一種pecvd石英管鎖扣保護(hù)罩的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，屬于太陽能電池生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺Ⅰ和梯形圓臺Ⅱ；所述梯形圓臺Ⅰ和梯形圓臺Ⅱ?yàn)橐徽w結(jié)構(gòu)，所述梯形圓臺Ⅰ的下底邊與梯形圓臺Ⅱ的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上；本實(shí)用新型使用時(shí)，可直接將保護(hù)罩套在石英管的鎖扣上，鎖扣被全部覆蓋，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氮化硅直接吸附在保護(hù)罩上面，阻擋了氮化硅在鎖扣上的附著，避免了鎖扣被堵塞；吸附在保護(hù)罩上面的氮化硅易于清理，操作簡單，安裝和拆卸方便，有助于減少維護(hù)時(shí)間。
【專利說明】—種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種石英管鎖扣的保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)是太陽能硅電池生產(chǎn)中一個(gè)必不可少的工序，該過程是通過等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積在硅片表面形成一層起到減反射和鈍化效果的氮化硅薄膜，其工藝反應(yīng)通常在鏈?zhǔn)絇ECVD工藝腔室內(nèi)進(jìn)行。
[0003]在鏈?zhǔn)絇ECVD工藝腔室內(nèi)設(shè)有石英管，而且石英管的兩端通過鎖扣固定在生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部。其中，鎖扣上均勻分布有六個(gè)圓孔，便于扳手鎖緊鎖扣，使其穩(wěn)定固定在生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部。在反應(yīng)沉積過程中，在工藝腔室中產(chǎn)生的氮化硅沉積在電池片表面上的同時(shí)，一部分會沉積在連接石英管的鎖扣上，由于鎖扣整個(gè)是裸露在外面的，長時(shí)間的鍍膜，沉積在鎖扣上面的氮化硅會越來越多，最終將鎖扣全部覆蓋，以致無法正常拆卸、安裝。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中經(jīng)常采用電鉆鋼銼打磨或氫氟酸清洗的方法來處理鎖扣表面的氮化硅，但是這種方法會給鎖扣造成嚴(yán)重的損壞。還有一種方法是用耐高溫膠帶將鎖扣纏繞起來，鎖扣上面的用于拆 卸的孔洞被保護(hù)起來，這樣氮化硅無法覆蓋在鎖扣表面，等到拆卸鎖扣時(shí)，可將耐高溫膠帶撕掉；采用這種方法每次都要使用大量的膠帶，而且120小時(shí)的維護(hù)周期后，覆蓋鎖扣的耐高溫膠帶會被厚厚的一層氮化硅覆蓋，膠帶粘性很大，不容易撕下來，若使用鉗子又容易將膠帶撕斷，拆卸同樣有一定的難度，不容易清理干凈，而且費(fèi)時(shí)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，操作簡單，安裝和拆卸方便，能夠有效阻擋氮化硅在鎖扣上的附著，吸附在保護(hù)罩上面的氮化硅易于清理，有助于減少維護(hù)時(shí)間。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺I和梯形圓臺II ;所述梯形圓臺I和梯形圓臺II為一整體結(jié)構(gòu)，所述梯形圓臺I的下底邊與梯形圓臺II的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上。
[0007]所述梯形圓臺I的上底內(nèi)徑Φ I為2(T22mm，下底內(nèi)徑02為33~35mm ;所述梯形圓臺II的下底內(nèi)徑0 3為35~37mm ;所述梯形圓臺I高71為13~17mm ;所述梯形圓臺II高12 為 48~52mm ；
[0008]所述保護(hù)罩為鋁質(zhì)薄片，其厚度為0.5^1.5mm。
[0009]優(yōu)選地，所述梯形圓臺I的上底內(nèi)徑01為21mm，下底內(nèi)徑02為34mm;所述梯形圓臺II的下底內(nèi)徑0 3為36mm ;所述梯形圓臺I高71為15mm ;所述梯形圓臺II高7之為50mmo[0010]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:保護(hù)罩的整體形狀與石英管鎖扣的外部形狀相適配，直接套在石英管鎖扣上即可，安裝方便，不易脫落；保護(hù)罩采用鋁質(zhì)薄片制作，整個(gè)保護(hù)罩比較柔軟，吸附在保護(hù)罩上面的氮化硅易于清理，且制作成本低；本實(shí)用新型能夠有效地阻擋氮化硅在鎖扣上的附著，避免鎖扣被堵塞；操作簡單，安裝和拆卸方便，吸附在保護(hù)罩上面的氮化硅易于清理，有助于減少維護(hù)時(shí)間。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的側(cè)視圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的俯視圖；
[0013]其中，1、梯形圓臺I，2、梯形圓臺II。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0015]如圖1和圖2所示，一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺I I和梯形圓臺II 2;所述梯形圓臺I I和梯形圓臺II 2為一整體結(jié)構(gòu)，所述梯形圓臺I I的下底邊與梯形圓臺II 2的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上；所述保護(hù)罩為鋁質(zhì)薄片。
[0016]保護(hù)罩的整體形狀與石英管鎖扣的外部形狀相適配，保護(hù)罩的尺寸根據(jù)石英管鎖的尺寸進(jìn)行設(shè)計(jì)；使用時(shí)，首先將石英管從保護(hù)罩中心穿過，然后將保護(hù)罩套在石英管的鎖扣上，鎖扣被全部覆蓋。
[0017]實(shí)施例1
[0018]所述梯形圓臺I I的上底內(nèi)徑0 I為21mm,下底內(nèi)徑0 2為34mm ;所述梯形圓臺II 2的下底內(nèi)徑0 3為36mm ;所述梯形圓臺I I的高度71為15mm ;所述梯形圓臺II 2的高度72為50_ ;所述保護(hù)罩厚度為1_ ;本實(shí)施例是根據(jù)石英管鎖扣尺寸設(shè)計(jì)的優(yōu)選尺寸，保護(hù)罩與石英管鎖扣之間達(dá)到最佳適配。
[0019]實(shí)施例2
[0020]所述梯形圓臺I I的上底內(nèi)徑0 I為20mm,下底內(nèi)徑0 2為33mm ;所述梯形圓臺
II2的下底內(nèi)徑03為35mm ;所述梯形圓臺I I的高度71為13mm ;所述梯形圓臺II 2的高度12為48mm ;所述保護(hù)罩厚度為0.5mm ;本實(shí)施例是根據(jù)石英管鎖扣尺寸設(shè)計(jì)的最小尺寸，否則保護(hù)罩無法安裝并套在石英管鎖扣上。
[0021]實(shí)施例3
[0022]所述梯形圓臺I I的上底內(nèi)徑0 I為22mm,下底內(nèi)徑0 2為35mm ;所述梯形圓臺
II2的下底內(nèi)徑03為37mm ;所述梯形圓臺I I的高度71為17mm ;所述梯形圓臺II 2的高度72為52mm ;所述保護(hù)罩厚度為1.5mm ;本實(shí)施例是根據(jù)石英管鎖扣尺寸設(shè)計(jì)的最大尺寸，否則保護(hù)罩套在石英管鎖扣上后，容易脫落下來。
[0023]本實(shí)用新型使用時(shí)，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氮化硅直接吸附在保護(hù)罩上面，輕輕敲打、擠捏即可將保護(hù)罩上的氮化硅清理下來。本實(shí)用新型能夠有效地阻擋氮化硅在鎖扣上的附著，避免鎖扣被堵塞；操作簡單，安裝和拆卸方便，吸附在保護(hù)罩上面的氮化硅易于清理，有助于減少維護(hù)時(shí)間。
【權(quán)利要求】
1.一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，其特征在于:包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺I (I)和梯形圓臺II (2);所述梯形圓臺I (I)和梯形圓臺II (2)為一整體結(jié)構(gòu)，所述梯形圓臺I(I)的下底邊與梯形圓臺II (2)的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，其特征在于:所述梯形圓臺I(I)的上底內(nèi)徑01為2(T22mm，下底內(nèi)徑0 2為33~35mm ;所述梯形圓臺II (2)的下底內(nèi)徑03為35~37mm ;所述梯形圓臺I (I)高71為13~17mm ;所述梯形圓臺II (2)高72為48~52mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，其特征在于:所述梯形圓臺I(I)的上底內(nèi)徑01為21mm，下底內(nèi)徑0 2為34mm ;所述梯形圓臺II (2)的下底內(nèi)徑0 3為36_ ;所述梯形圓臺I (I)高71為15_ ;所述梯形圓臺II (2)高7之為50_。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PECVD石英管鎖扣保護(hù)罩，其特征在于:所述保護(hù)罩為招質(zhì)薄片，其厚度 為0.5"?.5mm。
【文檔編號】C23C16/44GK203659907SQ201320879853
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】楊浩 申請人:英利能源（中國）有限公司