一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶爐裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前將單晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人員帶上手套，用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式不僅存在危險性，而且單晶硅晶棒的破裂強(qiáng)度與抗拉強(qiáng)度均較小，且晶棒在下降過程中存在一定的晃動，因此晶棒很容易出現(xiàn)斷裂，以及人工操作隨意性交大，效率緩慢。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是通過料棒存放機(jī)構(gòu)把單晶硅晶棒自動放入料棒輸送平臺的料槽內(nèi)，然后由料棒輸送平臺把單晶硅晶棒輸送出去，大大提高了單晶硅晶棒的出料效率；提供一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)包括X向料棒輸送裝置、Y向平移機(jī)構(gòu)、Z向升降機(jī)構(gòu)、支架和料棒存放機(jī)構(gòu)，所述的料棒存放機(jī)構(gòu)連接在支架上，所述的支架位于X向料棒輸送裝置的上方，所述支架的兩端通過Y向平移機(jī)構(gòu)與Z向升降機(jī)構(gòu)相連，所述的X向料棒輸送裝置包括料棒輸送平臺、X向平移小車和兩條X向設(shè)置的第一軌道，所述的料棒輸送平臺上開設(shè)四條料槽，所述的料棒輸送平臺通過X向平移小車活動連接在兩條X向設(shè)置的第一軌道上。
[0005]進(jìn)一步:所述的料棒存放機(jī)構(gòu)包括第一角鋼、第二角鋼，銷軸和電動缸，所述的電動缸位于第二角鋼的下方，所述的第二角鋼和電動缸固定連接在支架上，所述的第一角鋼通過銷軸與第二角鋼活動連接，所述電動缸的出軸端活動連接在第一角鋼的底部。
[0006]又進(jìn)一步:所述的Y向平移機(jī)構(gòu)包括兩條Y向設(shè)置的第二軌道和兩輛Y向平移小車，所述支架的兩端分別通過一輛Y向平移小車活動連接在兩條Y向設(shè)置的第二軌道上。
[0007]再進(jìn)一步:所述的Z向升降機(jī)構(gòu)包括四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道和四輛升降小車，所述的兩條第二軌道的兩端分別連接在四輛升降小車上，所述的四輛升降小車分別活動連接在相對應(yīng)的四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道上。
[0008]采用上述結(jié)構(gòu)后，本發(fā)明通過料棒存放機(jī)構(gòu)把單晶硅晶棒自動放入料棒輸送平臺的料槽內(nèi)，然后由料棒輸送平臺把單晶硅晶棒輸送出去，大大提高了單晶硅晶棒的出料效率；而且本設(shè)計還具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實用高效的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011 ] 圖2為料棒存放機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]如圖1所示的一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，包括X向料棒輸送裝置、Y向平移機(jī)構(gòu)、Z向升降機(jī)構(gòu)、支架1和料棒存放機(jī)構(gòu)，所述的料棒存放機(jī)構(gòu)連接在支架1上，所述的支架1位于X向料棒輸送裝置的上方，所述支架1的兩端通過Y向平移機(jī)構(gòu)與z向升降機(jī)構(gòu)相連，所述的X向料棒輸送裝置包括料棒輸送平臺3、x向平移小車和兩條X向設(shè)置的第一軌道9，所述的料棒輸送平臺3上開設(shè)四條料槽4，所述的料棒輸送平臺3通過X向平移小車活動連接在兩條X向設(shè)置的第一軌道上。工作時，先把制備好的料棒防止在料棒存放機(jī)構(gòu)內(nèi)，然后依次啟動Y向平移機(jī)構(gòu)和Z向升降機(jī)構(gòu)把料棒存放機(jī)構(gòu)運(yùn)送到料槽4的正上方，然后啟動料棒存放機(jī)構(gòu)使存放著的單晶硅晶棒自動掉落進(jìn)料槽4內(nèi)，當(dāng)料棒輸送平臺3上的四條料槽4都存放了單晶硅晶棒后，啟動X向平移小車使其帶著料棒輸送平臺3把單晶硅晶棒沿著第一軌道9輸送出去。本設(shè)計通過料棒存放機(jī)構(gòu)把單晶硅晶棒自動放入料棒輸送平臺的料槽內(nèi)，然后由料棒輸送平臺把單晶硅晶棒輸送出去，大大提高了單晶硅晶棒的出料效率。
[0013]如圖2所示的料棒存放機(jī)構(gòu)包括第一角鋼10、第二角鋼11，銷軸13和電動缸14，所述的電動缸14位于第二角鋼11的下方，所述的第二角鋼11和電動缸14固定連接在支架1上，所述的第一角鋼10通過銷軸13與第二角鋼11活動連接，所述電動缸14的出軸端活動連接在第一角鋼10的底部。工作時通過啟動電動缸14，使第一角鋼10通過銷軸13繞著第二角鋼11進(jìn)行轉(zhuǎn)動，使單晶硅晶棒在重力的作用下自動掉落進(jìn)料棒輸送平臺3上的料槽4內(nèi)。
[0014]如圖1所示的Y向平移機(jī)構(gòu)包括兩條Y向設(shè)置的第二軌道6和兩輛Y向平移小車5，所述支架1的兩端分別通過一輛Y向平移小車活動連接在兩條Y向設(shè)置的第二軌道6上。工作時通過啟動兩輛Y向平移小車5，使兩輛Y向平移小車5帶著支架1沿著第二軌道6進(jìn)行移動，把料棒存放機(jī)構(gòu)運(yùn)送到料槽4的正上方，本設(shè)計具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實用高效的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]如圖1所示的Z向升降機(jī)構(gòu)包括四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道7和四輛升降小車8，所述的兩條第二軌道6的兩端分別連接在四輛升降小車8上，所述的四輛升降小車8分別活動連接在相對應(yīng)的四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道7上。工作時，啟動四輛升降小車8，使其通過平移機(jī)構(gòu)帶著料棒存放機(jī)構(gòu)進(jìn)行豎直方向上的運(yùn)動，降低料棒存放機(jī)構(gòu)與料槽4之間的距離，防止單晶硅晶棒在下落的過程中由于高度過高而造成損壞。
【主權(quán)項】
1.一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，其特征在于:包括X向料棒輸送裝置、Y向平移機(jī)構(gòu)、z向升降機(jī)構(gòu)、支架(1)和料棒存放機(jī)構(gòu)，所述的料棒存放機(jī)構(gòu)連接在支架(1)上，所述的支架(1)位于X向料棒輸送裝置的上方，所述支架(1)的兩端通過Y向平移機(jī)構(gòu)與Z向升降機(jī)構(gòu)相連，所述的X向料棒輸送裝置包括料棒輸送平臺(3)、X向平移小車和兩條X向設(shè)置的第一軌道(9)，所述的料棒輸送平臺(3)上開設(shè)四條料槽(4)，所述的料棒輸送平臺3通過X向平移小車活動連接在兩條X向設(shè)置的第一軌道上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，其特征在于:所述的料棒存放機(jī)構(gòu)包括第一角鋼(10)、第二角鋼(11)，銷軸(13)和電動缸(14)，所述的電動缸(14)位于第二角鋼(11)的下方，所述的第二角鋼(11)和電動缸(14)固定連接在支架⑴上，所述的第一角鋼(10)通過銷軸(13)與第二角鋼(11)活動連接，所述電動缸(14)的出軸端活動連接在第一角鋼(10)的底部。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，其特征在于:所述的Y向平移機(jī)構(gòu)包括兩條Y向設(shè)置的第二軌道(6)和兩輛Y向平移小車(5)，所述支架(1)的兩端分別通過一輛Y向平移小車活動連接在兩條Y向設(shè)置的第二軌道(6)上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，其特征在于:所述的Z向升降機(jī)構(gòu)包括四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道(7)和四輛升降小車(8)，所述的兩條第二軌道(6)的兩端分別連接在四輛升降小車⑶上，所述的四輛升降小車⑶分別活動連接在相對應(yīng)的四條Z向設(shè)置的導(dǎo)向軌道(7)上。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于單晶爐的出料系統(tǒng)，包括X向料棒輸送裝置、Y向平移機(jī)構(gòu)、Z向升降機(jī)構(gòu)、支架和料棒存放機(jī)構(gòu)，所述的料棒存放機(jī)構(gòu)連接在支架上，所述的支架位于X向料棒輸送裝置的上方，所述支架的兩端通過Y向平移機(jī)構(gòu)與Z向升降機(jī)構(gòu)相連，所述的X向料棒輸送裝置包括料棒輸送平臺、X向平移小車和兩條X向設(shè)置的第一軌道，所述的料棒輸送平臺上開設(shè)四條料槽，所述的料棒輸送平臺通過X向平移小車活動連接在兩條X向設(shè)置的第一軌道上。本設(shè)計通過料棒存放機(jī)構(gòu)把單晶硅晶棒自動放入料棒輸送平臺的料槽內(nèi)，然后由料棒輸送平臺把單晶硅晶棒輸送出去，大大提高了單晶硅晶棒的出料效率。
【IPC分類】C30B35/00, C30B29/06
【公開號】CN105332062
【申請?zhí)枴緾N201510659171
【發(fā)明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年10月13日