專利名稱：：線鋸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及利用切斷用鋸絲來切斷半導(dǎo)體晶錠(ingot)等工件的線鋸。
背景技術(shù)：
：以往，作為將半導(dǎo)體晶錠等工件切斷為薄片(slice)狀的裝置已知線鋸(wiresaw)。該線鋸具備多個(gè)導(dǎo)輪(guideroller)和對(duì)這些導(dǎo)輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)等，在上述導(dǎo)輪之間卷掛切斷用鋸絲，從而形成該鋸絲排列成多根的鋸絲群。在該線鋸中，上述鋸絲沿其軸方向高速走絲，一邊工件向由該鋸絲形成的鋸絲群以與鋸絲軸方向垂直的方向切斷送出，從而工件同時(shí)被切斷為多個(gè)晶片(wafer)。作為此種線鋸之一，例如已知有專利文獻(xiàn)I所示的結(jié)構(gòu)。此文獻(xiàn)中所記載的線鋸，包括具備多個(gè)導(dǎo)輪的第I工件切斷部和第2工件切斷部(主滾輪部)、以及一對(duì)鋸絲送出/卷取裝置，從其中一個(gè)鋸絲送出/卷取裝置送出的一根切斷用鋸絲掛于各工件切斷部的導(dǎo)輪之間，并被另一個(gè)鋸絲送出/卷取裝置卷取。據(jù)此，在各工件切斷部分別形成用于切斷工件的鋸絲群。一般來講，在線鋸中重要的是適當(dāng)?shù)乇３智袛嘤娩徑z的張力。然而，如上述專利文獻(xiàn)I中所記載，在具備兩個(gè)工件切斷部的線鋸中，由于其鋸絲走絲方向上游側(cè)的工件切斷部的切斷作業(yè)的影響，被導(dǎo)入至該方向下游側(cè)的工件切斷部的切斷用鋸絲的張力會(huì)變動(dòng)。作為抑制該張力變動(dòng)的方法，在專利文獻(xiàn)I中公開了在兩個(gè)工件切斷部之間檢測(cè)切斷用鋸絲的張力的張力檢測(cè)器、和基于其檢測(cè)值控制該張力的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。該張力調(diào)整機(jī)構(gòu)具備用于掛設(shè)上述切斷用鋸絲的一對(duì)調(diào)節(jié)滾輪(dancerroller)、以及在這些調(diào)節(jié)滾輪之間被按壓于上述切斷用鋸絲而使該切斷用鋸絲的張力變化的臂(arm)，并且，以適當(dāng)保持被導(dǎo)入至下游側(cè)的切斷用鋸絲的張力的方式工作。然而，在該線鋸中，在上述張力檢測(cè)器檢測(cè)出的切斷用鋸絲的張力變動(dòng)時(shí)，張力調(diào)整機(jī)構(gòu)才運(yùn)行，因此難以獲得高響應(yīng)性。專利文獻(xiàn)I:日本專利公開公報(bào)特開2000-61805號(hào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種具備第I工件切斷部及第2工件切斷部的線鋸，能以高響應(yīng)性(response)適當(dāng)調(diào)整在兩個(gè)工件切斷部之間的切斷用鋸絲的張力的線鋸。本發(fā)明所涉及的線鋸，包括鋸絲送出裝置，送出切斷用鋸絲；第I工件切斷部，具備多個(gè)第I導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第I導(dǎo)輪的第I驅(qū)動(dòng)部，通過從上述鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于上述各第I導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；第2工件切斷部，具備多個(gè)第2導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第2導(dǎo)輪的第2驅(qū)動(dòng)部，通過從第I工件切斷部導(dǎo)出的上述切斷用鋸絲卷繞于上述各第2導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；鋸絲卷取裝置，卷取從上述第2工件切斷部導(dǎo)出的切斷用鋸絲；張力檢測(cè)器，檢測(cè)在上述第I工件切斷部與上述第2工件切斷部之間的上述切斷用鋸絲的張力；以及控制裝置，分別調(diào)節(jié)由上述第I驅(qū)動(dòng)部及上述第2驅(qū)動(dòng)部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的上述第I導(dǎo)輪及上述第2導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)速度。上述控制裝置變更上述第I導(dǎo)輪和上述第2導(dǎo)輪中的至少一個(gè)的旋轉(zhuǎn)速度，以使上述張力檢測(cè)器檢測(cè)的張力在指定范圍內(nèi)。圖I是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的線鋸的整體結(jié)構(gòu)的概略圖。圖2是表示上述線鋸所包含的第I工件切斷部與第2工件切斷部之間的切斷用鋸絲的張力控制的一例的流程圖。圖3是表示被導(dǎo)入至上述線鋸的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)的一例的示意圖。圖4(a)是表示與圖3所示的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)不同的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)的一例的正視圖，(b)是其側(cè)視剖面圖。具體實(shí)施例方式使用本發(fā)明的具體實(shí)施方式。圖I概略地表示本實(shí)施方式所涉及的線鋸的整體。該線鋸包括上下兩段工件切斷部1A、1B;—對(duì)鋸絲送出/卷取裝置12A、12B;分別具有滑輪(pulley)16的張力調(diào)節(jié)裝置15AU5B;分別具有滑輪17a、18a、19a的張力檢測(cè)器17至19;以及導(dǎo)引滑輪21至34等。上述工件切斷部IA包含沿水平方向排列的一對(duì)導(dǎo)輪10a、IOb和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些導(dǎo)輪10a、10b的馬達(dá)11A、11B，同樣，上述工件切斷部IB包含沿水平方向排列的一對(duì)導(dǎo)輪10a、IOb和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些導(dǎo)輪10a、10b的馬達(dá)11A、11B。各工件切斷部1A、1B的導(dǎo)輪10a、IOb的排列方向(在圖中為水平方向)相互平行，且兩個(gè)工件切斷部1A、1B排列在與該排列方向垂直的方向(在圖中為上下方向)上。各鋸絲送出/卷取裝置12A、12B(適宜地稱為第I鋸絲送出/卷取裝置12A、第2鋸絲送出/卷取裝置12B)分別包括在其周圍卷繞切斷用鋸絲W的卷筒(bobbin)13A、13B，以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些卷筒13A、13B的卷筒驅(qū)動(dòng)馬達(dá)14A、14B。從其中一個(gè)鋸絲送出/卷取裝置12A的卷筒13A送出的鋸絲W，以如下順序設(shè)置。(I)以導(dǎo)引滑輪21、22、鋸絲張力調(diào)節(jié)裝置15A的滑輪16、張力檢測(cè)器17的滑輪17a、以及導(dǎo)引滑輪24至26的順序掛設(shè)；(2)以工件切斷部IA的導(dǎo)輪10a、10b的順序一邊被嵌入其外周面的導(dǎo)槽(省略圖示)，一邊多次螺旋狀地卷繞(被卷掛)于這些導(dǎo)輪10a、IOb之間；(3)以導(dǎo)引滑輪27、28、張力檢測(cè)器18的滑輪18a、以及導(dǎo)引滑輪29的順序掛設(shè)；(4)以工件切斷部IB的導(dǎo)輪10a、10b的順序，一邊被嵌入于其外周面的導(dǎo)槽(圖示省略)，一邊多次螺旋狀地卷繞(被卷掛)于這些導(dǎo)輪10a、IOb之間；(5)以導(dǎo)引滑輪30、31、張力檢測(cè)器19的滑輪19a、鋸絲張力調(diào)整裝置15B的滑輪16、導(dǎo)引滑輪33、34的順序掛設(shè)；(6)被另一個(gè)鋸絲送出/卷取裝置卷取。上述鋸絲張力調(diào)整裝置15A、15B向掛在其滑輪的鋸絲W賦予指定的張力。在本實(shí)施方式中，上述工件切斷部1A、1B的通過各驅(qū)動(dòng)馬達(dá)IlAUlB的導(dǎo)輪IOa的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向、以及通過各卷筒驅(qū)動(dòng)馬達(dá)14A、14B的卷筒13A、13B的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向，能夠分別正反切換。通過該切換，鋸絲W的驅(qū)動(dòng)狀態(tài)，如圖I中實(shí)線箭頭所示，在鋸絲W從第I鋸絲送出/卷取裝置12A的卷筒13A送出，并被第2鋸絲送出/卷取裝置12B的卷筒13B被卷取的狀態(tài)(以下稱為“第I走絲狀態(tài)”)與鋸絲W從第2鋸絲送出/卷取裝置12B的卷筒13B送出，并被第I鋸絲送出/卷取裝置12A的卷筒13A卷取的狀態(tài)(以下稱為第2走絲狀態(tài))之間切換。在這些走絲狀態(tài)中，多根鋸絲W(適當(dāng)稱為鋸絲群)以彼此平行的狀態(tài)張?jiān)O(shè)于工件切斷部1A、1B的導(dǎo)輪10a、10b之間，該鋸絲群沿其軸方向以高速被往復(fù)驅(qū)動(dòng)。因此，本實(shí)施方式所涉及的上述兩個(gè)鋸絲送出/卷取裝置12A、12B兼作為本發(fā)明所涉及的“鋸絲送出裝置”和“鋸絲卷取裝置”，上述兩個(gè)工件切斷部1A、1B兼作為本發(fā)明所涉及的“第I工件切斷部”和“第2工件切斷部”。具體而言，在上述第I走絲狀態(tài)下，上述鋸絲送出/卷取裝置12A作為本發(fā)明所涉及的“鋸絲送出裝置”而發(fā)揮功能，上述鋸絲送出/卷取裝置12B作為本發(fā)明所涉及的“鋸絲卷取裝置”而發(fā)揮功能，上述工件切斷部IA作為本發(fā)明所涉及的“第I工件切斷部”而發(fā)揮功能，上述工件切斷部IB作為本發(fā)明所涉及的“第2工件切斷部”而發(fā)揮功能。反之，在上述第2走絲狀態(tài)下，上述鋸絲送出/卷取裝置12B作為本發(fā)明所涉及的“鋸絲送出裝置”而發(fā)揮功能，上述鋸絲送出/卷取裝置12A作為本發(fā)明所涉及的“鋸絲卷取裝置”而發(fā)揮功能，上述工件切斷部IB作為本發(fā)明所涉及的“第I工件切斷部”而發(fā)揮功能，上述工件切斷部IA作為本發(fā)明所涉及的“第2工件切斷部”而發(fā)揮功能。此外，本發(fā)明不限于此種鋸絲W的驅(qū)動(dòng)方向以正反方向切換的結(jié)構(gòu)，也可為該鋸絲W僅限于按一個(gè)方向被驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。在此種情況下，該鋸絲W的走絲方向的上游側(cè)的工件切斷部相當(dāng)于“第I工件切斷部”，下游側(cè)的工件切斷部相當(dāng)于“第2工件切斷部”。在上述工件切斷部1A、1B的側(cè)方，設(shè)置有用于使圓柱狀的工件44(例如晶錠)移動(dòng)的工件送出裝置40。該工件送出裝置40具備沿上下方向延伸的大致長(zhǎng)方體狀的垂直臺(tái)(table)41、上下一對(duì)工件保持部42A、42B、以及工件送出馬達(dá)43。上述工件保持部42A、42B沿上下方向排列成一列，從上述垂直臺(tái)41的其中一側(cè)面分別突出于上述工件切斷部1A、1B的上方位置，分別通過切片基座(slicebase)(圖示省略)而保持上述工件44。該被保持的工件44的方向被設(shè)定為基于其結(jié)晶軸，能夠獲得所要的結(jié)晶方位的方向。上側(cè)的工件保持部42A(第I工件保持部42A)在第I工件切斷部IA的導(dǎo)輪10a、10b之間形成的鋸絲群中上側(cè)的鋸絲群的上方保持工件44，下側(cè)的工件保持部42B介于第I工件切斷部IA與形成在第2工件切斷部IB的導(dǎo)輪10a、10b之間的上側(cè)的鋸絲群之間，將工件44保持于該上側(cè)的鋸絲群上方。上述工件送出馬達(dá)43與圖略的滾珠絲杠(ballscrew)協(xié)作，使上述垂直臺(tái)41、上述兩個(gè)工件保持部42A、42B、還有分別被保持于這些工件保持部42A、42B的工件44一體升降。即，在該線鋸中，各工件切斷部1A、1B的導(dǎo)輪10a、10b之間為切斷區(qū)域，一邊被形成于該切斷區(qū)域的鋸絲群沿其長(zhǎng)度方向同時(shí)被高速驅(qū)動(dòng)，一邊上述工件送出裝置40同時(shí)將被保持于各工件保持部42A、42B的工件44向上述切斷區(qū)域的鋸絲群切斷送出，且從被卷繞于導(dǎo)輪10a、10b的周圍的鋸絲群的外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)(圖中為從上側(cè)至下側(cè))以相同方向切斷送出。據(jù)此，由各工件44一次同時(shí)切斷出多個(gè)晶片(薄片)。該線鋸進(jìn)一步具備統(tǒng)括控制工件44的切斷動(dòng)作的控制器50。該控制器50通過使上述各鋸絲送出/卷取裝置12A、12B的各卷筒驅(qū)動(dòng)馬達(dá)14A、14B運(yùn)行而使鋸絲W向指定方向高速驅(qū)動(dòng)，并且基于上述張力檢測(cè)器17、19檢測(cè)出的鋸絲W的張力來調(diào)節(jié)鋸絲張力調(diào)節(jié)裝置15A、15B的驅(qū)動(dòng)速度，以此控制鋸絲W的張力。進(jìn)一步，該控制器50具備本發(fā)明所涉及的“控制裝置”的功能，根據(jù)被設(shè)置于兩個(gè)工件切斷部1A、1B之間的上述張力檢測(cè)器18(相當(dāng)于本發(fā)明的張力檢測(cè)器)的檢測(cè)值，調(diào)節(jié)各工件切斷部1A、1B的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)速度，將從工件切斷部1A、1B的其中一個(gè)向另一個(gè)被導(dǎo)引的鋸絲W的張力控制于適當(dāng)范圍內(nèi)。關(guān)于此工件切斷部1A、1B之間的鋸絲W的張力控制，使用圖2的流程圖進(jìn)行說明。當(dāng)線鋸起動(dòng)時(shí)，控制器50首先向圖外的馬達(dá)控制電路輸出控制信號(hào)，來驅(qū)動(dòng)各鋸絲送出/卷取裝置12A、12B的卷筒13A、13B，并且，以預(yù)先設(shè)定的旋轉(zhuǎn)數(shù)(旋轉(zhuǎn)速度)驅(qū)動(dòng)工件切斷部IAUB的導(dǎo)輪10a、IOb(步驟SI、S3)。然后，當(dāng)導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度達(dá)到目標(biāo)值時(shí)，控制器50基于來自張力檢測(cè)器18的輸出信號(hào)，判斷工件切斷部1A、1B之間的鋸絲W的張力(張力檢測(cè)值)是否為預(yù)先設(shè)定的容許范圍內(nèi)的值(容許值)(步驟S5)，在此判斷為“是”的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟S3。于此相對(duì)，當(dāng)在步驟S5判斷為“否”時(shí)，進(jìn)一步判斷張力檢測(cè)值是否低于容許值(容許范圍內(nèi)的最低值)(步驟S7)，在此判斷為“是”的情況下，控制器50向上述馬達(dá)控制電路輸出控制信號(hào)，使位于鋸絲走絲方向下游側(cè)的工件切斷部IA(或1B)的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度加快預(yù)先設(shè)定的速度(步驟S9)。具體而言，當(dāng)鋸絲W處于上述第I走絲狀態(tài)(參照?qǐng)DI中的實(shí)線箭頭)時(shí)，使第2工件切斷部IB的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度加快，當(dāng)處于第2走絲狀態(tài)(參照?qǐng)DI中的虛線箭頭)時(shí)，使第I工件切斷部IA的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度加快。如此，若加快工件切斷部1A、1B中位于下游側(cè)的工件切斷部的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，相應(yīng)地鋸絲W向下游側(cè)拉緊，據(jù)此，工件切斷部1A、1B之間的鋸絲W的張力上升。在本實(shí)施方式中，控制器50以工件切斷部IA(或1B)的導(dǎo)輪10a、IOb的其中一側(cè)的導(dǎo)輪IOa作為主導(dǎo)輪來控制其旋轉(zhuǎn)速度，關(guān)于另一側(cè)的導(dǎo)輪10b，對(duì)該導(dǎo)輪IOb進(jìn)行扭矩控制(torquecontrol),以避免鋸絲群發(fā)生松弛。另一方面，在步驟S7判斷為“否”的情況下，即，張力檢測(cè)值高于容許值(容許范圍內(nèi)的最高值)時(shí)，控制器50向馬達(dá)控制電路輸出控制信號(hào)，使工件切斷部1A、1B中位于鋸絲走絲方向下游側(cè)的(第2工件切斷部)導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度減慢預(yù)先設(shè)定的速度(步驟Sll)。如此，若減慢工件切斷部1A、1B中位于鋸絲走絲方向下游側(cè)的工件切斷部的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，則相應(yīng)地鋸絲W松弛，工件切斷部1A、1B之間的張力下降。如上所述，在該線鋸中，張力檢測(cè)器18檢測(cè)工件切斷部1A、IB之間的鋸絲W的張力，在該檢測(cè)值不在容許范圍內(nèi)的情況下，控制鋸絲W的張力，以使其檢測(cè)值處于該范圍內(nèi)。而且，作為其具體方法，在該線鋸中，通過工件切斷部1A、1B的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度的變更來調(diào)整(變更)鋸絲W的張力，因此，相比于以往的線鋸，S卩、一邊用張力檢測(cè)器檢測(cè)鋸絲的張力，一邊驅(qū)動(dòng)專用的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)(調(diào)節(jié)滾輪)來調(diào)整鋸絲的張力的方式的線鋸，能夠更迅速地改變鋸絲W的張力。即，在本實(shí)施方式的線鋸中，通過變更已被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度來控制鋸絲W的張力，與如已往的通常不運(yùn)行的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)(調(diào)節(jié)滾輪)在張力調(diào)整時(shí)才開始被驅(qū)動(dòng)的線鋸相比，從張力檢測(cè)器檢測(cè)出張力變動(dòng)至鋸絲張力實(shí)際被變更為止的時(shí)滯(timelag)小,相應(yīng)地鋸絲W的張力的修正更迅速。因此，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的線鋸，能夠更適當(dāng)?shù)貙⒐ぜ袛嗖?A、1B之間的鋸絲張力保持于容許值的范圍內(nèi)，其結(jié)果，能夠更可靠地防止鋸絲W斷線等故障。另外，上述線鋸為本發(fā)明所涉及的線鋸的優(yōu)選實(shí)施方式的一例，其具體結(jié)構(gòu)可在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)變更。例如，在上述實(shí)施方式中，為了調(diào)整工件切斷部1A、1B之間的鋸絲W的張力，變更了工件切斷部1A、1B中鋸絲走絲方向下游側(cè)的(本發(fā)明所涉及的“第2工件切斷部”)導(dǎo)輪(第2導(dǎo)輪)10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，但是變更鋸絲走絲方向上游側(cè)的工件切斷部IA(或1B)的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度也能夠獲得同樣的作用效果。此外，如上所述，僅變更工件切斷部1A、IB中的其中一個(gè)的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度之外，也可變更工件切斷部1A、1B雙方的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度。例如，在相對(duì)于上述容許值的張力檢測(cè)值的偏差較大的情況下，通過變更工件切斷部1A、1B雙方的導(dǎo)輪10a、IOb的旋轉(zhuǎn)速度，能夠更迅速地調(diào)整鋸絲張力。從而，當(dāng)相對(duì)于上述容許值的張力檢測(cè)值的偏差比指定值小的情況下，變更工件切斷部1A、1B的其中一個(gè)的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，當(dāng)上述偏差在指定值以上的情況下，變更工件切斷部1A、1B雙方的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，這種控制是有效的。上述控制器50也可以在張力檢測(cè)器18的張力檢測(cè)值偏離于預(yù)先設(shè)定的容許值的情況下，運(yùn)算導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度的修正值，使得該張力檢測(cè)值與容許值的偏差為“0”，并基于該修正值變更導(dǎo)輪10a、IOb的旋轉(zhuǎn)速度。即，也可以為上述導(dǎo)輪10a、IOb的旋轉(zhuǎn)速度被反饋控制，使得張力檢測(cè)器18的張力檢測(cè)值處于預(yù)先設(shè)定的容許值的范圍內(nèi)。此控制使得在上述容許值的范圍內(nèi)驅(qū)動(dòng)鋸絲W的動(dòng)作更可靠地進(jìn)行。本發(fā)明為包括至少具備第I工件切斷部及第2工件切斷部的線鋸的概念，例如也包含具備3個(gè)以上的工件切斷部的線鋸。例如，也可以在鋸絲送出裝置與第I工件切斷部之間存在第3工件切斷部，也可以在第2工件切斷部與鋸絲卷取裝置之間存在第3工件切斷部。本發(fā)明所涉及的線鋸，在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，優(yōu)選還具備張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)。SP，如上所述，若為了調(diào)整鋸絲張力而變更工件切斷部1A、1B中至少其中之一的導(dǎo)輪10a、10b的旋轉(zhuǎn)速度，則之后工件切斷部1A、IB之間的鋸絲長(zhǎng)度發(fā)生變動(dòng)，一時(shí)發(fā)生鋸絲W的松弛或過緊張，根據(jù)情況有可能成為鋸絲W發(fā)生纏結(jié)或斷線的原因，但是，此種鋸絲W的松弛或過緊張的發(fā)生，能夠通過具備緩和鋸絲張力的變動(dòng)的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)來避免。圖3示意性地表示包含上述張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)的線鋸的一例。在此所例示的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)設(shè)于工件切斷部IA與張力檢測(cè)器18之間，且包含滑輪53及拉伸彈簧54?；?3被配置成可沿與兩個(gè)工件切斷部1A、1B的排列方向垂直的方向(圖中為水平方向)移位，在該滑輪53掛上鋸絲W。拉伸彈簧54連接該滑輪53與被固定的壁等，利用該拉伸彈簧54本身的彈性力向上述滑輪53施加水平方向(更詳細(xì)而言該滑輪53向鋸絲W賦予張力的方向)的力。上述鋸絲W從靠近上述工件切斷部IA的一側(cè)依次被掛于導(dǎo)引滑輪27、上述張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)的滑輪53、導(dǎo)引滑輪52、28、張力檢測(cè)器18的滑輪18a、以及導(dǎo)引滑輪29。在該線鋸中，若工件切斷部1A、1B之間的鋸絲長(zhǎng)度變長(zhǎng)，則基于拉伸彈簧54的彈性力，滑輪53被拉伸。即，滑輪53向圖中(-)側(cè)彈性移位。據(jù)此，可防止起因于上述鋸絲長(zhǎng)度增大的鋸絲W的松弛。反之，若工件切斷部1A、1B之間的鋸絲長(zhǎng)度變短，則抗拒拉伸彈簧54的彈性力，滑輪53向圖中(+)側(cè)移位。據(jù)此，可防止起因于上述鋸絲長(zhǎng)度減少的鋸絲W的過緊張。即，伴隨在工件切斷部1A、IB之間的鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的上述滑輪53的彈性移位，有效地緩和起因于該鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的鋸絲張力的變動(dòng)。張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)的“施力部”并不限定于圖3所示的拉伸彈簧54。例如，該施力部如圖4(a)、(b)所示，也可具備經(jīng)由平行于上述各導(dǎo)引滑輪及導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)中心軸的支軸58而可轉(zhuǎn)動(dòng)地被支撐于固定壁等的臂(arm)56；以及被安裝于上述支軸58,向該臂56賦予其轉(zhuǎn)動(dòng)方向的施力的扭轉(zhuǎn)彈簧(torsionspring)59,上述滑輪53可旋轉(zhuǎn)地被支撐于上述臂56的轉(zhuǎn)動(dòng)端部。在該機(jī)構(gòu)中，通過將上述扭轉(zhuǎn)彈簧59向臂56及滑輪53施力的方向設(shè)定為該滑輪53向鋸絲W賦予張力的方向(在圖4(a)中為(_)側(cè)方向)，從而可獲得與圖3所示的例同樣的作用效果。如上所述，本發(fā)明提供具備第I工件切斷部及第2工件切斷部，且能夠以高響應(yīng)性適當(dāng)?shù)卣{(diào)整兩個(gè)工件切斷部之間的切斷用鋸絲的張力的線鋸。該線鋸包括鋸絲送出裝置，送出切斷用鋸絲；第I工件切斷部，具備多個(gè)第I導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第I導(dǎo)輪的第I驅(qū)動(dòng)部，通過從上述鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于上述各第I導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；第2工件切斷部，具備多個(gè)第2導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第2導(dǎo)輪的第2驅(qū)動(dòng)部，通過從第I工件切斷部導(dǎo)出的上述切斷用鋸絲卷繞于上述各第2導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；鋸絲卷取裝置，卷取從上述第2工件切斷部導(dǎo)出的切斷用鋸絲；張力檢測(cè)器，檢測(cè)在上述第I工件切斷部與上述第2工件切斷部之間的上述切斷用鋸絲的張力；以及控制裝置，分別調(diào)節(jié)由上述第I驅(qū)動(dòng)部及上述第2驅(qū)動(dòng)部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的上述第I導(dǎo)輪及上述第2導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)速度。上述控制裝置變更上述第I導(dǎo)輪和上述第2導(dǎo)輪中的至少一個(gè)的旋轉(zhuǎn)速度，以使上述張力檢測(cè)器檢測(cè)的張力在指定范圍內(nèi)。在該線鋸中，由張力檢測(cè)器檢測(cè)從第I工件切斷部至第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的張力，變更第I導(dǎo)輪及第2導(dǎo)輪中至少其中之一的旋轉(zhuǎn)速度，以使被檢測(cè)出的張力處于指定的范圍內(nèi)。即，通過調(diào)節(jié)第I導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)速度與第2導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)速度的差，迅速地變更切斷用鋸絲的張力。從而，與如以往的鋸絲張力的檢測(cè)后張力調(diào)整機(jī)構(gòu)才起動(dòng)的結(jié)構(gòu)相比，能夠縮短時(shí)滯。作為上述控制裝置，基于張力檢測(cè)器檢測(cè)的張力檢測(cè)值與預(yù)先設(shè)定的容許值之間的偏差，對(duì)上述導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行反饋控制的裝置為適合。此時(shí)，該控制裝置例如也可以當(dāng)上述偏差低于一定值時(shí)，只變更第I導(dǎo)輪和第2導(dǎo)輪中的其中之一的旋轉(zhuǎn)速度，當(dāng)上述偏差在一定值以上時(shí)，變更第I導(dǎo)輪及第2導(dǎo)輪雙方的旋轉(zhuǎn)速度。此外，本發(fā)明所涉及的線鋸優(yōu)選還包括張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)，緩和起因于從上述第I工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的鋸絲張力變動(dòng)。如上所述的導(dǎo)輪旋轉(zhuǎn)速度的變更，雖然可能會(huì)伴隨從第I工件切斷部至第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的鋸絲長(zhǎng)度的變動(dòng)而發(fā)生鋸絲松弛或過緊張，但是通過具備此種緩和張力變動(dòng)的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)，能夠避免起因于該張力的急變的切斷用鋸絲的松弛或過緊張，使起因于該松弛或過緊張的切斷用鋸絲的纏結(jié)或斷線防患于未然。作為如上所述的張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)，包括滑輪，在上述第I工件切斷部與上述第2工件切斷部之間卷掛上述切斷用鋸絲；以及施力部，向上述滑輪彈性施加該滑輪向切斷用鋸絲賦予張力的方向的力，其中，通過伴隨從上述第I工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的上述滑輪的彈性移位，來緩和鋸絲張力的變動(dòng)為適口ο權(quán)利要求1.一種線鋸，利用切斷用鋸絲切斷工件，其特征在于包括鋸絲送出裝置，送出切斷用鋸絲；第I工件切斷部，具備多個(gè)第I導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第I導(dǎo)輪的第I驅(qū)動(dòng)部，通過從上述鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于上述各第I導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；第2工件切斷部，具備多個(gè)第2導(dǎo)輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)這些第2導(dǎo)輪的第2驅(qū)動(dòng)部，通過從第I工件切斷部導(dǎo)出的上述切斷用鋸絲卷繞于上述各第2導(dǎo)輪而形成工件切斷用的鋸絲群；鋸絲卷取裝置，卷取從上述第2工件切斷部導(dǎo)出的切斷用鋸絲；張力檢測(cè)器，檢測(cè)在上述第I工件切斷部與上述第2工件切斷部之間的上述切斷用鋸絲的張力；以及控制裝置，分別調(diào)節(jié)由上述第I驅(qū)動(dòng)部及上述第2驅(qū)動(dòng)部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的上述第I導(dǎo)輪及上述第2導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)速度，其中，上述控制裝置變更上述第I導(dǎo)輪和上述第2導(dǎo)輪中的至少一個(gè)的旋轉(zhuǎn)速度，以使上述張力檢測(cè)器檢測(cè)的張力在指定范圍內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線鋸，其特征在于，上述控制裝置，基于張力檢測(cè)器檢測(cè)的張力檢測(cè)值與預(yù)先設(shè)定的容許值之間的偏差，對(duì)上述導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行反饋控制。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線鋸，其特征在于，上述控制裝置，當(dāng)上述偏差低于一定值時(shí)，只變更第I導(dǎo)輪和第2導(dǎo)輪中的其中之一的旋轉(zhuǎn)速度，當(dāng)上述偏差在一定值以上時(shí)，變更第I導(dǎo)輪及第2導(dǎo)輪雙方的旋轉(zhuǎn)速度。4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的線鋸，其特征在于，還包括張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)，緩和起因于從上述第I工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的鋸絲張力變動(dòng)。根據(jù)權(quán)利要求4所述的線鋸，其特征在于，上述張力變動(dòng)緩和機(jī)構(gòu)包括滑輪，在上述第I工件切斷部與上述第2工件切斷部之間卷掛上述切斷用鋸絲；以及施力部，向上述滑輪彈性施加該滑輪向切斷用鋸絲賦予張力的方向的力，其中，通過伴隨從上述第I工件切斷部至上述第2工件切斷部為止的切斷用鋸絲的鋸絲長(zhǎng)度變動(dòng)的上述滑輪的彈性移位，來緩和鋸絲張力的變動(dòng)。全文摘要本發(fā)明提供一種利用切斷用鋸絲切斷工件的線鋸，能以高響應(yīng)性進(jìn)行鋸絲張力的調(diào)整。該線鋸具備第1及第2工件切斷部(1A、1B)。各工件切斷部(1A、1B)分別包含一對(duì)導(dǎo)輪(10a、10b)，在這些導(dǎo)輪上掛設(shè)鋸絲(W)而形成工件切斷用的鋸絲群。該線鋸還具備在工件切斷部(1A、1B)之間檢測(cè)鋸絲(W)的張力的張力檢測(cè)器(18)和控制裝置(50)。控制裝置(50)基于張力檢測(cè)器(18)檢測(cè)的張力，變更至少其中之一工件切斷部的導(dǎo)輪(10a、10b)的旋轉(zhuǎn)速度，以使該張力在容許范圍內(nèi)。文檔編號(hào)B24B27/06GK102791427SQ20108006320公開日2012年11月21日申請(qǐng)日期2010年2月8日優(yōu)先權(quán)日2010年2月8日發(fā)明者今久留主昌治,吉村浩幸,星山豊宏,濱崎辰己申請(qǐng)人:東洋先進(jìn)機(jī)床有限公司