一種從氮化鎵廢料中回收金屬鎵的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氮化鎵廢料回收方法,尤其涉及一種從氮化鎵廢料回收金屬鎵的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前生產(chǎn)氮化鎵襯底的工藝,基本上采用金屬有機(jī)源氣相沉積法,在藍(lán)寶石上生長氮化鎵。在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氮化鎵廢料中,含鎵量在70-80%,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于砷化鎵、磷化鎵等一些m-v族化合物半導(dǎo)體過程中產(chǎn)出的含鎵廢料。
[0003]氮化鎵熔點(diǎn)約為1700°C,高熔點(diǎn)很難采用分解法進(jìn)行金屬鎵的回收。但也有相關(guān)報(bào)道,采用通氫法,在高溫條件下將氮化鎵分解金屬鎵與氨氣,但金屬鎵回收率不高。也有報(bào)道采用王水與氮化鎵進(jìn)行反應(yīng)在,反應(yīng)的速度很慢,且反應(yīng)過程中產(chǎn)出氮氧化物有害廢氣,不宜實(shí)現(xiàn)工業(yè)生產(chǎn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的上述不足之處,提供一種從氮化鎵廢料回收金屬鎵的方法。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是:
[0005]—種從氮化鎵廢料中回收金屬鎵的方法,將氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與與氧化劑的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與氧化劑質(zhì)量比為I:
0.5-9.5,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵。金屬鎵回收率為95%以上。氧化劑為過氧化氫或者過氧化鈉。
[0006]本專利方法與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的有益效果是:本發(fā)明中混合堿液與氮化鎵料反應(yīng)速度快,反應(yīng)徹底,反應(yīng)過程中無有毒廢氣排出,產(chǎn)出的反應(yīng)液,經(jīng)過電積法回收金屬鎵,回收率在95 %以上,易于工業(yè)化生產(chǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0007]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明再作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0008]實(shí)施例1:一種從氮化鎵廢料中回收金屬鎵的方法,將500g氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與過氧化氫的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與過氧化氫質(zhì)量比1:1.5,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵392g。
[0009]實(shí)施例2:將100g氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與過氧化氫的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與過氧化氫質(zhì)量比1:4.5,加大了過氧化氫的比例后,反應(yīng)速度加快,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵793g。
[0010]實(shí)施例3:將100g氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與過氧化鈉的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與過氧化鈉質(zhì)量比1: 0.5,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵801g。
[0011]實(shí)施例4:將100g氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與過氧化氫的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與過氧化氫體積比為1:9.5,反應(yīng)速度快,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵805g。
[0012]除上述實(shí)施例外,本發(fā)明還可以有其他實(shí)施方式,凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案,均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種從氮化鎵廢料中回收金屬鎵的方法,其特征在于,將氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與氧化劑的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,混合溶液中氫氧化鈉與氧化劑質(zhì)量比為1: 0.5-9.5,直至氮化鎵全部溶解,最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,氧化劑為過氧化氫或者過氧化鈉。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,金屬鎵回收率為95%以上。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種從氮化鎵廢料中回收金屬鎵的方法,將氮化鎵置于反應(yīng)容器中,然后將氫氧化鈉與氧化劑,例如過氧化氫、過氧化鈉的混合溶液滴加入反應(yīng)容器中,直至氮化鎵全部溶解;最后將反應(yīng)液通過電積,回收金屬鎵。本發(fā)明中混合堿液與氮化鎵料反應(yīng)速度快,反應(yīng)徹底,產(chǎn)出的反應(yīng)液,經(jīng)過電積法回收金屬鎵,回收率在95%以上,易于工業(yè)化生產(chǎn)。
【IPC分類】C25C1/22, C22B7/00, C22B58/00
【公開號(hào)】CN105567982
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610128046
【發(fā)明人】劉文兵, 楊桂芳
【申請(qǐng)人】南京金美鎵業(yè)有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2016年3月7日