該等離子體的穩(wěn)定性。優(yōu)選地在一相對慢的時間量程比如從10Hz到100Hz內(nèi)穩(wěn)定該屏蔽304的該電壓。否則，該相互作用可能會如此強(qiáng)以致于該系統(tǒng)處于永久渾沌振蕩狀態(tài)。
圖4為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面用于獨(dú)立控制由單個電源306提供動力的天線302的該功率以及該屏蔽304的該電壓的方法的流程圖400。在第一個塊402中，如圖3所示該電源306通過匹配網(wǎng)絡(luò)308對該天線302發(fā)生射頻(RF)電流。在塊404中，該屏蔽304通過可變阻抗網(wǎng)絡(luò)318由來自該天線302的分流能源提供動力。在塊406中，該傳感器310測量提供給該天線302的電流并且通過電源線314中的一根線將表示該功率或者電流的信號發(fā)送給該功率控制器312。請注意該天線電流可在該天線輸入、輸出、兩者組合處，或者在由該天線的損耗以及駐波所需求的一些集成分布值處被監(jiān)視。在塊408中，該功率控制器312將來自該傳感器310的該信號與一外部調(diào)整點(diǎn)316進(jìn)行比較，并且調(diào)整該電源以穩(wěn)定該天線302中的該電流。塊406與408兩者均以一相對快的響應(yīng)速度也就是在更高的頻率處工作。
在塊410中，使用該系列控制元件也就是該可變阻抗組件318之后的傳感器320例如電壓傳感器來測量該屏蔽304的該電壓。該傳感器320將表示該屏蔽304的該電壓的信號發(fā)送給該電壓控制器322。在塊412中，該電壓控制器412將來自該傳感器320的該信號與外部調(diào)整點(diǎn)324進(jìn)行比較并且調(diào)整該可變阻抗組件318以穩(wěn)定該屏蔽304中的該電壓。塊410與412兩者均以相對慢的響應(yīng)速度也就是在更低的頻率處工作。
塊406與408兩者與塊410與412兩者一起同時工作但其響應(yīng)速度不同。請注意另一個可測量的反饋控制變量為該電源以及可測量載荷阻抗的該輸出功率。在該電源輸出處的這些測量一般用于自動調(diào)諧或者設(shè)置該匹配網(wǎng)絡(luò)308以及穩(wěn)定該天線302的該輸出功率。
該優(yōu)選實施例將該天線302的電流或者功率以及該屏蔽304的電壓視為獨(dú)立調(diào)整點(diǎn)，并且測量對應(yīng)輸出參數(shù)值作為主反饋變量。通過調(diào)整該電源調(diào)整點(diǎn)326來穩(wěn)定該天線302的該電流或者功率以及調(diào)整該可變阻抗網(wǎng)絡(luò)318來穩(wěn)定該屏蔽304的該電壓可實現(xiàn)控制。然后該匹配網(wǎng)絡(luò)值可被自動調(diào)整以優(yōu)化功率傳遞，或者至少在由該電源輸出傳感器(未顯示)所檢測的可接受操作范圍內(nèi)保持由該電源306所提供的該載荷。該天線302中所設(shè)定的該駐波模式可通過調(diào)整其對地終端阻抗來設(shè)置。因此，應(yīng)當(dāng)了解到本發(fā)明允許對該天線電流以及該屏蔽的該電壓進(jìn)行獨(dú)立穩(wěn)定地控制，即使該載荷發(fā)生變化。此可通過共享單個電源以及一個匹配網(wǎng)絡(luò)來實現(xiàn)。
圖5為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面功率控制器的算法的流程圖。在塊502中，用戶設(shè)置設(shè)定功率作為該功率控制器的一個獨(dú)立調(diào)整點(diǎn)。在塊504中，可使用任何合適的傳感器對該天線的電流進(jìn)行測量。在塊506中，將測量后的該電流與該獨(dú)立調(diào)整點(diǎn)進(jìn)行比較，并且因此調(diào)整該電源以使該功率穩(wěn)定為該設(shè)定的功率。
圖6為闡明根據(jù)本發(fā)明的具體方面電壓控制器的算法的流程圖。在第一個塊602中，用戶設(shè)置設(shè)定的電壓作為一個獨(dú)立調(diào)整點(diǎn)。在塊604中，可使用任何合適的傳感器對該屏蔽的電壓進(jìn)行測量。在塊606中，將測量后的該屏蔽的該電壓與該獨(dú)立調(diào)整點(diǎn)進(jìn)行比較，并且因此通過調(diào)整該系列阻抗網(wǎng)絡(luò)來穩(wěn)定該電壓。
雖然顯示及描述了本發(fā)明的多個實施例以及應(yīng)用，但是很顯然對于受益于本發(fā)明的所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離此處發(fā)明概念范圍下可對以上所述進(jìn)行更多更改。因此只要不偏離附加權(quán)利要求書所闡述的精神，本發(fā)明便不受限制。
權(quán)利要求
1.一種用于控制施加于一屏蔽的電壓的裝置，該屏蔽置于通過一匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，該裝置包括由該電源提供動力的屏蔽；與該感應(yīng)線圈相連用于控制該電源的第一反饋電路；以及與所述屏蔽相連用于控制該屏蔽的電壓的第二反饋電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一反饋電路與所述第二反饋電路工作于不同的頻率范圍。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述第一反饋電路在從大約1KHz到大約1MHz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述第二反饋電路在從大約10Hz到大約100Hz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一反饋電路進(jìn)一步包括第一控制器以及第一傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述第一傳感器將表示提供給該感應(yīng)線圈的該功率的第一信號發(fā)送給該第一控制器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述第一控制器調(diào)整該電源以使得提供給該感應(yīng)線圈的該功率由第一調(diào)整點(diǎn)所控制。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第二反饋電路進(jìn)一步包括第二傳感器、第二控制器以及可變阻抗網(wǎng)絡(luò)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述屏蔽通過所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)來提供動力。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)進(jìn)一步包括可變電容器。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述第二傳感器將表示所述屏蔽的該電壓的第二信號發(fā)送給該第二控制器。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述第二控制器調(diào)整所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)以使得所述屏蔽的該電壓由第二調(diào)整點(diǎn)所控制。
13.一種用于控制施加于一屏蔽的電壓的裝置，該屏蔽置于通過匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，該裝置包括與該感應(yīng)線圈相連的可變阻抗網(wǎng)絡(luò)；通過所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)由該電源來提供動力的屏蔽；與所述屏蔽相連用來測量所述屏蔽的該電壓的第一傳感器，所述第一傳感器發(fā)送表示該測量的電壓的第一信號；以及與所述傳感器相連用來接收所述第一信號的第一控制器，所述控制器調(diào)整所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)以使得所述第一信號接近第一指定調(diào)整點(diǎn)；與該感應(yīng)線圈相連用來測量該感應(yīng)線圈中的功率通量的第二傳感器，所述第二傳感器發(fā)送表示該測量功率的第二信號；以及與所述第二傳感器相連用來接收所述第二信號的第二控制器，所述第二控制器調(diào)整該電源以使得所述第二信號接近第二指定調(diào)整點(diǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)進(jìn)一步包括可變真空電容器。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述第一反饋電路在從大約1KHz到大約1MHz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述第二反饋電路在從大約10Hz到大約100Hz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
17.一種用于控制施加于一屏蔽的電壓的方法，該屏蔽置于通過匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，該方法包括由該電源為該屏蔽提供動力；基于第一反饋電路調(diào)整該電源；以及基于第二反饋電路調(diào)整該屏蔽的該電壓。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述第一反饋電路在從大約1KHz到大約1MHz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述第二反饋電路在從大約10Hz到大約100Hz的范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述第一反饋電路進(jìn)一步包括第一傳感器以及第一控制器。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述第二反饋電路進(jìn)一步包括第二傳感器、第二控制器以及可變阻抗網(wǎng)絡(luò)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述屏蔽通過該可變阻抗網(wǎng)絡(luò)來提供動力。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)進(jìn)一步包括可變電容器。
24.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述第一傳感器將表示提供給該感應(yīng)線圈的該功率的第一信號發(fā)送給該第一控制器。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中所述第一控制器調(diào)整該電源以使得提供給該感應(yīng)線圈的該功率由第一調(diào)整點(diǎn)所控制。
26.根據(jù)權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述第二傳感器將表示所述屏蔽的該電壓的第二信號發(fā)送給該第二控制器。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的裝置，其中所述第二控制器調(diào)整所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)以使得所述屏蔽的該電壓由第二調(diào)整點(diǎn)所控制。
28.一種用于控制施加于一屏蔽的電壓的裝置，該屏蔽置于通過匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，所述裝置包括為該屏蔽提供動力的裝置；基于第一反饋電路用于調(diào)整該電源的裝置；以及基于第二反饋電路用于調(diào)整該屏蔽的電壓的裝置。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中所述第一反饋電路與所述第二反饋電路工作于不同的頻率范圍。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的裝置，其中所述第一反饋電路在從大約1KHz到大約1MHz的一個范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的裝置，其中所述第二反饋電路在從大約10Hz到大約100Hz的一個范圍內(nèi)的一個頻率上工作。
32.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中所述第一反饋電路進(jìn)一步包括第一控制器以及第一傳感器。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的裝置，其中所述第一傳感器將表示提供給該感應(yīng)線圈的該功率的第一信號發(fā)送給所述第一控制器。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的裝置，其中所述第一控制器調(diào)整該電源以使得提供給該感應(yīng)線圈的該功率由第一調(diào)整點(diǎn)所控制。
35.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中所述第二反饋電路進(jìn)一步包括第二傳感器、第二控制器以及可變阻抗網(wǎng)絡(luò)。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中所述屏蔽通過所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)來提供動力。
37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的裝置，其中所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)進(jìn)一步包括可變電容器。
38.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中所述第二傳感器將表示該屏蔽的該電壓的第二信號發(fā)送給該第二控制器。
39.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中所述第二控制器調(diào)整所述可變阻抗網(wǎng)絡(luò)使得所述屏蔽的該電壓由第二調(diào)整點(diǎn)所控制。
全文摘要
一種用于控制施加于一屏蔽的電壓的裝置，其中該屏蔽置于通過一匹配網(wǎng)絡(luò)由電源提供動力的感應(yīng)線圈與所發(fā)生的該等離子體之間，該裝置包括屏蔽、第一反饋電路以及第二反饋電路。該電源為該屏蔽提供動力。該第一反饋電路與該感應(yīng)線圈相連用來控制該電源。該第二反饋電路與該屏蔽相連用來控制該屏蔽的電壓。第一反饋電路與第二反饋電路兩者均工作于不同的頻率范圍。該第一反饋電路進(jìn)一步包括第一控制器以及第一傳感器。該第一傳感器將表示提供給該感應(yīng)線圈的該功率的第一信號發(fā)送給該第一控制器。該第一控制器調(diào)整該電源使得提供給該感應(yīng)線圈的該功率由第一調(diào)整點(diǎn)所控制。該第二反饋電路進(jìn)一步包括第二傳感器、第二控制器以及可變阻抗網(wǎng)絡(luò)。該屏蔽通過可變阻抗網(wǎng)絡(luò)來提供動力。該第二傳感器將表示該屏蔽的該電壓的第二信號發(fā)送給該第二控制器。該第二控制器調(diào)整該可變阻抗網(wǎng)絡(luò)使得該屏蔽的該電壓由第二調(diào)整點(diǎn)所控制。
文檔編號H01J37/32GK1511334SQ02810360
公開日2004年7月7日 申請日期2002年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月12日
發(fā)明者尼爾·本杰明, 安德拉什·庫蒂, 什 庫蒂, 尼爾 本杰明 申請人:科林研發(fā)公司