一種真空鍍膜設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。其中，在進(jìn)行真空離子蒸發(fā)時(shí)，真空鍍膜設(shè)備的觀察窗多會(huì)伴隨著高溫，導(dǎo)致觀察窗變模糊，影響外部人員觀察，同時(shí)由于真空鍍膜設(shè)備的工作特性，幾乎很長時(shí)間內(nèi)，不會(huì)停機(jī)，觀察窗透鏡的使用壽命會(huì)由于高溫影響，急劇縮短，如發(fā)生碎裂，會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備內(nèi)部的真空度，進(jìn)而影響鍍膜效果。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述問題，本實(shí)用新型提出了一種真空鍍膜設(shè)備。
[0004]為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:
[0005]一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)備主體，所述設(shè)備主體上設(shè)有觀察窗，所述觀察窗包括窗框、由強(qiáng)化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設(shè)置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接；
[0006]所述窗框?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu)，并呈圓環(huán)形，窗框內(nèi)設(shè)有循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)和遮板結(jié)構(gòu)，所述循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)包括循環(huán)通道、冷水進(jìn)口和冷水出口，所述循環(huán)通道位于窗框內(nèi)，呈圓環(huán)形，并與窗框同心設(shè)置，所述冷水進(jìn)口和冷水出口分別對稱設(shè)置于窗框的上部和下部，并貫通循環(huán)通道，冷水進(jìn)口和冷水出口處設(shè)有與窗框端面垂直的2個(gè)管接頭，所述遮板結(jié)構(gòu)設(shè)置于窗框上部偏右側(cè)，包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿、遮板和把手，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿水平自窗框上部偏右側(cè)貫穿窗框，包括固定部和轉(zhuǎn)動(dòng)部，所述固定部位于窗框內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部位于窗框外，所述把手與轉(zhuǎn)動(dòng)部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接；
[0007]所述窗框一側(cè)的端面上設(shè)有截面呈方形、整體呈圓環(huán)形的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有呈圓環(huán)形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環(huán)形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設(shè)有呈圓弧形的管接頭缺口，供管接頭安裝用，所述觀察口呈圓形；
[0008]進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與窗框之間設(shè)有密封圈；
[0009]進(jìn)一步的，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1:D2=l:0.7 ；
[0010]進(jìn)一步的，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內(nèi)徑為D4，所述D3:D4=l:0.8 ；
[0011 ] 進(jìn)一步的，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0013]本實(shí)用新型提出的一種真空鍍膜設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，其上設(shè)置的觀察窗具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點(diǎn)，冷水進(jìn)口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進(jìn)行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩(wěn)固，密封良好，遮板設(shè)置于觀察窗靠內(nèi)一側(cè)，可有效阻隔真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的離子外漏，在需要觀察時(shí)，拉動(dòng)把手，即可實(shí)現(xiàn)遮板轉(zhuǎn)動(dòng)，松下把手，遮板在重力作用下，自動(dòng)歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。
【附圖說明】
[0014]圖1本實(shí)用新型示意圖。
[0015]圖2觀察窗示意圖。
[0016]圖3A-A向剖視圖。
[0017]圖4B-B向剖視圖。
[0018]圖5C-C向剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)備主體21，所述設(shè)備主體21上設(shè)有觀察窗22，所述觀察窗22包括窗框1、由強(qiáng)化玻璃制成的透鏡2和透鏡固定框3，所述透鏡2設(shè)置于窗框1和透鏡固定框3之間，窗框1和透鏡固定框3通過螺栓固接；
[0020]所述窗框1為中空結(jié)構(gòu)，并呈圓環(huán)形，窗框1內(nèi)設(shè)有循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)4和遮板結(jié)構(gòu)5，所述循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)4包括循環(huán)通道6、冷水進(jìn)口 7和冷水出口 8，所述循環(huán)通道6位于窗框1內(nèi)，呈圓環(huán)形，并與窗框1同心設(shè)置，所述冷水進(jìn)口 7和冷水出口 8分別對稱設(shè)置于窗框1的上部和下部，并貫通循環(huán)通道6，冷水進(jìn)口 7和冷水出口 8處設(shè)有與窗框端面垂直的2個(gè)管接頭9，所述遮板結(jié)構(gòu)5設(shè)置于窗框1上部偏右側(cè)，包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿10、遮板11和把手12，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿10水平自窗框1上部偏右側(cè)貫穿窗框1，包括固定部13和轉(zhuǎn)動(dòng)部14，所述固定部13位于窗框1內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部14位于窗框1外，所述把手12與轉(zhuǎn)動(dòng)部14垂直固接，所述遮板11通過螺栓與固定部13固接；
[0021]所述窗框1 一側(cè)的端面上設(shè)有截面呈方形、整體呈圓環(huán)形的凹槽15，所述凹槽15內(nèi)設(shè)有呈圓環(huán)形的密封膠圈16，所述透鏡固定框3呈圓環(huán)形，通過螺栓與窗框1固接，透鏡2與密封膠圈16緊密貼合，透鏡固定框3中部開有觀察口 17，上部和下部對稱設(shè)有呈圓弧形的管接頭缺口 18，供管接頭9安裝用，所述觀察口 17呈圓形；
[0022]其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿10與窗框1之間設(shè)有密封圈19，所述窗框1的外徑為D1，所述透鏡固定框3的外徑為D2，所述D1:D2=1:0.7,所述透鏡2呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框3的內(nèi)徑為D4，所述D3:D4=1:0.8，所述把手12外套合有硅橡膠隔熱套管20。
[0023]本實(shí)用新型提出的一種真空鍍膜設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，其上設(shè)置的觀察窗具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點(diǎn)，冷水進(jìn)口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進(jìn)行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩(wěn)固，密封良好，遮板設(shè)置于觀察窗靠內(nèi)一側(cè)，可有效阻隔真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的離子外漏，在需要觀察時(shí)，拉動(dòng)把手，即可實(shí)現(xiàn)遮板轉(zhuǎn)動(dòng)，松下把手，遮板在重力作用下，自動(dòng)歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量。
[0024]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)備主體，所述設(shè)備主體上設(shè)有觀察窗，所述觀察窗包括窗框、由強(qiáng)化玻璃制成的透鏡和透鏡固定框，所述透鏡設(shè)置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框通過螺栓固接。2.如權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述窗框?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu)，并呈圓環(huán)形，窗框內(nèi)設(shè)有循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)和遮板結(jié)構(gòu)，所述循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)包括循環(huán)通道、冷水進(jìn)口和冷水出口，所述循環(huán)通道位于窗框內(nèi)，呈圓環(huán)形，并與窗框同心設(shè)置，所述冷水進(jìn)口和冷水出口分別對稱設(shè)置于窗框的上部和下部，并貫通循環(huán)通道，冷水進(jìn)口和冷水出口處設(shè)有與窗框端面垂直的2個(gè)管接頭，所述遮板結(jié)構(gòu)設(shè)置于窗框上部偏右側(cè)，包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿、遮板和把手，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿水平自窗框上部偏右側(cè)貫穿窗框，包括固定部和轉(zhuǎn)動(dòng)部，所述固定部位于窗框內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部位于窗框外，所述把手與轉(zhuǎn)動(dòng)部垂直固接，所述遮板通過螺栓與固定部固接。3.如權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述窗框一側(cè)的端面上設(shè)有截面呈方形、整體呈圓環(huán)形的凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有呈圓環(huán)形的密封膠圈，所述透鏡固定框呈圓環(huán)形，通過螺栓與窗框固接，透鏡與密封膠圈緊密貼合，透鏡固定框中部開有觀察口，上部和下部對稱設(shè)有呈圓弧形的管接頭缺口，所述觀察口呈圓形。4.如權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與窗框之間設(shè)有密封圈。5.如權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述窗框的外徑為D1，所述透鏡固定框的外徑為D2，所述D1:D2=1:0.7o6.如權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述透鏡呈圓形，其直徑為D3，所述透鏡固定框的內(nèi)徑為D4，所述D3:D4=1:0.8。7.如權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述把手外套合有硅橡膠隔熱套管。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出的一種真空鍍膜設(shè)備，包括設(shè)備主體，設(shè)備主體上設(shè)有觀察窗，觀察窗包括窗框、透鏡和透鏡固定框，透鏡設(shè)置于窗框和透鏡固定框之間，窗框和透鏡固定框固接，窗框內(nèi)設(shè)有循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)和遮板結(jié)構(gòu)，循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)包括循環(huán)通道、冷水進(jìn)口和冷水出口，遮板結(jié)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)桿、遮板和把手，冷水進(jìn)口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對觀察窗整體進(jìn)行降溫，窗框與透鏡固定框連接穩(wěn)固，密封良好，遮板設(shè)置于觀察窗一側(cè)，可有效阻隔真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的離子外漏，在需要觀察時(shí)，拉動(dòng)把手，即可實(shí)現(xiàn)遮板轉(zhuǎn)動(dòng)，松下把手，遮板在重力作用下，自動(dòng)歸位，把手外套合有硅橡膠隔熱套管，可阻隔熱量，具有耐高溫、密封好、使用壽命長的特點(diǎn)。
【IPC分類】C23C14/52
【公開號】CN205152324
【申請?zhí)枴緾N201520718495
【發(fā)明人】李亞軍
【申請人】鎮(zhèn)江超威納米科技有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年9月17日