專(zhuān)利名稱(chēng)：磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及磁控濺射設(shè)備中用于使多段箱體聯(lián)接的法拉盤(pán)。
背景技術(shù)：
大型真空磁控濺射設(shè)備具有的工作箱為多段箱體相互聯(lián)接構(gòu)成，每?jī)芍幌噜徬?體之間的聯(lián)接方式是在兩箱體的一端各連接一法蘭盤(pán)，兩法蘭盤(pán)相互聯(lián)接。為確保工 作箱在工作狀態(tài)時(shí)的真空度，必須保證兩相聯(lián)法蘭盤(pán)的聯(lián)接處有較好的密封，否則將影 響工作箱內(nèi)的真空度，從而影響所鍍產(chǎn)品的薄膜質(zhì)量?，F(xiàn)有的一種箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)的結(jié) 構(gòu)為盤(pán)體的中部開(kāi)有通孔，盤(pán)體的外端面上設(shè)有依次圍在通孔外側(cè)的第一內(nèi)環(huán)圈、第 二內(nèi)環(huán)圈，兩內(nèi)環(huán)圈之間形成有充填密封圈的環(huán)形槽。這種法蘭盤(pán)在相互聯(lián)接時(shí)，彼此 的第一內(nèi)環(huán)圈、第二內(nèi)環(huán)圈相對(duì)貼靠，且在環(huán)形槽內(nèi)充填有密封圈。這種聯(lián)接法蘭盤(pán)存 在的欠缺是在各箱體的聯(lián)接安裝過(guò)程中，每對(duì)相聯(lián)法蘭盤(pán)之間聯(lián)接處的密封性不能及 時(shí)檢測(cè)，每對(duì)法蘭盤(pán)連接面的密封情況，需要在整個(gè)設(shè)備的主輔部件安裝完畢后，在設(shè) 備試車(chē)時(shí)才能檢漏。一旦工作箱體的連接部位有漏氣現(xiàn)象，就需要把設(shè)備一一拆除，重 新檢查、安裝，由此造成很多勞動(dòng)的浪費(fèi)，另外，重新檢查、安裝，增加了設(shè)備的磕碰 機(jī)會(huì)和材料的浪費(fèi)，對(duì)設(shè)備會(huì)有一定程度的損傷，且過(guò)程麻煩，并會(huì)影響安裝工期。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)，每?jī)芍幌噜?的箱體由該法蘭盤(pán)完成相互聯(lián)接后，可及時(shí)的檢查聯(lián)接處的密封性。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下方案磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭 盤(pán)，盤(pán)體的中部開(kāi)有通孔，盤(pán)體的外端面上設(shè)有依次圍在通孔外側(cè)的第一內(nèi)環(huán)圈、第二 內(nèi)環(huán)圈，兩內(nèi)環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第一環(huán)形槽，在兩內(nèi)環(huán)圈的外側(cè)還依次圍繞 有第一外環(huán)圈、第二外環(huán)圈，兩道外環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第二環(huán)形槽，盤(pán)體上 處在相鄰的第二內(nèi)環(huán)圈與第一外環(huán)圈之間的區(qū)域處開(kāi)有一通孔。由上述方案可見(jiàn)，每?jī)芍幌噜彽南潴w的一端連接本實(shí)用新型提供的法蘭盤(pán)后， 再將兩箱體一端的法蘭盤(pán)聯(lián)接時(shí)，使彼此的第一內(nèi)環(huán)圈、第二內(nèi)環(huán)圈、第一外環(huán)圈、第 二外環(huán)圈相對(duì)，且在第一環(huán)形槽內(nèi)及第二環(huán)形槽充填密封圈后，通過(guò)連接件使兩法蘭盤(pán) 緊固聯(lián)接，完成相互聯(lián)接后，即可使用檢漏設(shè)備通過(guò)通孔檢查第二內(nèi)環(huán)圈與第一外環(huán)圈 之間空間的密封性，通過(guò)檢查，若發(fā)現(xiàn)該空間的密封性不佳，可立刻拆除，重新處理， 然后再重新安裝測(cè)試；通過(guò)檢查，若該空間的密封性良好，則說(shuō)明兩法蘭盤(pán)間的聯(lián)接密 封良好。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理、可靠，它可實(shí)現(xiàn)及時(shí)對(duì)聯(lián)接處的密封性進(jìn)行檢查，避免 設(shè)備安裝完畢后發(fā)現(xiàn)密封問(wèn)題再返工，同時(shí)也減少了設(shè)備的磕碰機(jī)會(huì)和材料的浪費(fèi)，并 對(duì)安裝工期的保證有極大的促進(jìn)作用。
圖1本實(shí)用新型一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；圖2圖1的A-A剖視圖；圖3圖1的B-B剖視圖；圖4本實(shí)用新型的使用狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合實(shí)施例及附圖進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型。參見(jiàn)圖1、圖2、圖3本實(shí)用新型提供的磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)的盤(pán)體1中部開(kāi)有通孔lc， 盤(pán)體1的外端面上設(shè)有依次圍在通孔Ic外側(cè)的第一內(nèi)環(huán)圈7、第二內(nèi)環(huán)圈5，兩內(nèi)環(huán)圈之 間形成有充填密封圈的第一環(huán)形槽6，在兩內(nèi)環(huán)圈的外側(cè)還依次圍繞有第一外環(huán)圈3、第 二外環(huán)圈2，兩道外環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第二環(huán)形槽4，盤(pán)體1上處在相鄰的第 二內(nèi)環(huán)圈5與第一外環(huán)圈3之間的區(qū)域處開(kāi)有一通孔lb。另外，由圖1可見(jiàn)，在盤(pán)體1 的周邊開(kāi)有均布的安裝孔la。參見(jiàn)圖2在盤(pán)體1的內(nèi)端面上連接有一與通孔Ib相通的接管8。結(jié)合圖2、圖4每?jī)芍幌噜彽南潴w12的一端連接本實(shí)用新型提供的法蘭盤(pán)后，再將兩法蘭盤(pán)的 第一內(nèi)環(huán)圈7、第二內(nèi)環(huán)圈5、第一外環(huán)圈3、第二外環(huán)圈2相對(duì)，且在第一環(huán)形槽內(nèi)及第 二環(huán)形槽內(nèi)分別充填密封圈10、填密封圈9后，通過(guò)連接件11穿過(guò)連接孔la，即可使兩 法蘭盤(pán)緊固聯(lián)接。完成相互聯(lián)接后，使用檢漏設(shè)備通過(guò)接管8即可檢查第二內(nèi)環(huán)圈與第 一外環(huán)圈之間空間的密封性。
權(quán)利要求1.磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)，盤(pán)體的中部開(kāi)有通孔，盤(pán)體的外端面上設(shè)有依 次圍在通孔外側(cè)的第一內(nèi)環(huán)圈、第二內(nèi)環(huán)圈，兩內(nèi)環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第一環(huán) 形槽，其特征在于在兩內(nèi)環(huán)圈的外側(cè)還依次圍繞有第一外環(huán)圈、第二外環(huán)圈，兩道外 環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第二環(huán)形槽，盤(pán)體上處在相鄰的第二內(nèi)環(huán)圈與第一外環(huán)圈 之間的區(qū)域處開(kāi)有一通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)，其特征在于在盤(pán)體的 內(nèi)端面上連接有一與通孔相通的接管。
專(zhuān)利摘要磁控濺射工作箱箱體聯(lián)接法蘭盤(pán)，盤(pán)體的中部開(kāi)有通孔，盤(pán)體的外端面上設(shè)有依次圍在通孔外側(cè)的第一內(nèi)環(huán)圈、第二內(nèi)環(huán)圈，兩內(nèi)環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第一環(huán)形槽，在兩內(nèi)環(huán)圈的外側(cè)還依次圍繞有第一外環(huán)圈、第二外環(huán)圈，兩道外環(huán)圈之間形成有充填密封圈的第二環(huán)形槽，盤(pán)體上處在相鄰的第二內(nèi)環(huán)圈與第一外環(huán)圈之間的區(qū)域處開(kāi)有一通孔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理、可靠，它可實(shí)現(xiàn)及時(shí)對(duì)聯(lián)接處的密封性進(jìn)行檢查，避免設(shè)備安裝完畢后發(fā)現(xiàn)密封問(wèn)題再返工，同時(shí)也減少了設(shè)備的磕碰機(jī)會(huì)和材料的浪費(fèi)，并對(duì)安裝工期的保證有極大的促進(jìn)作用。
文檔編號(hào)C23C14/35GK201801581SQ20102053385
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月14日
發(fā)明者劉海, 孟飛, 彭為報(bào), 房如楓, 葛懷慶 申請(qǐng)人:普樂(lè)新能源(蚌埠)有限公司