專利名稱：：可裝配的拋光設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體處理裝備，且更明確地說涉及一種拋光設(shè)備。
背景技術(shù)：
：化學(xué)機械拋光(chemicalmechanicalpolishing,CMP)工藝在半導(dǎo)體裝置制造期間廣泛用于平坦化。一般來說，CMP工藝涉及使用溶液(如，漿料溶液)在拋光表面(如，拋光墊)上對半導(dǎo)體晶圓的表面進行拋光，所述溶液提供于晶圓表面與拋光表面之間。視CMP工藝而定，可執(zhí)行多個CMP步驟以在半導(dǎo)體晶圓上產(chǎn)生單個平坦化層。例如，在半導(dǎo)體裝置制造期間可對銅鑲嵌的結(jié)構(gòu)執(zhí)行多個CMP步驟。為了推動多步驟CMP工藝，已開發(fā)具有多個拋光臺(polishingstation)的CMP裝備。常規(guī)CMP裝備的問題是每一CMP裝備僅可執(zhí)行特定的多步驟CMP工藝，這取決于所述CMP裝備的拋光臺的數(shù)目。例如，具有兩個串聯(lián)布置的拋光臺的CMP裝備(其是針對兩步驟的連續(xù)的CMP工藝而設(shè)計的)不能執(zhí)行三步驟的連續(xù)的CMP工藝。有鑒于此考慮，需要一種可執(zhí)行不同多步驟CMP工藝的拋光設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明實施例的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備包括主拋光結(jié)構(gòu)，其包含多個拋光平臺(polishingtable)、多個拋光頭(polishinghead)和多個裝在卩臺(load-and-unloadstation);及Pf十力口拋光纟吉片勾(add—onpolishingstructure),其包含額外拋光平臺和額外拋光頭。附加拋光結(jié)4:勾。、""、"、'、'"、、"根據(jù)本發(fā)明實施例的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備包括主拋光結(jié)構(gòu)和附加拋光結(jié)構(gòu)。主拋光結(jié)構(gòu)包含耦接到主框架結(jié)構(gòu)的多個拋光平臺、多個拋光頭和多個裝卸臺。拋光頭耦接到主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一者均可在所述拋光平臺中的一者與所述裝卸臺中的至少一者之間移動。附加拋光結(jié)構(gòu)包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的額外拋光平臺和額外拋光頭。附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到主拋光結(jié)構(gòu)，從而形成具有額外拋光平臺和額外拋光頭的較大拋光結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明另一實施例的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備包括主拋光結(jié)構(gòu)和附加拋光結(jié)構(gòu)。主拋光結(jié)構(gòu)包含耦接到主框架結(jié)構(gòu)的多個拋光平臺、多個拋光頭和多個裝卸臺。拋光平臺和裝卸臺經(jīng)定位以使得每一拋光平臺均位于所述裝卸臺之間。拋光頭耦接到主框架結(jié)構(gòu)，使得拋光頭中的每一者均可在所述拋光平臺中的一者與所述裝卸臺中的兩者之間線性移動。拋光平臺中的一者位于所述裝卸臺中的兩者之間。附加拋光結(jié)構(gòu)包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的額外拋光平臺、額外拋光頭和多個額外裝卸臺。附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到主拋光結(jié)構(gòu)，從而形成具有額外拋光平臺、額外拋光頭和額外裝卸臺的較大拋光結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明另一實施例的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備包括主拋光結(jié)構(gòu)和附加拋光結(jié)構(gòu)。主拋光結(jié)構(gòu)包含第一拋光平臺、第一拋光頭和耦接到主框架結(jié)構(gòu)的第一裝卸臺。第一拋光頭耦接到主框架結(jié)構(gòu)，使得第一拋光頭可通過使用第一線性軌道以線性方式將半導(dǎo)體晶圓從第一拋光平臺傳送到第一裝卸臺。附加拋光結(jié)構(gòu)包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的第二拋光平臺和第二拋光頭。第二拋光頭耦接到附加框架結(jié)構(gòu)，使得第二拋光頭可通過使用至少一個第二線性軌道以線性方式將半導(dǎo)體晶圓從第一裝卸臺傳送到第二拋光平臺，使得第二拋光頭可從第一裝卸臺接收半導(dǎo)體晶圓，并在第二拋光平臺上對半導(dǎo)體晶圓進行拋光。附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到主拋光結(jié)構(gòu)，使得第一線性軌道與第二線性軌道對準，從而形成直接連接的線性軌道。通過結(jié)合附圖閱讀以下以例示形式說明本發(fā)明原理的詳細描述，將顯而易見本發(fā)明的其它方面和優(yōu)點。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光設(shè)備的圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的使用圖1拋光設(shè)備的擴展拋光設(shè)備的圖。圖3是根根本發(fā)明實施例的圖l拋光設(shè)備的框架結(jié)構(gòu)的前視圖。圖4是圖3框架結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖5是根據(jù)本發(fā)明替代實施例的圖1拋光設(shè)備的前視圖。圖6是圖5拋光設(shè)備的一部分的放大視圖，其說明拋光頭組合件、相關(guān)聯(lián)的線性驅(qū)動機構(gòu)和相關(guān)聯(lián)的終點檢測機構(gòu)。圖7是圖6所示部分的橫截面圖。圖8是根據(jù)本發(fā)明實施例的圖2擴展拋光設(shè)備的前視圖。圖9是圖5拋光設(shè)備的一部分的橫截面圖，其說明根據(jù)本發(fā)明實施例的封閉結(jié)構(gòu)。圖10是繪示根據(jù)本發(fā)明實施例的封閉結(jié)構(gòu)的開口和開口中細頸狀部分的圖。具體實施方式參看圖1，描述根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光設(shè)備1。拋光設(shè)備l包括拋光平臺30a和30b,裝卸臺40a、40a，、40b、40b，、40c和40c，，拋光頭51a、51a，、51b和51b，；以及框架結(jié)構(gòu)3，所述框架結(jié)構(gòu)3在圖1中大概表示為矩形。拋光平臺30a和30b,裝卸臺40a、40a，、40b、40b，、40c和40c，以及拋光或運載頭51a、51a，、51b和51b，直接或間接地附接到框架結(jié)構(gòu)3。以下參看圖3和圖4更詳細地描述框架結(jié)構(gòu)3。如圖1所示，拋光平臺30a和30b以及裝卸臺40a、40a，、40b、40b，、40c和40c，附接到框架結(jié)構(gòu)3，使得第一拋光平臺30a位于第一和第二裝卸臺40a和40a，與第三和第四裝卸臺40b和40b，之間，且第二拋光平臺30b位于第三和第四裝卸臺40b和40b，與第五和第六裝卸臺40c和40c，之間。第一拋光頭51a附接到框架結(jié)構(gòu)3，使得拋光頭51a可在第一裝卸臺40a、第一拋光平臺30a與第三裝卸臺40b之間線性移動,第二拋光頭51a，也附接到框架結(jié)構(gòu)3,使得拋光頭51a'可在第二裝卸臺40a，、第一拋光平臺30a與第四裝卸臺40b，之間線性移動。同樣，第三拋光頭51b附接到框架結(jié)構(gòu)3，使得拋光頭51b可在第三裝卸臺40b、第二拋光平臺30b與第五裝卸臺40c之間移動，且第四拋光頭51b，可在第四裝卸臺40b，、第二拋光平臺30b與第六裝卸臺40c，之間移動?，F(xiàn)在描述根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光設(shè)備1的操作。通過一個或一個以上外部裝置(例如晶圓傳送機械手(wafertransferrobot),未圖示)將兩個待拋光的半導(dǎo)體晶圓傳送到第一和第二裝卸臺40a和40a'。接著，拋光頭51a和51a，分別將晶圓從第一和第二裝卸臺40a和40a，傳送到第一拋光平臺30a,其中通過第一和第二拋光頭51a和51a，在第一拋光平臺30a上對晶圓進行拋光。當(dāng)在第一拋光平臺30a上對晶圓進行拋光之后，分別通過第一和第二拋光頭51a和51a，將晶圓傳送到第三和第四裝卸臺40b和40b，。接著，第一和第二拋光頭51a和51a，移動回到第一和第二裝卸臺40a和40a，以處理接下來的兩個晶圓。第三和第四拋光頭51b和51b，分別將已經(jīng)拋光的晶圓從第三和第四裝卸臺40b和40b，傳送到第二拋光平臺30b，其中通過第三和第四拋光頭51b和51b，在第二拋光平臺30b上對晶圓進行進一步拋光。當(dāng)在第二拋光平臺30b上對晶圓進行拋光之后，分別通過第三和第四拋光頭51b和51b，將晶圓傳送到第五和第六裝卸臺40c和40c，。接著，可通過一個或一個以上外部裝置(例如晶圓傳送機械手，未圖示)將第五和第六裝卸臺40c和40c，上的經(jīng)過拋光的晶圓傳送到下一目的地。接著，第三和第四拋光頭51b和51b，移動回到第三和第四裝卸臺40b和40b，以繼續(xù)處理接下來的兩個晶圓。為了在拋光平臺30a和30b上對晶圓進行拋光，需在拋光平臺上施配溶液。在一實施例中，在拋光墊上施配含有研磨顆粒的漿料，所述拋光墊附接在拋光平臺30a和30b上。拋光平臺30a和30b上的拋光墊通過墊調(diào)節(jié)器91a和91b來調(diào)節(jié)，所述墊調(diào)節(jié)器91a和91b附接到框架結(jié)構(gòu)3,使得每一墊調(diào)節(jié)器可以線性方式移動從而接入正由該墊調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)的拋光墊中的不同部分。由于拋光設(shè)備1具有兩個拋光平臺，所以拋光設(shè)備1可依次對半導(dǎo)體晶圓執(zhí)行兩個順次的或連續(xù)的CMP工藝。因此，可使用拋光設(shè)備l來執(zhí)行需要兩個連續(xù)CMP工藝的制造方法。然而，與常規(guī)拋光裝備不同的是，拋光設(shè)備1可經(jīng)過修改或裝配以執(zhí)行兩個以上連續(xù)的CMP工藝。在一實施例中，可通過向拋光設(shè)備l附接一附加拋光結(jié)構(gòu)5,而將拋光設(shè)備1轉(zhuǎn)換成較大的擴展拋光設(shè)備10。因此，拋光設(shè)備1是主拋光結(jié)構(gòu)，附加拋光結(jié)構(gòu)5附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，以形成擴展拋光設(shè)備10。如圖2所示，附加拋光結(jié)構(gòu)5包含拋光平臺30c、裝卸臺40d和40d，、拋光頭51c和51c，、墊調(diào)節(jié)器91c和附加框架結(jié)構(gòu)'7，所述附加框架結(jié)構(gòu)7在圖2中大概表示為矩形。拋光平臺30c、裝卸臺40d和40d，以及拋光頭51d和51d，直接或間接地附接到附加框架結(jié)構(gòu)7。以下參看圖8更詳細地描述附加框架結(jié)構(gòu)7。如圖2所示，第三拋光平臺30c以及第七和第八裝卸臺40d和40d，附接到附加框架結(jié)構(gòu)7，使得當(dāng)附加拋光結(jié)構(gòu)5附接到拋光設(shè)備1時，第三拋光平臺30c位于第五和第六裝卸臺40c和40c，與第七和第八裝卸臺40d和40d，之間。第五拋光頭51c附接到附加框架結(jié)構(gòu)7，使得第五拋光頭51c可在第五裝卸臺40c、第三拋光平臺30c和第七裝卸臺40d之間線性移動。第六拋光頭51c，也附接到附加框架結(jié)構(gòu)7，使得第六拋光頭51c，可在第六裝卸臺40c，、第三拋光平臺30c與第八裝卸臺40d，之間線性移動?，F(xiàn)在描述根據(jù)本發(fā)明一實施例的擴展拋光設(shè)備10的操作。在對應(yīng)于原拋光設(shè)備1的部分方面，擴展拋光設(shè)備10的操作與圖1的拋光設(shè)備1的操作相似，且因此將不再重復(fù)。在分別通過第三和第四拋光頭51b和51b，將晶圓傳送到第五和第六裝卸臺40c和40c，之后，第五和第六拋光頭51c和51c，分別將晶圓從第五和第六裝卸臺40c和40c，傳送到第三拋光平臺30c,其中通過第五和第六拋光頭51c和51c，在第三拋光平臺30c上對晶圓進行拋光。當(dāng)已在第三拋光平臺30c上對晶圓進行拋光之后，分別通過第五和第六拋光頭51c和51c，將晶圓傳送到第七和第八裝卸臺40d和40d，。接著，可通過一個或一個以上外部裝置(例如晶圓傳送機械手，未圖示)將第七和第八裝卸臺40d和40d，上的經(jīng)過拋光的晶圓傳送到下一目的地。接著，第五和第六拋光頭51c和51c，移動回到第五和第六裝卸臺40c和40c，以繼續(xù)處理*接下來的兩個晶圓。為了在第三拋光平臺30c上對晶圓進行拋光，需在第三拋光平臺30c上施配溶液。在一實施例中，在拋光墊上施配含有研磨顆粒的漿料，所述拋光墊附接在第三拋光平臺3c上。第三拋光平臺30c上的拋光墊通過第三墊調(diào)節(jié)器91c來調(diào)節(jié)，所述第三墊調(diào)節(jié)器91c附接到附加框架結(jié)構(gòu)7，使得第三墊調(diào)節(jié)器91c可以線性方式移動從而接入第三拋光平臺30c上的拋光墊的不同部分。由于擴展拋光設(shè)備10具有三個拋光平臺，所以擴展拋光設(shè)備10可依次對半導(dǎo)體晶圓執(zhí)行三個連續(xù)的CMP工藝。因此，可使用拋光設(shè)備l來依次執(zhí)行兩個連續(xù)的CMP工藝，或者可將拋光設(shè)備1轉(zhuǎn)換成拋光設(shè)備10，以依次執(zhí)行三個連續(xù)的CMP工藝。然而，在其它實施例中，拋光設(shè)備l和/或擴展拋光設(shè)備10可經(jīng)修改以包含多于所描述的數(shù)目的拋光平臺，這樣拋光設(shè)備1便可依次執(zhí)行兩個以上的連續(xù)的CMP工藝，且/或擴展拋光設(shè)備10可依次執(zhí)行三個以上的連續(xù)的CMP工藝。在其它實施例中，可向拋光設(shè)備1附接一個以上的附加拋光結(jié)構(gòu)，以形成具有較多拋光平臺的較大拋光結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)在參看圖3和圖4，圖中繪示根據(jù)本發(fā)明一實施例的框架結(jié)構(gòu)3。圖3繪示拋光設(shè)備1的框架結(jié)構(gòu)3的前視圖。圖4繪示拋光設(shè)備1的框架結(jié)構(gòu)3的側(cè)^L圖。如圖3最佳繪示的，框架結(jié)構(gòu)3包含下部支撐結(jié)構(gòu)21a、21b和21c。第一下部支撐結(jié)構(gòu)21a包括垂直部分26a和傾斜部分26a'，如圖4所說明。垂直部分26a的一個端部在第一底架(baseframe)23a的第一端部附近連接到第一底架23a,所述第一底架23a安裝在支腿(leg)24a上。垂直部分26a的另一端部連接到傾斜部分26a'的一個端部。傾斜部分26a'的另一端部連接到第一中間安裝板25a的底面的中心部分。第二下部支撐結(jié)構(gòu)21b也包括垂直部分26b和傾斜部分26b'。垂直部分26b的一個端部在第二底架23b的第一端部附近連接到第二底架23b，所述第二底架23b安裝在支腿24b上。垂直部分26b的另一端部連接到傾斜部分26b，的一個端部。傾斜部分26b'的另一端部連接到第二中間安裝板25b的底面的中心部分。第三下部支撐結(jié)構(gòu)21c也包括垂直部分26c和傾斜部分26c，。垂直部分26c的一個端部在第三底架23c的第一端部附近連接到第三底架23c，所述第三底架23c安裝在支腿24c上。垂直部分26c的另一端部連接到傾斜部分26c，的一個端部。傾斜部分26c，的另一端部連接到第三中間安裝板25c的底面的中心部分?？蚣芙Y(jié)構(gòu)3進一步包含下部安裝板22a，所述下部安裝板22a安裝到第一、第二和第三下部支撐結(jié)構(gòu)21a-21c的垂直部分26a-26c。框架結(jié)構(gòu)3還包含上部支撐結(jié)構(gòu)lla、lib和llc。第一上部支撐結(jié)構(gòu)lla安裝在第一中間安裝才反25a的頂面上。第二上部支撐結(jié)構(gòu)lib安裝在第二中間安裝板25b的頂面上。第三上部支撐結(jié)構(gòu)11c安裝在第三中間安裝板2化的頂面上?？蚣芙Y(jié)構(gòu)3進一步包含上部安裝板12a,所述上部安裝板焊接到上部支撐結(jié)構(gòu)lla和lib,使得安裝板12a的第一側(cè)端連接到第一上部支撐結(jié)構(gòu)lla，且安裝板12a的底面安裝在第二上部支撐結(jié)構(gòu)lib上。上部安裝板12a接合到第三上部支撐結(jié)構(gòu)llc，使得安裝板12a的第二側(cè)端接合到第三上部支撐結(jié)構(gòu)llc。上部支撐結(jié)構(gòu)llc包括凸出部分(maleportion)18，所述凸出部分18接合到上部安裝板12a的第二側(cè)端的凹入部分(femaleportion)。框架結(jié)構(gòu)3還包含上部框架17a，所述上部框架17a安裝到第一和第三上部支撐結(jié)構(gòu)lla和llc頂部處。下部線性軌道13a和13a，、上部線性軌道14a和14a，以及調(diào)節(jié)器線性軌道15a和15b安裝在安裝板12a上。第一下部線性軌道13a和第一上部線性軌道14a安裝在安裝板12a的前垂直表面上，使得軌道13a和14a平行于安裝板12a的前表面的縱向側(cè)。因此，軌道13a與14a彼此平行。第二下部線性軌道13a，和第二上部線性軌道14a，安裝在安裝板12a的后垂直表面上，使得軌道13a，和14a，平行于安裝板12a的后表面的縱向側(cè)。因此，軌道13a，與14a'彼此平行，且也與軌道13a和14a平行。第一調(diào)節(jié)器線性軌道15a和第二調(diào)節(jié)器線性軌道15b安裝到安裝板12a的底面，且也與軌道13a、13a，、14a和14a，平行。安裝板12a的底面垂直于安裝板12a的前表面和后表面。調(diào)節(jié)器線性軌道15a和15b通過第二上部支撐結(jié)構(gòu)llb分離，所述第二上部支撐結(jié)構(gòu)11b連接到安裝板12a的底面?，F(xiàn)在參看圖5，圖中繪示拋光設(shè)備l的前視圖。在圖5中，將圖3的框架結(jié)構(gòu)3繪示為具有拋光平臺30a和30b，裝卸臺40a、40a，、40b、40b，、40c和40c，以及拋光頭51a、51a，、51b和51b，。然而，在圖5中，裝卸臺40a，、40b，和40c，以及拋光頭51a，和51b，一皮隱藏而無法看到。如圖5中說明，拋光設(shè)備l進一步包含用于拋光頭51a、51a，、51b和51b，中的每一者的拋光頭組合件以及用于墊調(diào)節(jié)器91a和91b中的每一者的墊調(diào)節(jié)器組合件。在圖5中，僅展示分別用于拋光頭51a和51b的拋光頭組合件50a和50b。另外兩個分別用于拋光頭51a，和51b'的拋光頭組合件50a，和50b，；陂隱藏而無法看到。然而，這些隱藏的拋光頭組合件類似于圖示的拋光頭組合件50a和50b。圖5中還繪示了拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a和32b，其使拋光平臺30a和30b旋轉(zhuǎn)。拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a和32b安裝到框架結(jié)構(gòu)3的第一下部安裝板22a。拋光平臺30a和30b分別通過旋轉(zhuǎn)軸31a和31b連接到拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a和32b。拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸31a使拋光平臺30a旋轉(zhuǎn)。同樣，拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32b經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸31b使拋光平臺30b旋轉(zhuǎn)。第一和第二裝卸臺40a和40a，安裝到第一中間安裝板25a的頂面。第三和第四裝卸臺40b和40b，安裝到第二中間安裝板的頂面。第五和第六裝卸臺40c和40c，安裝到第三中間安裝板25c的頂面。第一和第三拋光頭組合件50a和50b安裝到第一下部線性軌道和上部線性軌道13a和14a，使得這些拋光頭組合件50a和50b(其分別包含拋光頭51a和51b)可沿著軌道13a和14a線性移動。同樣，第二拋光頭組合件50a，(未圖示)和第四拋光頭組合件50b，(未圖示)安裝到第二下部線性軌道和上部線性軌道13a，和14a，(未圖示)，使得這些拋光頭組合件50a，和50b，(其分別包含拋光頭51a，和51b，)可沿著軌道13a，和14a'線性移動。第一和第二墊調(diào)節(jié)器組合件90a和90b安裝到第一和第二調(diào)節(jié)器線性軌道15a和15b,-使得這些墊調(diào)節(jié)器組合件90a和90a(其分別包含墊調(diào)節(jié)器91a和91b)可分別沿著軌道15a和15b線性移動。為了在拋光平臺30a和30b中的每一者處檢測拋光工藝的終點，可使用耦接到用于該拋光平臺的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a或32b的電流傳感器34。電流傳感器34檢測用來轉(zhuǎn)動拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a或32b的馬達的電流。當(dāng)拋光平臺30a或30b上的拋光墊與正在該拋光墊上^f皮拋光的兩個晶圓之間的摩擦力變化時，改變所述電流以使得轉(zhuǎn)動速度不受摩擦力變化的影響而保持恒定。電流傳感器34;險測電流變化，而所述電流變化可用來確定終點。然而，無法使用電流傳感器34來判斷同時在同一拋光平臺30a或30b上被拋光的兩個晶圓中，哪個晶圓即將到達或接近終點。為了解決這個問題，可將電流傳感器34與負載傳感器(loadcell)或其它電流傳感器結(jié)合使用，以針對正在同一拋光平臺30a或30b上被拋光的兩個晶圓中的每一者確定拋光終點。參看圖6和圖7，圖中描述拋光頭組合件50a、相關(guān)聯(lián)的線性驅(qū)動機構(gòu)以及相關(guān)聯(lián)的終點檢測機構(gòu)。由于拋光頭組合件50a、50a，、50b和50b，彼此類似，所以對拋光頭組合件50a和相關(guān)聯(lián)的機構(gòu)的描述也可用作對其它拋光頭組合件及其線性驅(qū)動機構(gòu)和終點檢測機構(gòu)的描述。圖6是拋光頭組合件50a、相關(guān)聯(lián)的線性驅(qū)動機構(gòu)以及相關(guān)聯(lián)的終點檢測機構(gòu)的前視圖。圖7是圖6的橫截面i的側(cè)視圖。拋光平臺51a通過頭旋轉(zhuǎn)軸52a連接到頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a。頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a連接到支撐板54a，所述支撐板54a通過軸55a連接到頭垂直驅(qū)動機構(gòu)56a。頭垂直驅(qū)動機構(gòu)56a安裝到頭組合件板45a。支撐板54a以可滑動方式安裝到導(dǎo)軌板(guiderailplate)46a,使得拋光平臺51a可通過頭垂直驅(qū)動機構(gòu)56a沿著導(dǎo)軌板46a的導(dǎo)軌垂直移動。頭組合件板45a通過下部軌道夾具(railgripper)47a和上部軌道夾具48a以可滑動方式耦接到第一下部線性軌道和上部線性軌道13a和14a。下部軌道夾具和上部軌道夾具47a和48a分別以可滑動方式耦接到下部線性軌道和上部線性軌道13a和14a。引導(dǎo)螺母(leadnut)61a耦接到頭組合件板45a。引導(dǎo)螺母61a還耦接到引導(dǎo)螺桿(leadscrew)71a。引導(dǎo)螺桿71a的一端連接到頭輸送馬達70a,所述頭輸送馬達70a通過至少一個彈性金屬或聚合板72a懸吊在上部框架17a下方。引導(dǎo)螺桿71a的另一端連接到軸承70b，所述軸承70b至少通過彈性金屬或聚合板72b懸吊在上部框架17a下方。當(dāng)引導(dǎo)螺桿71a由頭輸送馬達70a旋轉(zhuǎn)時，引導(dǎo)螺母61a沿著引導(dǎo)螺桿71a前后移動。第一和第二位置傳感器73a和73b安裝到第一上部框架17a,使得當(dāng)拋光頭組合件50a經(jīng)過位置傳感器時，這些位置傳感器可進行檢測。參考銷62a安裝到頭組合件板45a，使得當(dāng)拋光頭組合件50a經(jīng)過位置傳感器73a與73b中的一者時，參考銷會觸發(fā)該位置傳感器。位置傳感器73a和73b可為f茲性傳感器或光電傳感器(photosensor)。第一位置傳感器73a的位置沿著上部框架17a設(shè)置，使得當(dāng)?shù)谝晃恢脗鞲衅?3a檢測參考銷62a時，第一拋光頭51a與第一裝卸臺40a垂直對準。同樣，第二位置傳感器73b的位置沿著上部框架17a設(shè)置，使得當(dāng)?shù)诙恢脗鞲衅?3b檢測參考銷62a時，第二拋光頭51a與第三裝卸臺40b垂直對準。在一實施例中，負載傳感器74a連同電流傳感器34—起使用，以檢測正由第一拋光頭51a在第一拋光平臺30a上拋光的半導(dǎo)體晶圓的拋光工藝的終點。負載傳感器74a耦接到第一連接件75a,所述第一連接件75a剛性連接到頭輸送馬達70a。負載傳感器74a還耦接到第二連接件76a，所述第二連接件76a剛性連接到上部框架17a。在拋光工藝期間，第一拋光頭51a以循環(huán)方式沿著引導(dǎo)螺桿71a線性地前后移動。通過負載傳感器74a來檢測使第一拋光頭組合件50a前后移動的扭矩。所述扭矩隨著第一拋光平臺30a上的拋光墊與由第一拋光頭51a拋光的晶圓之間的摩擦力的變化而改變。當(dāng)沉積在晶圓上的頂層被平坦化時或者當(dāng)在通過拋光工藝移除頂層之后使沉積在晶圓上的下一層暴露時，摩擦力會改變。通過使用負載傳感器74a檢測扭矩的變化，并使用電流傳感器34檢測到達拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a的馬達的電流的變化，來檢測拋光工藝的終點。可使用用于第二拋光頭51a，的類似負載傳感器來檢測正由第二拋光頭拋光的晶圓的拋光工藝的終點。因此，可個別地;險測在第一拋光平臺30a上被同時拋光的兩個晶圓中的每一晶圓的終點。特定來說，通過使用與兩個拋光頭相關(guān)聯(lián)的負載傳感器來監(jiān)視正在同一拋光平臺上由兩個拋光頭拋光的兩個晶圓的扭矩變化，來識別出即將到達或接近終點的晶圓。在識別出即將到達或接近終點的晶圓之后，使用耦接到用于拋光平臺的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)的電流傳感器34來檢測和確定晶圓的終點。在兩個晶圓中的一者已到達終點之后，該晶圓的拋光工藝停止，但另一晶圓的拋光工藝繼續(xù)進行，直到電流傳感器34檢測并確定了另一晶圓的終點為止。當(dāng)從電流傳感器34獲得的信號的質(zhì)量優(yōu)于(噪聲小于)從負載傳感器獲得的信號時，這種使用通過負載傳感器輔助運行的電流傳感器34的終點檢測和確定算法相當(dāng)奏效。在替代實施例中，不是使用負載傳感器，而是連同電流傳感器34—起使用耦接到頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a的電流傳感器36a,來檢測正在第一拋光平臺30a上由第一拋光頭51a拋光的半導(dǎo)體晶圓的拋光工藝的終點。電流傳感器36a檢測用于通過頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a來旋轉(zhuǎn)拋光頭51a的電流的變化。當(dāng)拋光平臺30a上的拋光墊與正由第一拋光頭51a拋光的晶圓之間的摩擦力變化時，到達頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a的馬達的電流便會改變，以便使轉(zhuǎn)動速度保持恒定。電流傳感器36檢測這種電流變化。通過使用電流傳感器36a檢測到達頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)53a的馬達的電流的變化，并使用電流傳感器34檢測到達拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32a的馬達的電流的變化，來檢測拋光工藝的終點?？墒褂糜糜诘诙伖忸^51a，的類似電流傳感器來;f企測正由第二拋光頭拋光的晶圓的拋光工藝的終點。因此，可個別地檢測正在第一拋光平臺30a上被同時拋光的兩個晶圓中的每一晶圓的終點。特定來說，通過使用與兩個拋光頭相關(guān)聯(lián)的電流傳感器來監(jiān)視使兩個晶圓旋轉(zhuǎn)的電流的變化，來識別出即將到達或接近終點的晶圓。在識別出即將到達或接近終點的晶圓之后，使用耦接到用于拋光平臺的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)的電流傳感器34來檢測和確定晶圓的終點。在兩個晶圓中的一者已到達終點之后，該晶圓的拋光工藝停止，但另一晶圓的拋光工藝繼續(xù)進行，直到電流傳感器34檢測并確定了另一晶圓的終點為止。當(dāng)從電流傳感器34獲得的信號的質(zhì)量優(yōu)于(噪聲小于)從用于拋光頭的電流傳感器獲得的信號時，這種使用多個電流傳感器的終點檢測和確定算法相當(dāng)奏效。現(xiàn)在參看圖6和7描述墊調(diào)節(jié)器組合件90a。墊調(diào)節(jié)器頭91a連接到調(diào)節(jié)器旋轉(zhuǎn)和垂直驅(qū)動機構(gòu)92a,所述調(diào)節(jié)器旋轉(zhuǎn)和垂直驅(qū)動機構(gòu)92a連接到引導(dǎo)螺母93a。引導(dǎo)螺母93a以可滑動方式耦接到調(diào)節(jié)器線性軌道15a和引導(dǎo)螺桿94a。引導(dǎo)螺桿94a的一端連接到調(diào)節(jié)器輸送馬達(未圖示)。調(diào)節(jié)器線性輸送馬達安裝到第一上部安裝板12a。引導(dǎo)螺母93a隨著引導(dǎo)螺桿94a由調(diào)節(jié)器線性輸送馬達旋轉(zhuǎn)而沿著引導(dǎo)螺桿94a移動?，F(xiàn)在參看圖8，圖中繪示圖2的擴展拋光設(shè)備10的前視圖。為了將拋光設(shè)備1轉(zhuǎn)換成擴展拋光設(shè)備10，用附加框架結(jié)構(gòu)7(其為附加拋光結(jié)構(gòu)5的一部分)的上部框架組合件來代替拋光設(shè)備1的第三上部支撐結(jié)構(gòu)llc。附加框架結(jié)構(gòu)7還包含第二上部框架17b、第四下部支撐結(jié)構(gòu)21d、第二下部安裝板22b、第四底架23d、支腿24d和第四中間安裝板25d。上部框架組合件包括第四上部支撐結(jié)構(gòu)33、第五上部支撐結(jié)構(gòu)33，和第二上部安裝板12b，以上各部分焊接在一起。第四上部支撐結(jié)構(gòu)33包括凸出部分18，，所述凸出部分18，堅固地接合到第一上部安裝板12a的凹入部分。第四上部支撐結(jié)構(gòu)33安裝在第三中間安裝板25c的頂面上。第五上部支撐結(jié)構(gòu)33，安裝在第四中間安裝板25d的頂面上。第二上部框架17b安裝到第四和第五支撐結(jié)構(gòu)33和33，的頂部處。第四中間安裝板25d安裝到第四下部支撐結(jié)構(gòu)21d，所述第四下部支撐結(jié)構(gòu)21d包括垂直部分26d和傾斜部分26d，。垂直部分26d的一個端部在安裝于支腿24d上的第四底架23d的第一端部附近連接到第四底架23d。垂直部分26d的另一端部連接到傾斜部分26d'的一個端部。傾斜部分26d'的另一端部連接到第四中間安裝板25d的底面的中心部分。第七和第八裝卸臺40d和40d，安裝到第四中間安裝板25d。第二下部安裝板22b安裝到第三和第四下部支撐結(jié)構(gòu)21c和21d的垂直部分26c和26d。附加拋光結(jié)構(gòu)5進一步包含第三拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32c，所述第三拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32c安裝到第二下部安裝板22b。第三拋光平臺30c通過旋轉(zhuǎn)軸31c連接到第三拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32c。第三拋光平臺30c由拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32c通過旋轉(zhuǎn)軸31c旋轉(zhuǎn)。附加拋光結(jié)構(gòu)5進一步包含下部線性軌道13b和13b，、上部線性軌道14b和14b，以及調(diào)節(jié)器線性軌道15c,以上各部分安裝在第二上部安裝板12b上。圖8中未繪示下部線性軌道13b，和上部線性軌道14b，。第三下部線性軌道13b和第三上部線性軌道14b安裝在第二安裝板12b的前垂直表面上，使得軌道13b和14b平行于第二安裝板12b的前表面的縱向側(cè)。因此，軌道13b和14b彼此平行。第三下部線性軌道13b的一端與第一下部線性軌道13a的一端對準，使得第三下部線性軌道13b和第一下部線性軌道13a形成直接連接的下部線性軌道。同樣，第三上部線性軌道14b的一端與第一上部線性軌道14a的一端對準，使得第三上部線性軌道14b與第一上部線性軌道14a形成直接連接的上部線性軌道。與第三下部線性軌道13b和第三上部線性軌道14b相似，第四下部線性軌道13b，和第四上部線性軌道14b，安裝在第二安裝板12b，的后垂直表面上，使得軌道13b，和14b，平行于第二安裝板12b的后表面的縱向側(cè)。因此，軌道13b，和14b，彼此平行，且還平行于軌道13b和14b。第四下部線性軌道13b'的一端與第二下部線性軌道13a，的一端對準，使得第四下部線性軌道Hb，與第二下部線性軌道13a，形成另一直接連接的下部線性軌道。同樣，第四上部線性軌道14b，的一端與第二上部線性軌道14a，的一端對準，使得第四上部線性軌道14b，與第二上部線性軌道14a，形成另一直接連接的上部線性軌道。第五拋光頭組合件50c安裝到第三下部線性軌道和上部線性軌道Ub和14b。第五拋光頭組合件50c沿著由第一和第三下部線性軌道lh和l訃形成的直接連接的下部線性軌道和由第一和第三上部線性軌道！4a和Hb形成的直接連接的上郜線性軌道，在第五裝卸臺40c、第三拋光平臺30c與第七裝卸臺40d之間線性移動。第五拋光頭組合件50c使用連接到頭輸送馬達70a，的引導(dǎo)螺桿71c線性移動，其移動方式類似于上文參看圖6和圖7描述的使用引導(dǎo)螺桿71a和頭輸送馬達70a的第一拋光頭組合件50a。盡管未繪示，但第六拋光頭組合件50c，安裝到第四下部線性軌道和上部線性軌道13b，和14b，。第六拋光頭組合件50c，沿著由第二和第四下部線性軌道13a，和13b，形成的直接連接的下部線性軌道和由第二和第四上部線性軌道14a，和14b，形成的直接連接的上部線性軌道，在第六裝卸臺40c，、第三拋光平臺30c和第八裝卸臺40d，之間線性移動。第六拋光頭組合件50c'使用連接到頭輸送馬達的引導(dǎo)螺桿線性移動，其移動方式類似于上文參看圖6和圖7,描述的使用引導(dǎo)螺桿71a和頭輸送馬達70a的第一拋光頭組合件50a。在一實施例中，使用負載傳感器(未圖示)來檢測關(guān)于第五和第六拋光頭組合件50c和50c，中的每一者扭矩變化。用于第五和第六拋光頭組合件50c和50c，中的每一者的負載傳感器與耦接到拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)3k的馬達的電流傳感器34—起使用，以檢測正由拋光頭51c和51c，拋光的每一晶圓的拋光工藝的終點。在替代實施例中，使用第五和第六拋光頭組合件50c和50c，中的額外電流傳感器36c或36c，(電流傳感器36c'未圖示)，來檢測用于旋轉(zhuǎn)拋光頭51c和51c，的電流的變化。用于第五和第六拋光頭組合件50c和50c，的額外電流傳感器36c或36c，與耦接到拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)32c的馬達的電流傳感器34—起使用，以檢測正由拋光頭51c和51c'拋光的每一晶圓的拋光工藝的終點。第三調(diào)節(jié)器線性軌道15c安裝到第二安裝板12b的底面，且還與軌道13b、13b，、14b和14b，平行。第二安裝板12b的底面垂直于第二安裝板12b的前后表面。第三墊調(diào)節(jié)器組合件90c以可滑動方式耦接到第三調(diào)節(jié)器線性軌道15c。參看圖9，描述根據(jù)本發(fā)明實施例的拋光設(shè)備l的墊調(diào)節(jié)器組合件。在圖9的拋光設(shè)備1中，調(diào)節(jié)器旋轉(zhuǎn)和垂直驅(qū)動機構(gòu)連接到安裝板77。安裝板77具有"t="形狀，所述形狀中包含上水平部分77a、下水平部分77b和垂直部分77c。安裝板77的上水平部分77a包括細頸狀部分81,所述細頸狀部分81類似于下述的下部軌道夾具和上部軌道夾具47a、48a、47a'和48a，的細頸狀部分81。安裝板77的上部水平部分77a耦接到引導(dǎo)螺母93a。安裝板77的下部水平部分77b連接到調(diào)節(jié)器旋轉(zhuǎn)和垂直驅(qū)動機構(gòu)92a。上部水平部分77a和下部水平部分77b通過垂直部分77c;波此連接。引導(dǎo)螺母93a以可滑動方式耦接到調(diào)節(jié)器線性軌道15a和引導(dǎo)螺桿94a。引導(dǎo)螺桿94a的一端連接到調(diào)節(jié)器輸送馬達(未圖示)。調(diào)節(jié)器線性輸送馬達安裝到第一上部安裝板12a。引導(dǎo)螺母93a隨著引導(dǎo)螺桿94a由調(diào)節(jié)器線性輸送馬達旋轉(zhuǎn)而沿著引導(dǎo)螺桿94a移動。參看圖9，描述根據(jù)本發(fā)明一實施例的用于拋光設(shè)備1的封閉結(jié)構(gòu)78。圖9繪示封閉結(jié)構(gòu)78和拋光設(shè)備1的橫截面圖。在圖9的拋光設(shè)備1中，下部軌道夾具和上部軌道夾具47a、48a、47a，和48a，通過其各自的細頸狀部分81連接到各個頭組合件板45a和45a'。如圖9所示，封閉結(jié)構(gòu)78封閉第一上部安裝板12a、下部線性軌道13a和13a，、上部線性軌道14a和14a，、調(diào)節(jié)器線性軌道15a、下部軌道夾具47a和47a，的大部分、上部軌道夾具48a和48a'的大部分、引導(dǎo)螺母93a、引導(dǎo)螺桿94a和拋光設(shè)備1的其它所有類似組件。封閉結(jié)構(gòu)78還封閉安裝板77的水平部分77a的一部分。封閉結(jié)構(gòu)78不封閉安裝板77的水平部分77b。因此，拋光頭51a、51a，、51b、51b，、51c和51c，以及墊調(diào)節(jié)器91a和91b在封閉結(jié)構(gòu)78的外部。盡管參看拋光設(shè)備1描述了封閉結(jié)構(gòu)78，但封閉結(jié)構(gòu)78可經(jīng)修改而與擴展拋光設(shè)備10—起使用，以封閉擴展拋光設(shè)備10的類似組件。封閉結(jié)構(gòu)78包括線性伸長的開口，所述開口用于下部軌道夾具和上部軌道夾具47a、48a、47a，和48a，的細頸狀部分81和安裝板77的細頸狀部分81。頸狀部分81沿著封閉結(jié)構(gòu)78的開口移動。所述開口用軟聚合材料79(例如特氟隆、聚氨酯和硅橡膠)密封，使得頸狀部分81與密封物之間的摩擦不會產(chǎn)生可能會進入拋光墊中并損壞晶圓的堅硬顆粒。當(dāng)相關(guān)聯(lián)的頭組合件沿著線性軌道13a和14a或線性軌道13a'和14a'移動時，下部軌道夾具和上部4九道夾具47a、48a、47a'和48a'的頸狀部分81移動穿過密封物。同樣，當(dāng)墊調(diào)節(jié)器91a及其它連接到墊調(diào)節(jié)器91a的組件沿著線性軌道15a移動時，安裝板77的細頸狀部分81移動穿過密封物。頸狀部分81可涂覆有用于密封的相同軟聚合材料79。如圖10所示，每一頸狀部分81的兩個端部83均可成形為尖的。也就是說，頸狀部分81的每一端部83可漸縮成為尖點。這種裝配確保封閉結(jié)構(gòu)78的開口在頸狀部分81的端部83處通過密封物緊密密封，如圖10所示0盡管以上描述內(nèi)容闡釋了本發(fā)明的示范性實施例和操作方法，但本發(fā)明的范圍并不局限于這些特定實施例或所描述的操作方法。所揭示的許多細節(jié)對于實踐本發(fā)明并不是必要的，但之所以包含這些細節(jié)是為了充分地揭示本發(fā)明的最佳模式以及制造和使用本發(fā)明的方式和工藝。在不偏離所附權(quán)利要求書所表達的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對本發(fā)明的特定形式和設(shè)計進行修改。權(quán)利要求1.一種用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其包括主拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到主框架結(jié)構(gòu)的多個拋光平臺、多個拋光頭和多個裝卸臺，所述拋光頭耦接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一者均可在所述拋光平臺中的一者與所述裝卸臺中的至少一者之間移動；以及附加拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的額外拋光平臺和額外拋光頭，所述附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，從而形成具有所述額外拋光平臺和所述額外拋光頭的較大拋光結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述拋光頭附接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一者均可在所述拋光平臺中的所述一者與所述裝卸臺中的所述至少一者之間線性移動。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述附加拋光結(jié)構(gòu)附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，其中所述附加拋光結(jié)構(gòu)進一步包含至少一個額外裝卸臺，且其中所述額外拋光頭附接到所述附加框架結(jié)構(gòu)，使得所述額外拋光頭可在所述額外拋光平臺、所述至少一個額外裝卸臺與所述主拋光結(jié)構(gòu)的所述裝卸臺中的一者之間線性移動。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述拋光平臺附接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一者可在所述裝卸臺中的兩者與所述拋光平臺中的一者之間線性移動，所述拋光平臺中的所述一者位于所述裝卸臺中的所述兩者之間。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述拋光頭對附接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一對可線性移動到所述拋光平臺中的一者，以在所述拋光平臺上對晶圓同時進行拋光。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征有安裝在所述上部安裝板的^直表^;上的至^一個線性軌道，所述至少二個線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述拋光頭中的至少一者。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述至少一個額外線性軌道安裝在所述上部安裝板的另一垂直表面上，所述另一垂直表面是所述垂直表面的相對表面，所述至少一個額外線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述拋光頭中的至少另外一者。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含引導(dǎo)螺桿，所述引導(dǎo)螺桿連接到用于所述拋光頭中的每一者的頭輸送馬達，所述引導(dǎo)螺桿和所述頭輸送馬達用于線性地移動所述拋光頭。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含負載傳感器，所述負載傳感器連接到用于所述拋光頭中的至少一者的所述頭輸送馬達，以檢測扭矩的變化以便進行拋光終點檢測，且其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含電流傳感器，所述電流傳感器連接到用于所述拋光平臺中的至少一者的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)，以檢測所述拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)所用電流的變化，所述負載傳感器與所述電流傳感器結(jié)合使用以進行所述拋光終點檢測。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含電流傳感器，所述電流傳感器連接到用于所述拋光頭中的至少一者的頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以檢測所述頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)所用電流的變化，且其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含另一電流傳感器，所述另一電流傳感器連接到用于所述拋光平臺中的至少一者的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)，以檢測所述拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)所用電流的變化，所述電流傳感器與所述另一電流傳感器結(jié)合使用以進行所述拋光終點檢測。11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述附加框架結(jié)構(gòu)包含額外上部安裝板，所述額外上部安裝板具有安裝在所述額外上部安裝板的垂直表面上的至少一個額外線性軌道，當(dāng)所述附加拋光結(jié)構(gòu)附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)時，所述至少一個額外線性軌道與所述主框架結(jié)構(gòu)的所述至少一個線性軌道對準，所述至少一個額外線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述額外拋光頭。12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光^構(gòu)，含墊調(diào)節(jié)器二所述，調(diào)節(jié)器^于所述拋光平臺述調(diào)節(jié)器線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述墊調(diào)節(jié)器。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述墊調(diào)節(jié)器附接到安裝板，所述安裝板具有"c"形狀，所述安裝板包含上部水平部分、下部水平部分和垂直部分，所述垂直部分連接所述上部水平部分和所述下部水平部分，所述安裝板用于將所述墊調(diào)節(jié)器連接到所述調(diào)節(jié)器線性軌道。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其進一步包括封閉結(jié)構(gòu)以封閉所述上部安裝板，使得所述拋光頭和所述墊調(diào)節(jié)器在所述封閉結(jié)構(gòu)的外部，所述封閉結(jié)構(gòu)包含開口以容納用于所述拋光頭的軌道夾具的頸狀部分和所述安裝板的所述上部水平部分，所述軌道夾具用于將所述拋光頭連接到所述至少一個線性軌道。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述封閉結(jié)構(gòu)的所述開口中的至少一些開口用密封材料密封，且其中所述頸狀部分經(jīng)裝配以使得每一頸狀部分在兩個端部處漸縮成點，使得所述封閉結(jié)構(gòu)的所述開口通過所述密封材料在所述頸狀部分的所述兩個端部處密封。16.—種用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其包括主拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到主框架結(jié)構(gòu)的多個拋光平臺、多個拋光頭和多個裝卸臺，所述拋光平臺和所述裝卸臺經(jīng)定位以使得每一拋光平臺均位于所述裝卸臺之間，所述拋光頭耦接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一者均可在所述拋光平臺中的一者與所述裝卸臺中的兩者之間線性移動，所述拋光平臺中的所述一者位于所述裝卸臺中的所述兩者之間；以及附加拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的額外拋光平臺、額外拋光頭和多個額外裝卸臺，所述附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，從而形成具有所述額外拋光平臺、所述額外拋光頭和所述額外裝卸臺的較大拋光結(jié)構(gòu)。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述附加拋光結(jié)構(gòu)附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，且其中所述額外拋光頭附接到所述附加框架結(jié)構(gòu)，使得所述額外拋光頭可在所述額外拋光平臺、所述額外裝卸臺中的一者與所述主拋光結(jié)構(gòu)的所述裝卸臺中的一者之間線性移動。18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述拋光頭對附接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述拋光頭中的每一對均可線性移動到所述拋光平臺中的一者，從而在所述拋光平臺上對晶圓同時進行拋光。19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主框架結(jié)構(gòu)包含上部安裝板，所述上部安裝板具有安裝在所述上部安裝板的垂直表面上的至少一個線性軌道，所述至少一個線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述拋光頭中的至少一者。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中至少一個額外線性軌道安裝在所述上部安裝板的另一垂直表面上，所述另一垂直表面是所述垂直表面的相對表面，所述至少一個額外線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述拋光頭中的至少另一者。21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含引導(dǎo)螺桿，所述引導(dǎo)螺桿連接到用于所述拋光頭中的每一者的頭輸送馬達，所述引導(dǎo)螺桿和所述頭輸送馬達用于線性地移動所述拋光頭。22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含負載傳感器，所述負載傳感器連接到用于所述拋光頭中的至少一者的所述頭輸送馬達，以檢測扭矩的變化以便進行拋光終點檢測，且其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含電流傳感器，所述電流傳感器連接到用于所述拋光平臺中的至少一者的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)，以檢測所述拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)所用電流的變化，所述負載傳感器與所述電流傳感器結(jié)合使用以進行所述拋光終點檢測。'—23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含電流傳感器，所述電流傳感器連接到用于所述拋光頭中的至少一者的頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以檢測所述頭旋轉(zhuǎn)機構(gòu)所用電流的變化，且其中所述主拋光結(jié)構(gòu)包含另一電流傳感器，所述另一電流傳感器連接到用于所述拋光平臺中的至少一者的拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)，以檢測所述拋光平臺驅(qū)動機構(gòu)所用電流的變化，所述電流傳感器與所述另一電流傳感器結(jié)合使用以進行拋光終點檢測。24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述附加框架結(jié)構(gòu)包含額外上部安裝板，所述額外上部安裝板具有安裝在所述額外上部安裝板的垂直表面上的至少一個額外線性軌道，當(dāng)所述附加拋光結(jié)構(gòu)附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)時，所述至少一個額外線性軌道與所述主框架結(jié)構(gòu)的所述至少一個線性軌道對準，所述至少一個額外線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述額外拋光頭。25.根據(jù)權(quán)利要求19所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述主拋光，構(gòu)，含墊調(diào)節(jié)器二所述，調(diào)節(jié)器^于所述拋光平臺述調(diào)節(jié)器線性軌道用于線性地導(dǎo)向所述墊調(diào)節(jié)器。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述墊調(diào)節(jié)器附接到安裝板，所述安裝板具有"c"形狀，所述安裝板包含上部水平部分、下部水平部分和垂直部分，所述垂直部分連接所述上部水平部分和所述下部水平部分，所述安裝板用于將所述墊調(diào)節(jié)器連接到所述調(diào)節(jié)器線性軌道。27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其進一步包括封閉結(jié)構(gòu)以封用所述上部安裝板，使得所述拋光頭和所述墊調(diào)節(jié)器在所述封閉結(jié)構(gòu)的外部，所述封閉結(jié)構(gòu)包含開口以容納用于所述拋光頭的軌道夾具的頸狀部分和所述安裝板的所述上部水平部分，所述軌道夾具用于將所述拋光頭連接到所述線性軌道。28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的用于拋光半導(dǎo)體晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其中所述封閉結(jié)構(gòu)的所述開口的至少一些開口用密封材料密封，且其中所述頸狀部分經(jīng)裝配以使得每一頸狀部分在兩個端部處漸縮成點，使得所述封閉結(jié)構(gòu)的所述開口通過所述密封材料在所述頸狀部分的所述兩個端部處密封。29.—種用于拋光半體導(dǎo)晶圓的拋光設(shè)備，其特征在于其包括主拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到主框架結(jié)構(gòu)的第一拋光平臺、第一拋光頭和第一裝卸臺，所述第一拋光頭耦接到所述主框架結(jié)構(gòu)，使得所述第一拋光頭可使用第一線性軌道以線性方式將所述半導(dǎo)體晶圓從所述第一拋光平臺傳送到所述第一裝卸臺；以及附加拋光結(jié)構(gòu)，其包含耦接到附加框架結(jié)構(gòu)的第二拋光平臺和第二拋光頭，所述第二拋光頭耦接到所述附加框架結(jié)構(gòu)，使得所述第二拋光頭可使用至少一個第二線性軌道以線性方式將所述半導(dǎo)體晶圓從所述第一裝卸臺傳送到所述第二拋光平臺，使得所述第二拋光頭可從所述第一裝卸臺接收所述半導(dǎo)體晶圓，并在所述第二拋光平臺上對所述半導(dǎo)體晶圓進行拋光，其中所述附加拋光結(jié)構(gòu)經(jīng)裝配以附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)，使得所述第一線性軌道和所述第二線性軌道對準以形成直接連接的線性軌道。全文摘要一種可裝配的拋光設(shè)備包括主拋光結(jié)構(gòu)，其包含多個拋光平臺、多個拋光頭和多個裝卸臺；以及附加拋光結(jié)構(gòu)，其包含額外拋光平臺和額外拋光頭。所述附加拋光結(jié)構(gòu)可附接到所述主拋光結(jié)構(gòu)以形成具有所述額外拋光平臺和所述額外拋光頭的較大拋光結(jié)構(gòu)。文檔編號B24B41/00GK101112749SQ20071011107公開日2008年1月30日申請日期2007年6月13日優(yōu)先權(quán)日2006年6月14日發(fā)明者丁寅權(quán),貝克史特斯爾·E·大衛(wèi)申請人:英諾普雷股份有限公司