專(zhuān)利名稱(chēng)：齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管主要是由呈六邊形排列的碳原子構(gòu)成數(shù)層到數(shù)十層的同軸中空管狀碳結(jié)構(gòu)，層與層之間保持固定的間距，在相對(duì)比較低的電壓下就能夠發(fā)射大量的電子，因此，碳納米管材料能夠呈現(xiàn)出良好的場(chǎng)致發(fā)射特性，非常適合于用作各種場(chǎng)致發(fā)射器件的陰極材料。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器是一種新型的平面型顯示設(shè)備，其工作原理與陰極射線(xiàn)管顯示器的工作原理相類(lèi)似，都是通過(guò)電子束轟擊熒光粉層而發(fā)出可見(jiàn)光。這種新型的平面場(chǎng)致發(fā)射顯示器件具有高清晰度、高亮度以及高分辨率等特點(diǎn)，其應(yīng)用越來(lái)越廣泛，已經(jīng)成為了平板顯示領(lǐng)域的熱門(mén)話(huà)題。
柵極結(jié)構(gòu)是三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射顯示器中的關(guān)鍵控制元件之一，它直接決定著碳納米管是否能夠進(jìn)行電子發(fā)射。而進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓也是符合低壓平板器件的質(zhì)量性能技術(shù)指標(biāo)的。但碳納米管陰極的形狀對(duì)于在碳納米管陰極表面頂端所形成的電場(chǎng)強(qiáng)度具有一定的影響作用。一方面，碳納米管陰極中能夠發(fā)射電子的碳納米管越多，所形成的電子流也越大，這顯然對(duì)于進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓是有利的，所以需要盡可能多的碳納米管陰極都能夠發(fā)射出大量的電子；另一方面，碳納米管陰極的形狀的曲率越小，則越有助于增強(qiáng)在碳納米管陰極表面頂端所形成的電場(chǎng)強(qiáng)度，這對(duì)于進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓也是有利的。因此，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，需要仔細(xì)認(rèn)真地考慮這些因素和現(xiàn)象，以便于更好的制作高質(zhì)量平板器件而努力。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層、制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)。
所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成阻塞層；阻塞層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極抬翹層；陰極抬翹層位于陰極引線(xiàn)層的上面，底部和陰極引線(xiàn)層緊密接觸；陰極抬翹層為齒輪型形狀，上下表面均為平面；陰極抬翹層上表面上的刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住陰極抬翹層的上表面；陰極抬翹層的側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿(mǎn)陰極抬翹層的整個(gè)側(cè)面；阻塞層上的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出中間的陰極抬翹層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的高度要低于陰極抬翹層的高度；隔離層的上下表面均為平面，其圓形孔中的內(nèi)側(cè)面也是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極引線(xiàn)層中前端的懸空狀態(tài)部分略向上彎曲，但彎曲部分的最高點(diǎn)也不能超過(guò)陰極抬翹層的高度；柵極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住柵極引線(xiàn)層的上表面，包括其前端懸空部分的柵極引線(xiàn)層在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線(xiàn)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極抬翹層的摻雜類(lèi)型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線(xiàn)層的走向和陰極引線(xiàn)層的走向是相互垂直的；柵極引線(xiàn)層為金屬金、銀、鉻、鉬、鋁。
一種齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻塞層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成阻塞層；3)陰極引線(xiàn)層的制作在阻塞層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線(xiàn)層；4)陰極抬翹層的制作在陰極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極抬翹層；5)陰極覆蓋層的制作在陰極抬翹層的上表面上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極抬翹層的側(cè)表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)隔離層的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；8)柵極引線(xiàn)層的制作在隔離層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線(xiàn)層；9)柵極覆蓋層的制作在柵極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；10)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽(yáng)極玻璃面板的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；13)陽(yáng)極導(dǎo)電層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
所述步驟17具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在了碳納米管陰極的旁側(cè)，并且二者之間是通過(guò)真空進(jìn)行相互隔離開(kāi)來(lái)的。這樣，當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出更多的電子，所發(fā)射的電子在陽(yáng)極高電壓的作用下高速向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)，電子束受到柵極結(jié)構(gòu)截留的幾率極大的降低，也就極大地減小了柵極電流，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示亮度；另外，由于真空的絕緣性能要優(yōu)于其它絕緣材料的，所以能夠極大地增強(qiáng)柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的絕緣等級(jí)，進(jìn)而降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)中，將陰極抬翹層制作成了齒輪型形狀，并將碳納米管制備在了位于陰極抬翹層表面上的陰極導(dǎo)電層的上面。這樣，就可以極大地增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示亮度。同時(shí)還改變了碳納米管陰極的形狀，有利于充分發(fā)揮邊緣位置能夠發(fā)射出大量電子的碳納米管場(chǎng)致發(fā)射特有現(xiàn)象，能夠使得碳納米管陰極能夠有效的發(fā)射出更多的電子。
此外，在所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]、制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[16]，在陰極玻璃面板上有控制柵極[8]、碳納米管[10]以及齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)。
所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻塞層[2]、陰極引線(xiàn)層[3]、陰極抬翹層[4]、陰極覆蓋層[5]、陰極導(dǎo)電層[6]、隔離層[7]、柵極引線(xiàn)層[8]、柵極覆蓋層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成阻塞層；阻塞層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極抬翹層；陰極抬翹層位于陰極引線(xiàn)層的上面，底部和陰極引線(xiàn)層緊密接觸；陰極抬翹層為齒輪型形狀，上下表面均為平面；陰極抬翹層上表面上的刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住陰極抬翹層的上表面；陰極抬翹層的側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿(mǎn)陰極抬翹層的整個(gè)側(cè)面；阻塞層上的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出中間的陰極抬翹層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的高度要低于陰極抬翹層的高度；隔離層的上下表面均為平面，其圓形孔中的內(nèi)側(cè)面也是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極引線(xiàn)層中前端的懸空狀態(tài)部分略向上彎曲，但彎曲部分的最高點(diǎn)也不能超過(guò)陰極抬翹層的高度；柵極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住柵極引線(xiàn)層的上表面，包括其前端懸空部分的柵極引線(xiàn)層在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線(xiàn)層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極抬翹層的摻雜類(lèi)型可以為n型，也可以為p型；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線(xiàn)層的走向和陰極引線(xiàn)層的走向是相互垂直的；柵極引線(xiàn)層可以為金屬金、銀、鉻、鉬、鋁。
一種帶有齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻塞層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成阻塞層；3)陰極引線(xiàn)層[3]的制作在阻塞層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線(xiàn)層；4)陰極抬翹層[4]的制作在陰極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)n型摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極抬翹層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在陰極抬翹層的上表面上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在陰極抬翹層的側(cè)表面上制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)隔離層[7]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；8)柵極引線(xiàn)層[8]的制作在隔離層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線(xiàn)層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；10)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；
13)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟17具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]、制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[16]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[8]、碳納米管[10]以及齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成阻塞層；阻塞層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極抬翹層；陰極抬翹層位于陰極引線(xiàn)層的上面，底部和陰極引線(xiàn)層緊密接觸；陰極抬翹層為齒輪型形狀，上下表面均為平面；陰極抬翹層上表面上的刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住陰極抬翹層的上表面；陰極抬翹層的側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿(mǎn)陰極抬翹層的整個(gè)側(cè)面；阻塞層上的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出中間的陰極抬翹層和陰極導(dǎo)電層；隔離層的高度要低于陰極抬翹層的高度；隔離層的上下表面均為平面，其圓形孔中的內(nèi)側(cè)面也是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極引線(xiàn)層中前端的懸空狀態(tài)部分略向上彎曲，但彎曲部分的最高點(diǎn)也不能超過(guò)陰極抬翹層的高度；柵極引線(xiàn)層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住柵極引線(xiàn)層的上表面，包括其前端懸空部分的柵極引線(xiàn)層在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線(xiàn)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉻、鉬、錫；陰極抬翹層的摻雜類(lèi)型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線(xiàn)層的走向和陰極引線(xiàn)層的走向是相互垂直的；柵極引線(xiàn)層為金屬金、銀、鉻、鉬、鋁。
4.一種齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻塞層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成阻塞層；3)陰極引線(xiàn)層[3]的制作在阻塞層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線(xiàn)層；4)陰極抬翹層[4]的制作在陰極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極抬翹層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在陰極抬翹層的上表面上制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在陰極抬翹層的側(cè)表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；7)隔離層[7]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；8)柵極引線(xiàn)層[8]的制作在隔離層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線(xiàn)層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線(xiàn)層的上面制備出一個(gè)二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；10)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽(yáng)極玻璃面板[11]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；13)陽(yáng)極導(dǎo)電層[12]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及齒輪狀側(cè)向發(fā)射陰極陣列結(jié)構(gòu)；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步增大碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射電子面積，有效地減小了柵極結(jié)構(gòu)的電子截留現(xiàn)象，進(jìn)一步降低了柵極的工作電壓，有利于提高整體器件的顯示亮度，具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J1/30GK1971829SQ20061010730
公開(kāi)日2007年5月30日 申請(qǐng)日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院