真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，包括真空腔室、擋板閥A、冷卻裝置、擋板閥B、氣體降溫管道、羅茨泵、冷氣充入管道及機(jī)械泵,所述真空腔室右側(cè)連接擋板閥A，所述真空腔室通過(guò)擋板閥B連接冷卻裝置，所述冷卻裝置一端通過(guò)氣體降溫管道與羅茨泵相連，所述羅茨泵一端連接冷氣沖入管道，所述冷氣沖入管道通過(guò)擋板閥連接真空腔室，所述冷氣沖入管道下方還安裝有機(jī)械泵。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制快速冷卻的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本低廉的顯著有益效果 。
【專利說(shuō)明】真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍:蒸發(fā)鍍膜，通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面；濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時(shí)能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面，沉積在基片上；離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面。這三種形式的真空鍍膜技術(shù)都需要一種快速冷卻裝置來(lái)輔助真空鍍膜工程。
[0003]真空設(shè)備由于在鍍膜過(guò)程中工件處于密閉的真空環(huán)境中，并通過(guò)加熱器加熱到200 — 600°C不等，同時(shí)靠近爐壁安裝有屏蔽保溫板，但產(chǎn)品工藝及性能卻喪失了很多，現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備，也有冷卻裝置，但其冷卻效果不是很理想。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有的缺陷，本發(fā)明旨在提供真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，能保證鍍膜產(chǎn)品工藝及性能質(zhì)量的要求而設(shè)置的快速冷卻系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制快速冷卻的目的。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，包括真空腔室、擋板閥A、冷卻裝置、擋板閥B、氣體降溫管道、羅茨泵、冷氣充入管道及機(jī)械泵，所述真空腔室右側(cè)連接擋板閥A，所述真空腔室通過(guò)擋板閥B連接冷卻裝置，所述冷卻裝置一端通過(guò)氣體降溫管道與羅茨泵相連，所述羅茨泵一端連接冷氣沖入管道，所述冷氣沖入管道通過(guò)擋板閥連接真空腔室，所述冷氣沖入管道下方還安裝有機(jī)械泵。
[0006]進(jìn)一步，所述O型密封圈通過(guò)平墊與六角螺栓螺接在冷卻腔室底部，所述冷卻腔室外部設(shè)有密封板，所述高效內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管兩端分別通過(guò)密封墊接有過(guò)渡接頭，所述密封墊內(nèi)部設(shè)有一圈密封套，所述密封墊上部設(shè)有卡合密封連接的密封帽，所述過(guò)度接頭一端安裝在密封板一側(cè)外部，另一端接有水嘴。
[0007]進(jìn)一步，所述O型密封圈的直徑為210mm，六角螺栓為直徑為8mm的六角螺栓，所述水嘴為四分之一牙水嘴。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，該系統(tǒng)中的冷卻裝置以優(yōu)質(zhì)高效的內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管按阿基米德螺旋線繞制而成，并通入冷卻水，達(dá)到對(duì)高溫氣體的降溫冷卻作用，該真空鍍膜設(shè)備整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、外觀簡(jiǎn)潔、便于自動(dòng)控制，通用性好，使用安全、便于維護(hù)、成本較低的顯著有益效。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明冷卻裝置結(jié)構(gòu)剖面圖； 圖3為本發(fā)明中圖2的A向結(jié)構(gòu)示意圖；
其中:1、真空腔室，2、擋板閥A，3、冷卻裝置，4、擋板閥B，5、氣體降溫管道，6、羅茨泵，7、冷氣充入管道，8、機(jī)械泵，9、O型密封圈，10、六角螺栓，11、平墊，12、密封板A，13、高效內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管，14、密封墊，15、過(guò)渡接頭，16、水嘴，17、密封套，18、密封帽，19、密封板B，20、冷卻腔室。

【具體實(shí)施方式】
[0010]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0011]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明案例中，真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，包括真空腔室1、擋板閥A2、冷卻裝置3、擋板閥B4、氣體降溫管道5、羅茨泵6、冷氣充入管道7及機(jī)械泵8，所述真空腔室I右側(cè)連接擋板閥A2，所述真空腔室通過(guò)擋板閥B4連接冷卻裝置3，所述冷卻裝置3 —端通過(guò)氣體降溫管道5與羅茨泵6相連，所述羅茨泵6 —端連接冷氣沖入管道7，所述冷氣沖入管道7通過(guò)擋板閥A2連接真空腔室I，所述冷氣沖入管道7下方還安裝有機(jī)械泵8。
[0012]需要說(shuō)明的是，運(yùn)行時(shí)，只開(kāi)羅茨泵6，機(jī)械泵8保持關(guān)閉狀態(tài)。真空腔室I右側(cè)擋板閥B4，連接冷卻裝置3，通過(guò)氣體降溫管道5與羅茨泵6相連，以此將真空腔室I內(nèi)的高溫氣體抽出并降溫。已降溫冷卻的氣體由冷氣充入管道7通過(guò)真空腔室上的擋板閥A2充入真空腔室I，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制快速冷卻的目的。
[0013]請(qǐng)查閱圖2-3，本發(fā)明案例中，真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，冷卻裝置3中:所述O型密封圈9通過(guò)平墊11與六角螺栓10螺接在冷卻腔室20底部，所述冷卻腔室20外部設(shè)有密封板A12，所述高效內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管13兩端分別通過(guò)密封墊14接有過(guò)渡接頭15，所述密封墊14內(nèi)部設(shè)有一圈密封套17，所述密封墊14上部設(shè)有卡合密封連接的密封帽18，所述過(guò)度接頭15 —端安裝在密封板19 一側(cè)外部，另一端接有水嘴16。
[0014]需要說(shuō)明的是，該冷卻裝置中用到的O型密封圈9有5個(gè)，六角螺栓10有25個(gè)，平墊11有8個(gè)。由制冷機(jī)輸出的冷卻水，由一端進(jìn)入按阿基米德螺旋線繞制而成的優(yōu)質(zhì)高效的內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管13內(nèi)。高溫氣體由銅管中穿過(guò)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制快速冷卻的目的。
[0015]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其它的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0016]以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何細(xì)微修改、等同替換和改進(jìn)，均應(yīng)包含在本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，包括真空腔室、擋板閥A、冷卻裝置、擋板閥B、氣體降溫管道、羅茨泵、冷氣充入管道及機(jī)械泵，其特征在于:所述真空腔室右側(cè)連接擋板閥A，所述真空腔室通過(guò)擋板閥B連接冷卻裝置，所述冷卻裝置一端通過(guò)氣體降溫管道與羅茨泵相連，所述羅茨泵一端連接冷氣沖入管道，所述冷氣沖入管道通過(guò)擋板閥連接真空腔室，所述冷氣沖入管道下方還安裝有機(jī)械泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述O型密封圈通過(guò)平墊與六角螺栓螺接在冷卻腔室底部，所述冷卻腔室外部設(shè)有密封板，所述高效內(nèi)螺紋交叉齒銅盤管兩端分別通過(guò)密封墊接有過(guò)渡接頭，所述密封墊內(nèi)部設(shè)有一圈密封套，所述密封墊上部設(shè)有卡合密封連接的密封帽，所述過(guò)度接頭一端安裝在密封板一側(cè)外部，另一端接有水嘴。
3.根根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備真空腔室快速冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述O型密封圈的直徑為210mm，六角螺栓為直徑為8mm的六角螺栓，所述水嘴為四分之一牙水嘴。
【文檔編號(hào)】C23C14/22GK104404449SQ201410730511
【公開(kāi)日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2014年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月5日
【發(fā)明者】王洪權(quán), 劉曉華, 張朝奎 申請(qǐng)人:大連維鈦克科技股份有限公司