專利名稱：一種方便清理的滾輪外罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于傳送沉積系統(tǒng)中的基材領(lǐng)域，尤其涉及一種方便清理的滾輪外罩。
技術(shù)背景薄膜太陽電池可以用價格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨、金屬片等不同材料做基板，又具有可撓性可以制作成非平面構(gòu)造，可與建筑物結(jié)合或是變成建筑體的一部份，應用非常廣泛。在薄膜太陽電池制造上，常在一CVD系統(tǒng)內(nèi)進行基材上的薄膜層的制程。反應物進入制程區(qū)，待處理(例如涂層)的基板被置于熱板上加熱到合適沉積的溫度環(huán)境。至少部分的化學反應生成物會沉積在基板上，殘余物會通過排氣設備排除制程區(qū)。在傳送系統(tǒng)中，基板通過下方的滾輪組進行水平傳送。當這些滾輪暴露在制程室里時，滾輪會被制程室內(nèi)氣體污染。當滾輪傳送下一塊基板時，下一塊的基板背面會被滾輪污染。同時滾輪上的污染物堆積到一定量會容易脫落到制程室，影響制程反應效果。中國專利CN 201485502U公布了一種外罩裝置，但其結(jié)構(gòu)復雜，污染物堆積到一定量后需要繁瑣的拆卸工作，清理起來十分不方便，耗費大量精力。因此，急需一種在改善制程效果的同時，結(jié)構(gòu)合理、清理起來方便快捷的外罩裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述提到的問題，提供一種方便清理的外罩裝置，該外罩除了能夠改善制程效果以外，結(jié)構(gòu)簡單、拆卸方便、便于清理和維護。本實用新型的技術(shù)方案是本實用新型包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉和頂板上的滾輪導軌；本實用新型的頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設置與轉(zhuǎn)動軸相連的滾輪，頂蓋上的滾輪導軌與滾輪相連；凸出板連接在頂板的末端上方，凸出底倉連接在底罩的末端。所述頂板是長方體的。所述凸出板是長方體的，被設置成可以至少部分保護滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染。所述凸出底倉被設置可以至少部分保護沉積系統(tǒng)，以免滾輪上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)。本實用新型有益效果如下本實用新型除了能夠至少部分保護滾輪不受到沉積的影響，還至少部分保護沉積系統(tǒng)不被滾輪上的物質(zhì)污染，有效的優(yōu)化制程效果。同時本實用新型設計簡單、結(jié)構(gòu)合理、拆卸清理起來十分方便，使用起來節(jié)省大量精力。
圖I為滾輪組上傳送基板的部分沉積系統(tǒng)的上視圖。圖2為本實用新型的傳送基材側(cè)視圖。圖3為本實用新型的立體結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中，頂板I、底罩2、凸出板3、凸出底倉4、滾輪5、滾輪導軌6、轉(zhuǎn)動軸7、基板8。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明。如圖I所示為在復數(shù)個滾輪5上傳遞基板8的部分沉積系統(tǒng)。滾輪5在傳動軸7促動下，從基板8較低表面的背端接觸。如出現(xiàn)目標位置，基材支撐體中的支撐物(如加熱板)會從較低位提起，從滾輪5上提起基板8。滾輪5會從基板8收回，以避免影響隨后的處理步驟。當沉積過程結(jié)束后，滾輪5會返回原工作位置，通過降低基材支撐物將基板8置放回滾輪5上，并傳送基材8。如圖2顯示更多細節(jié)，滾輪外罩包括頂板I、凸出板3、底罩2、凸出底倉4和頂板上的滾輪導軌6，頂板I固定在底2罩上，頂板I與底罩2之間的空腔中設置與轉(zhuǎn)動軸7相連的滾輪5，頂蓋I上的滾輪導軌6與滾輪5相連；凸出板3連接在頂板I的末端上方，凸出底倉4連接在底罩2的末端?；?與安裝在外罩內(nèi)的滾輪5相接觸，滾輪5轉(zhuǎn)動可促使基板8的傳動。在滾輪轉(zhuǎn)動的過程中，部分滾輪上的物質(zhì)會落在凸出底倉5內(nèi)。如圖3所示，當滾輪5從基材8處收回，沉積過程開始，沉積物質(zhì)可部分落在凸出板3上，凸出板3可至少部分保護滾輪5。本實用新型由于設有凸出板和凸出底倉，在制程過程中能至少部分保護滾輪不受制程系統(tǒng)的污染，有效的優(yōu)化了制程效果。同時本實驗新型結(jié)構(gòu)簡單，平時正常清理時只需要用吸塵器對其進行清理即可，節(jié)省使用者的精力和時間。
權(quán)利要求1.一種方便清理的滾輪外罩，包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉和頂板上的滾輪導軌；其特征在于 頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設置與轉(zhuǎn)動軸相連的滾輪模塊，頂蓋上的滾輪導軌與滾輪模塊相連；凸出板被設置成可以至少部分保護滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染；凸出底倉被設置可以至少部分保護沉積系統(tǒng)，以免滾輪上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)； 所述頂板是長方體的。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滾輪外罩，其特征在于所述凸出底倉連接在底罩的末端。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滾輪外罩，其特征在于所述凸出板是長方體的，連接在頂板的末端上方。
專利摘要本實用新型公開了一種方便清理的滾輪外罩，本實用新型包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉、和頂板上的滾輪導軌；頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設置與轉(zhuǎn)動軸相連的滾輪模塊，頂蓋上的滾輪導軌與滾輪模塊相連；凸出板被設置成可以至少部分保護滾輪模塊，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染；凸出底倉被設置可以至少部分保護沉積系統(tǒng)，以免滾輪模塊上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)；本實用新型相較于其他的外罩裝置，結(jié)構(gòu)簡單，安裝拆卸方便，使用者能夠更加快速的對其進行維護和清理操作。
文檔編號C23C16/56GK202705471SQ20122039884
公開日2013年1月30日 申請日期2012年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月14日
發(fā)明者不公告發(fā)明人 申請人:王煦麗