專利名稱：一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置，是一種簡單可靠的氣化裝置。 本發(fā)明涉及離子注入機，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著科技的發(fā)展，離子注入技術(shù)得到越來越廣泛的應(yīng)用，用于離子注入的材料也是越來越多樣化。這就對離子源的結(jié)構(gòu)提出了更高的要求。在離子源的制造和改進中，對于需要注入的材料為固體物質(zhì)的情況，需要將其氣化為氣體狀態(tài)才能進行電離，以得到所需要的離子。本發(fā)明提供了一種固體物質(zhì)氣化裝置，結(jié)構(gòu)簡單可靠，可用于離子源結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置。本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)—種固體物質(zhì)氣化裝置，具有和電源連接并固定在支承座上的的加熱燈管，用于給裝有固體物質(zhì)的坩堝加熱，其中坩堝由石墨坩堝桶(11)和石墨坩堝帽(12)組成，使用和坩堝相連接的熱電偶(1)檢測坩堝的溫度，根據(jù)要氣化的物質(zhì)不同，調(diào)節(jié)不同的溫度以達到氣化的目的，氣化后的氣體分子通過送氣管(10)送出該氣化裝置。并安裝一個通水座 (4)，用于冷卻。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點1.結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，拆裝方便，便于維護。2.采用燈絲加熱，內(nèi)置溫度傳感器監(jiān)控，有利于監(jiān)控坩堝內(nèi)部溫度，便于溫度調(diào)節(jié)。


圖1是固體物質(zhì)氣化裝置的主視圖。圖2是固體物質(zhì)氣化裝置的側(cè)視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。參考圖1，一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化的裝置，其結(jié)構(gòu)包括熱電偶(1)，熱電偶支撐架結(jié)構(gòu)(2)，燈管引線座(3)，通水座(4)，安裝法蘭(5)，燈管座(6)，加熱燈管(7)， 支承座(8)，小彈片(9)，送氣管(10)，石墨坩堝帽(11)，石墨坩堝桶(12)，絕緣柱(13)、，氮化硼墊片(14)。加熱燈管(7)通過燈管座(6)連接在支承座(8)上，其中絕緣柱 (13)、(15)，以及氮化硼墊片(14)安裝于燈管座(6)上，以起到絕緣作用。通過固定在安裝法蘭⑷上的燈管引線座(3)為加熱燈管(9)通電，以達到加熱的作用。石墨坩堝桶(12)固定在安裝法蘭(5)上，熱電偶1將溫度探針伸入石墨坩堝桶 (12)內(nèi)，用以測試石墨坩堝桶(12)內(nèi)的溫度。當(dāng)坩堝內(nèi)的固體物質(zhì)不同時，控制不同的溫度以使固體物質(zhì)氣化。其中熱電偶(1)通過熱電偶支撐架結(jié)構(gòu)(2)固定在安裝法蘭(5)上， 其高度可做微調(diào)。石墨坩堝桶(12)和石墨坩堝帽(11)連接，并密封，再和將氣化后的氣體分子送出氣化裝置的送氣管(10)相連。通水座4通入去離子水起到冷卻的作用。參考圖2，本發(fā)明所涉及的實施例，除了通水座(4)和安裝法蘭( 外，其他部分均為關(guān)于支承座(8)對稱的相同的兩組零件，其中兩個加熱燈管通過小彈片(9)在支承座 (8)上連接在一起。這樣可以同時在兩個坩堝桶里加熱固體物質(zhì)，也可以根據(jù)具體情況，將該裝置的結(jié)構(gòu)稍作修改，使用不同數(shù)量的加熱燈管和坩堝桶。該裝置除上述部分，還可以在整個裝置外面安裝一個保護罩，起到保護作用。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置，其特征在于熱電偶(1)、熱電偶支撐架結(jié)構(gòu) (2)、燈管引線座(3)、通水座(4)、安裝法蘭(5)、燈管座(6)、加熱燈管(7)、支承座(8)、小彈片(9)、送氣管(10)、石墨坩堝帽(11)、石墨坩堝桶(12)、絕緣柱(13)、(15)和氮化硼墊片(14)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置，其特征在于坩堝由石墨坩堝桶(11)和石墨坩堝帽(12)組成；加熱燈管(7)可以給坩堝加熱；熱電偶⑴處于坩堝內(nèi)部，可以檢測坩堝內(nèi)部的溫度；支承座(8)靠近加熱燈管(7)的部分拋光，可以更好的反射熱量。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于離子源的固體物質(zhì)氣化裝置，其結(jié)構(gòu)包括熱電偶(1)，熱電偶支撐架結(jié)構(gòu)(2)，燈管引線座(3)，通水座(4)，安裝法蘭(5)，燈管座(6)，加熱燈管(7)，支承座(8)，小彈片(9)，送氣管(10)，石墨坩堝帽(11)，石墨坩堝桶(12)，絕緣柱(13)、(15)，氮化硼墊片(14)。該裝置用于給裝有固體物質(zhì)的坩堝加熱，其中坩堝由石墨坩堝桶(11)和石墨坩堝帽(12)組成，使用和坩堝相連接的熱電偶(1)檢測坩堝的溫度，根據(jù)要氣化的物質(zhì)不同，調(diào)節(jié)不同的溫度以達到氣化的目的，氣化后的氣體分子通過送氣管(10)送出該氣化裝置。并安裝一個通水座(4)，用于冷卻。
文檔編號H01J37/317GK102543643SQ201010621918
公開日2012年7月4日 申請日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者孫勇, 彭立波, 謝均宇, 鄧穎輝, 黃永章 申請人:北京中科信電子裝備有限公司