本技術涉及拋光液存儲溫控，具體而言，涉及一種晶片拋光液溫度控制裝置。

背景技術：

1、為了提升晶片拋光加工時的質量，拋光晶片所使用的拋光液需要加熱后使用。存儲罐內部的拋光液可以被存儲罐進行加熱，一般存儲罐上都將采用單組溫度傳感器監(jiān)測內部拋光液的溫度，保證拋光加工時的拋光液處于合適的溫度區(qū)間內。如公告號為cn203557269u的公開文件一種拋光液溫度控制裝置包括液冷管路，液冷管路上設置有電磁閥，所述拋光液溫度控制裝置還包括溫度控制儀和用以探測拋光液溫度的紅外線測溫傳感器，所述溫度控制儀包括溫度數(shù)據輸入端、報警輸出端和控制輸出端；所述紅外線測溫傳感器與溫度控制儀的溫度數(shù)據輸入端相連。上述拋光液溫度控制裝置采用單個溫度傳感器監(jiān)測溫度，存儲罐內部拋光液上層和下層溫度之間存在溫差時將導致監(jiān)測的溫度不夠精準，導致拋光時使用的拋光液溫度產生偏差，影響晶片拋光加工質量。

技術實現(xiàn)思路

1、為了彌補以上不足，本實用新型提供了一種晶片拋光液溫度控制裝置，旨在改善相關技術溫度控制裝置中拋光液溫度控制裝置采用單個溫度傳感器監(jiān)測溫度，存儲罐內部拋光液上層和下層溫度之間存在溫差時將導致監(jiān)測的溫度不夠精準，導致拋光時使用的拋光液溫度產生偏差，影響晶片拋光加工質量的問題。

2、本實用新型是這樣實現(xiàn)的：

3、本實用新型提供一種晶片拋光液溫度控制裝置，包括拋光液存儲機構和升降自調節(jié)機構。

4、所述拋光液存儲機構包括存儲罐、加熱組件、第一溫度傳感器和第二溫度傳感器，所述加熱組件設置在所述存儲罐外部，所述第一溫度傳感器安裝在所述存儲罐下段外側，所述存儲罐頂部設置有加液口，且所述存儲罐底部外側設置有出液管；

5、所述升降自調節(jié)機構包括導軌和漂浮部，所述導軌豎向設置在所述存儲罐內側壁，所述漂浮部豎向位置滑動于導軌上，且所述第二溫度傳感器安裝在所述漂浮部上。

6、在本實用新型的一種實施例中，所述存儲罐包括罐體和罐蓋，所述罐蓋固定在所述罐體頂部。

7、在本實用新型的一種實施例中，所述拋光液存儲機構還包括攪拌混合組件，所述攪拌混合組件安裝在所述罐蓋上攪動所述罐體內部的拋光液。

8、在本實用新型的一種實施例中，所述攪拌混合組件包括電機、傳動軸和攪拌葉，所述電機安裝在所述罐蓋頂部，所述傳動軸設置在所述存儲罐內部，且所述傳動軸頂端轉動貫穿于所述罐蓋頂壁與所述電機輸出軸端連接，所述攪拌葉設置在所述傳動軸底端外側。

9、在本實用新型的一種實施例中，所述加熱組件包括外套殼，所述外套殼設置在所述存儲罐外部，所述外套殼底部以及頂部外側分別設置有進水端管和出水端管。

10、在本實用新型的一種實施例中，所述拋光液存儲機構還包括液位計，所述液位計安裝在所述存儲罐外側。

11、在本實用新型的一種實施例中，所述漂浮部包括浮板和滑塊，所述導軌上設置有滑槽，所述滑塊滑動在所述滑槽內部，所述第二溫度傳感器安裝在所述浮板上，且所述浮板通過連桿連接所述浮板。

12、在本實用新型的一種實施例中，所述導軌內側的所述滑槽頂部設置有限位塊。

13、本實用新型的有益效果是：本實用新型通過上述設計得到的一種晶片拋光液溫度控制裝置，第一溫度傳感器用于監(jiān)測存儲罐內部靠近底部的拋光液溫度，第二溫度傳感器用于監(jiān)測存儲罐內部拋光液頂部位置處的溫度；且第二溫度傳感器能夠根據存儲罐內部拋光液的液位高度進行自動調節(jié)，確保監(jiān)測存儲罐內部拋光液溫度的精準度。

技術特征：

1.一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，包括

2.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述存儲罐(110)包括罐體(111)和罐蓋(112)，所述罐蓋(112)固定在所述罐體(111)頂部。

3.根據權利要求2所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述拋光液存儲機構(10)還包括攪拌混合組件(170)，所述攪拌混合組件(170)安裝在所述罐蓋(112)上攪動所述罐體(111)內部的拋光液。

4.根據權利要求3所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述攪拌混合組件(170)包括電機(171)、傳動軸(172)和攪拌葉(173)，所述電機(171)安裝在所述罐蓋(112)頂部，所述傳動軸(172)設置在所述存儲罐(110)內部，且所述傳動軸(172)頂端轉動貫穿于所述罐蓋(112)頂壁與所述電機(171)輸出軸端連接，所述攪拌葉(173)設置在所述傳動軸(172)底端外側。

5.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述加熱組件(120)包括外套殼(121)，所述外套殼(121)設置在所述存儲罐(110)外部，所述外套殼(121)底部以及頂部外側分別設置有進水端管(122)和出水端管(123)。

6.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述拋光液存儲機構(10)還包括液位計(160)，所述液位計(160)安裝在所述存儲罐(110)外側。

7.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述漂浮部(220)包括浮板(221)和滑塊(222)，所述導軌(210)上設置有滑槽(230)，所述滑塊(222)滑動在所述滑槽(230)內部，所述第二溫度傳感器(140)安裝在所述浮板(221)上，且所述浮板(221)通過連桿(223)連接所述浮板(221)。

8.根據權利要求7所述的一種晶片拋光液溫度控制裝置，其特征在于，所述導軌(210)內側的所述滑槽(230)頂部設置有限位塊(240)。

技術總結
本技術提供了一種晶片拋光液溫度控制裝置，屬于拋光液存儲溫控技術領域。該晶片拋光液溫度控制裝置包括拋光液存儲機構和升降自調節(jié)機構。拋光液存儲機構包括存儲罐、加熱組件、第一溫度傳感器和第二溫度傳感器，加熱組件設置在存儲罐外部，第一溫度傳感器安裝在存儲罐下段外側，存儲罐頂部設置有加液口，且存儲罐底部外側設置有出液管；升降自調節(jié)機構包括導軌和漂浮部。第一溫度傳感器用于監(jiān)測存儲罐內部靠近底部的拋光液溫度，第二溫度傳感器用于監(jiān)測存儲罐內部拋光液頂部位置處的溫度；且第二溫度傳感器能夠根據存儲罐內部拋光液的液位高度進行自動調節(jié)，確保監(jiān)測存儲罐內部拋光液溫度的精準度。

技術研發(fā)人員：高萌
受保護的技術使用者：天津洙諾科技有限公司
技術研發(fā)日：20240319
技術公布日：2024/12/19