一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座。本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，包括靶基板、磁鋼組件、靶材和對磁鋼組件起到調(diào)節(jié)移動作用的微調(diào)裝置，該微調(diào)裝置通過連接座與磁鋼組件相連，磁鋼組件外圍設(shè)有U型冷卻基座，U型冷卻基座內(nèi)嵌入U型冷卻水管，U型冷卻基座底部安裝靶材；微調(diào)裝置包括定位左檔、可滑動中檔、定位右檔，三檔中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可滑動中檔通過螺母連接微調(diào)絲桿，微調(diào)絲桿左、右端部均通過支撐軸承固定于定位左、右檔上，微調(diào)絲桿端部邊緣設(shè)有旋轉(zhuǎn)手柄，可滑動中檔通過連接座與磁鋼組件相連。本實用新型使靶材消耗從V型結(jié)構(gòu)變成U型結(jié)構(gòu)，方便快捷的提高靶材利用率。
【專利說明】一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于真空鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池中，薄膜電池具有更強的弱光效應(yīng)，廉價的制備材料，更佳的視覺效果及易于大規(guī)模連續(xù)化生產(chǎn)等優(yōu)點，在光伏建筑一體化(BIPV)中具有廣闊的發(fā)展前景。對于Si基薄膜電池來說，背電極的導(dǎo)電性能及膜層結(jié)構(gòu)在整個電池的工藝中處于一個非常重要的地位，Si基薄膜電池背電極利用磁控派射技術(shù)(magnetron sputtering,簡稱PVD)制備，在濺射過程中，高能粒子撞擊具有高純度的靶材固體平板，通過物理過程撞擊出原子，這些被撞擊出來的原子穿過真空，最后沉積在芯片上。
[0003]現(xiàn)有工藝中常用的濺射靶材一般為平面長方形結(jié)構(gòu)，且靶材表面為光滑的平面結(jié)構(gòu)。當該靶材被多次使用之后，其表面將不再是平整的結(jié)構(gòu)，而是形成了一個V狀的凹坑，這是由于濺射過程中高能粒子撞擊靶材表面的角度、頻率及能量等有所不同而導(dǎo)致，如何能夠盡可能的消耗靶材，提高靶材利用率，行業(yè)內(nèi)一直沒有給出非常有效的措施。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座。本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座通過靶座冷卻管路與磁鋼組件分離的方法，使磁鋼組件在靶材上方通過微調(diào)裝置，達到移動靶座磁場的目的，使靶材消耗從V型結(jié)構(gòu)變成U型結(jié)構(gòu)，方便快捷的提高靶材利用率。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0006]本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，包括靶基板，位于靶基板下方的磁鋼組件，位于磁鋼組件下方的靶材，包括對所述磁鋼組件起到調(diào)節(jié)移動作用的微調(diào)裝置，該微調(diào)裝置通過連接座與磁鋼組件相連，所述磁鋼組件外圍設(shè)有U型冷卻基座，所述U型冷卻基座內(nèi)嵌入U型冷卻水管，所述U型冷卻基座底部安裝靶材。
[0007]如此設(shè)計，通過微調(diào)裝置對磁鋼組件起到調(diào)節(jié)移動作用，達到改變磁場位置的目的；另外，冷卻基座采用U型結(jié)構(gòu)可以更好的完成腔室的密封性能，并提供磁鋼組件足夠的移動空間；且由U型冷卻基座和U型冷卻水管組成的冷卻水系統(tǒng)是獨立設(shè)計的，通過單獨用軟質(zhì)U型冷卻水管連接U型冷卻基座，一端進水，一端排水，即能滿足冷卻需求，又能避免傳統(tǒng)靶座磁鋼組件移動受冷卻水管路影響的限制。
[0008]作為優(yōu)化，所述微調(diào)裝置包括定位左檔、可滑動中檔、定位右檔，三檔中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可滑動中檔通過螺母連接微調(diào)絲桿，微調(diào)絲桿左端部通過支撐軸承固定于定位左檔上，微調(diào)絲桿右端部通過支撐軸承固定于定位右檔上，微調(diào)絲桿端部邊緣設(shè)有旋轉(zhuǎn)手柄，可滑動中檔通過連接座與磁鋼組件相連。如此設(shè)計，通過轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)手柄，帶動可滑動中檔左右移動，從而帶動磁鋼組件左右移動，達到改變磁場位置的目的，另外，中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可以更好的濺射磁場暗區(qū)所剩下的靶材，達到最大利用靶材的目的。
[0009]作為優(yōu)化，所述磁鋼組件和U型冷卻基座之間設(shè)有滾珠。如此設(shè)計，通過將磁鋼組件與冷卻基座采用滾珠相隔，即可以達到磁鋼組件到靶材距離的一致性，又可以讓磁鋼組件在U型冷卻基座上平滑移動，不產(chǎn)生磨損。
[0010]作為優(yōu)化，所述磁鋼組件與微調(diào)裝置均采用剛性結(jié)構(gòu)，所述微調(diào)裝置上還設(shè)有當磁鋼組件位置調(diào)整后，將磁鋼組件固定在調(diào)整后位置上的鎖緊裝置。如此設(shè)計，使用方便。[0011 ] 作為優(yōu)化，所述U型冷卻基座通過ORING密封鎖緊在靶基板的兩端，中間采用鐵氟龍材質(zhì)隔板相隔，所述U型冷卻基座采用銅背板材質(zhì)密封。如此設(shè)計，可以節(jié)約空間，并且達到與陰極絕緣的目的。
[0012]作為優(yōu)化，所述U型冷卻基座四周設(shè)有與靶基板相連的屏蔽罩。
[0013]作為優(yōu)化，所述U型冷卻基座底部兩端通過壓條卡設(shè)靶材。
[0014]本實用新型一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座的有益效果是:
[0015]1、通過靶座冷卻管路與磁鋼組件分離的方法，使磁鋼組件在靶材上方通過微調(diào)裝置，達到移動靶座磁場的目的，使靶材消耗從V型結(jié)構(gòu)變成U型結(jié)構(gòu)，方便快捷的提高靶材利用率。
[0016]2、通過單獨用U型冷卻水管連接U型冷卻基座，一端進水，一端排水，即能滿足冷卻需求，又能避免傳統(tǒng)靶座磁鋼組件移動受冷卻水管路影響的限制，具有較好的實際應(yīng)用價值和推廣價值。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]下面結(jié)合附圖對本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座作進一步說明:
[0018]圖1是本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖中:1為微調(diào)裝置、1-1為定位左檔、1-2為可滑動中檔、1-3為定位右檔、1-4為微調(diào)絲桿、1-5為旋轉(zhuǎn)手柄、2為靶基板、3為連接座、4為磁鋼組件、5為滾珠、6為U型冷卻基座、7為U型冷卻水管、8為祀材、9為壓條、10為鐵氟龍材質(zhì)隔板、11為屏蔽罩。
【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施例，對本實用新型進一步詳細說明。
[0021]如圖1所示，本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，包括微調(diào)裝置1、靶基板2、磁鋼組件4、U型冷卻基座6、靶材8，靶材8通過壓條9卡設(shè)在U型冷卻基座6底部，微調(diào)裝置I包括定位左檔1-1、可滑動中檔1-2、定位右檔1-3，三檔中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可滑動中檔1-2通過螺母連接微調(diào)絲桿1-4，微調(diào)絲桿1-4左端部通過支撐軸承固定于定位左檔1-1上，微調(diào)絲桿1-4右端部通過支撐軸承固定于定位右檔1-3上，微調(diào)絲桿1-4端部邊緣設(shè)有旋轉(zhuǎn)手柄1-5，可滑動中檔1-2通過連接座3與磁鋼組件4相連，磁鋼組件4外圍設(shè)有U型冷卻基座6，U型冷卻基座6內(nèi)嵌入U型冷卻水管7 ;磁鋼組件4和U型冷卻基座6之間設(shè)有滾珠5 ;磁鋼組件4與微調(diào)裝置I均采用剛性結(jié)構(gòu)，微調(diào)裝置I上還設(shè)有當磁鋼組件4位置調(diào)整后，將磁鋼組件4固定在調(diào)整后位置上的鎖緊裝置#型冷卻基座6通過ORING密封鎖緊在靶基板2的兩端，中間采用鐵氟龍材質(zhì)隔板10相隔，U型冷卻基座6采用銅背板材質(zhì)密封；U型冷卻基座6四周設(shè)有與靶基板2相連的屏蔽罩11。
[0022]微調(diào)裝置I與磁鋼組件4連接在一起，通過旋轉(zhuǎn)微調(diào)裝置I的旋轉(zhuǎn)手柄1-5對磁鋼組件起到調(diào)節(jié)移動作用，達到改變磁場位置的目的。
[0023]在使用的過程中，靶材8壽命分成三個周期，在第一個周期用微調(diào)裝置I的定位左檔1-1，第二個周期用微調(diào)裝置I的可滑動中檔1-2，第三個周期用微調(diào)裝置I的定位右檔1-3，當靶材8周期完成后則靶材8消耗形態(tài)為均勻曲線形貌，即靶材8的消耗從V型結(jié)構(gòu)變成U型結(jié)構(gòu)，如此就達到了提高靶材利用率的目的。
[0024]上述【具體實施方式】僅是本實用新型的具體個案，并非是對本實用新型作其它形式的限制，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員可能利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容加以變更或改型為等同變化的等效實施方式。但是凡是未脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施方式所作的任何簡單修改、等同變化與改型，皆應(yīng)落入本實用新型的專利保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，包括靶基板(2)，位于靶基板(2)下方的磁鋼組件(4)，位于磁鋼組件(4)下方的靶材(8 )，其特征在于:包括對所述磁鋼組件(4)起到調(diào)節(jié)移動作用的微調(diào)裝置(I )，該微調(diào)裝置(I)通過連接座(3)與磁鋼組件(4)相連，所述磁鋼組件(4)外圍設(shè)有U型冷卻基座(6)，所述U型冷卻基座(6)內(nèi)嵌入U型冷卻水管(7),所述U型冷卻基座(6)底部安裝靶材(8)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述微調(diào)裝置(I)包括定位左檔(1-1)、可滑動中檔(1-2)、定位右檔(1-3)，三檔中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可滑動中檔(1-2)通過螺母連接微調(diào)絲桿(1-4)，微調(diào)絲桿(1-4)左端部通過支撐軸承固定于定位左檔(1-1)上，微調(diào)絲桿(1-4)右端部通過支撐軸承固定于定位右檔(1-3)上，微調(diào)絲桿(1-4)端部邊緣設(shè)有旋轉(zhuǎn)手柄(1-5)，可滑動中檔(1-2)通過連接座(3)與磁鋼組件(4)相連。
3.如權(quán)利要求2所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述磁鋼組件(4)和U型冷卻基座(6)之間設(shè)有滾珠(5)。
4.如權(quán)利要求1或3所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述磁鋼組件(4)與微調(diào)裝置(I)均采用剛性結(jié)構(gòu)，所述微調(diào)裝置(I)上還設(shè)有當磁鋼組件(4)位置調(diào)整后，將磁鋼組件(4)固定在調(diào)整后位置上的鎖緊裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述U型冷卻基座(6)通過ORING密封鎖緊在靶基板(2)的兩端，中間采用鐵氟龍材質(zhì)隔板(10)相隔，所述U型冷卻基座(6)采用銅背板材質(zhì)密封。
6.如權(quán)利要求5所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述U型冷卻基座(6)四周設(shè)有與靶基板(2)相連的屏蔽罩(11)。
7.如權(quán)利要求6所述的一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，其特征在于:所述U型冷卻基座(6 )底部兩端通過壓條(9 )卡設(shè)靶材(8 )。
【文檔編號】C23C14/35GK203820882SQ201420237880
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年5月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月12日
【發(fā)明者】趙宏清, 劉曉文 申請人:山東禹城漢能光伏有限公司