專利名稱：沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種氣體流量控制裝置，尤其涉及一種太陽能電池生產(chǎn)中沉積系 統(tǒng)氣體流量控制裝置。
背景技術(shù)：
在太陽能電池生產(chǎn)過程中，有一個很重要的生產(chǎn)工藝，叫做化學(xué)氣象沉積，即在一 個真空室里面通入相應(yīng)的工藝氣體，在射頻電源放電的條件下，各種工藝氣體相互反應(yīng)，最 后形成一層非晶硅鍍層附著在玻璃基材上。在整個化學(xué)氣象沉積的生產(chǎn)過程中，工藝氣體 流量的控制尤為重要，工藝氣體通入流量直接影響著非晶硅鍍層的質(zhì)量，所以對氣體流量 的控制精度就成為一個就很關(guān)鍵的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述技術(shù)問題本實(shí)用新型提供一種沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，目的是 提高控制精度，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，安全性能好。為達(dá)上述目的本實(shí)用新型沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成質(zhì)量流 量計(jì)，在質(zhì)量流量計(jì)的兩側(cè)通過管路與電磁閥連接，兩個電磁閥分別與通氣管連接，在質(zhì)量 流量計(jì)上設(shè)有質(zhì)量流量計(jì)信號線，電磁閥上設(shè)有電磁閥進(jìn)氣管和電磁閥信號線。所述的電磁閥為氣動電磁閥。所述的質(zhì)量流量計(jì)信號線與控制系統(tǒng)連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)效果兩個氣動電磁閥安裝于質(zhì)量流量計(jì)兩側(cè)，只有兩個電磁 閥都開啟時，氣體才會通過質(zhì)量流量計(jì)此種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，安全性能好，結(jié)構(gòu)簡 單，控制精度高。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、通氣管；2、質(zhì)量流量計(jì)信號線；3、電磁閥信號線；4、電磁閥進(jìn)氣管；5、質(zhì) 量流量計(jì)；6、電磁閥。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖所示本實(shí)用新型沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成質(zhì)量流量計(jì) 5，在質(zhì)量流量計(jì)5的兩側(cè)通過管路與電磁閥6連接，兩個電磁閥6分別與通氣管1連接，在 質(zhì)量流量計(jì)5上設(shè)有質(zhì)量流量計(jì)信號線2，電磁閥6上設(shè)有電磁閥進(jìn)氣管4和電磁閥信號線 3，電磁閥6為氣動電磁閥，質(zhì)量流量計(jì)信號線2與控制系統(tǒng)連接，實(shí)現(xiàn)在PC機(jī)上對其進(jìn)行 流量控制。兩個氣動電磁閥安裝于質(zhì)量流量計(jì)兩側(cè)，只有兩個電磁閥都開啟時，氣體才會通過質(zhì)量流量計(jì)，增加了其安全性，并且使用時沒有方向性，任何一個通氣管都可作為進(jìn)氣管 或者出氣管，氣體由進(jìn)氣管進(jìn)入，通過第一個氣動電磁閥，再經(jīng)過質(zhì)量流量計(jì)，最后經(jīng)過第 二個電磁閥，在控制系統(tǒng)中，當(dāng)確定質(zhì)量流量計(jì)所設(shè)定的流量參數(shù)無誤時，才會手動打開氣 動電磁閥，而且兩個電磁閥的設(shè)計(jì)，減小了如果電磁閥失靈后漏氣的可能。
權(quán)利要求沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，其特征在于由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成質(zhì)量流量計(jì)，在質(zhì)量流量計(jì)的兩側(cè)通過管路與電磁閥連接，兩個電磁閥分別與通氣管連接，在質(zhì)量流量計(jì)上設(shè)有質(zhì)量流量計(jì)信號線，電磁閥上設(shè)有電磁閥進(jìn)氣管和電磁閥信號線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，其特征在于所述的電磁閥為氣 動電磁閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，其特征在于所述的質(zhì)量流量計(jì) 信號線與控制系統(tǒng)連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種氣體流量控制裝置，尤其涉及一種太陽能電池生產(chǎn)中沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置。沉積系統(tǒng)氣體流量控制裝置，由下述結(jié)構(gòu)構(gòu)成質(zhì)量流量計(jì)，在質(zhì)量流量計(jì)的兩側(cè)通過管路與電磁閥連接，兩個電磁閥分別與通氣管連接，在質(zhì)量流量計(jì)上設(shè)有質(zhì)量流量計(jì)信號線，電磁閥上設(shè)有電磁閥進(jìn)氣管和電磁閥信號線。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)效果兩個氣動電磁閥安裝于質(zhì)量流量計(jì)兩側(cè)，只有兩個電磁閥都開啟時，氣體才會通過質(zhì)量流量計(jì)此種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，安全性能好，結(jié)構(gòu)簡單，控制精度高。
文檔編號C23C16/52GK201634762SQ20102013178
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月16日
發(fā)明者李健 申請人:沈陽漢鋒新能源技術(shù)有限公司