用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置的制造方法
【專利摘要】用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，解決現(xiàn)有真空鍍膜領(lǐng)域內(nèi)的探頭在使用過程中由于薄膜影響，進(jìn)而導(dǎo)致探頭的探測(cè)精度低的問題，本發(fā)明包括輸氣管道、可拆卸保護(hù)通道、固定裝置和法蘭；法蘭上面固定所述輸氣管道，可拆卸保護(hù)通道通過固定裝置連接到所述法蘭上；可拆卸保護(hù)通道與探測(cè)探頭連接，輸氣管道與外部氣路連接，將外部保護(hù)氣噴到所述可拆卸保護(hù)通道內(nèi)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在真空鍍膜領(lǐng)域內(nèi)保護(hù)探頭不被鍍上涂層，從而達(dá)到保護(hù)探頭目的。
【專利說(shuō)明】
用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜領(lǐng)域中經(jīng)常會(huì)使用探測(cè)探頭，例如檢測(cè)氣體或者檢測(cè)輝光等。在探頭使用過程中，由于探頭一直處于對(duì)靶方向，不可避免會(huì)被鍍上一層薄膜，目前大部分探頭都缺少保護(hù)裝置，不可避免被沉積的涂層影響探頭的正常使用，進(jìn)而導(dǎo)致探測(cè)精度低及探頭的使用壽命。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明為解決現(xiàn)有真空鍍膜領(lǐng)域內(nèi)的探頭在使用過程中由于薄膜影響，進(jìn)而導(dǎo)致探頭的探測(cè)精度低的問題，提供了一種用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置。
[0004]用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，包括可拆卸保護(hù)通道、輸氣管道、固定裝置和法蘭，所述可拆卸保護(hù)通道通過所述固定裝置與法蘭連接;所述輸氣管道的一端與可拆卸保護(hù)通道連接，另一端通過法蘭與外部氣路連接，通過所述外部氣路將外部保護(hù)氣噴到可拆卸保護(hù)通道內(nèi)，探測(cè)探頭與所述可拆卸保護(hù)通道連通。
[0005]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明所述的探頭保護(hù)裝置，不妨礙探頭的功能，設(shè)計(jì)了兩種可拆卸保護(hù)通道。保護(hù)探測(cè)探頭不被鍍上涂層，從而達(dá)到保護(hù)探測(cè)探頭的目的。本發(fā)明所述的探頭保護(hù)裝置用于保護(hù)真空室內(nèi)探測(cè)探頭，采用保護(hù)氣來(lái)阻止探頭被涂層覆蓋，通過調(diào)節(jié)保護(hù)氣的流量和種類來(lái)保證在不同的鍍膜環(huán)境中保證探頭的正常使用。
【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1為本發(fā)明所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置中裝有反光鏡式可拆卸保護(hù)通道的保護(hù)裝置示意圖；
[0007]圖2為本發(fā)明所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置中使用直通式可拆卸保護(hù)通道的保護(hù)裝置示意圖。
[0008]圖中，1、直通式可拆卸保護(hù)通道，2、輸氣管道，3、固定裝置，4、法蘭，5、探測(cè)探頭，
6、反光鏡式可拆卸保護(hù)通道，7、反光鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0009]【具體實(shí)施方式】一、結(jié)合圖1和圖2說(shuō)明本實(shí)施方式，用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭保護(hù)裝置，包括可拆卸保護(hù)通道、輸氣管道2、固定裝置3和法蘭4;所述法蘭4上面固定所述輸氣管道2，所述可拆卸保護(hù)通道通過所述固定裝置3連接到所述法蘭4上面;所述可拆卸保護(hù)通道與探測(cè)探頭5連接，所述輸氣管道2與外部氣路連接，將外部保護(hù)氣噴到所述可拆卸保護(hù)通道內(nèi)，保護(hù)探測(cè)探頭5不被鍍上涂層，從而達(dá)到保護(hù)探測(cè)探頭5的目的。
[0010]本實(shí)施方式中，所述的可拆卸保護(hù)通道分為直通式可拆卸保護(hù)通道I或反光鏡式可拆卸保護(hù)通道6。對(duì)于反光鏡式可拆卸保護(hù)通道6，通過保護(hù)通道內(nèi)反射鏡7，保證光學(xué)探頭的正常使用，外部氣路通過法蘭5連接到輸氣管道2，并經(jīng)過輸氣管道2，將保護(hù)氣體噴到直通式可拆卸保護(hù)通道I內(nèi)，保護(hù)探頭不被涂層覆蓋。從而用來(lái)保障等離子濃度或能量測(cè)量的探頭使用。
[0011 ] 本實(shí)施方式所述的法蘭4上有通探測(cè)探頭和輸氣管道2的通孔，外部氣路通過法蘭4上的通孔與輸氣管道2連接，從而實(shí)現(xiàn)保護(hù)探測(cè)探頭5。
[0012]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，在上述說(shuō)明書的描述中提到的數(shù)值及數(shù)值范圍并不用于限制本發(fā)明，只是為本發(fā)明提供優(yōu)選的實(shí)施方式，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，包括可拆卸保護(hù)通道、輸氣管道(2)、固定裝置(3)和法蘭(4);其特征是，所述可拆卸保護(hù)通道通過所述固定裝置(3)與法蘭(4)連接;所述輸氣管道(2)的一端與可拆卸保護(hù)通道連接，另一端通過法蘭(4)與外部氣路連接，通過所述外部氣路將外部保護(hù)氣噴到可拆卸保護(hù)通道內(nèi)，探測(cè)探頭(5)與所述可拆卸保護(hù)通道連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，其特征在于，所述可拆卸保護(hù)通道為直通式可拆卸保護(hù)通道(I)或反光鏡式可拆卸保護(hù)通道(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，其特征在于，所述反光鏡式可拆卸保護(hù)通道(6)內(nèi)設(shè)置反光鏡(7)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，其特征在于，所述法蘭(4)上設(shè)置有用于穿過探測(cè)探頭(5)的通孔。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于真空鍍膜探測(cè)設(shè)備探頭上的保護(hù)裝置，其特征在于，所述法蘭(4)的另一端通過法蘭(4)上的通孔與外部氣路連接。
【文檔編號(hào)】C23C14/52GK105970179SQ201610351907
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月25日
【發(fā)明人】李明南, 夏原, 李光, 朱洪亞, 王揚(yáng)
【申請(qǐng)人】吉林省力科科技有限公司