一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設有安裝孔，其特征在于：所述壓塊主體頂部設有斜坡，壓塊主體底部設有用于固定矩形平面靶材的階梯。本實用新型可在現(xiàn)有壓塊的基礎上加工而成，結(jié)構簡單，制作方便，生產(chǎn)成本低，能保障靶材安裝結(jié)構的穩(wěn)定性，并有效防止靶材出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
【專利說明】一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及磁控濺射【技術領域】，尤其是一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊。
【背景技術】
[0002]磁控濺射技術是利用磁場與電場交互作用，使電子在靶材表面附近成螺旋狀運行并撞擊工作氣體(如IS氣)產(chǎn)生離子，同時所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向祀材表面從而派射出祀材粒子。
[0003]在水平連續(xù)式鍍膜線中，是通過壓塊來固定靶材的，現(xiàn)有壓塊的結(jié)構如圖1所示，在壓塊主體11上設有安裝孔12和斜坡13，斜坡13表面和壓塊主體11上表面均為平面，且夾角約為42°。將這種壓塊應用于磁控濺射當中，則靶材濺射區(qū)域的基本結(jié)構如圖2所示，是在底座6四周設有陽極側(cè)邊屏蔽固定板7，陽極側(cè)邊屏蔽固定板7上設有陽極屏蔽板8，底座6頂部依次設有鐵氟龍絕緣層5和壓塊固定座2，壓塊固定座2頂部設有壓塊1，壓塊固定座2內(nèi)設有銅質(zhì)水槽座3和磁鋼，銅質(zhì)水槽座3頂部設有靶材4，靶材4為矩形平面靶材4，靶材4邊上被壓塊I固定。
[0004]但在如圖2所示的結(jié)構設計下，靶材I的陰、陽極容易發(fā)生短路故障，原因在于:
[0005]1.被工作氣體離子濺射出來的少部分靶材4的粒子因為碰撞的作用而往靶材4的陰、陽極之間的區(qū)域遷移，因此該少部分粒子沉積在壓塊I及陽極屏蔽板8的水平表面，隨著濺射的持續(xù)，就形成了鐘乳狀毛刺，從而改變水平方向極間間距81，當該間距小于安全參考間隙時，發(fā)生極間短路并導致濺射中斷；
[0006]2.由于磁控濺射高速濺射的特點，在使用時靶材4表面產(chǎn)生的熱量會引起靶材4的熱變形進而使得壓塊I的側(cè)邊與陽極側(cè)邊屏蔽固定板7發(fā)生熱應變，加上繞鍍在前二者豎直方向表面的鍍層9，使得豎直方向極間間距71減小，當該間距小于安全參考數(shù)值時，發(fā)生極間短路并導致濺射中斷。
[0007]在企業(yè)應用基于上述結(jié)構的磁控濺射鍍膜設備進行生產(chǎn)時，如果靶材中途發(fā)生短路故障，就會使連續(xù)性生產(chǎn)被迫中止，從而造成巨大的經(jīng)濟損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，具有結(jié)構簡單和制作方便的特點，并有效防止靶材出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
[0009]本實用新型的技術方案為:一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設有安裝孔，其特征在于:所述壓塊主體頂部設有斜坡，壓塊主體底部設有用于固定矩形平面靶材的階梯。
[0010]所述壓塊主體頂部上表面為平面，斜坡表面為平面，斜坡表面與頂部上表面之間的夾角為28° -32°，優(yōu)選為30°。
[0011]所述階梯上設有內(nèi)角，內(nèi)角不小于90°，優(yōu)選為90°。[0012]本實用新型的有益效果為:
[0013]1.壓塊可在現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的基礎上加工而成，結(jié)構簡單，制作方便，生產(chǎn)成本低；
[0014]2.通過在壓塊上制作出用于固定矩形平面靶材的階梯，能進一步保障壓塊、壓塊固定座和靶材的安裝結(jié)構的穩(wěn)定性；
[0015]3.通過在壓塊主體頂部設有斜坡，且使斜坡表面與頂部上表面之間的夾角較小，實際上會增大靶材離子在壓塊上的累積空間，從而能增加水平方向極間間距的最小值，防止極間短路和濺射中斷；
[0016]4.通過在壓塊上設置階梯，既能顯著增加水平方向極間間距的最小值，還能顯著增加豎直方向極間間距的最小值，有效地防止極間短路和濺射中斷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的結(jié)構示意圖；
[0018]圖2為現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的使用效果圖；
[0019]圖3為本實用新型所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的結(jié)構示意圖；
[0020]圖4為本實用新型所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的使用效果圖。
[0021]圖中，1-壓塊，2-壓塊固定座，3-銅質(zhì)水槽座，4-靶材，5-鐵氟龍絕緣層，6_底座，7-陽極側(cè)邊屏蔽固定板，8 -陽極屏蔽板，9-鍍層，11-壓塊主體，12-安裝孔，13-斜坡，14-階梯，71-豎直方向極間間距，81-水平方向極間間距。
【具體實施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步說明:
[0023]如圖3所示，一種磁控濺射矩形平面靶材4防短路壓塊1，包括壓塊主體11，在壓塊主體11上設有安裝孔12，壓塊主體11頂部設有斜坡13，壓塊主體11頂部上表面為平面，斜坡13表面為平面，斜坡13表面與頂部上表面之間的夾角為30°，壓塊主體11底部設有用于固定矩形平面靶材4的階梯14，階梯14上設有90°內(nèi)角。
[0024]具體實施時，如圖4和圖3所示，在底座6四周設有陽極側(cè)邊屏蔽固定板7，陽極側(cè)邊屏蔽固定板7上設有陽極屏蔽板8，底座6頂部依次設有鐵氟龍絕緣層5和壓塊固定座2，壓塊固定座2頂部設有壓塊1，壓塊固定座2內(nèi)設有銅質(zhì)水槽座3和磁鋼，銅質(zhì)水槽座3頂部設有靶材4，靶材4為矩形平面靶材4，靶材4邊上被壓塊I固定，壓塊I上設有相應形狀的斜坡13和階梯14，因而保證了壓塊I和靶材4安裝結(jié)構的穩(wěn)定性，同時也增加了水平方向極間間距81和豎直方向極間間距71的最小值，有效防止靶材4出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
[0025]上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理和最佳實施例，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設有安裝孔，其特征在于:所述壓塊主體頂部設有斜坡，壓塊主體底部設有用于固定矩形平面靶材的階梯。
2.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，其特征在于:所述壓塊主體頂部上表面為平面，斜坡表面為平面，斜坡表面與頂部上表面之間的夾角為28° -32。。
3.根據(jù)權利要求1所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，其特征在于:所述階梯上設有內(nèi)角，內(nèi)角不小于90°。
【文檔編號】C23C14/35GK203403149SQ201320462254
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年7月31日 優(yōu)先權日:2013年7月31日
【發(fā)明者】賴善春, 杜甫, 包立強, 蔣新波, 劉志標, 周建, 年志剛 申請人:廣東漢能光伏有限公司