專利名稱：粉塵吸附器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種粉塵吸附裝置，特別是涉及一種用于臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的粉塵吸附器。
背景技術(shù)：
PECVD裝置(又稱等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置)制備Al2O3過程中，在高真空石英腔體內(nèi)利用高頻電場激發(fā)，分解通入工藝氣體N2O和TMA源，通過粒子在樣品表面的沉積形成Al2O3薄膜，研究發(fā)現(xiàn)，晶硅電池氧化鋁(Al2O3)膜的鈍化效果、質(zhì)量密度和折射率都很好，可以極大地提高電池片轉(zhuǎn)換效率，是太陽能電池生產(chǎn)線上最關(guān)鍵的設(shè)備之一。在臥式PECVD裝置中，與反應(yīng)室的真空出氣口連接的真空系統(tǒng)是設(shè)備的關(guān)鍵部件，是保證工藝的最重要的結(jié)構(gòu)之一，如圖I所示，真空系統(tǒng)主要由依次連接的波紋管道I、 真空管道2、真空元器件3、泵4等組成，波紋管道I與反應(yīng)室的真空出氣口連接。在該真空系統(tǒng)中，沒有吸附粉塵的裝置，由于SiN薄膜和Al2O3的制備過程中容易產(chǎn)生粉塵，長時間工作后會在真空管道2的內(nèi)壁和真空元器件3上形成粉塵垢，就容易造成元器件的失靈或損壞，甚至影響泵4的功能，需要定期清理，但如果清洗頻繁，就會增加裝卸元器件工作量和增加了維修成本。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是如何清除臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的粉塵顆粒的問題。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的一種粉塵吸附器，安裝在臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的波紋管道和真空管道之間，所述粉塵吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端設(shè)有真空入口，其另一端密封，所述真空入口與所述波紋管道連接，所述吸附罐的側(cè)面設(shè)有真空出口，所述真空出口與所述真空管道連接，所述吸附罐內(nèi)壁的周向上設(shè)有第一過濾網(wǎng)。其中，所述第一過濾網(wǎng)呈螺旋狀分布在所述吸附罐內(nèi)壁的周向上。其中，所述第一過濾網(wǎng)采用不銹鋼材料制成。其中，所述真空出口處設(shè)有第二過濾網(wǎng)。其中，所述第二過濾網(wǎng)采用不銹鋼材料制成。其中，所述吸附罐需要密封的一端焊接有法蘭盤，并在所述法蘭盤上安裝法蘭蓋。其中，所述法蘭蓋和法蘭盤采用卡鉗螺釘進行固定安裝。其中，所述法蘭蓋和法蘭盤之間設(shè)有密封槽，所述密封槽內(nèi)設(shè)有密封圈。(三)有益效果上述技術(shù)方案所提供的一種粉塵吸附器，在吸附罐內(nèi)采用第一過濾網(wǎng)將從反應(yīng)室真空出氣口排出的混合氣體中的粉塵顆粒過濾出來,清除了從真空出口處排出的混合氣體中的粉塵顆粒，提高了真空管道和真空元器件的潔凈度和使用壽命，可避免泵的損害，從而提高了泵的使用壽命，減少了設(shè)備維修時間和成本。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)中臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明粉塵吸附器在臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置中的連接圖；圖3是本發(fā)明粉塵吸附器的剖視圖；圖4是本發(fā)明粉塵吸附器的外觀圖。其中，I、波紋管道；2、真空管道；3、真空元器件；4、泵；5、吸附罐；6、真空入口 ；7、 真空出口 ；8、第一過濾網(wǎng)；9、第二過濾網(wǎng)；10、法蘭盤；11、法蘭蓋；12、卡鉗螺釘；13、密封槽；14、密封圈。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。如圖2、圖3和圖4，本發(fā)明一種粉塵吸附器，安裝在臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的波紋管道I和真空管道2之間，該粉塵吸附器包括吸附罐5，該吸附罐5的一端設(shè)有真空入口 6，其另一端密封，真空入口 6與波紋管道I連接，吸附罐5的側(cè)面設(shè)有真空出口 7，該真空出口 7與真空管道2連接，吸附罐5內(nèi)壁的周向上設(shè)有第一過濾網(wǎng)8。在吸附罐5中采用第一過濾網(wǎng)8將從反應(yīng)室真空出氣口排出的混合氣體中的粉塵顆粒過濾出來，清除了從真空出口 7處排出的混合氣體中的粉塵顆粒，提高了真空管道2和真空元器件3的潔凈度和使用壽命，可避免泵4的損害，從而提高了泵4的使用壽命，減少了設(shè)備維修時間和成本。其中，真空入口 6與波紋管道I通過法蘭緊固連接，真空出口 7與真空管道2通過法蘭緊固連接。為了使吸附罐5內(nèi)部達到多級粉塵顆粒過濾效果，以提高對粉塵顆粒的過濾效果，以提高氣體的純度，本實施例的第一過濾網(wǎng)8呈螺旋狀分布在吸附罐5內(nèi)壁的周向上，采用螺旋狀分布的第一過濾網(wǎng)8使得帶有粉塵顆粒的氣流在吸附罐5中得到徹底地除塵。進一步地，在真空出口 7處設(shè)有第二過濾網(wǎng)9，該第二過濾網(wǎng)9可通過可拆卸緊固件固定在真空出口 7處，以便于清潔和更換。該第二過濾網(wǎng)9可對經(jīng)吸附罐5進行粉塵顆粒吸附后的氣體進一步進行過濾，以進一步提高氣體的純度。由于該粉塵吸附器在使用一段時間后，第一過濾網(wǎng)8上會吸附大量的粉塵顆粒，應(yīng)對吸附罐5和第一過濾網(wǎng)8進行定期清洗，為避免由于清洗使得第一過濾網(wǎng)8生銹或腐蝕，同時滿足在高溫狀態(tài)下的使用條件，本實施例的第一過濾網(wǎng)8采用不銹鋼材料制成。同理，第二過濾網(wǎng)9也采用不銹鋼材料制成。為了方便吸附罐5的定期清洗，上述吸附罐5需要密封的一端采用可拆卸機構(gòu)進行密封連接，該端部與一法蘭盤10焊接，并在該法蘭盤10上安裝法蘭蓋11。法蘭蓋11和法蘭盤10采用卡鉗螺釘12進行固定安裝，該卡鉗螺釘12采用LF卡鉗螺釘。法蘭蓋11和法蘭盤10之間設(shè)有密封槽13，該密封槽13內(nèi)設(shè)有密封圈14，密封圈14使得法蘭蓋11和法蘭盤10之間的連接更加緊密，提高了吸附罐5的密閉性。優(yōu)選地，密封槽13開在法蘭盤10的上表面，用于放置密封圈14。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換 也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種粉塵吸附器，安裝在臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的波紋管道和真空管道之間，其特征在于，所述粉塵吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端設(shè)有真空入口，其另一端密封，所述真空入口與所述波紋管道連接，所述吸附罐的側(cè)面設(shè)有真空出口，所述真空出口與所述真空管道連接，所述吸附罐內(nèi)壁的周向上設(shè)有第一過濾網(wǎng)。
2.如權(quán)利要求I所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述第一過濾網(wǎng)呈螺旋狀分布在所述吸附罐內(nèi)壁的周向上。
3.如權(quán)利要求I所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述第一過濾網(wǎng)采用不銹鋼材料制成。
4.如權(quán)利要求I所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述真空出口處設(shè)有第二過濾網(wǎng)。
5.如權(quán)利要求4所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述第二過濾網(wǎng)采用不銹鋼材料制成。
6.如權(quán)利要求I所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述吸附罐需要密封的一端焊接有法蘭盤，并在所述法蘭盤上安裝法蘭蓋進行密封。
7.如權(quán)利要求6所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述法蘭蓋和法蘭盤采用卡鉗螺釘進行固定安裝。
8.如權(quán)利要求6所述的粉塵吸附器，其特征在于，所述法蘭蓋和法蘭盤之間設(shè)有密封槽，所述密封槽內(nèi)設(shè)有密封圈。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種粉塵吸附裝置，公開了一種粉塵吸附器，該粉塵吸附器安裝在臥式等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置的真空系統(tǒng)中的波紋管道和真空管道之間，所述粉塵吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端設(shè)有真空入口，其另一端密封，所述真空入口與所述波紋管道連接，所述吸附罐的側(cè)面設(shè)有真空出口，所述真空出口與所述真空管道連接，所述吸附罐內(nèi)壁的周向上設(shè)有第一過濾網(wǎng)。本發(fā)明在吸附罐內(nèi)采用第一過濾網(wǎng)將從反應(yīng)室真空出氣口排出的混合氣體中的粉塵顆粒過濾出來，清除了從真空出口處排出的混合氣體中的粉塵顆粒，提高了真空管道和真空元器件的潔凈度和使用壽命，可避免泵的損害，從而提高了泵的使用壽命，減少了設(shè)備維修時間和成本。
文檔編號C23C16/44GK102808165SQ201210283320
公開日2012年12月5日 申請日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者鄭建宇, 宋曉彬, 郝曉明, 王廣明 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司