專利名稱：折合式真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是一種^m特別是涉及一種供鍍膜作業(yè)使用的折合式真空裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體、電機電子與光電產(chǎn)業(yè)中，許多制程都需要在真空裝置中進行f皿， 而且隨著制品需求的不同，有^ 需要經(jīng)過多道#^步驟以形成多種不同材質(zhì)的 膜層，目前市面上己出現(xiàn)一種如圖l所示的真空體l,軎調(diào)于供多數(shù)片連續(xù)排列的
鎌10輸]MJl，其包括多個長串連翻咧的中空腔體ll、 一個用于帶動繊IO
輸^ii過戶脫腔體ii的輸送單元12，及多個分別安裝在腔體ii的一側(cè)上且用于在
繊10上f鵬的革W 13。腔體11的數(shù)翻應(yīng)于所設(shè)定的鵬層數(shù)，每一腔體11 具有一個可被控制啟閉的腔室111。
鵬時，操作人員將靴10直立排放在輸送單元12上，利用輸送單元12送入 腔體11中，并循著箭頭所示方向i!31戶;f^腔室111中，藉由耙材13分別在鎌10 上 ，最后再將繊10送出。當然，在實際操作時，為了加速制程， 一般會驗 地將繊10接連放置在輸送單元12上，以連續(xù)不斷鵬行鍍膜作業(yè)。
雖然，真空裝置1的每一耙材13都會在 10表面鍍上不同膜層，但是由 于該真空裝置1只是呈現(xiàn)單線排列，所以當腔體11的數(shù)目較多時，真空體1的延 伸長度會相當長，此時，廠房就需要占用較寬敞的地方來擺放真空體l，此將導(dǎo)致 所需成*^高。此外，當 10需要m:的膜層數(shù)目較真空裝置1設(shè)置的腔體11 的數(shù)目多，或是需要在繊10的雙側(cè)表面上都要鵬時，操作人員必須分批多次地 將基板10重復(fù)送入真空裝置1，進行不同材質(zhì)的f!M，此將造成生產(chǎn)效M低。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的主要目的，是在于H^一種減少占用空間且生產(chǎn)效,高的折合
式真空裝置。
本實用新型的一種折合式真空裝置，供至少一基板輸^iM;，并包括 一第一
腔體單元、 一第二腔,元、 一真空連接單元、多個第一耙材，及多個第二耙材。 該第一腔體單元包括內(nèi)、夕卜間隔相對的一第一內(nèi)壁與一第一夕卜壁、間隔相對地形成 在第一內(nèi)壁與第一外壁間兩端的一第一入口與一第一出口 ，及多個彼lt鏈接串列地
形成在第一入口與第一出口間的第一腔室，所述^^會由第一入口:SA，通過自 第一腔室以后再由第一出口輸出。該第二腔體單元與第一腔體單，應(yīng)并列，并包 括內(nèi)、夕卜間隔相對的一第二內(nèi)壁與一第二外壁、間隔相對地形成在第二內(nèi)壁與第二 外壁間兩端的一第二出口與一第二入口，及多個彼此連接串列地形成在第二出口與 第二入口間的第二腔室，該第二內(nèi)壁鄰近第一內(nèi)壁，且第二外壁遠離第一內(nèi)壁，所 述基板會由第二入口進入，通過戶，第二腔室以后再由第二出口輸出。該真空連接 單元是連接第一腔體單元與第二腔體單元，并包括一安裝在第一出口旁側(cè)的第一回 轉(zhuǎn)件，及一安裝在第二入口旁側(cè)的第二回轉(zhuǎn)件，第一回轉(zhuǎn)件將輸出第一出口的 轉(zhuǎn)向輸送至第二回轉(zhuǎn)件，且第二回轉(zhuǎn)件再將鎌轉(zhuǎn)向送入第二入口。所述第一耙材 分別安裝在第一內(nèi)壁^/及第一外lUi且M第一腔室，乃用于在戶皿^±鍍膜。 戶皿第二耙材分別安裝在第二內(nèi)壁^/及第二外壁上且M第二腔室，乃用于^^， 基板上鵬。
本實用新型的有益效果在于將第一、二腔體單，折成兩段，所以能減小所 占用的空間，降低所需成本，此外再依照需要選擇安裝第一、二耙材，以提升腔體 禾傭率達到減少占用空間以及生產(chǎn)效報高的功效。


圖1是一種以往真空裝置的裝置示意圖2是本實用新型的折合式真空裝置的一第一較佳實施例的一簡單示意圖； 圖3是本實用新型的折合式真空裝置的一第二較佳實施例的一簡單示意圖； 圖4是本實用新型的折合式真空裝置的一第三較佳實施例的一簡單示意圖；及 圖5是本實用新型的折合式真空裝置的一第四較佳實施例的一簡單示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明
為了方便說明，以下的實施例，相同的元件以相同的標號表示。
如圖2所示，本實用新型折合式真空裝置的第一較佳實施例，是供多數(shù)片連續(xù)
排歹啲繊2輸M過，每一鎌2具有內(nèi)夕卜相反的內(nèi)側(cè)面21與夕Hi面22。該折合 式真空裝置包括雙線平行排列的一第一腔體單元3與一第二腔脾元4、 一連接第
一腔體單元3與第二腔體單元4的真空5i接單元5、 一用于輸送戶;f^基板2的輸送機
構(gòu)6、多個分另按驗第一腔脾元3上的第一耙材7，及多個分別安裝在第二腔體 單元4上的第二耙材8。
該第一腔體單元3包括內(nèi)、外間隔相對臟右長向延伸的一第一內(nèi)壁31與一第 一外壁32、左右間隔相對地形成在第一內(nèi)壁31與第一外壁32兩端間的一第一入口 33與一第一出口 34、多個彼ji傻接串列地形皿第一入口 33與第一出口 34間的第 一腔室35，及多個分另按裝在兩相鄰的第一腔室35間的第一閥門36。戶腿第一腔 室35都是真空狀態(tài)。第一閥門36可受計##1控審肺開啟或關(guān)閉，能用以控制第一 腔室35間的 與否，圖2中第一閥門36為開啟狀態(tài)。
織二腔脾元4與第一腔體單元3結(jié)構(gòu)相同艦應(yīng)并列，并包括內(nèi)、夕卜間隔 相對M右長向延伸的一第二內(nèi)壁41與一第二外壁42、左右間隔相對地形成在第二 內(nèi)壁41與第二外壁42兩端間的一第二出口 43與一第二入口 44、多個彼皿接串列 地形成在第二出口 43與第二入口 44間的第二腔室45，及多個分別安M兩相鄰的 第二腔室45間的第二閥門46。該第二內(nèi)壁41鄰近第一內(nèi)壁31 ，且第二外壁42遠 離第一內(nèi)壁31。第二腔室45也是真空狀態(tài)，且第二閥門46同樣是用來控制第二腔 室45的連通與否，在此不再詳細說明。
該真空連接單元5包括一安^&m—出口 34劍啲第一回轉(zhuǎn)件51、 一安驗 第二入口 44劍啲第二回轉(zhuǎn)件52，及一連接在第一回轉(zhuǎn)件51與第二回轉(zhuǎn)件52間的 連接腔體53 。該連接腔體53具有一連接腔室531 。該真空連接單元5還包括一安裝 在連接腔體53的夕卜側(cè)上且艦該連接腔室531的連接耙材54。本實施例的第一、二 回轉(zhuǎn)件51、 52可被控制而順時鐘旋轉(zhuǎn)，當然也可以設(shè)計為逆時鐘旋轉(zhuǎn)。另外，該真 空連接單元5也可以省略連接耙材54的設(shè)置，甚至也可以連同連接腔體53 —起省 略，而讓第一、二回轉(zhuǎn)件51、 52直接轉(zhuǎn)動接觸。
該輸送機構(gòu)6包括一帶動基板2朝一第一方向91輸itil過戶;M第一腔室35的 第一輸送單元61 、 一帶動基板2朝一第二方向92輸i^iKlM述第二腔室45的第二 輸送單元62，及一帶動繊2朝一第三方向93輸鄉(xiāng)雌接腔室531的第三輸送單 元63。第一方向91是由第一入口33朝向第一出口34，第二方向92是由第二入口 44朝向第二出口 43且與第一方向91平行相反，而第三方向93則是由第一回轉(zhuǎn)件
51朝向第二回轉(zhuǎn)件52且垂直于第一、二方向91、 92。第一、二、三輸送單元61、 62、 63都包括一長向延伸的軌道(圖未示)、多個設(shè)于fliU:的滾銜圖未示)，以及多 個受滾輪帶動而移動并用于載送鎌2的載具(圖未示)，但是因為輸送機構(gòu)6并非本 實用新型改良的重點，所以不再詳細說明。
所述第一耙材7分別安裝在第一腔體單元3的第一外壁32上且對應(yīng)連通第一腔 室35，用于在輸送通過的基板2上鍍膜。所述第一耙材7可為不同材質(zhì)，且每一第一腔室35內(nèi)可搭配第一耙材7設(shè)置不同的鍍膜系統(tǒng)(圖未示)，用于在基板2上成 形不同材質(zhì)的膜層。當然第一耙材7的數(shù)量也可以依照設(shè)計增減，甚至也可以視需 要開啟或關(guān)閉，藉以改變鍍膜層數(shù)。
所述第二耙材8與第一耙材7結(jié)構(gòu)類似，分別安M第二腔元4的第二外壁42上且連通第二腔室45 ，同樣用于在輸送通過的基板2上鍍膜。所述第二耙材8 可為不同材質(zhì)，且每一第二腔室45內(nèi)也會搭配第二耙材8設(shè)置有不同的鍍膜系統(tǒng)(圖 未示)，用于在基板2上成形不同材質(zhì)的膜層。同樣的，第二耙材8的數(shù)量也能依設(shè) 計增減，甚至也可以視需要開啟或關(guān)閉，藉以改變鍍膜層數(shù)。
操作人員將基板2擺放在第一輸送單元61左側(cè)，第一輸送單元61左側(cè)會沿著第一方向91 ，將基板2由第一入口 33送入第一腔體單元3，通過所述第一腔室35時， 藉由第一耙材7在基板2的外側(cè)面22鍍上不同膜層，以后再由第一出口34輸出。 接著第一回轉(zhuǎn)件51承接輸出第一出口34的基板2，并順時鐘旋轉(zhuǎn)90°后將基板2由第一方向91轉(zhuǎn)往第三方向93送至第三輸送單元63 ，帶動基板2沿著第三方向93通過連接腔室531，藉由連接耙材54在基板2的外側(cè)面22再鍍上另一膜，而后將 基板2輸送到第二回轉(zhuǎn)件52，且第二回轉(zhuǎn)件52會順時鐘旋轉(zhuǎn)90°后將基板2由第 三方向93轉(zhuǎn)往第二方向92送至第二輸送單元62。令基板2由第二入口 44進入第二 腔體單元4，通過所述第二腔室45，并藉由第二耙材8在基板2的外側(cè)面22鍍上不 同膜層，再由第二出口43輸出，此時基板2的外側(cè)面22就能依序鍍上所需膜。
參閱圖3，本實用新型折合式真空裝置的第二較佳實施例，本實施例的構(gòu)造大 致與第一實施例相同，不同的部分在于改變二耙材8的安裝位置，令第二耙材8 安裝在第二腔體單元4的第二內(nèi)壁41上，如此一來，當通過第一腔體單元3，而完 成外側(cè)面22鍍膜的基板2，被輸送通過第二腔體單元4時，第二耙材8就會在基板2的內(nèi)側(cè)面21上鍍膜，使得基板2的內(nèi)、外側(cè)面21、 22上皆鍍設(shè)有膜層。本實施例可省略連接耙材54的設(shè)置，當然也可以視需要增設(shè)，在此不再詳細說明。
參閱圖4，本實用新型折合式真空裝置的第三較佳實施例，本實施例的構(gòu)造與 第一、二實施例相似，不同的部分在于增加第一、二耙材7、 8的設(shè)置位置， 一腔##元3的第一內(nèi)壁31與第一外壁32上皆安M第一耙材7,并在第二腔, 元4的第二內(nèi)壁41與第二外壁42上也各別安裝有第二IE禾才8。當基板2 M第一腔 脾元3時，第一耙材7就會在鎌2的內(nèi)、夕卜偵靦21、 22上分別M，使得繊 2的內(nèi)、夕卜側(cè)面21、 22上皆鍍設(shè)有膜層，且當鎌2再M第二腔脾元4時，第 二耙材8也會在繊2的內(nèi)、夕卜側(cè)面21、 22上分別鵬，使得鎌2的內(nèi)、夕剛面 21、 22上再依需要增加不同膜層。同樣地，本實施例可省略連接耙材54的設(shè)置，當 然也可以視需要增加設(shè)置在連接腔體53的單一內(nèi)側(cè)、或單一外側(cè)或內(nèi)、外兩側(cè)，在 此不再詳細說明。
參閱圖5，本實用新型折合式真空裝置的第四較佳實施例，本實施例的構(gòu)造與 第二實施例，雷同，不同的部分在于本實施例增加第一耙材7的安裝，令第一 耙材7分別安驗第一腔脾元3的第一內(nèi)壁31與第一外壁32上，所以，當繊2 通過第一腔體單元3時，第一耙材7就會在 2的內(nèi)、夕卜側(cè)面21、 22上分別鍍設(shè)膜層。
當然本實用新型第一、二耙材7、 8的安，置及M，不以，第一 四實施 例為限，在此不再詳細說明。須進一步說明的是，當然本實用新型也可以直接如第 三實施例皿置，使用時只要視所需情況關(guān)閉不同位置的第一、二耙材7、 8，如此 就會繼到如同第一、二、四實施例的效果，甚至也可以有其它不同的安裝方式。
由上述說明可知，本實用新型折合式真空裝置在設(shè)計上，是將原本設(shè)置上需要 一長串排列的腔脾元，)^斤成兩鵬體單元3、 4，并藉由真空連接單元5連接， 所以能避免以往單線延伸魏成真空裝置的延伸長度過長的缺失，并能減小所占用 的空間，斷氐所需成本。此外，本實用新型還能配合需要選擇在第一、二腔脾元3、 4上安織一、二耙材7、 8，使得本實用新型在鵬工作上更為多元化且完離高， 故能提升腔體利用率，可M^、基板2 i^A真空裝置的次數(shù)，生產(chǎn)效 高，所以本 實用新型具有減少占用空間以及生產(chǎn)效率較高的功效，確實能夠達到本實用新型的 目的，而可供產(chǎn)4kJ:利用。
權(quán)利要求1. 一種折合式真空裝置，供至少一片基板輸送通過，其特征在于包括一個第一腔體單元、一個與第一腔體單元對應(yīng)并列的第二腔體單元、一個連接第一腔體單元與第二腔體單元的真空連接單元、多個安裝在第一腔體單元上的第一靶材，及多個安裝在第二腔體單元上的第二靶材，該第一腔體單元包括內(nèi)、外間隔相對的一片第一內(nèi)壁與一片第一外壁、間隔相對地形成在第一內(nèi)壁與第一外壁兩端間的一個第一入口與一個第一出口，及多個彼此連接串列地形成在第一入口與第一出口間且供所述基板通過的第一腔室；該第二腔體單元包括內(nèi)、外間隔相對的一片第二內(nèi)壁與一片第二外壁、間隔相對地形成在第二內(nèi)壁與第二外壁兩端間的一個第二出口與一個第二入口，及多個彼此連接串列地形成在第二出口與第二入口間且供所述基板通過的第二腔室，該第二內(nèi)壁鄰近第一內(nèi)壁，且第二外壁遠離第一內(nèi)壁；該真空連接單元包括一個安裝在第一出口旁側(cè)承接由第一出口輸出的基板并轉(zhuǎn)向送出的第一回轉(zhuǎn)件，及一個安裝在第二入口旁側(cè)且將第一回轉(zhuǎn)件送來的基板轉(zhuǎn)向送入第二入口的第二回轉(zhuǎn)件；所述第一靶材分別安裝在第一內(nèi)壁與第一外壁的其中一片壁上且連通第一腔室；及所述第二靶材分別安裝在第二內(nèi)壁與第二外壁的其中一片壁上且連通第二腔室。
2. 如權(quán)利要求1戶，的折合式真空^S， 征在于第一耙材是安 第一外壁上，且第二耙材是安裝在第二外壁上。
3. 如權(quán)利要求2戶腿的折合式真空體，其特征在于第一耙材還安驗第一內(nèi)壁上，且第二耙材還安裝在第二內(nèi)壁上。
4.如權(quán)利要求1戶腿的折合式真空體，其特征在于第一耙材是安驗第一外壁上，且第二耙材是安裝在第二內(nèi)壁上。
5. 如權(quán)利要求4戶脫的折合式真空體，辦征在于第一耙材還安驗第一內(nèi)壁上。
6. 如權(quán)利要求1戶腿的折合式真空^g，，征在于該真空連接單皿包括一個 連接在第一回轉(zhuǎn)件與第二回轉(zhuǎn)件間以供 通過的連接腔體。
7. 如權(quán)利要求6戶腿的折合式真空體，賺征在于該連接腔體具有一^hi接腔室，該真空連接單頑包括至少一個安驗連接腔體上_§ 該連接腔室的連接 耙材。
8.如權(quán)禾腰求i戶腿的折合式真空體，其特征在于還包括一個用于輸送戶; ^基 板的輸送機構(gòu)，iilj送機構(gòu)包括一個帶動s^朝一第一方向輸^5M:自第一腔 室的第一輸送單元、 一個帶動皿朝一第二方向輸iail戶;M第二腔室的第二輸 送單元，及一個帶動鎌朝一第三方向輸ia31真空連接單元的第三輸送單元， 第一方向是由第一入口朝向第一出口，第二方向是由第二入口朝向第二出口且與 第一方向平行相反，而第三方向則是由第一回轉(zhuǎn)件朝向第二回轉(zhuǎn)件且垂直于第 一、二方向。
專利摘要本實用新型公開了一種折合式真空裝置，供至少一片基板輸送通過，并包括一個第一腔體單元、一個第二腔體單元、一個連接第一、二腔體單元的真空連接單元、多個第一靶材，及多個第二靶材。該第一腔體單元包括第一內(nèi)壁與第一外壁，及多個形成在第一內(nèi)壁與第一外壁間的第一腔室。該第二腔體單元包括第二內(nèi)壁與第二外壁，及多個形成在第二內(nèi)壁與第二外壁間的第二腔室。所述第一靶材分別安裝在第一內(nèi)壁或/及第一外壁上且連通第一腔室。所述第二靶材分別安裝在第二內(nèi)壁或/及第二外壁上且連通第二腔室。藉由第一、二腔體單元的對折連接，以及第一、二靶材的選擇安裝設(shè)計，能達到減少占用空間及生產(chǎn)效率高的功效。
文檔編號C23C14/24GK201206164SQ200820105348
公開日2009年3月11日 申請日期2008年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月8日
發(fā)明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司