粉末沉積裝置和粉末沉積方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種能夠有效地在粉末上進(jìn)行沉積的粉末沉積裝置和粉末沉積方法。所述粉末沉積裝置包括設(shè)置在真空容器內(nèi)并且被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；設(shè)置在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體內(nèi)部的沉積源；筒狀粉末供給/回收部件，它鄰近所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁設(shè)置，并且被構(gòu)造成回收通過(guò)上面進(jìn)入的粉末和通過(guò)下面將粉末供給到所述內(nèi)壁；以及蓋部件，它設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近，并且被構(gòu)造成在處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)通過(guò)粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內(nèi)壁和在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)積聚通過(guò)上面進(jìn)入所述粉末供給/回收部件內(nèi)的粉末。
【專利說(shuō)明】粉末沉積裝置和粉末沉積方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)要求于2012年11月20日提交的日本在先專利申請(qǐng)JP2012-253868的權(quán)益，其全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本公開(kāi)涉及一種在粉末的表面上進(jìn)行沉積的粉末沉積裝置和在粉末的表面上進(jìn)行沉積的粉末沉積方法。
【背景技術(shù)】
[0004]提出了當(dāng)將一些物質(zhì)附著在粉末的表面上時(shí)進(jìn)行沉積。當(dāng)進(jìn)行沉積時(shí)，將要形成為涂膜的材料由于加熱等而蒸發(fā)并且使得蒸發(fā)的材料與粉末的表面碰撞。這樣，在粉末的表面上形成涂膜。
[0005]通常，在粉末的表面上的沉積需要具有復(fù)雜構(gòu)造的沉積裝置。也就是說(shuō)，由于沉積只能向上進(jìn)行，所以需要將顆粒放在沉積源的上方。由于這個(gè)原因，所以通常提出將粉末容納在高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓筒形容器中并且設(shè)置在圓筒形容器中的沉積源進(jìn)行沉積。高速轉(zhuǎn)動(dòng)圓筒形容器使得粉末由于離心力能夠通過(guò)圓筒形容器內(nèi)部的上部。于是，在粉末通過(guò)圓筒形容器內(nèi)部的上部時(shí)，從沉積源蒸發(fā)的材料到達(dá)粉末，從而在粉末的表面上形成涂膜。
[0006]日本專利特開(kāi)N0.2008-045197公開(kāi)了一種使用這種圓筒形容器在粉末上進(jìn)行沉積的構(gòu)造。
[0007]當(dāng)使用如上所述的圓筒形容器在粉末上進(jìn)行沉積時(shí)，所存在的問(wèn)題是，將粉末供給到圓筒形容器的供給操作和在沉積之后回收粉末的回收操作很困難。也就是說(shuō)，為了使得粉末均勻分散在圓筒形容器的內(nèi)表面上，最初水平地轉(zhuǎn)動(dòng)圓筒形容器以施加離心力，使得粉末粘附在圓筒形容器的圓形內(nèi)表面上。然后，維持轉(zhuǎn)動(dòng)，使圓筒形容器處于垂直直立位置，并且此時(shí)，使用沉積源在圓筒形容器內(nèi)進(jìn)行沉積。
[0008]另外，以足夠高的速度轉(zhuǎn)動(dòng)維持在直立狀態(tài)下的圓筒形容器，將粉末供給到圓筒形容器內(nèi)以進(jìn)行沉積。
[0009]然而，在這些方法的任一種中，所存在的問(wèn)題是，裝置具有復(fù)雜的構(gòu)造。例如，當(dāng)將圓筒形容器從水平狀態(tài)移動(dòng)到垂直狀態(tài)時(shí)，在真空容器中需要具有用于移動(dòng)圓筒形容器的可用空間，這需要非常大型的真空容器。此外，在設(shè)置于真空空間中并高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓筒形容器內(nèi)供給粉末的情況下，需要在真空容器中設(shè)置非常復(fù)雜的粉末供給機(jī)構(gòu)。
[0010]此外，在這些構(gòu)造的任一種中，所存在的問(wèn)題是，在沉積結(jié)束后從圓筒形容器的內(nèi)部回收粉末的操作的可操作性很差。例如，在沉積結(jié)束后需要打開(kāi)從真空容器取出來(lái)的圓筒形容器并且用抽吸裝置吸出分散在容器內(nèi)的粉末以進(jìn)行回收。所存在的問(wèn)題是，這種回收操作的可操作性很差，是非常繁雜的操作。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0011]希望提供一種能夠有效地在粉末上進(jìn)行沉積的粉末沉積裝置和粉末沉積方法。
[0012]根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的粉末沉積裝置包括:設(shè)置在真空容器內(nèi)并且被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；設(shè)置在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體內(nèi)部的沉積源；筒狀粉末供給/回收部件；以及設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近的蓋部件。
[0013]所述筒狀粉末供給/回收部件鄰近所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁設(shè)置，并且被構(gòu)造成在回收通過(guò)上面進(jìn)入的粉末的同時(shí)，通過(guò)下面將粉末供給到所述內(nèi)壁。
[0014]所述蓋部件被構(gòu)造成在處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)通過(guò)粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內(nèi)壁和在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)積聚通過(guò)上面進(jìn)入所述粉末供給/回收部件內(nèi)的粉末。
[0015]此外，根據(jù)本公開(kāi)的實(shí)施方案的粉末沉積方法包括:(1)在真空容器內(nèi)設(shè)置被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；(2)在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)部設(shè)置沉積源；(3)在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)并且筒狀粉末供給/回收部件的底部處于打開(kāi)狀態(tài)下，在將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁后，由所述沉積源進(jìn)行沉積；(4)通過(guò)所述筒狀粉末供給/回收部件的上面回收供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁的粉末；以及(5)通過(guò)使得所述筒狀粉末供給/回收部件的下面的附近處于關(guān)閉狀態(tài)，在所述筒狀粉末供給/回收部件內(nèi)積聚回收的粉末。
[0016]根據(jù)本公開(kāi)，使用筒狀粉末供給/回收部件，將粉末供給到設(shè)置有沉積源的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體或從其回收粉末可以在真空容器內(nèi)進(jìn)行。因此，在粉末上進(jìn)行沉積時(shí)，可以有效地進(jìn)行粉末的供給和回收。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是示出作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的粉末沉積裝置的構(gòu)造的側(cè)視圖；
[0018]圖2是示出作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的粉末沉積裝置的構(gòu)造的立體圖；
[0019]圖3是示出包含在作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的粉末沉積裝置中的粉末供給丨回收部件的下部的立體圖；
[0020]圖4是示出作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的沉積操作的流程的流程圖；
[0021]圖5是作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的沉積操作過(guò)程(第一部分)的說(shuō)明圖；
[0022]圖6是作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的沉積操作過(guò)程(第二部分)的說(shuō)明圖；
[0023]圖7是作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的沉積操作過(guò)程(第三部分)的說(shuō)明圖；以及
[0024]圖8是作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的沉積操作過(guò)程(第四部分)的說(shuō)明圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0025]下面將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本公開(kāi)的優(yōu)選實(shí)施方案。需要注意的是，在本說(shuō)明書和附圖中，用相同的附圖標(biāo)記表示具有基本上相同功能和結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)要素，并且省略了對(duì)這些結(jié)構(gòu)要素的重復(fù)說(shuō)明。按以下順序進(jìn)行說(shuō)明。
[0026]1.粉末沉積裝置的構(gòu)造(圖1和圖2) [0027]2.粉末沉積操作的流程(圖3~圖8)
[0028]3.變形例[0029][1.粉末沉積裝置的構(gòu)造]
[0030]圖1和圖2是示出作為根據(jù)本公開(kāi)實(shí)施方案的例子的粉末沉積裝置的構(gòu)造的視圖。圖1是側(cè)視圖，圖2是立體圖。
[0031]該粉末沉積裝置包括設(shè)置在真空容器30內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng)體10。真空容器30只需要具有可以容納轉(zhuǎn)動(dòng)體10的形狀。轉(zhuǎn)動(dòng)體10可以具有例如直徑大約為50cm的尺寸。
[0032]如圖1和圖2所示，轉(zhuǎn)動(dòng)體10是鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體，并且包括具有預(yù)定寬度的內(nèi)壁10a。轉(zhuǎn)動(dòng)體10在其側(cè)面沒(méi)有設(shè)置封閉部件，然而轉(zhuǎn)動(dòng)體10可以被構(gòu)造成用側(cè)面板封閉其側(cè)面。
[0033]轉(zhuǎn)動(dòng)體10繞著轉(zhuǎn)動(dòng)中心軸11轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)體10的轉(zhuǎn)動(dòng)速度被設(shè)定為相對(duì)較高，使得粉末由于離心力粘附到內(nèi)壁IOa上。在圖中，省略了對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)體10進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源或轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0034]此外，沉積源12設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)部的上部。沉積源12加熱將要形成涂膜的材料并使其蒸發(fā)。在沉積源12內(nèi)通過(guò)蒸發(fā)產(chǎn)生的蒸氣通過(guò)沉積源12的上部12a到達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁IOa的上部。
[0035]此外，粉末供給/回收裝置20設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)部。粉末供給/回收裝置20的主體由筒狀部21構(gòu)成,該筒狀部由具有矩形斷面的筒狀部件構(gòu)成。筒狀部21的上面22和下面23處于打開(kāi)狀態(tài)。此外，筒狀部21被構(gòu)造成具有相對(duì)較大的長(zhǎng)度，以在其內(nèi)部具有攪拌粉末的功能。
[0036]如圖1中的虛線所示，粉末供給/回收裝置20是可倒式的，能夠繞著在其下端的樞軸支點(diǎn)24進(jìn)行樞轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。也就是說(shuō)，粉末供給/回收裝置20由于繞著樞軸支點(diǎn)24的樞轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)Θ I而可以被構(gòu)造成設(shè)定為筒狀部21的直立狀態(tài)和筒狀部21的傾斜狀態(tài)的兩種狀態(tài)中的一種狀態(tài)。
[0037]當(dāng)粉末供給/回收裝置20處于筒狀部21的直立狀態(tài)時(shí)，筒狀部21的上面22的邊緣22a與轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁IOa接觸。當(dāng)粉末供給/回收裝置20處于筒狀部21的傾斜狀態(tài)時(shí)，筒狀部21的上面22的邊緣22a與轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁IOa分離。
[0038]圖3是示出粉末供給/回收裝置20的筒狀部21的下部的放大視圖。如圖3所示，筒狀部21的下面23是傾斜大約45°的斜面。網(wǎng)格部件28設(shè)置在傾斜的下面23上。網(wǎng)格部件28具有作為攪拌通過(guò)筒狀部21的下面23進(jìn)入外部的粉末的部件的功能。使用網(wǎng)格部件28攪拌粉末是一個(gè)例子，其他部件也可以攪拌粉末。
[0039]此外，彼此相對(duì)的兩個(gè)狹縫26和27設(shè)置在筒狀部21的下面23附近。通過(guò)將板狀蓋部件25插入兩個(gè)狹縫26和27中使得筒狀部21的下部處于關(guān)閉狀態(tài)。蓋部件25沿著圖2所示的箭頭Ml水平地移動(dòng)，從而可以從狹縫26拔出。在圖中省略了驅(qū)動(dòng)蓋部件25的機(jī)構(gòu)。
[0040]從狹縫26拔出蓋部件25使得筒狀部21處于下部打開(kāi)的狀態(tài)，并且允許筒狀部21內(nèi)的粉末通過(guò)下面23排放到轉(zhuǎn)動(dòng)體10內(nèi)。在這種情況下，蓋部件25根據(jù)其從狹縫26拔出量的設(shè)定，可以被調(diào)節(jié)為筒狀部21的下部打開(kāi)程度的半打開(kāi)狀態(tài)等。將要排放入轉(zhuǎn)動(dòng)體10內(nèi)的粉末的量可以根據(jù)筒狀部21的下部打開(kāi)的程度來(lái)調(diào)節(jié)。
[0041]另外，該粉末沉積裝置包括安裝在真空容器30外部的控制裝置。該控制裝置控制轉(zhuǎn)動(dòng)體10的轉(zhuǎn)動(dòng)、粉末供給/回收裝置20的樞轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和蓋部件25的打開(kāi)與關(guān)閉。這些控制與沉積源12的沉積連動(dòng)地進(jìn)行。[0042][2.粉末沉積操作的流程]
[0043]接著，參照?qǐng)D4的流程圖和示出各過(guò)程中的狀態(tài)的圖5~圖8說(shuō)明由于沉積而將材料附著到粉末的表面上的處理的流程。在示出各過(guò)程中的狀態(tài)的圖5~圖8中，由附圖標(biāo)記31表示粉末。所使用的粉末31例如由直徑約幾微米到幾十微米的金屬等制成的細(xì)微顆粒構(gòu)成。此外，作為沉積材料，例如使用銅。
[0044]首先，如圖5所示，粉末供給丨回收裝置20使得蓋部件25處于封閉狹縫26和27之間的空間的狀態(tài)。將粉末31放入處于關(guān)閉狀態(tài)的粉末供給/回收裝置20的筒狀部21中。在此階段，使得粉末供給/回收裝置20的筒狀部21處于傾斜狀態(tài)，從而筒狀部21的上面22的邊緣223不與轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103接觸。
[0045]然后，操作員開(kāi)始以下操作，使得設(shè)置有放入了粉末的粉末供給/回收裝置20的真空容器30的內(nèi)部處于真空的狀態(tài)。控制裝置可以自動(dòng)地進(jìn)行真空操作的開(kāi)始。
[0046]在到達(dá)沉積所需的真空度后，控制裝置高速轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)體10。在此階段的轉(zhuǎn)動(dòng)速度被設(shè)定為粉末31由于離心力而粘附到轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103上的程度的速度。這種速度例如是大約每分鐘百數(shù)十轉(zhuǎn)的速度。此外，轉(zhuǎn)動(dòng)方向被設(shè)定為通過(guò)粉末供給/回收裝置20的下面23供給的粉末31經(jīng)過(guò)在上部的沉積源12附近以到達(dá)粉末供給丨回收裝置20的上面22的方向。在圖1中，這種轉(zhuǎn)動(dòng)方向是時(shí)鐘的指針轉(zhuǎn)動(dòng)的方向。
[0047]然后，在轉(zhuǎn)動(dòng)體10如此高速轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，在粉末供給/回收裝置20的下部的蓋部件25從狹縫26拔出。蓋部件25的拔出開(kāi)始了通過(guò)粉末供給/回收裝置20的下面23將粉末供給到內(nèi)壁103上(步驟311)。
[0048]圖6是示出這種狀態(tài)的視圖。在圖6示出的例子中，通過(guò)調(diào)節(jié)從狹縫26的拔出量使得蓋部件25處于半打開(kāi)狀態(tài)。通過(guò)這樣做，將粉末31分部分地供給到內(nèi)壁103上。如上所述的供給粉末31使得粉末31處于其由于離心力而粘附到高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103上的狀態(tài)。
[0049]然后，在將一定程度量的粉末31供給到內(nèi)壁103上之后，控制裝置使得粉末供給/回收裝置20處于直立狀態(tài)(步驟312)。當(dāng)使得粉末供給/回收裝置20處于直立狀態(tài)時(shí)，筒狀部21的上面22的邊緣223與轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁10&接觸。此時(shí)，沉積源12開(kāi)始沉積。沉積的開(kāi)始導(dǎo)致沉積材料的蒸發(fā)(步驟313)。
[0050]圖7是示出這種狀態(tài)的視圖。如圖7所示，由沉積源12進(jìn)行沉積使得蒸發(fā)的材料到達(dá)粘附到內(nèi)壁103上并且已經(jīng)到達(dá)上部的粉末31，在粉末31的表面上形成由沉積材料制成的膜。
[0051]然后，轉(zhuǎn)動(dòng)體10的轉(zhuǎn)動(dòng)使得已經(jīng)進(jìn)行過(guò)沉積的粉末31到達(dá)與筒狀部21的上面22的邊緣223接觸的部分。在此階段，轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103與邊緣223接觸的部分刮取粉末31。由于這個(gè)原因，通過(guò)粉末供給/回收裝置20的上面22將粉末31回收在筒狀部21內(nèi)。
[0052]此外，如圖7所示，在相對(duì)較長(zhǎng)的筒狀部21的內(nèi)部攪拌回收的粉末31之后，通過(guò)筒狀部21的下面23將其排放到轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103上。此外，在通過(guò)下面23的排放中，通過(guò)網(wǎng)格部件28攪拌粉末31。
[0053]圖7所示的 狀態(tài)的操作持續(xù)進(jìn)行，因此重復(fù)進(jìn)行粉末31的供給、對(duì)供給的粉末31進(jìn)行沉積以及沉積后的粉末31的回收。
[0054]然后，控制部確定處于圖7所示的狀態(tài)的沉積是否進(jìn)行規(guī)定的時(shí)間或更長(zhǎng)(步驟314),并且在步驟313中進(jìn)行沉積直到經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間。規(guī)定的時(shí)間被設(shè)定為相對(duì)較長(zhǎng)，例如大約一小時(shí)到幾十小時(shí)。持續(xù)進(jìn)行規(guī)定時(shí)間的沉積使得能夠在金屬顆粒的表面上沉積例如大約10被％的銅。
[0055]然后，當(dāng)在步驟314中確定經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間時(shí)，在沉積源12停止沉積的同時(shí)，將在粉末供給/回收裝置20的下部的蓋部件25插入狹縫26，使得下部處于關(guān)閉狀態(tài)(步驟
815)。通過(guò)這樣做，在粉末供給/回收裝置20的筒狀部21內(nèi)積聚回收的粉末31。
[0056]圖8是示出這種狀態(tài)的視圖。如圖8所示，刮取粉末31并且在粉末供給/回收裝置20的筒狀部21的內(nèi)部積聚回收的粉末31。
[0057]然后，在積聚粉末31 —定程度的時(shí)間經(jīng)過(guò)之后，停止轉(zhuǎn)動(dòng)體10的轉(zhuǎn)動(dòng)(步驟
816)。之后，在降低真空容器30的真空度后，打開(kāi)真空容器30并且將積聚在粉末供給/回收裝置20中的粉末31取出。
[0058]如上所述的進(jìn)行沉積使得能夠簡(jiǎn)單并且非常有效地進(jìn)行將沉積材料附著到粉末31的表面上的操作。例如，當(dāng)制作圖1所示的粉末沉積裝置并且將銅沉積在金屬顆粒上時(shí)，粉末供給/回收裝置20能夠在沉積結(jié)束后回收90%或更多的金屬顆粒。此外，粉末的這種高回收率產(chǎn)生防止粉末在操作中飛散和防止沉積源的污染的效果。
[0059]此外，設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)體10內(nèi)的粉末供給/回收裝置20具有相對(duì)簡(jiǎn)單的構(gòu)造，因而粉末沉積裝置的構(gòu)造可以簡(jiǎn)單。
[0060][3.變形例〕
[0061]另外，在上述的實(shí)施方案中，當(dāng)粉末供給/回收裝置20回收粉末時(shí)，粉末供給/回收裝置20的上面22的邊緣223被構(gòu)造成與轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103接觸。代替這種接觸狀態(tài)，粉末供給/回收裝置20的上面22的邊緣223可以處于其中轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103通過(guò)微小間隙鄰近邊緣的狀態(tài)，并且粉末供給/回收裝置20可以從轉(zhuǎn)動(dòng)體10的內(nèi)壁103回收粉末。
[0062]此外，在上述的實(shí)施方案中，作為擴(kuò)散部件的網(wǎng)格部件28設(shè)置在粉末供給/回收裝置20的下面23上。相反，具有另一種形狀的擴(kuò)散部件可以設(shè)置在下面23上以擴(kuò)散粉末。另外，代替如此設(shè)置的網(wǎng)格部件28，當(dāng)蓋部件25從狹縫26拔出時(shí)，設(shè)置有許多微小孔的穿孔金屬板可以插入狹縫26，并且穿孔金屬板可以擴(kuò)散粉末。
[0063]此外，在上述的實(shí)施方案中，板狀蓋部件25被用作打開(kāi)和關(guān)閉粉末供給/回收裝置20的下部的部件。相反，另一種構(gòu)造可以打開(kāi)和關(guān)閉下部。另外，在用蓋部件25等打開(kāi)和關(guān)閉時(shí)的打開(kāi)量可以根據(jù)所使用的粉末的量和直徑等來(lái)調(diào)節(jié)。
[0064]此外，在上述的實(shí)施方案中，粉末供給/回收裝置20的筒狀部21的內(nèi)部被構(gòu)造成相對(duì)較長(zhǎng)的空腔，當(dāng)粉末通過(guò)該空腔時(shí)攪拌粉末。相反，攪拌粉末的部件可以設(shè)置在筒狀部21的內(nèi)部，主動(dòng)地進(jìn)行攪拌。
[0065]此外，在上述實(shí)施方案的例子中，說(shuō)明了在金屬顆粒的表面上沉積銅的例子，然而顆粒的材料或沉積材料僅是一個(gè)例子，只要材料可以被沉積就可以采用它們的任意組合。
[0066]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，依據(jù)設(shè)計(jì)要求和其他因素，可以在本發(fā)明所附的權(quán)利要求書或其等同物的范圍內(nèi)進(jìn)行各種修改、組合、次組合以及改變。 [0067]此外，本技術(shù)還可以具有以下構(gòu)成。
[0068](1) 一種粉末沉積裝置，包括:[0069]設(shè)置在真空容器內(nèi)并且被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；
[0070]設(shè)置在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體內(nèi)部的沉積源；
[0071]筒狀粉末供給/回收部件，它鄰近所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁設(shè)置，并且被構(gòu)造成回收通過(guò)上面進(jìn)入的粉末和通過(guò)下面將粉末供給到所述內(nèi)壁；以及
[0072]蓋部件，它設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近，并且被構(gòu)造成在處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)通過(guò)粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內(nèi)壁和在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)積聚通過(guò)上面進(jìn)入所述粉末供給/回收部件內(nèi)的粉末。
[0073](2)根據(jù)⑴所述的粉末沉積裝置，
[0074]其中在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體以產(chǎn)生使得粉末不會(huì)從所述內(nèi)壁脫落的離心力的程度的速度轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開(kāi)狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁。
[0075](3)根據(jù)⑴或⑵所述的粉末沉積裝置，
[0076]其中所述粉末供給/回收部件能夠在上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)和上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)之間移動(dòng)，
[0077]其中當(dāng)所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開(kāi)狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)，以及
[0078]其中當(dāng)從所述內(nèi)壁回收粉末時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)。
[0079](4)根據(jù)⑴~⑶中任一項(xiàng)所述的粉末沉積裝置，
[0080]其中，在所述蓋部件的打開(kāi)狀態(tài)下通過(guò)所述粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁之后，在所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)并且所述粉末供給/回收部件從所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁回收粉末的同時(shí)，在所述粉末供給/回收部件內(nèi)積聚粉末，而且所述蓋部件處于關(guān)閉狀態(tài)。
[0081](5)根據(jù)⑴~⑷中任一項(xiàng)所述的粉末沉積裝置，
[0082]其中被構(gòu)造成攪拌粉末的部件設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面上。
[0083](6) 一種粉末沉積方法，包括:
[0084]在真空容器內(nèi)設(shè)置被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；
[0085]在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)部設(shè)置沉積源；
[0086]在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)并且筒狀粉末供給/回收部件的底部處于打開(kāi)狀態(tài)下，在將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁后，由所述沉積源進(jìn)行沉積；
[0087]通過(guò)所述筒狀 粉末供給/回收部件的上面回收供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁的粉末；以及
[0088]通過(guò)使得所述筒狀粉末供給丨回收部件的下面的附近處于關(guān)閉狀態(tài)，在所述筒狀粉末供給/回收部件內(nèi)積聚回收的粉末。
【權(quán)利要求】
1.一種粉末沉積裝置，包括: 設(shè)置在真空容器內(nèi)并且被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體； 設(shè)置在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體內(nèi)部的沉積源； 筒狀粉末供給/回收部件，它鄰近所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁設(shè)置，并且被構(gòu)造成回收通過(guò)上面進(jìn)入的粉末和通過(guò)下面將粉末供給到所述內(nèi)壁；以及 蓋部件，它設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近，并且被構(gòu)造成在處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)通過(guò)粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內(nèi)壁和在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)積聚通過(guò)上面進(jìn)入所述粉末供給/回收部件內(nèi)的粉末。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粉末沉積裝置， 其中在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體以產(chǎn)生使得粉末不會(huì)從所述內(nèi)壁脫落的離心力的程度的速度轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開(kāi)狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粉末沉積裝置， 其中所述粉末供給/回收部件能夠在上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)和上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)之間移動(dòng)， 其中當(dāng)所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開(kāi)狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)，以及 其中當(dāng)從所述內(nèi)壁回收粉末時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粉末沉積裝置， 其中，在所述蓋部件的打開(kāi)狀態(tài)下通過(guò)所述粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁之后，在所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)并且所述粉末供給/回收部件從所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁回收粉末的同時(shí)，在所述粉末供給/回收部件內(nèi)積聚粉末，而且所述蓋部件處于關(guān)閉狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的粉末沉積裝置， 其中被構(gòu)造成攪拌粉末的部件設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面上。
6.—種粉末沉積方法，包括: 在真空容器內(nèi)設(shè)置被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體； 在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)部設(shè)置沉積源； 在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)并且筒狀粉末供給/回收部件的底部處于打開(kāi)狀態(tài)下，在將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁后，由所述沉積源進(jìn)行沉積； 通過(guò)所述筒狀粉末供給/回收部件的上面回收供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁的粉末；以及 通過(guò)使得所述筒狀粉末供給/回收部件的下面的附近處于關(guān)閉狀態(tài)，在所述筒狀粉末供給/回收部件內(nèi)積聚回收的粉末。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK103834920SQ201310498697
【公開(kāi)日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年10月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月20日
【發(fā)明者】須藤業(yè), 香取健二, 本村勇人 申請(qǐng)人:索尼公司